專利名稱:用于卷軸上器件的材料輸送器的制作方法
技術領域:
本發明涉及一種材料輸送器,用于將巻軸上的器件移動到測試器 以對該器件進行測試。
背景技術:
隨著消費性電子產品遍布市場,為消費者提供了越來越多的選擇。 為了獲得競爭優勢,芯片制造商的動機轉向具有高性能、高速度、小 尺寸和低成本的半導體器件。
帶載封裝(TCP, tape carrier package)和覆晶薄膜(COF, chip on film)形式的封裝是滿足目前所需要的高性能器件的小外形和高腳數 (leadcount)互連的期望的方式。這些器件必須經過測試。
專用輸送器已經被設計成對被稱為巻軸上器件的這些封裝形式進 行測試。通過相對于被測器件(DUT)移動探針卡(probe card)來測 試這些巻軸上器件。然而,測試過程遭受由于在測試期間所遇到的長 的信號通路而導致的信號干擾。此外,向DUT移動測試頭延長了測試過程。
本發明的目的在于改進上述問題。
發明內容
根據本發明的第一實施例,提供了一種用于向用于測試的測試器 傳送巻軸上器件的材料輸送器,所述材料輸送器包括可旋轉組件, 該可旋轉組件接合(engage)巻軸上器件并且朝著測試器旋轉巻軸上器 件,該測試器具有探針頭;比較器裝置,該比較器裝置比較器件關于探針頭的位置;對準裝置,該對準裝置與比較器裝置通信,以將器件 定位到用于測試的探針頭,其中,該對準器裝置將器件定位到探針頭, 以供在用于直接對接的器件上執行測試。有利地,這消除了在測試頭 上將探針旋轉到器件的需要,并且進一步減小了信號長度并且因此減 小了信號通路中的電容量。
優選地,可旋轉組件與對準裝置集成在一起。
還優選地,可旋轉組件在至少x、 y和e方向上移動。
優選地,比較器裝置是光學比較器,例如,圖像捕獲設備。
優選地,該圖像捕獲設備是第一和第二光學照相機,其中,第一 光學照相機識別巻軸上器件的位置,并且第二光學照相機識別探針頭 的位置。
優選地,該圖像捕獲設備進一步包括邏輯控制器,該邏輯控制器 用以確定在x、 y和/或e方向上的任何一個或其組合上將器件移動到用 于測試的探針頭的運動范圍。
根據本發明的第二實施例,提供了一種用于向測試器傳送巻軸上 器件的材料輸送器,所述測試器具有用于測試的探針頭,該材料輸送 器包括可旋轉組件,該可旋轉組將能夠在x、 y和e方向上移動;接 收器,該接收器被連接到可旋轉組件,以接收巻軸上器件;比較器裝 置,該比較器裝置用以比較關于探針頭的器件的位置,其中,該比較 器裝置與該可旋轉組件通信,以將該器件移動到用于測試的探針頭。
優選地,該接收器是接觸平板。
還優選地,該接觸平板進一步包括對準向導(guide)來對準接收到的器件巻軸。
優選地,該比較器裝置是光學比較器,例如,圖像捕獲設備。
優選地,該圖像捕獲設備是第一和第二光學照相機,其中,該第 一光學照相機識別巻軸上器件的位置,并且第二光學照相機識別探針 頭的位置。
優選地,該圖像捕獲設備進一步包括邏輯控制器,該邏輯控制器
用以確定在x、 y和/或e方向的一個或其組合上將器件移動到用于測試 的探針頭的運動范圍。
優選地,將器件巻軸與探針頭之間的定位位移通信到可旋轉組件, 以將器件移動到探針頭以供執行測試。
根據本發明的第三實施例,提供了一種用于向測試器傳送巻軸上
器件的材料輸送器,所述測試器具有探針頭,該材料輸送器包括可 旋轉組件,該可旋轉組件具有接觸平板和器件巻軸;以及光學比較器, 該光學比較器用以識別該器件關于探針頭的位置,所述光學比較器與 該可旋轉組件進行通信,其中,可旋轉組件響應于光學比較器來將器 件移動到探針頭。
根據本發明的另一個方面,提供了一種對巻軸上器件進行測試的 方法,所述方法包括將材料輸送器和巻軸上器件旋轉到具有探針頭 的探針;比較該探針頭到該器件的位移;對準該材料輸送器,以將該 器件對準該探針頭;以及執行測試。
優選地,比較步驟包括下述步驟識別器件的器件引腳的位置; 識別探針卡的探針引腳的位置;以及建立該探針頭到該器件引腳的位 移。
為了可以更加充分地理解本發明,僅通過示例的方式,參考附圖 描述了發明的實施例,在附圖中
圖1A涉及現有技術的輸送器。
圖1B示出了現有技術的輸送器的圖1A的G部分。
圖2示出了本發明的材料輸送器的第一實施例。
圖3A示出了本發明的材料輸送器的第二實施例。
圖3B圖示了圖3A的A-A截面。
圖3C圖示了圖3A的B-B截面。
圖4示出了當器件被測試時的本發明的材料輸送器。
圖5圖示了根據本發明的處理器件的方法。
在實施例和變體的每一個中,僅僅為了容易理解本說明書,對于 類似的部件已經使用了相同的附圖標記。
具體實施例方式
現在將對本發明的優選實施例詳細地作出參考,在附圖中圖示了 其示例。盡管將結合優選實施例來描述本發明,但是應當理解,不希 望將本發明限于這些實施例。相反,本發明意在涵蓋包括在如所附權 利要求所限定的本范明的精神和范圍內的替代、修改和等價物。而且, 在本發明的下述詳細描述中,闡述了許多特定細節,以便于提供本發 明的透徹理解。然而,對于本領域普通技術人員來說明顯的是,本發 明可以不通過這些特定細節來實踐。在其它的情況中,沒有詳細地描 述公知的方法、程序、部件和特征,以免不必要地掩蓋本發明的各方 面。
圖1A圖示了現有技術的輸送器500。該輸送器包括要在測試器200 上被測試的巻軸300上的器件。待測器件被連接到帶或膜并且被巻起, 以將器件傳送到測試器200的測試頭210以供進行測試。輸送器500
9位于最接近測試頭的位置,以最小化信號干擾。測試頭210旋轉以進 行該器件所需要的各種測試。
如可以在圖1A中所看到的,在測試過程中,測試頭和被測器件 (DUT)之間存在信號通路S。這在當信號通路很長時在測試期間轉變 成增加的信號干擾。
圖1B示出了圖1A的A部分。在測試期間,關于DUT旋轉探針 卡,使得可以執行各種測試。輸送器500在x-y方向上移動來定位要由 測試器測試的巻軸上器件。可以看到長的信號長度S。
圖2示出了本發明的材料輸送器100的第一實施例。材料輸送器 輸送用于測試的巻軸12上的器件11。該巻軸旋轉以推進每個器件11 以供測試器執行測試。材料輸送器100包括可旋轉組件20,該可旋轉 組件20用以朝著測試器或測試頭210定位巻軸上器件。材料輸送器100 進一步包括比較器裝置30,該比較器裝置30被示作以第一光學照相機 32和第二光學照相機33的形式的光學比較器31。
第一光學照相機32朝向器件11,并且第二光學照相機33朝向測 試頭210。第一光學照相機32識別巻軸上器件的位置,而第二光學照 相機33識別測試頭210的探針頭211的位置。在該實施例中,對準裝 置(圖中未示出)與比較器裝置通信,并且該對準裝置與可旋轉組件 集成在一起。該可旋轉組件是機動化的,并且能夠在x、 y和e方向上 移動。響應于來自第一和第二光學照相機的關于器件引腳到探針頭的 位移的反饋,促動該可旋轉組件來定位器件到探針頭的直接對接處 (direct dock)以供執行測試。這消除了現有技術所遇到的任何信號干 擾或高Z干擾。
可以由邏輯控制器來執行該反饋,以確定準確地將器件對接到探 針頭以供執行測試所必需的運動范圍。圖3A示出了具有可旋轉組件、接收器40和比較器裝置的材料輸 送器的第二實施例。示出接收器40以接觸平板41的形式來接收巻軸 上器件。
圖3B示出了圖2的A-A截面,并且示出了傳遞給接觸平板41的 由可旋轉組件20在x、 y和e方向上使能的運動的范圍。在該圖中, 可旋轉組件將四個器件lla、 llb、 llc和lld與探針頭對準以供執行測 試。在變體中并且另外地,在接觸平板41和測試頭上可以包括參考點, 用于進行額外的對準。然后,將接觸平板上的參考點A和B與測試頭 的參考點C和D對準(如圖3C中所看到的)。
圖3C示出了圖2的B-B截面,具有探針頭211和對準參考點C和D。
圖4示出了當使四個器件lla、 llb、 llc和11d與探針頭211a、 211b、 211c和211d接觸時的輸送器。該輸送器進一步包括以接觸平板 41的形式來接收巻軸上器件的接收器40。
圖5圖示了使用本發明的材料輸送器進行測試的方法。該方法包 括將材料輸送器和巻軸上器件旋轉到具有探針頭的探針;比較探針 頭到用于測試的器件的位移;對準該材料輸送器來將器件對準該探針 頭,以將器件對接到探針頭;以及最后執行測試。
在該方法的變體中,比較的方法包括下述步驟識別器件的器件 引腳的位置;識別探針卡的探針引腳的位置;以及建立探針頭到器件 引腳的位移。
已經僅通過示例的方式提出了本發明的實施例,并且在按照由所 附權利要求限定的本發明的范圍內,修改是可能的。
1權利要求
1.一種用于向用于測試的測試器傳送卷軸上器件的材料輸送器,所述材料輸送器包括可旋轉組件,所述可旋轉組件接合所述卷軸上器件并且朝著測試器旋轉所述卷軸上器件,所述測試器具有探針頭;比較器裝置,所述比較器裝置用以比較所述器件關于所述探針頭的位置;對準裝置,所述對準裝置與所述比較器裝置進行通信,以將所述器件定位到用于測試的所述探針頭;其中,所述對準裝置將所述器件定位到所述探針頭,以供在所述器件上執行測試。
2. 根據權利要求1所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述可旋轉組件與所述對準裝置集成在一起。
3. 根據權利要求1或2中的任何一項所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述可旋轉組件在至少x、 y和0方向上移動。
4. 根據權利要求1所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述比較器裝置是光學比較器。
5. 根據權利要求4所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述光學比較器是圖像捕獲設備。
6. 根據權利要求5所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述圖像捕獲設備是第一和第二光學照相機。
7. 根據權利要求6所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述第一光學照相機識別所述巻軸上器件的位置。
8. 根據權利要求6所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述第二光學照相機識別所述探針頭的位置。
9. 根據權利要求6所述的用于傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述圖像捕獲設備進一步包括邏輯控制器,所述邏輯控制器用以確定在x、y和/或e方向的一個或其組合上將所述器件移動到用于測試的所述探針頭的運動的范圍。
10. 根據權利要求1到9中的任何一項所述的用于傳送器件的材料輸送器,其中,所述可旋轉組件由馬達促動。
11. 一種用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,所述測試器具有用于測試的探針頭,所述材料輸送器包括-可旋轉組件,所述可旋轉組件能夠在x、 y和e方向上移動;接收器,所述接收器被連接到所述可旋轉組件,以接收所述巻軸上器件;比較器裝置,所述比較器裝置用以比較所述器件關于所述探針頭的位置;其中,所述比較器裝置與所述可旋轉組件進行通信,以將所述器件移動到用于測試的所述探針頭。
12. 根據權利要求11所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述可旋轉組件由馬達促動。
13. 根據權利要求11所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述接收器是接觸平板。
14. 根據權利要求12所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述接觸平板進一步包括對準向導,所述對準向導用以對準接收到的器件巻軸。
15. 根據權利要求11所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述比較器裝置是光學比較器。
16. 根據權利要求14所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述光學比較器是圖像捕獲設備。
17. 根據權利要求15所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述圖像捕獲設備是第一和第二光學照相機。
18. 根據權利要求16所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送 器,其中,所述第一光學照相機識別所述巻軸上器件的位置。
19. 根據權利要求16所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,所述第二光學照相機識別所述探針頭的位置。
20. 根據權利要求18所述的用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,其中,將在器件巻軸與所述探針頭之間的定位位移通信到所述可旋轉組件,以將所述器件移動到到所述探針頭以供執行測試。
21. —種用于向測試器傳送巻軸上器件的材料輸送器,所述測試器具有探針頭,所述材料輸送器包括可旋轉組件,所述可旋轉組件具有接觸平板和器件巻軸;以及光學比較器,所述光學比較器用以識別所述器件關于所述探針頭的位置,所述光學比較器與所述可旋轉組件進行通信;其中,所述可旋轉組件響應于所述光學比較器來將所述器件移動到探針頭。
22. —種對巻軸上器件進行測試的方法,所述方法包括將材料輸送器和巻軸上器件旋轉到具有探針頭的探針;比較所述探針頭到所述器件的位移;對準所述材料輸送器,以將所述器件對準探針頭;以及執行測試。
23.根據權利要求20所述的對巻軸上器件進行測試的方法,其中,所述比較步驟包括下述步驟識別所述器件的器件引腳的位置;識別探針卡的探針引腳的位置;以及建立所述探針頭到所述器件引腳的位移。
全文摘要
本發明涉及一種用于向用于測試的測試器傳送卷軸上器件的材料輸送器,所述材料輸送器包括可旋轉組件,所述可旋轉組件接合卷軸上器件并且朝著測試器旋轉該卷軸上器件,所述測試器具有探針頭;比較器裝置,所述比較器裝置比較該器件關于該探針頭的位置;對準裝置,該對準裝置與該比較器裝置進行通信,以將該器件定位到該用于測試的探針頭,其中,該對準裝置將該器件定位到探針頭,以供在用于直對接的器件上執行測試。有利地,這消除了在測試頭上將該探針旋轉到該器件的需要,并且進一步減小了信號長度并且因此減小了信號通路中的電容量。
文檔編號G01R31/26GK101669035SQ200880008544
公開日2010年3月10日 申請日期2008年1月29日 優先權日2007年3月16日
發明者約翰·亞當斯 申請人:泰瑞達亞洲股份有限公司