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專利名稱：數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)及校準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于轉(zhuǎn)角傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種數(shù)字電容式轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)系統(tǒng)及校準(zhǔn)方法。
背景技術(shù)：
電容式轉(zhuǎn)角傳感器因其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量精度高，靈敏，適合動(dòng)態(tài)測(cè)量等特點(diǎn)，而廣泛應(yīng)用于角度監(jiān)控的汽車、航天、軍事設(shè)備的儀器儀表中。近十年來(lái)，國(guó)內(nèi)外許多學(xué)者對(duì)其進(jìn)行了大量研究，顯著成果是1996年Brasseur等人提出了一種新測(cè)量原理的電容式轉(zhuǎn)角傳感器的，被稱為比例測(cè)量原理(參見(jiàn)G.Brasseur，A Robust CapacitiveAngular Position Sensor，in IEEE Conference on Instrumentation and MeasurementTechnology(IMTC/96)，Brussels，Belgium，June 4-61996，pp.1081-1086)，該原理同時(shí)具有比例特性和差動(dòng)特性，可以抵消相當(dāng)程度的放大器增益誤差和系統(tǒng)誤差，且在一定范圍內(nèi)能夠消除機(jī)械安裝誤差，可從理論上克服一定程度的環(huán)境溫度、濕度、生、露對(duì)傳感器產(chǎn)生的不良影響。天津大學(xué)在此基礎(chǔ)上，研制了一種測(cè)量范圍180°的轉(zhuǎn)動(dòng)極板為金屬材質(zhì)且為電氣懸空設(shè)計(jì)的數(shù)字式電容轉(zhuǎn)角傳感器(參見(jiàn)徐英等人的發(fā)明專利申請(qǐng)CN200510013574和CN200510013575)，與前者相比，不同之處在于，傳感器轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)動(dòng)極板彼此電氣絕緣，即轉(zhuǎn)動(dòng)極板處于懸空狀態(tài)，材料均為低膨脹特性材料。其優(yōu)勢(shì)在于懸空設(shè)計(jì)的金屬轉(zhuǎn)動(dòng)極板不僅可以使得相同尺寸結(jié)構(gòu)的敏感元件有效測(cè)量電容值和靈敏度得到提高，同時(shí)懸空設(shè)計(jì)的另一個(gè)直接作用是取代電刷設(shè)計(jì)，消除機(jī)械磨損，提高可靠性，延長(zhǎng)了傳感器的使用壽命。
然而，由于目前加工工藝水平和材料特性等方面的限制，轉(zhuǎn)動(dòng)極板懸空設(shè)計(jì)的比例式電容轉(zhuǎn)角傳感器的品質(zhì)指標(biāo)，如基本誤差、線性度及標(biāo)準(zhǔn)不確定度等尚待提高，鑒于此，需要研究一種適于比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器校準(zhǔn)的全自動(dòng)精密角度校準(zhǔn)系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，尤其是比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，提供一種全自動(dòng)精密角度校準(zhǔn)系統(tǒng)，并提供一種此種系統(tǒng)采用的校準(zhǔn)方法，以改善數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的基本誤差、線性度和標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
本發(fā)明的全自動(dòng)精密角度校準(zhǔn)系統(tǒng)的技術(shù)方案如下一種比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)系統(tǒng)，用于校準(zhǔn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，包括機(jī)箱、步進(jìn)電機(jī)及其傳動(dòng)軸、高精度光柵轉(zhuǎn)角傳感器，光柵轉(zhuǎn)角傳感器安裝在傳動(dòng)軸上，與步進(jìn)電機(jī)同步轉(zhuǎn)動(dòng)；傳動(dòng)軸延伸至機(jī)箱外部，在機(jī)箱外部的傳動(dòng)軸上設(shè)置定位機(jī)構(gòu)，用于安裝待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器；上位機(jī)通過(guò)與步進(jìn)電機(jī)相連的接口部件輸出控制信號(hào)，控制步進(jìn)電機(jī)的啟、停及轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步進(jìn)角度；上位機(jī)還通過(guò)通信接口分別與待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器和光柵轉(zhuǎn)角傳感器相互連接，采樣兩傳感器的角度信號(hào)值，以光柵轉(zhuǎn)角傳感器的輸出角度為標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到擬合公式并存儲(chǔ)，而后將擬合公式下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)。
本發(fā)明還提供一種此種校準(zhǔn)系統(tǒng)所采用的校準(zhǔn)方法，包括下列步驟(1)利用定位機(jī)構(gòu)將待校準(zhǔn)的數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器安裝在校準(zhǔn)系統(tǒng)的傳動(dòng)軸上；(2)上位機(jī)控制電機(jī)的起停、轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步進(jìn)角度；(3)光柵轉(zhuǎn)角傳感器將測(cè)得的傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度值傳送給上位機(jī)；(4)電容轉(zhuǎn)角傳感器將測(cè)得的傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度值傳送給上位機(jī)；(5)上位機(jī)以光柵轉(zhuǎn)角傳感器的輸出角度為標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到擬合公式并存儲(chǔ)；(6)上位機(jī)將擬合公式下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)。
上述技術(shù)方案采用的校準(zhǔn)方法，還包括下列步驟上位機(jī)分別在步驟(1)至(6)的前后采集比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值，并與光柵轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值相比較，計(jì)算基本誤差、線性度以及校正后的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
根據(jù)電容轉(zhuǎn)角傳感器樣機(jī)校準(zhǔn)前后的基本誤差和線性度的比較，以及校準(zhǔn)后的電容轉(zhuǎn)角傳感器的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分析可知，采用本發(fā)明的校準(zhǔn)系統(tǒng)和校準(zhǔn)方法，可有效地提升被測(cè)對(duì)象的品質(zhì)指標(biāo)。由于校準(zhǔn)過(guò)程全部實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化，因此工作效率令人滿意。另外，本系統(tǒng)不僅可以作為基于比例式的數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)工具，同時(shí)，只需略加改造外部定位裝配機(jī)構(gòu)，即可作為其它測(cè)量原理的且具有電信號(hào)輸出的角度傳感器的校準(zhǔn)裝置，具有較好的通用性。


圖1采用本發(fā)明的校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)框圖；圖2光柵轉(zhuǎn)角傳感器原理圖；圖中標(biāo)記1傳動(dòng)軸；2光碼盤；3狹縫；4透鏡；5發(fā)光元件；圖3光柵轉(zhuǎn)角傳感器脈沖輸出；圖4判相規(guī)則；圖5校準(zhǔn)前后電容轉(zhuǎn)角傳感器基本誤差比較；圖6校準(zhǔn)前后電容轉(zhuǎn)角傳感器線性度比較；
圖7校準(zhǔn)后電容轉(zhuǎn)角傳感器標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳述。
系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)框圖如圖1所示，被校傳感器即比例式電容轉(zhuǎn)角傳感器、標(biāo)準(zhǔn)傳感器即高精度光柵轉(zhuǎn)角傳感器與系統(tǒng)的動(dòng)力驅(qū)動(dòng)單元即步進(jìn)電機(jī)嚴(yán)格同軸1安裝，且同步轉(zhuǎn)動(dòng)；電容轉(zhuǎn)角傳感器、光柵轉(zhuǎn)角傳感器均通過(guò)RS232通信接口與上位機(jī)交換數(shù)據(jù)；步進(jìn)電機(jī)的啟、停及正反方向的轉(zhuǎn)動(dòng)均由上位機(jī)軟件通過(guò)控制作為接口部件的PCI總線接口卡，輸出開(kāi)關(guān)量實(shí)現(xiàn)，上位機(jī)同時(shí)完成數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理、數(shù)據(jù)庫(kù)管理、報(bào)表輸出等功能。在結(jié)構(gòu)布局上，步進(jìn)電機(jī)和光柵轉(zhuǎn)角傳感器均被封裝在一個(gè)不銹鋼機(jī)箱內(nèi)，屏蔽電磁干擾，其下裝有機(jī)座，消除環(huán)境震動(dòng)干擾對(duì)測(cè)量精度的影響。比例式電容轉(zhuǎn)角傳感器為校準(zhǔn)對(duì)象，由定位機(jī)構(gòu)裝配在機(jī)箱外，方便拆卸。
有關(guān)比例式電容轉(zhuǎn)角傳感器的結(jié)構(gòu)和角度計(jì)算方法等內(nèi)容，可參見(jiàn)徐英等人的發(fā)明專利申請(qǐng)CN200510013574和CN200510013575。
利用光柵轉(zhuǎn)角傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)傳感器是因?yàn)槠渚哂絮r明的高精度技術(shù)指標(biāo)優(yōu)勢(shì)。系統(tǒng)中選用了日本原裝LFA小型高精度光柵轉(zhuǎn)角傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)，每轉(zhuǎn)一周可輸出25000個(gè)脈沖，分辨率達(dá)0.014°。其原理如圖2所示。光源經(jīng)凸透鏡4聚焦入射至圓形光碼盤2，再經(jīng)狹縫3濾出至接收元件，光電轉(zhuǎn)換將旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度轉(zhuǎn)換成相位差90°的兩路電脈沖信號(hào)(A、B)輸出，送入智能處理單元中，由軟件編程實(shí)現(xiàn)換向的判定與角度的計(jì)算。換向的判定由A與B的相序與電平?jīng)Q定，并通過(guò)累加A或B的下降沿個(gè)數(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)角度的計(jì)算。上位機(jī)通過(guò)RS232串口通訊獲取光柵轉(zhuǎn)角傳感器的角度值。
光柵轉(zhuǎn)角傳感器輸出波形如圖3所示，A、B相位差90°，輸出脈沖數(shù)相同。
計(jì)數(shù)規(guī)則正轉(zhuǎn)，計(jì)數(shù)值遞增；反轉(zhuǎn)，計(jì)數(shù)值遞減；轉(zhuǎn)動(dòng)停止后，計(jì)數(shù)器值表示正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)的角位移量。本光柵轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)一周后輸出脈沖為25000，若計(jì)數(shù)器值為n，則轉(zhuǎn)過(guò)的角度為360×(n/25000)＝0.0144×n。
判向規(guī)則如圖4所示，若轉(zhuǎn)動(dòng)方向始終不變，則A、B相位關(guān)系保持90°，當(dāng)發(fā)生換向時(shí)，相位關(guān)系相應(yīng)發(fā)生變化，相差0°或180°。因開(kāi)始計(jì)數(shù)時(shí)A、B的起始電位幅值不同(00，01，10，11)，由正轉(zhuǎn)換向至反轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)出現(xiàn)4個(gè)換向點(diǎn)；反之，由反轉(zhuǎn)切換為正轉(zhuǎn)，同樣會(huì)出現(xiàn)4個(gè)換向點(diǎn)。本設(shè)計(jì)中利用軟件分析相位，節(jié)省了硬件開(kāi)銷，即當(dāng)B為下降沿時(shí)，A的狀態(tài)表明了轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)方向，A＝0時(shí)正轉(zhuǎn)；A＝1時(shí)反轉(zhuǎn)。
為進(jìn)行精密的轉(zhuǎn)角控制，本系統(tǒng)中選用了北京電機(jī)廠的一款步進(jìn)電機(jī)作為執(zhí)行元件和驅(qū)動(dòng)源，最小步進(jìn)角0.05°，采用恒流斬波脈寬調(diào)壓驅(qū)動(dòng)方式，動(dòng)態(tài)性能良好，相序信號(hào)經(jīng)多級(jí)處理，增強(qiáng)了驅(qū)動(dòng)電源的抗干擾能力，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，短路保護(hù)快，具有過(guò)壓、過(guò)熱保護(hù)措施，可靠性、侍服性和可控性很高。另外，該驅(qū)動(dòng)器的體積小，重量輕，適合本系統(tǒng)要求。
上位機(jī)為PC機(jī)，利用C語(yǔ)言編程實(shí)現(xiàn)功能。
比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)，采用如下的校準(zhǔn)步驟(1)上位機(jī)通過(guò)開(kāi)關(guān)量PCI卡控制步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向、速度及角度，并控制與電容及光柵轉(zhuǎn)角傳感器的串口通訊，以獲取角度檢測(cè)值。實(shí)驗(yàn)次數(shù)1次(正反2個(gè)行程)，每隔10°為一個(gè)采樣點(diǎn)，范圍0°～170°，正反行程共計(jì)36個(gè)采樣點(diǎn)；(2)上位機(jī)根據(jù)采樣數(shù)據(jù)描繪曲線；(3)利用最小二乘法擬合采樣數(shù)據(jù)曲線(3階或5階擬合)；(4)計(jì)算擬合曲線精度，當(dāng)最大誤差小于0.5％時(shí)，將擬合公式的數(shù)學(xué)模型存入數(shù)據(jù)庫(kù)；同時(shí)將其下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)該傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)；(5)為進(jìn)一步驗(yàn)證具有校正計(jì)算模型的電容轉(zhuǎn)角傳感器的精度是否得到有效提高，需對(duì)其進(jìn)行檢定。該過(guò)程實(shí)驗(yàn)每隔10°為一個(gè)采樣點(diǎn)，范圍5°～175°，單行程18個(gè)采樣點(diǎn)。檢定次數(shù)增加至3次(正反6個(gè)行程)。
(6)上位機(jī)分別在校準(zhǔn)前后采集比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值，并分別與光柵轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值相比對(duì)，計(jì)算校準(zhǔn)前后的基本誤差、線性度以及校正后的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
評(píng)價(jià)指標(biāo)主要包括基本誤差、線性度和標(biāo)準(zhǔn)不確定度，公式如下●基本誤差 其中，θc-begin、θg-begin——電容及光柵轉(zhuǎn)角傳感器起始角度；θci、θgi——兩者當(dāng)前檢測(cè)角度；180——為電容轉(zhuǎn)角傳感器的量程范圍。
●線性度ζi＝[(θgi-θgi-1)-(θci-θci-1)]/180(2)其中，下標(biāo)i和i-1分別表示本次與上次的測(cè)量；●標(biāo)準(zhǔn)不確定度σr,θj‾=σ180=1n-1Σk=1n(θjk-θj‾)2180×100%---(3)]]>其中， 為第j個(gè)角度測(cè)量值的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度；θjk為第j個(gè)角度測(cè)量值的第k次采樣值； 為第j個(gè)角度測(cè)量值的平均值；n為第j個(gè)角度測(cè)量值采樣總數(shù)，實(shí)驗(yàn)中取10。
校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)分別對(duì)若干臺(tái)電容轉(zhuǎn)角傳感器進(jìn)行。選擇一臺(tái)樣機(jī)進(jìn)行分析，校準(zhǔn)前后，亦即校正與檢定實(shí)驗(yàn)的基本誤差及線性度分別如圖5、6所示。校準(zhǔn)后電容轉(zhuǎn)角傳感器的標(biāo)準(zhǔn)不確定度如圖7所示。分析如下●圖5從分布上看，校準(zhǔn)后的基本誤差明顯好于校準(zhǔn)前，平均值從2％降低到約0.2％，幾乎提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)；最大值由4.4％降至0.7％；●圖6線性度指標(biāo)亦有所改善，平均值由校準(zhǔn)前的0.58％降至校準(zhǔn)后的0.22％，最大值也降低了1％；圖7校準(zhǔn)后的電容轉(zhuǎn)角傳感器的標(biāo)準(zhǔn)不確定度在0.16％～0.25％之間波動(dòng)，平均值為0.2％。
如果檢定結(jié)果表明校準(zhǔn)后的電容轉(zhuǎn)角傳感器品質(zhì)指標(biāo)仍然較差，一般是由機(jī)械故障引起的，需要重新檢查電容轉(zhuǎn)角傳感器內(nèi)部是否存在有裝配方面的問(wèn)題，重新安裝后，再進(jìn)行一次校準(zhǔn)和檢定。
權(quán)利要求
1.一種比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)系統(tǒng)，用于校準(zhǔn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，包括機(jī)箱、步進(jìn)電機(jī)及其傳動(dòng)軸、高精度光柵轉(zhuǎn)角傳感器，光柵轉(zhuǎn)角傳感器安裝在傳動(dòng)軸上，與步進(jìn)電機(jī)同步轉(zhuǎn)動(dòng)；傳動(dòng)軸延伸至機(jī)箱外部，在機(jī)箱外部的傳動(dòng)軸上設(shè)置定位機(jī)構(gòu)，用于安裝待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器；上位機(jī)通過(guò)與步進(jìn)電機(jī)相連的接口部件輸出控制信號(hào)，控制步進(jìn)電機(jī)的啟、停及轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步進(jìn)角度；上位機(jī)還通過(guò)通信接口分別與待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器和光柵轉(zhuǎn)角傳感器相互連接，采樣兩傳感器的角度信號(hào)值，以光柵轉(zhuǎn)角傳感器的輸出角度為標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到擬合公式并存儲(chǔ)，而后將擬合公式下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)。
2.一種權(quán)利要求1所述的校準(zhǔn)系統(tǒng)所采用的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器校準(zhǔn)方法，包括下列步驟(1)利用定位機(jī)構(gòu)將待校準(zhǔn)的數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器安裝在校準(zhǔn)系統(tǒng)的傳動(dòng)軸上；(2)上位機(jī)控制電機(jī)的起停、轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步進(jìn)角度；(3)光柵轉(zhuǎn)角傳感器將測(cè)得的傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度值傳送給上位機(jī)；(4)電容轉(zhuǎn)角傳感器將測(cè)得的傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度值傳送給上位機(jī)；(5)上位機(jī)以光柵轉(zhuǎn)角傳感器的輸出角度為標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到擬合公式并存儲(chǔ)；(6)上位機(jī)將擬合公式下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的校準(zhǔn)方法，其特征在于，還包括下列步驟上位機(jī)分別在步驟(1)至(6)的前后采集比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值，并與光柵轉(zhuǎn)角傳感器的轉(zhuǎn)角測(cè)量值相比較，計(jì)算基本誤差、線性度以及校正后的標(biāo)準(zhǔn)不確定度。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種數(shù)字電容式轉(zhuǎn)角傳感器的校準(zhǔn)系統(tǒng)及校準(zhǔn)方法。本發(fā)明提供的一種比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，用于校準(zhǔn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，包括機(jī)箱、步進(jìn)電機(jī)及其傳動(dòng)軸、高精度光柵轉(zhuǎn)角傳感器，光柵轉(zhuǎn)角傳感器安裝在傳動(dòng)軸上，與步進(jìn)電機(jī)同步轉(zhuǎn)動(dòng)；傳動(dòng)軸延伸至機(jī)箱外部，在機(jī)箱外部的傳動(dòng)軸上設(shè)置定位機(jī)構(gòu)，用于安裝待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器；上位機(jī)通過(guò)與步進(jìn)電機(jī)相連的接口部件輸出控制信號(hào)，控制步進(jìn)電機(jī)的啟、停及轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步進(jìn)角度；上位機(jī)還通過(guò)通信接口分別與待校準(zhǔn)的比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器和光柵轉(zhuǎn)角傳感器相互連接，采樣兩傳感器的角度信號(hào)值，以光柵轉(zhuǎn)角傳感器的輸出角度為標(biāo)準(zhǔn)并進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合，得到擬合公式并存儲(chǔ)，而后將擬合公式下載至數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器，實(shí)現(xiàn)比例式數(shù)字電容轉(zhuǎn)角傳感器的自動(dòng)校準(zhǔn)。采用本發(fā)明的校準(zhǔn)系統(tǒng)和方法，可提升被校準(zhǔn)對(duì)象的品質(zhì)指標(biāo)，且校準(zhǔn)過(guò)程全部實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化，效率高。
文檔編號(hào)G01D5/24GK1975343SQ20061013015
公開(kāi)日2007年6月6日 申請(qǐng)日期2006年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月14日
發(fā)明者徐英, 張濤 申請(qǐng)人:天津大學(xué)