老化板的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種老化板，包括：板體和多個適配板，所述適配板包括一面以及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針，所述適配板通過所述多個第一探針與所述板體連接，所述另一面上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。所述適配板上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配，從而可以實現不同的封裝類型的被測樣品共用一塊老化板，實現老化板的通用，并且可以快速的從一種封裝類型的被測樣品轉換成另一種封裝類型的被測樣品。
【專利說明】老化板
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造設備【技術領域】，尤其是一種老化板。
【背景技術】
[0002]為了達到滿意的合格率，幾乎所有的產品在出廠前都要進行老化測試。與其他產品一樣，半導體器件隨時都有可能因為各種原因而出現故障，老化就是籍由讓半導體器件在給定的超負荷狀態下工作而使其缺陷在較短的時間內出現，避免再使用早期發生故障。
[0003]老化之后的器件基本上要求100%消除在這段時間內所產生的故障。
[0004]老化源于半導體器件的使用壽命曲線，其主要故障較多地出現在其壽命開始十分之一階段和最后十分之一階段。老化就是加快器件在其壽命前10%部分的過程，迫使早期故障盡可能在較短的時間內出現。
[0005]由于器件制造商對所生產器件的制程更清楚，因此，器件老化更多的是在器件廠家方完成，廠家需要面對巨量的器件測試，因此，在老化的時候，為了提高產品的產量，最好是能夠同時對盡可能多的器件做老化。為了滿足這一要求，可把多個器件裝在一個大的印刷電路板上進行老化，這個電路板通常被稱為老化板。
[0006]被測樣品與所述老化板連接，所述老化板與老化機臺連接，從而使得被測樣品與所述老化機臺連接，對被測樣品進行可靠性評估。在現有技術中，被測樣品的一種封裝類型對應一種老化板，根據不同的封裝類型制作不同的老化板，若被測樣品不能被封裝成現有的老化板所支持的封裝類型，只能重新制作新的老化板，否則將不能進行老化測試。
實用新型內容
[0007]本實用新型的目的在于提供一種老化板，以解決現有老化板不能通用的問題。
[0008]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種老化板，包括:板體和多個適配板，所述適配板包括一面以及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針，所述適配板通過所述多個第一探針與所述板體連接，所述另一面上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。
[0009]優選的，在上述的老化板中，所述多組第二探針呈回字形分布于所述適配板上。
[0010]優選的，在上述的老化板中，所述適配板上設置有兩組所述第二探針，分別為第一組第二探針和第二組第二探針。
[0011 ] 優選的，在上述的老化板中，所述適配板還設置有多個多端探針插槽，所述多個多端探針插槽分為兩組，分別為第一組多端探針插槽和第二組多端探針插槽。
[0012]優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽呈回字形，且環繞在所述第二組第二探針外側。
[0013]優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽位于靠近所述第二組第二探針一側，所述第二組多端探針插槽位于背離所述第二組第二探針一側。
[0014]優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽的個數與所述第二組第二探針的個數相等。
[0015]優選的，在上述的老化板中，每根所述第二組第二探針與相臨的第一組多端探針插槽連接。
[0016]優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽選擇性連接。
[0017]優選的，在上述的老化板中，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽通過跳線選擇性連接。
[0018]優選的，在上述的老化板中，所述多端探針插槽為五端探針插槽或者三端探針插槽。
[0019]在本實用新型提供的老化板中，所述適配板上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配，從而可以實現不同的封裝類型的被測樣品共用一塊老化板，實現老化板的通用，并且可以快速的從一種封裝類型的被測樣品轉換成另一種封裝類型的被測樣品。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型實施例中老化板的結構示意圖；
[0021]圖2為本實用新型實施例中適配板的剖視圖；
[0022]圖3為本實用新型實施例中適配板的俯視示意圖；
[0023]圖4為本實用新型實施例中適配板的第二組第二探針與兩個五端探針插槽的連接放大示意圖；
[0024]圖5為圖4中兩個五端探針插槽的放大結構示意圖；
[0025]圖6為本實用新型實施例中適配板的第二組第二探針中的一根探針接A端的放大結構示意圖；
[0026]圖中:101-板體；102-適配板；103-第一探針；104-第二探針；105-第一組第二探針；106_第二組第二探針；107_五端探針插槽。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合示意圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細的描述。根據下列描述并結合權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0028]本實用新型提供了一種老化板，如圖1和圖2所示，包括:板體101和多個適配板102，所述適配板102包括一面及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針103，所述適配板102通過所述多個第一探針103與所述板體101連接，所述另一面上設置有多組第二探針104，所述多組第二探針104分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。
[0029]較佳的，如圖3所示，所述多組第二探針104呈回字形分布于所述適配板102上。具體的，在本實施例中，所述適配板102上設置有兩組第二探針104，分別為第一組第二探針105和第二組第二探針106。所述第一組第二探針105和所述第二組第二探針106呈回字形分布于所述適配板102上，所述第一組第二探針105如圖3中較小虛線矩形所示，所述第二組第二探針106如兩個虛線矩形之間所示。具體的，所述第一組第二探針105和第二組第二探針106的每根針的信號與所述板體101上的信號一一對應，被測樣品通過所述第一組第二探針105和所述第二組第二探針106與所述適配板102連接，從而實現所述板體101與所述被測樣品的電氣連接。
[0030]進一步的，如圖3所示，所述適配板102上還設置有多個多端探針插槽107，所述多個多端探針插槽107分為兩組，分別為第一組多端探針插槽107a和第二組多端探針插槽107b。
[0031 ] 在圖3中，所述多端探針插槽107為五端探針插槽，但是所述多端探針插槽107并不限于為五端探針插槽，在本實用新型的其它實施例中，所述多端探針插槽107還可以為三端探針插槽。
[0032]所述第一組五端探針插槽107a和所述第二組五端探針插槽107b呈回字形，且環繞在所述第二組第二探針106外側，所述第一組五端探針插槽107a位于靠近所述第二組第二探針106 —側，所述第二組五端探針插槽107b位于背離所述第二組第二探針106 —側。
[0033]如圖5所示，所述第一組五端探針插槽107a的個數與所述第二組第二探針106的個數相等，每根所述第二組第二探針106與相臨的所述第一組五端探針插槽107a連接。
[0034]具體的，每根所述第二組第二探針106與相臨的所述第一組五端探針插槽107a的中心探針插槽連接，所述第一組五端探針插槽107a剩下的四個探針插槽與所述板體101上相應的信號--對應，在其它實施例中，所述五端探針插槽107除中心探針插槽外的的每個插槽的信號還可以根據實際需要進行定義，這是本領域技術人員常用的技術手段，在此不再贅述。
[0035]每個所述第一組多端探針插槽107a與所述第二組多端探針插槽107b選擇性連接，所述多端探針插槽107之間的連接是通過跳線將所述多端探針插槽107的中心探針插槽連接起來實現的。根據實際需要，每個所述第一組多端探針插槽107a可以通過跳線和任何一個所述第二組多端探針插槽107b連接。
[0036]結合圖5和圖6，若需要將所述第二組第二探針106中的一根探針106a接入到所述板體101的A端，在圖5中，一個所述第二組五端探針插槽107b’的一個插槽被定義與所述板體101的A端對應。首先利用跳線將所述第二組五端探針插槽107b’的中心探針插槽與定義為A端的探針插槽相連接，所述探針106a與和所述探針106a相鄰的所述第一組五端探針插槽107a’的中心插槽通過跳線連接，然后將所述第一組五端探針插槽107a’的中心插槽與第二組五端探針插槽107b’的中心探針插槽利用跳線連接起來，從而使得所述探針106a與A端連接，即利用跳線可以使得第二組第二探針106方便的連接所需要的信號，使用靈活。
[0037]同時，兩個五端探針插槽(107a’、107b’ )共有八個插槽，可以根據不同的封裝類型定義八個不同信號，根據不同封裝類型的需要連接不同的插槽即可，從而實現所述老化板在不同封裝類型之間的通用性。
[0038]綜上，在本實用新型提供的老化板中，所述適配板上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配，從而可以實現不同的封裝類型的被測樣品共用一塊老化板，實現老化板的通用，并且可以快速的從一種封裝類型的被測樣品轉換成另一種封裝類型的被測樣品。
[0039]上述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內，對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種老化板，其特征在于，包括:板體和多個適配板，所述適配板包括一面以及與所述一面相對的另一面，所述一面設置有多個第一探針，所述適配板通過所述多個第一探針與所述板體連接，所述另一面上設置有多組第二探針，所述多組第二探針分別與多種不同封裝類型的被測樣品匹配。
2.如權利要求1所述的老化板，其特征在于，所述多組第二探針呈回字形分布于所述適配板上。
3.如權利要求1所述的老化板，其特征在于，所述適配板上設置有兩組所述第二探針，分別為第一組第二探針和第二組第二探針。
4.如權利要求3所述的老化板，其特征在于，所述適配板還設置有多個多端探針插槽，所述多個多端探針插槽分為兩組，分別為第一組多端探針插槽和第二組多端探針插槽。
5.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽呈回字形，且環繞在所述第二組第二探針外側。
6.如權利要求5所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽位于靠近所述第二組第二探針一側，所述第二組多端探針插槽位于背離所述第二組第二探針一側。
7.如權利要求6所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽的個數與所述第二組第二探針的個數相等。
8.如權利要求7所述的老化板，其特征在于，每根所述第二組第二探針與相臨的第一組多端探針插槽連接。
9.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽選擇性連接。
10.如權利要求9所述的老化板，其特征在于，所述第一組多端探針插槽和所述第二組多端探針插槽通過跳線選擇性連接。
11.如權利要求4所述的老化板，其特征在于，所述多端探針插槽為五端探針插槽或者三端探針插槽。
【文檔編號】G01R31/00GK204241589SQ201420711767
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年11月24日 優先權日:2014年11月24日
【發明者】邵玲玲, 辛軍啟 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
