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基板檢測裝置的制作方法

時間:2023-11-05    作者: 管理員

專利名稱:基板檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種基板檢測裝置,更特別涉及一種檢測基板背面的裝置。
背景技術(shù)
在封裝技術(shù)領(lǐng)域中,為使芯片固定于基板上,常在芯片背面涂布一層銀膠, 并烘烤使其固化,以使芯片能牢固地附著于基板上。在某些時候,當(dāng)銀膠尚未 烘烤固化完全時,基板背面常需要檢測,以了解是否有缺陷。目前所使用的檢 測方式,是將基板翻轉(zhuǎn)以讓人員能夠清楚地看到基板背面的情況,從而了解是 否有缺陷。然而,當(dāng)銀膠尚未完全固化時,翻轉(zhuǎn)基板常會造成芯片的偏移。
因此,便需要提供一種基板檢測裝置,以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種基板檢測裝置,可讓檢測員無須翻轉(zhuǎn)基板即可 清楚地看到基板背面,從而避免因黏膠尚未固化而造成因翻轉(zhuǎn)基板導(dǎo)致芯片偏 移的問題。
為達到上述目的,本發(fā)明的基板檢測裝置包括底座以及由底座向上延伸的 兩相對支撐件,兩支撐件共同界定出觀測開口及檢測開口。承置架跨設(shè)于兩支 撐件上,并圍構(gòu)出該檢測開口,使得當(dāng)待測的基板以正面朝上的方式放置于承 置架上時,基板背面待檢測的部分將露出檢測開口。在承置架的下方設(shè)置有反
射鏡,該反射鏡位于兩支撐件之間,并可繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn);位于支撐件上的旋鈕 則可調(diào)整反射鏡的反射面的轉(zhuǎn)動角度,以使基板背面的影像能從觀測開口反射 出,以方便檢測員觀察,由此檢測基板背面的缺陷。此外,本發(fā)明的基板檢測 裝置還包括光源,用來照亮露出承置架開口的基板背面,以使檢測員能夠更清楚地看到基板背面的缺陷。
本發(fā)明的基板檢測裝置可讓檢測員無須翻轉(zhuǎn)基板即可清楚地看到基板背 面,從而避免因黏膠尚未固化而造成因翻轉(zhuǎn)基板導(dǎo)致芯片偏移的問題。
為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點能更明顯,下文將結(jié)合附 圖,作詳細說明如下。


圖1為本發(fā)明的基板檢測裝置的立體圖。
圖2表示待檢測的基板放置于本發(fā)明的基板檢測裝置上。
主要組件符號說明
100:基板檢測裝置,110:底座,120:支撐件,122:頂面, 130:承置架,131:檢測開口,132:桿件,133:觀測開口, 134:凹部,136:突起部分,138:缺口,140:反射鏡, 142:反射面,150:光源,160:旋鈕,170:固定件, 180:旋轉(zhuǎn)軸,190:片狀結(jié)構(gòu)。
具體實施例方式
參考圖1,本發(fā)明的基板檢測裝置100包括底座110以及兩個由底座100向 上延伸的相對支撐件120,兩支撐件120共同界定出觀測開口 133及檢測開口 131。在兩支撐件120之間設(shè)置有反射鏡140,并且反射鏡140可繞旋轉(zhuǎn)軸180 旋轉(zhuǎn),設(shè)置在支撐件120上的旋鈕160則可調(diào)整反射鏡140的反射面142的轉(zhuǎn) 動角度。
參考圖2,當(dāng)欲檢測基板的背面時,先將基板210以背面朝下的方式置于兩 支撐件120之間,并使基板210位于檢測開口 131中,檢測員可轉(zhuǎn)動旋鈕160 調(diào)整反射鏡的反射面142的轉(zhuǎn)動角度,以使基板210背面的影像能由觀測開口 133反射出,以方便檢測員觀察,由此檢測基板210背面的缺陷。
再參考圖1與圖2,為使基板210能夠放置于支撐件120上的固定位置,本發(fā)明的基板檢測裝置100優(yōu)選還包括承置架130,該承置架設(shè)置于反射鏡140的 上方,并跨設(shè)于兩支撐件120的頂面122,同時圍構(gòu)出該檢測開口 131。檢測時 檢測員可將基板210放置于承置架130上,因此基板210會很自然地露出檢測 開口 131。另外,為讓檢測員能清楚地看到具有不同顏色的基板背面,兩支撐件 120之間還包括光源150,用來照亮露出檢測開口 131的基板背面,以使檢測員 能透過觀測開口 133,更清楚地看到基板背面的缺陷。
由于絕大部分的基板都呈矩形,因此,承置架130優(yōu)選以兩根相互平行的 桿件132構(gòu)成,各桿件132的兩端分別設(shè)置在兩支撐件120上。當(dāng)基板以背面 朝下的方式置于兩桿件132上時,基板背面待檢測的部分會很自然地暴露出。 為使基板能夠穩(wěn)固地置于桿件132上,兩桿件132的相對側(cè)的上表面形成有平 行桿件132的凹部134,檢測員可將基板的相對兩側(cè)放在凹部134上。由于桿件 132的凹部134的旁邊為突起部分136,因此基板可受所述兩突起部分136的阻 擋,從而不致因晃動而從桿件132上滑出。
為使桿件132的凹部134能夠容納不同大小的基板,至少一個桿件132為 可滑動地設(shè)置于支撐件120的頂面122上,以使兩桿件132間的距離可以調(diào)整。 當(dāng)兩桿件132間的距離調(diào)整適當(dāng)后,可通過設(shè)置在可滑動桿件132上的固定件 170將該可滑動桿件132固定在支撐件120上。固定件170可為例如旋鈕,利用 將所述旋鈕旋緊可使該可滑動桿件132固定于支撐件120上。此外,各桿件132 的中央處的突起部分136上還設(shè)置有通至凹部134的缺口 138,檢測員僅需以兩 個指頭穿過缺口 138即可輕松地將基板從桿件132上提起。為避免光源150所 射出的光束干擾他人的作業(yè),支撐件120優(yōu)選為兩相對的片狀結(jié)構(gòu),并與另外 兩個設(shè)置于底座100上的片狀結(jié)構(gòu)190,共同將光源150圈圍住。
本發(fā)明的基板檢測裝置可讓檢測員無須翻轉(zhuǎn)基板即可清楚地看到基板背 面,從而避免因黏膠尚未固化而造成因翻轉(zhuǎn)基板導(dǎo)致芯片偏移的問題。
雖然本發(fā)明已經(jīng)以上述優(yōu)選實施方式揭示,但是其并非用以限制本發(fā)明, 任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下,可作出各種變 動與修改。因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以后附的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢測裝置,包括底座;兩個支撐件,所述兩個支撐件由該底座向上延伸并相對設(shè)置,并且界定出觀測開口及檢測開口,當(dāng)待檢測的基板放置于所述兩個支撐件之間時,該基板位于該檢測開口中;及反射鏡,所述反射鏡設(shè)置于所述兩個支撐件之間,并可繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),以將該檢測開口中的基板影像反射至該觀測開口。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置,其中,所述兩個支撐件上還設(shè)置有 承置架,該承置架跨設(shè)于所述兩個支撐件之間,以在所述兩個支撐件間圍構(gòu)出 該檢測開口。
3. 如權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置,其中,該待檢測的基板以正面朝上 的方式放置于該承置架上,該反射鏡通過該檢測開口接收該待檢測基板的背面 影像。
4. 如權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置,還包括光源,所述光源設(shè)置于所述兩個支撐件之間,用以照亮待檢測基板的背面。
5. 如權(quán)利要求l所述的基板檢測裝置,還包括旋鈕,所述旋鈕設(shè)置于其中一個支撐件上,用以控制該反射鏡繞該旋轉(zhuǎn)軸 旋轉(zhuǎn)的角度。
6. 如權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置,其中,該承置架由兩個相互平行的 桿件構(gòu)成,各桿件跨設(shè)于所述兩個支撐件上。
7. 如權(quán)利要求6所述的基板檢測裝置,其中,所述兩個桿件的相對側(cè)的上 表面形成有平行于各桿件的凹部。
8. 如權(quán)利要求6所述的基板檢測裝置,其中,所述兩個桿件中的其中一個可在所述支撐件上移動,以調(diào)整兩桿件間的距離。
9. 如權(quán)利要求8所述的基板檢測裝置,其中,該可移動的桿件可滑動地設(shè) 置于所述支撐件上。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板檢測裝置,還包括兩個旋鈕,所述兩個旋鈕分別用以將該可滑動的桿件固定于所述兩個支撐
11. 如權(quán)利要求6所述的基板檢測裝置,其中,各桿件中央處的上表面形 成有通至所述凹部的缺口。
12. 如權(quán)利要求4所述的基板檢測裝置,其中,所述兩個支撐件為相對設(shè) 置于該底座的第一片狀結(jié)構(gòu),該基板檢測裝置還包括兩個設(shè)置于該底座上的第 二片狀結(jié)構(gòu),所述第二片狀結(jié)構(gòu)與所述第一片狀結(jié)構(gòu)共同將光源圈圍住。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢測裝置,待檢測的基板放置于支撐件上,并通過調(diào)整位于基板下方的反射鏡的反射角度,使基板底面的缺陷能通過反射鏡的反射被檢測員看見,從而避免了因翻轉(zhuǎn)基板而導(dǎo)致尚未固著于基板正面的芯片偏移。
文檔編號G01R31/28GK101285783SQ20071009822
公開日2008年10月15日 申請日期2007年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
發(fā)明者周美惠, 林煜斌, 王政宏, 蘇振平, 鄭益騏 申請人:華泰電子股份有限公司

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