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專利名稱：對(duì)流式嗅敏檢漏儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)流式嗅敏檢漏儀，它具有一個(gè)作為測試氣體檢測器的質(zhì)譜儀、一個(gè)在對(duì)流中有檢測氣體流過的高真空泵或高真空泵級(jí)，一個(gè)連接在高真空泵或高真空泵級(jí)的出口側(cè)的吸氣軟管，以及一個(gè)在吸氣軟管入口區(qū)的大氣壓與吸氣軟管出口區(qū)的壓力之間保持壓差的節(jié)流閥。
為使這種檢漏儀既有短的反應(yīng)時(shí)間，又有高的檢測靈敏度，建議上述吸氣軟管要這樣設(shè)計(jì)，使其到所要求的節(jié)流作用。
通過上述措施可以達(dá)到，總是有最大允許氣流流過上述吸氣軟管。由于在氦—測試氣體檢漏時(shí)，感興趣的泄漏量級(jí)為10-2mbar/L/S，因此可以保證從可能存在的泄漏點(diǎn)中溢出的全部檢測氣流能被吸入并到達(dá)檢漏儀中。由此產(chǎn)生出一個(gè)高的檢測靈敏度。另外，由于按照本發(fā)明確定的吸氣軟管中的氣體流速較高，因而反應(yīng)時(shí)間也短。當(dāng)吸氣軟管在全長上直徑相同，從而產(chǎn)生全部所需的節(jié)流作用時(shí)，上述優(yōu)點(diǎn)將特別良好持實(shí)現(xiàn)。但是，為了解決所提出的任務(wù)，只要吸氣軟管的較大一段、例如其長度的50％或70％具有節(jié)流功能也就足夠，而其余管段則基本上無阻力地將待測氣體引導(dǎo)至檢漏儀。
從DE-B-2441124中已經(jīng)知道有一種嗅敏檢漏儀。其中，該文件所描述的現(xiàn)有技術(shù)是，在吸氣軟管的入口區(qū)中設(shè)一個(gè)節(jié)流閥。按照該文件的權(quán)利要求1的嗅敏檢漏儀具有一個(gè)節(jié)流閥，該閥直接安置在質(zhì)譜儀檢測器的前面。在這兩種方案中，從可能存在的泄漏點(diǎn)溢出的一部分檢測氣體不可避免地未能到達(dá)檢漏儀的入口中。
在本發(fā)明的范圍內(nèi)，在校準(zhǔn)方面還具有特殊的優(yōu)點(diǎn)。對(duì)本發(fā)明的嗅敏檢漏儀來說，為了進(jìn)行校準(zhǔn)，只要在高真空泵和預(yù)真空泵之間的連接管區(qū)中用一個(gè)檢測泄漏點(diǎn)放入已知量的檢測氣體就已足夠。這樣，那種迄今為止在檢漏儀中所必需的外部檢測泄漏點(diǎn)就可省去。
下面將根據(jù)

圖1和2說明其它優(yōu)點(diǎn)和細(xì)節(jié)。
在圖1和2中示意性地用1表示檢漏儀，用2表示其入口。該檢漏儀包括質(zhì)譜儀3，它與高真空泵4、最好是渦流分子泵的入口連接。高真空泵4通過一條連接管5與預(yù)真空泵6連接。
在檢漏儀1的入口2處接有吸氣管軟7。吸氣軟管的兩端用8(入口)和9(出口)表示。吸氣軟管的入口8被引向試驗(yàn)物11的有泄漏嫌疑的區(qū)域，泄漏點(diǎn)用12來表示。
在圖1的檢漏儀上，檢漏儀1的入口2與連接管5連接。選用一種渦流分子泵13作為在對(duì)流中工作的高真空泵4。
在圖2的檢漏儀中，高真空泵4包括位于高真空側(cè)的級(jí)14(最好為渦流分子泵級(jí))和位于預(yù)真空側(cè)的級(jí)15(最好為分子泵級(jí))。高真空泵4裝有一個(gè)接頭16，該接頭16與高真空泵級(jí)14和15之間的區(qū)域連接。檢漏儀1的入口2可以有選擇地(借助未示出的閥)接在高真空泵4和預(yù)真空泵6之間的連接管5上，或者為了提高靈敏度而接在高真空泵4的入口16上。
吸氣軟管7的尺寸(長度、內(nèi)徑)要這樣選擇，使它能夠在其入口區(qū)8的大氣壓與其出口區(qū)9的壓力之間保持壓力差。當(dāng)檢漏儀1的入口2接在高真空泵4和預(yù)真空泵6之間的連接管上時(shí)(見圖1)，其出口區(qū)9的壓力約為2mbar。當(dāng)檢漏儀1的入口2與高真空泵4的接頭16連接時(shí)(見圖2)，吸氣軟管7的出口區(qū)9的壓力約為0.1bar。一條長度約為4米、內(nèi)徑約為0.4mm的吸氣軟管7就具有所要求的節(jié)流作用。在一條這樣的吸氣軟管中，氣體流量約為0.4mbar/L/S。當(dāng)吸氣軟管7較長時(shí)，就必需采用較大的內(nèi)徑，而在吸氣軟管較短時(shí)，則要選用較小的內(nèi)徑。
另外，在高真空泵4和預(yù)真空泵6之間的連接5上，通過一個(gè)閥17還連接著一個(gè)檢測泄漏點(diǎn)18。由于吸氣軟管7的特殊性能，檢漏儀的校準(zhǔn)工作完全可以由內(nèi)裝的檢測泄漏點(diǎn)18來完成，因而不再需要用一個(gè)外部檢測泄漏點(diǎn)來校準(zhǔn)檢漏儀。
權(quán)利要求
1.對(duì)流式嗅敏檢漏儀(1)，它包括一個(gè)作為檢測器的質(zhì)譜儀(3)，一個(gè)在對(duì)流中有檢測氣體流過的高真空泵(4、13)或高真空泵級(jí)(14)，一個(gè)連接在高真空泵或高真空泵級(jí)的出口側(cè)的吸氣軟管(7)，以及一個(gè)在吸氣軟管(7)的入口區(qū)(8)的大氣壓與吸氣軟管的出口區(qū)(9)的壓力之間保持壓力差的節(jié)流閥；其特征在于至少吸氣軟管(7)的一段，最好是吸氣軟管(7)的全部要這樣設(shè)計(jì)，使其達(dá)到所要求的節(jié)流作用。
2.如權(quán)利要求1的檢漏儀，其特征在于檢漏儀(1)的入口(2)與連接管(5)連接，該連接管將高真空泵(4)與預(yù)真空泵(6)連接。
3.如權(quán)利要求2的檢漏儀，其特征在于高真空泵(4)是一個(gè)渦流分子泵(13)。
4.如權(quán)利要求1的檢漏儀，其特征在于高真空泵(4)有兩級(jí)(14、15)，它們裝備有一個(gè)接頭(16)，該接頭(16)接通兩級(jí)(14、15)之間的中間區(qū)；檢漏儀(1)的入口(2)與高真空泵(4)的接頭(16)是可連通的。
5.如權(quán)利要求1至4之一的檢漏儀，其特征在于在高真空泵(4)和預(yù)真空泵(6)之間的連接管(5)上連接有一個(gè)檢測泄漏點(diǎn)(18)。
6.如權(quán)利要求1至5之一的檢漏儀，其特征在于上述吸氣軟管(7)的長度為4米，內(nèi)徑為0.4mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種對(duì)流式嗅敏檢漏儀，它包括一個(gè)作為檢測器的質(zhì)譜儀，一個(gè)在對(duì)流中有檢測氣體流過的高真空泵或高真空泵級(jí)，一個(gè)連接在高真空泵或高真空泵級(jí)的出口側(cè)的吸氣軟管，以及一個(gè)在吸氣軟管的入口區(qū)的大氣壓與吸氣軟管的出口區(qū)的壓力之間保持壓力差的節(jié)流閥。為了改進(jìn)其靈敏度和反應(yīng)時(shí)間，至少吸氣軟管的一段、最好是其全部要這樣設(shè)計(jì)，使其達(dá)到所要求的節(jié)流作用。
文檔編號(hào)G01M3/04GK1130757SQ9511991
公開日1996年9月11日 申請(qǐng)日期1995年11月20日 優(yōu)先權(quán)日1994年12月22日
發(fā)明者托馬斯·伯姆 申請(qǐng)人:萊波爾德股份公司