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專利名稱：一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種研磨狀態(tài)檢測(cè)臺(tái)，尤其是涉及一種便于采集化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)之后亞表面形態(tài)和生物樣本生理特征等實(shí)驗(yàn)過(guò)程的視頻、圖像處理的懸掛式檢測(cè)臺(tái)。
背景技術(shù)：
在對(duì)光學(xué)元器件做化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)進(jìn)行質(zhì)量控制時(shí)，腐蝕時(shí)間難以掌控，從而難以得到良好的效果。例如不清楚在硅片的什么階段腐蝕或者要腐蝕了多長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到最好效果。常用的方法是分組做實(shí)驗(yàn)，每組之間腐蝕的時(shí)間不同，腐蝕完之后再去檢測(cè)，然后對(duì)比結(jié)果來(lái)估計(jì)最佳腐蝕時(shí)間，最后來(lái)通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證最佳腐蝕時(shí)間。在生物化學(xué)方面的實(shí)驗(yàn)時(shí)，試劑對(duì)細(xì)胞等的作用效果不好掌控，實(shí)驗(yàn)效率不高。常用方法是利用不同試劑量來(lái)進(jìn)行對(duì)比性檢測(cè)，并定時(shí)用顯微鏡進(jìn)行觀察并記錄特征，這種方法不僅使科研人員工作量大，并且不能同時(shí)對(duì)幾個(gè)點(diǎn)進(jìn)行對(duì)比性檢測(cè)，不能長(zhǎng)時(shí)間觀測(cè)在實(shí)驗(yàn)中樣品的連續(xù)變化情況，容易丟失相關(guān)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。中國(guó)專利CN201434891公開一種多功能旋轉(zhuǎn)自動(dòng)檢測(cè)臺(tái)，包括機(jī)架，機(jī)架上依次設(shè)有上層結(jié)構(gòu)、中層結(jié)構(gòu)和下層結(jié)構(gòu)；其中上層結(jié)構(gòu)設(shè)有測(cè)量?jī)x表；中層結(jié)構(gòu)周圍分布有若干檢測(cè)機(jī)構(gòu)，此種檢測(cè)臺(tái)對(duì)較大物體有較好的檢測(cè)作用，但不能檢測(cè)較小物體，而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可檢測(cè)較小物體，便于采集化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)或生物樣本實(shí)驗(yàn)過(guò)程的視頻、圖像的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)。本發(fā)明設(shè)有底座、十字形橫梁、旋轉(zhuǎn)臂定位軸、旋轉(zhuǎn)臂、2組攝像頭組件和2根立柱；底座表面設(shè)有平整的至少2個(gè)觀測(cè)位，各觀測(cè)位之間設(shè)有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側(cè)，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設(shè)有十字形通槽，十字形通槽中設(shè)有定位孔，旋轉(zhuǎn)臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉(zhuǎn)臂定位軸下部與旋轉(zhuǎn)臂連接，2組攝像頭組件分別設(shè)于旋轉(zhuǎn)臂一側(cè)，2組攝像頭組件均外接顯示器。所述至少2個(gè)觀測(cè)位最好為4個(gè)方形觀測(cè)位，各方形觀測(cè)位刻有十字形對(duì)焦點(diǎn)。所述十字形通槽中設(shè)有定位孔，最好是十字形通槽中對(duì)稱設(shè)有4個(gè)定位孔，定位孔為半圓形定位孔。所述十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，最好是十字形橫梁兩端通過(guò)方形銷與2根立柱連接。所述十字形通槽的寬度與旋轉(zhuǎn)臂定位軸的直徑最好相等。所述2組攝像頭組件之間的間距與設(shè)于所述十字形通槽中的對(duì)稱2個(gè)定位孔之間的丨司距最好相等。與現(xiàn)有技術(shù)比較，本發(fā)明的工作原理及有益效果如下:
檢測(cè)時(shí)，調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸，使之在4個(gè)定位孔中的某I個(gè)定位孔中定位，然后通過(guò)鎖緊螺母使旋轉(zhuǎn)軸固定，接著調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)臂，在顯示器中觀察攝像頭中的圖像能對(duì)焦到方形觀測(cè)位中的十字形對(duì)焦點(diǎn)時(shí)，通過(guò)鎖緊螺母使旋轉(zhuǎn)臂固定，接著將準(zhǔn)備好的光學(xué)元器件、器皿等放入測(cè)試區(qū)，通過(guò)調(diào)節(jié)攝像頭的高度來(lái)調(diào)節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到讓攝像頭能采集到視野清晰的觀測(cè)圖像。底座表面上的間隔的4個(gè)方形觀測(cè)位的結(jié)構(gòu)可避免被測(cè)產(chǎn)品之間的相互藥劑干擾。觀測(cè)位上放置被測(cè)物件(如光學(xué)元器件、微生物器皿等)。檢測(cè)時(shí)，選取合適的攝像頭，其中攝像頭的選取對(duì)可以檢測(cè)到的精度有很大關(guān)系，目前較多攝像頭都可以放大并能清晰地檢測(cè)到幾百微米甚至是幾十微米的級(jí)別，這在光學(xué)亞表面檢測(cè)以及微生物方面的檢測(cè)可以有很好的應(yīng)用，將攝像頭對(duì)準(zhǔn)被檢測(cè)物，調(diào)整好位置和檢測(cè)范圍，檢測(cè)過(guò)程中，可在被檢測(cè)物兩側(cè)適當(dāng)加強(qiáng)光線，確保攝像頭能采集到清晰的圖像；攝像頭攝入的圖像通過(guò)數(shù)據(jù)線連接到相關(guān)的視頻、圖像處理芯片，最終將芯片處理后的圖像數(shù)據(jù)顯示在顯示器中，實(shí)驗(yàn)人員可以觀測(cè)分析并記錄。本發(fā)明不僅具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、檢測(cè)過(guò)程簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，而且便于采集化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)(如檢測(cè)光學(xué)玻璃的表面粗糙度、亞表面損傷程度等)及生物生理等實(shí)驗(yàn)過(guò)程的視頻或圖像資源，實(shí)驗(yàn)過(guò)程中可以進(jìn)行連續(xù)的有對(duì)比性的進(jìn)行觀測(cè)。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)組成示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例的十字形橫梁結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)臂定位軸結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)臂結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式參見(jiàn)圖1 4，本發(fā)明實(shí)施例設(shè)有底座9、十字形橫梁3、旋轉(zhuǎn)臂定位軸11、旋轉(zhuǎn)臂13、2組攝像頭組件7 (含攝像頭15)及2根立柱14。底座9表面設(shè)有平整的4個(gè)方形觀測(cè)位8，4個(gè)方形觀測(cè)位8之間設(shè)有間隔槽16，2根立柱14分別固于底座9 一側(cè)，十字形橫梁3兩端固于2根立柱14上端，十字形橫梁3設(shè)有十字形通槽10，十字形通槽10中對(duì)稱設(shè)有4個(gè)半圓形定位孔2，旋轉(zhuǎn)臂定位軸11上端位于其中I個(gè)定位孔2中，并通過(guò)鎖緊螺母I鎖緊。旋轉(zhuǎn)臂定位軸11下部穿過(guò)旋轉(zhuǎn)臂13，并通過(guò)鎖緊螺母12和6鎖緊在旋轉(zhuǎn)臂13上。2組攝像頭組件7均通過(guò)調(diào)節(jié)螺母5分別對(duì)稱設(shè)于旋轉(zhuǎn)臂13 —側(cè)，2組攝像頭組件7的攝像頭15位于底座9上方。2組攝像頭組件7均與外界的顯示器數(shù)據(jù)連接。所述方形觀測(cè)位8中刻有十字形對(duì)焦點(diǎn)。所述十字形通槽10的寬度與旋轉(zhuǎn)臂定位軸11直徑相等。所述十字形橫梁3與2根立柱14采用方形銷4連接。通過(guò)調(diào)節(jié)螺母5可調(diào)節(jié)攝像頭15的高度，從而可調(diào)節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到使攝像頭15能采集到視野清晰的觀測(cè)圖像。旋轉(zhuǎn)臂定位軸11為中空軸，表面設(shè)有三段螺紋和I個(gè)凸圓臺(tái)。為方便數(shù)據(jù)線的布置，旋轉(zhuǎn)臂定位軸11在十字形橫梁3上可沿著十字形通槽10移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)至半圓形定位孔2時(shí)，將旋轉(zhuǎn)臂定位軸11轉(zhuǎn)入其中，便可以通過(guò)旋緊螺母I鎖緊定位。旋轉(zhuǎn)臂13的設(shè)有5個(gè)通孔，以中間通孔20為基準(zhǔn)左右對(duì)稱分布，中間通孔20用于穿連旋轉(zhuǎn)臂定位軸11，兩側(cè)通孔19用于連接2組攝像頭組件7，兩側(cè)對(duì)稱2個(gè)通孔之間的間距等于十字形橫梁3上對(duì)稱2個(gè)半圓形定位孔之間的間距(即2組攝像頭組件之間的間距與十字形橫梁3上對(duì)稱2個(gè)半圓形定位孔之間的間距相等)。兩側(cè)通孔18用于方便數(shù)據(jù)線17的傳送。本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)和生物生理等實(shí)驗(yàn)，在顯示器中觀察攝像頭中的圖像能對(duì)焦到方形觀測(cè)位8中的十字形對(duì)焦點(diǎn)時(shí)，旋緊鎖緊螺母12。接著將準(zhǔn)備好的光學(xué)元器件、器皿等放入測(cè)試區(qū)，通過(guò)鎖緊螺母5調(diào)節(jié)攝像頭的高度來(lái)調(diào)節(jié)圖像在顯示器中的視野，直到讓攝像頭15能采集到視野清晰的觀測(cè)圖像。實(shí)驗(yàn)人員便可從電腦等終端設(shè)備中觀測(cè)實(shí)驗(yàn)圖像或視頻并儲(chǔ)存，便于以后分析。若進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)時(shí)，可將試驗(yàn)樣品放入其中2個(gè)對(duì)應(yīng)的方形檢測(cè)位8中，調(diào)整兩個(gè)攝像頭15到合適位置，接通外部終端設(shè)備，便可獲得相對(duì)應(yīng)對(duì)比圖像。可用于對(duì)比兩種試劑的效果，或是由于試劑濃度不同對(duì)試驗(yàn)品產(chǎn)生不同的影響，效率高，操作簡(jiǎn)便。
權(quán)利要求
1.一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，設(shè)有底座、十字形橫梁、旋轉(zhuǎn)臂定位軸、旋轉(zhuǎn)臂、2組攝像頭組件和2根立柱； 底座表面設(shè)有平整的至少2個(gè)觀測(cè)位，各觀測(cè)位之間設(shè)有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側(cè)，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設(shè)有十字形通槽，十字形通槽中設(shè)有定位孔，旋轉(zhuǎn)臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉(zhuǎn)臂定位軸下端與旋轉(zhuǎn)臂連接，2組攝像頭組件分別設(shè)于旋轉(zhuǎn)臂一側(cè)，2組攝像頭組件均外接顯示器。
2.如權(quán)利要求1所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述至少2個(gè)觀測(cè)位為4個(gè)方形觀測(cè)位，各方形觀測(cè)位刻有十字形對(duì)焦點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述十字形通槽中設(shè)有定位孔，是十字形通槽中對(duì)稱設(shè)有4個(gè)定位孔。
4.如權(quán)利要求3所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述定位孔為半圓形定位孔。
5.如權(quán)利要求1所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，是十字形橫梁兩端通過(guò)方形銷與2根立柱連接。
6.如權(quán)利要求1所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述十字形通槽的寬度與旋轉(zhuǎn)臂定位軸的直徑相等。
7.如權(quán)利要求1所述的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，其特征在于，所述2組攝像頭組件之間的間距與設(shè)于所述十字形通槽中的對(duì)稱2個(gè)定位孔之間的間距相等。
全文摘要
一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)，涉及一種研磨狀態(tài)檢測(cè)臺(tái)。提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可檢測(cè)較小物體，便于采集化學(xué)機(jī)械研磨或生物樣本實(shí)驗(yàn)過(guò)程的視頻、圖像的一種懸掛式檢測(cè)臺(tái)。設(shè)有底座、十字形橫梁、旋轉(zhuǎn)臂定位軸、旋轉(zhuǎn)臂、2組攝像頭組件和2根立柱；底座表面設(shè)有平整的至少2個(gè)觀測(cè)位，各觀測(cè)位之間設(shè)有間隔槽，2根立柱分別固于底座一側(cè)，十字形橫梁兩端固于2根立柱上端，十字形橫梁設(shè)有十字形通槽，十字形通槽中設(shè)有定位孔，旋轉(zhuǎn)臂定位軸上端固于定位孔中，旋轉(zhuǎn)臂定位軸下部與旋轉(zhuǎn)臂連接，2組攝像頭組件分別設(shè)于旋轉(zhuǎn)臂一側(cè)，2組攝像頭組件均外接顯示器。
文檔編號(hào)G01N21/00GK103149150SQ20131004073
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月31日
發(fā)明者彭云峰, 郭龍, 郭隱彪, 胡陳林 申請(qǐng)人:廈門大學(xué)