專利名稱：振動傳感器及導向裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及振動傳感器及導向裝置。尤其涉及根據靜電電容的變化檢測振動的振動傳感器及應用它的導向裝置。
背景技術：
以往已開發了使用駐極膜的振動傳感器。如
圖1所示，該振動傳感器在密閉的外殼30內設有形成了駐極膜的基板31，以及通過微小間隙與該基板31上的駐極膜相對設置的振動板32。這時基板31固定在外殼30內。電荷蓄積在基板31上的駐極膜和振動板32之間。在該傳感器中，振動板32用薄金屬板制成，且被支承成使其能容易振動。圖1所示的振動傳感器的原理是將由振動板32的振動產生的電荷量的變化作為電壓信號取出，以檢測加在該傳感器上的振動量。
即，如假定振動板32被固定，則振動傳感器與安裝振動傳感器的被檢測物體同時振動。由于振動傳感器與被檢測物體同時振動，所以基板31相對于振動板32振動。其結果是基板31和振動板32之間的靜電電容隨著基板31的振動而變化。該靜電電容的變化作為振動傳感器的檢測結果被輸出。在上述情況下，認為振動板32被固定，但如果考慮振動傳感器與被檢測物體一起被固定，則當然也可以認為振動板32隨加在振動傳感器上的振動而振動。不管在哪一種情況下，從外部加到被檢測物體上的振動或被檢測物體本身發生的振動，都由振動傳感器作為振動板32和信號板之間的靜電電容變化而被檢出。
這里，之所以將該基板31和振動板32封裝在密閉的外殼30內，是為了使振動板32不致由于從外部傳入的聲音而隨聲壓振動，而能準確地只檢測振動。即，如果振動板32對加在該傳感器上的聲音作出反應而振動時，就會與振動一起檢測出聲音，從而在振動傳感器的輸出中便包含了誤差成分。為了防止這種情況發生，就必須用外殼30大致密閉起來。圖2表示這種密閉型振動傳感器的聲壓頻率特性，由于采用將外殼30密閉的結構，所以只對較低頻率的聲音或聲壓作出反應，或者說對頻率較高的聲音或聲壓無反應。將振動傳感器用于導向裝置中時，很容易檢測出作為移動體的車輛發生的聲音，因此由于振動傳感器的誤差成分而不能正確地顯示出地圖上的位置，從而存在不能在地圖上表示出正確的位置等問題。
可是，由圖2所示特性可知，按這種結構，傳感器仍然對加在振動傳感器上的低頻聲壓有反應，造成輸出誤差。因此，在這種振動傳感器中考慮在振動板上設通孔。即當振動板對聲壓的響應如圖3中實線所示的狀態時，在振動板的中央部分設有通孔的情況下，如圖3虛線所示，能使對聲壓響應的最低頻率移到高頻。該對聲壓響應的最低頻率隨著通孔面積的增大而能移到更高頻率。
根據從外部加到振動板上的聲音，這樣設通孔，提高對聲壓響應的最低頻率，振動板只對比如圖2所示的上述密閉型振動傳感器的聲壓頻率特性示出的對低頻聲壓反應的頻帶高的頻率的聲壓作出反應。結果振動板只對加在傳感器上的振動作出反應而振動，能由輸出信號只檢測振動。
可是，如果這樣在振動板的中央部分設通孔，降低對低頻聲壓的響應動作，則作為振動傳感器的檢測靈敏度變壞，這樣不妥。即，假定無通孔的振動板對振動的檢測電平如圖4中的實線所示的狀態，則如果為了降低對低頻聲壓的靈敏度而設通孔，如圖4中虛線所示，檢測信號的輸出電平下降。該輸出電平的下降會隨著通孔面積的增大而增大。即，如果設通孔，則振動板和基板的相對面積相應地減少，駐極膜上的電荷利用率減少，檢測信號的輸出電平下降。
因此，原有的這種振動傳感器不太可能提高振動的檢測靈敏度。
發明的公開本發明就是鑒于這樣的問題而開發的，其目的在于提供一種具有能以高靈敏度只檢測振動的良好特性的振動傳感器及使用該振動傳感器的導向裝置。
發明第一方面是這樣一種振動傳感器，它備有基板、圓盤形的振動板和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承部、以及與上述支承部和上述振動部連結的可使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置，且使其與上述基板平行，與上述基板一起形成電容器；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或離開方向平行移動，該振動傳感器將振動變換為在上述振動板和上述基板之間形成的靜電電容變化，并將該變化作為檢測信號輸出。
發明第二方面是在發明第一方面的振動傳感器中，使上述多個彈性位移部從上述振動部的中心呈輻射狀地設置。因此振動板的振動狀態變好，能進行良好的振動檢測。
發明第三方面是在發明第二方面的振動傳感器中，在上述振動板上且在上述多個彈性位移部之間，設置用來消除加在上述振動傳感器上的聲壓的裝置。因此，聲音即使從外部傳到振動傳感器上，振動板也不振動，所以能良好地只檢測加在振動傳感器上的振動。
發明第四方面是在發明第三方面的振動傳感器中，上述消除裝置是由設置在上述多個彈性位移部之間的沿上述振動部的圓周方向配置的多個開口部構成的。因此，能良好地消除從外部施加的聲壓。
發明第五方面是在發明第一方面的振動傳感器中，上述保持裝置是以近似密閉狀態封裝上述基板和上述振動板、同時保持上述基板和上述振動板的上述支承部的外殼。因此，能防止灰塵等進入傳感器內部，同時振動板不會由于聲音加在振動傳感器上而隨聲壓振動，因而能良好地檢測振動。
發明第六方面是這樣一種振動傳感器，它備有基板、圓盤形的振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承部和與上述振動部及上述支承部連結且能使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或離開方向平行移動。因此，振動板隨加在該振動傳感器上的振動而振動，能檢測加在振動傳感器上的振動。
發明第七方面是在發明第六方面的振動傳感器中，上述多個彈性位移部從上述振動部的中心呈輻射狀地設置。因此，振動板能被支承成良好的振動狀態。
發明第八方面是在發明第七方面的振動傳感器中，在上述振動板上，且在上述多個彈性位移部之間分別形成開口部。因此，振動板能隨所加的振動而良好地振動，能良好地檢測振動。
發明第九方面是在發明第八方面的振動傳感器中，上述開口部沿上述振動部的圓周方向配置。因此，能更好地檢測振動。
發明第十方面是在發明第六方面的振動傳感器中，上述保持裝置是以近似密閉的狀態封裝上述基板和上述振動板、同時是一種保持上述基板和上述振動板的上述支承部的外殼。因此，能防止灰塵進入傳感器內部，同時振動板不會由于聲音加在振動傳感器上而隨聲壓振動，從而能良好地檢測振動。
發明第十一方面是這樣一種振動傳感器，它備有基板、圓盤形的振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承上述振動部可使其相對于上述基板平行移動的支承部、以及設在上述支承部和上述振動部之間的開口部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其平行于上述基板；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或離開方向平行移動。因此，振動板隨著加在該振動傳感器上的振動而振動，能檢測加在振動傳感器上的振動。
發明第十二方面是在發明第十一方面的振動傳感器中，將上述開口部沿上述振動板的圓周方向配置。因此，能良好地檢測振動。
發明第十三方面是在發明第十一方面的振動傳感器中，上述保持裝置是以近似密閉狀態封裝上述基板和上述振動板、同時保持上述基板和上述振動板的上述支承部的外殼。因此，能防止灰塵進入傳感器內部，同時振動板不會因聲音加到振動傳感器上而隨聲壓振動，能良好地檢測振動。
發明第十四方面是一種導向裝置，它備有檢測移動體的當前位置的位置檢測裝置、振動傳感器、讀出地圖數據使其再生的再生裝置、顯示來自上述再生裝置的地圖數據的顯示裝置、以及根據來自上述振動傳感器的輸出信號和/或來自上述位置檢測裝置的輸出信號控制上述再生裝置動作的控制裝置。上述振動傳感器備有基板、圓盤形振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承部、以及與上述振動部和支承部連結可使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移動，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或向離開方向平行移動。因此，能通過振動傳感器的檢測輸出判斷導向裝置的設置位置的振動狀態，能良好地進行導向裝置的動作控制。
發明第十五方面是這樣一種導向裝置，它備有檢測移動體的當前位置的位置檢測裝置、振動傳感器、讀出地圖數據使其再生的再生裝置、顯示來自上述再生裝置的地圖數據的顯示裝置、根據來自上述振動傳感器的輸出信號和/或來自上述位置檢測裝置的輸出信號控制上述再生裝置動作的控制裝置。上述振動傳感器備有基板、圓盤形的振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承上述振動部使其能相對于上述基板平行移動的支承部、以及設在上述振動部和上述支承部之間的開口部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置，且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近的方向或向離開的方向平行移動。因此，能根據振動傳感器的檢測輸出，判斷導向裝置的設置位置的振動狀態，能良好地進行導向裝置的動作控制。
附圖的簡單說明圖1是表示振動傳感器原理的斷面圖。
圖2是密閉型振動傳感器的聲壓頻率特性曲線圖。
圖3是表示帶孔振動板的聲壓響應的頻率特性曲線圖。
圖4是表示帶孔振動板的振動響應的頻率特性曲線圖。
圖5是本發明的一實施例的振動傳感器的斷面圖。
圖6是將一實施例的振動傳感器的主要部分拆開的斜視詳圖。
圖7是一實施例的振動傳感器的振動板的平面圖。
圖8是表示一實施例的振動傳感器等效電路的電路圖。
圖9是一實施例的振動傳感器的頻率特性曲線圖。
圖10是應用一實施例的振動傳感器的導向裝置的結構圖。
圖11是振動傳感器的變形例的平面圖。
實施發明用的最佳形態以下利用附圖詳細說明與本發明的實施例有關的振動傳感器。
圖5表示與實施例有關的振動傳感器的斷面。外殼1用鋁A1等材料制成圓筒狀，同時其一端是封閉的底部1b，另一端是敝開口的。該外殼1內封裝著圖6所示的各主要構成部件。膜片連接環2配置在后面所述的振動板和外殼1的底部1b之間，用合成樹脂材料等制成環狀。膜片連接環2具有與后面所述的振動板的支承部的內徑大致相同的開口部2a。
如圖6所示，振動板3具有振動部3a、支承部3b、多個彈性位移部3c及多個開口部3d，總體呈圓盤形，是用不銹鋼等金屬材料制成的。例如，振動板3如圖7所示，是用厚度為40μm的不銹鋼制成的，總體外徑Φ1約為9mm，支承部3b的內徑Φ2約為7mm，振動部3a的外徑Φ3約為6mm，彈性位移部3c的寬度約為2mm。多個彈性位移部3c的寬度狹窄且從振動部3a的中心呈輻射狀等間隔地形成，使振動部3a能相對于后面所述的基板平行位移或移動。在本實施例中，彈性位移部3c如圖6所示，共有6個，設置在振動部3a和支承部3b之間，由于只要振動部3a能相對于后面所述的基板平行位移或移動，所以彈性位移部3c至少要有3個以上即可。多個開口部3d設在多個彈性位移部3c之間，且等間隔地位于振動部3a和支承部3b之間，其長軸沿振動部3a的圓周方向。設置這些開口部3d是為了使振動板3不會由于聲音從外部加到振動傳感器上而隨聲壓振動。如圖7所示，由于沿振動部3a的圓周方向設有多個開口部，與像上述振動傳感器那樣在振動板的中央部分設孔的情況不同，振動部3a和后面所述的駐極膜相對的面積不減少。其結果是不檢測來自外部的聲音，能防止振動傳感器的檢測靈敏度下降。在該振動板3的與后面所述的基板相對一側的表面上設有4μm左右的由環氧樹脂構成的絕緣層。在本實施例中，振動板3用來檢測與安裝振動傳感器的被檢測體之間的相對振動，所以用質量較大的材料，例如上述的不銹鋼之類的金屬等材料制成。
間隔圈4例如用厚40μm左右的薄膜狀的合成樹脂制成，呈環狀。如圖6所示，間隔圈4有開口部4a。開口部4a與膜片連接環2的開口部2a相同，其內徑與振動板3的支持部3b的內徑大小大致相同。基板5由具有比振動板3的振動部3a的直徑大的圓形金屬板構成，同時在與振動板3相對一側的表面上設有駐極膜5b，同時形成多個孔5a。
由合成樹脂材料構成的中央部有開口部6a的圓筒狀的框架6安裝在該基板5的周圍。在框架6的一端形成包圍基板5的足夠大的凹部6b。該凹部6b的底面與開口部6a連通。場效應管(FET)8被裝在該開口部6a中，其一個端子8b用軟焊料9焊接在作為端子板的電路基板7上。FET8的另一端子8a，即柵極連接在與基板5的與振動板3相對的面相反一側的面上。該FET8用來當振動板3相對于基板5振動或位移時取出振動板3與基板5之間電荷的容量變化。在外殼1的另一端將電路基板7壓入后斂縫，從而外殼1在將上述各主要構成元件封裝后的狀態下變成幾乎密閉的狀態。由于外殼1近似呈密閉狀態，所以能防止灰塵等進入外殼1，同時能獲得充分的密閉狀態，以便降低由于聲音加在振動傳感器上導致振動板3相對于聲壓的振動。
振動板3的支承部3b用框架6通過膜片連接環2和間隔圈4保持。其結果是振動部3由多個彈性位移部3c支承著且能相對于基板5平行位移或振動。另外，通過在振動板3上形成多個開口部3d，能防止振動板3由于聲音加在振動傳感器上而隨聲壓振動。與振動板3的支承部3b相鄰接的部分幾乎根本不蓄積電荷，與振動部3a相比較，幾乎是不振動的部分，所以由在連結振動部3a和支承部3b之間的部分形成開口部3d造成的振動檢測靈敏度降低幾乎不存在。
在上述的振動傳感器中，在振動板3和基板5之間有其容量與振動板3和基板5之間的間隙大小相對應的電荷。振動板3相對于基板振動時，振動板3與基板5之間的間隙變化，從而振動板3和基板5之間的電荷容量也變化。該容量的變化由FET8取出，能獲得與振動板3的振動相對應的電信號，因而能獲得作為振動檢測結果的輸出信號。
這樣構成的振動傳感器與圖1所示的振動傳感器一樣，如假定振動板3被固定，則振動傳感器及安裝振動傳感器的被檢測物體，在本發明的場合下即作為移動體的車輛振動時，振動傳感器隨著該振動而振動。換句話說，振動傳感器的基板5相對于振動板3振動，所以如上所述，振動板3和基板5之間的電荷容量發生變化。通過由FET8取出該容量的變化，獲得對應于振動的輸出信號。反之，如考慮振動傳感器與被檢測物體一起固定的狀態，則由于施加振動后振動板3相對于基板5振動，所以振動板3和基板5之間的電荷容量發生變化。可考慮通過FET8取出該容量的變化，獲得對應于振動的輸出信號。這時即使聲音從外部加到振動傳感器上，由于振動板3上設置的多個開口部3d的作用，振動板3不會振動，所以能良好地只檢測加在振動傳感器上的振動。
其次，圖8示出了與本實施例有關的振動傳感器的等效電路。對應于聲壓P，產生用m、cl、r表示的振動板3的振動部3a的等效阻抗Z。由于在振動板3上形成開口部3d，所以基于開口部3d的阻抗z′與振動部3a的阻抗并聯。設振動板3的振動部3a的速度為I，則振動板3的振動部3a的位移X由下式表示。X=I/(jω)=P/(Z·Z′Z+Z′·jω)]]>如上所述，由振動板3和基板5構成的電容器的靜電電容隨著振動板3和基板5之間的距離的變化而變化。其結果是振動板3的位移以靜電電容的變化形式被取出。因此，振動傳感器的輸出信號與振動板3的振動部3a的位移X成正比。
本實施例的振動傳感器的頻率特性示于圖9。圖9中的符號f1所示的特性表示與本實施例有關的振動傳感器的頻率特性。本例中的振動傳感器的結構是由多個彈性位移部3d連結振動板3的振動部3a和支承部3c，所以能提高振動板3的柔順性。所謂該振動板3的柔順性變高，相當于支承通常的揚聲器振動膜的邊緣變軟。在上述實施例的振動板3中，振動部3a和支承部3b之間用寬度窄的多個彈性位移部3d連結，這樣的結構使得振動部3a容易振動，所以具有與使揚聲器的邊緣柔軟相同的效果。其結果是與本發明有關的振動傳感器能輸出比用符號f2表示的原有振動傳感器的頻率特性高的輸出電平。與具有與本實施例大致相同的輸出電平的振動傳感器頻率特性f3相比較，能改善高頻部分的特性。這是由于減輕了與上述實施例有關的振動傳感器的振動板的重量，所以能使高頻區的峰值部分移到更高的頻率，同時能降低峰值部分的電平。
其次，利用圖10說明使用與本發明的實施例有關的振動傳感器的導向裝置。圖10所示的導向裝置以作為移動體的汽車用導向裝置為例進行說明。
圖10中，導向裝置由振動傳感器10、速度檢測電路11、控制器12、天線13、當前位置檢測電路14、地圖數據再生電路15、再生裝置16、顯示裝置17及操作部18構成。
振動傳感器10使用圖5及圖6所示的振動傳感器，由振動傳感器10檢測移動體的加速度。從振動傳感器10輸出的表示加速度的輸出信號被供給到速度檢測電路11。速度檢測電路11通過對來自振動傳感器10的輸出信號進行積分處理，將表示作為移動體的汽車的當前速度的輸出信號供給控制器12。
另一方面，從當前位置檢測電路14輸出的信號供給控制器12。當前位置檢測電路14根據由天線13接收到的從測位衛星發送的信號進行汽車當前位置的測定，并將有關當前位置的數據供給控制器12。使用該衛星測位是用GPS(全球定位系統)進行的。控制器12根據從當前位置檢測電路14和/或速度檢測電路11供給的數據控制地圖數據再生電路15的動作，生成能在顯示裝置17上顯示的地圖數據。
地圖數據生成電路15將控制信號供給使作為記錄了地圖數據的記錄媒體的CD-ROM盤再生的再生裝置16，由當前位置檢測電路14計算并求出有關汽車的當前位置的數據，再由CD-ROM盤讀出與上述數據對應的數據，根據該讀出的數據生成地圖數據。再生裝置16具有讀出記錄在CD-ROM盤上的數據的光學頭、旋轉驅動光盤用的旋轉驅動機構、以及對從盤中讀出的數據中的錯誤進行修正等信號處理的信號處理電路。
顯示裝置17由液晶顯示元件等構成，用來顯示以由地圖數據生成電路15生成的地圖數據為依據的地圖信息。操作部18由多個操作鍵構成，用來將對顯示裝置17顯示的地圖的訪問或顯示模式的切換等各種動作模式的設定或切換等信息輸入控制器12。
這樣構成的導向裝置根據由天線13接收的來自衛星的信號，由當前位置檢測電路14計算并求出有關汽車的當前位置的數據，所求出的有關當前位置的數據被供給到控制器12。控制器12根據從當前位置檢測電路14供給的有關汽車的當前位置數據，由再生裝置從CD-ROM盤讀出與有關當前位置的數據對應的數據，并供給地圖數據生成電路15，變換并生成地圖數據，通過控制器12顯示在顯示裝置17上。這時根據來自當前速度傳感器10的輸出信號，檢測汽車非停止狀態，即移動狀態或根據來自速度檢測電路11的輸出信號，檢測汽車是否正以規定速度以上的速度移動時，控制器12不受理來自操作部18的輸入(全部操作輸入或只是比較復雜的操作輸入)或使輸入無效。因此，在汽車移動狀態下，由于操作部18不能進行導向裝置的動作模式的切換或顯示裝置17上的地圖信息的切換操作，所以能防止司機在運行過程中由操作產生的事故。另外，由于使用圖5及圖6所示的振動傳感器作為振動傳感器10，所以能防止振動傳感器檢測到車內的聲音例如車內人的談話或從車外傳入的聲音并將其檢測結果供給控制器12而造成導向裝置誤動作。
在上述實施例中，由從振動部3a的中心呈輻射狀直線延伸的多個彈性位移部3a連結振動板3的振動部3a和支承部3b，但也可采用圖11所示的形狀。圖11示出了振動板3的變形實施例例。圖11所示的振動板20具有圓盤狀的振動部21、支承部22、多個彈性位移部23及多個開口部24，用金屬等材料將它們全部整體地制成圓盤狀。多個彈性位移部23等間隔地且向圓盤狀的振動部21的接線方向延伸。多個開口部24沿振動部21的圓周方向，在振動部21和支承部22之間、且在多個彈性位移部23之間等間隔地形成。
在圖11所示的振動板20的情況下，也與圖7所示的振動板3一樣，不減小與駐極膜5相對的面積、即不減小振動部21的面積而形成開口部24，所以不會降低振動檢測靈敏度。另外，振動板20不隨加在振動傳感器上的聲音而振動，能良好地檢測振動。
如上所述，由于振動傳感器的振動板的振動部和支承部之間通過所設置的多個彈性位移部連結，以使振動部能相對于基板平行移動，所以不會降低振動的檢測靈敏度，而且振動板不隨加在振動傳感器上的聲音產生的聲壓而振動，能良好地檢測振動。
本發明的振動傳感器可在不遠離本發明的技術實質的范圍內進行各種變形。
例如，在上述振動傳感器中，駐極膜設置在基板上，但不受此限，也可將駐極膜設置在振動板的與基板相對的面上。
另外，在上述實施例中，以由FET取出因振動板和基板之間的間隙變化產生的電荷容量變化的方式的振動傳感器為例進行了說明，但不受此限，也可采用如下方式的振動傳感器，即可在振動板和成為背面電極的基板之間形成電容器，將偏壓加在振動板和背面電極之間。
本發明的振動傳感器不限于上述的導向裝置，也能適用于其它各種裝置，這是不言而喻的。
引用符號的說明1外殼2膜片連接環3振動板3a振動部3b支承部3c彈性位移部3d開口部4間隔圈4a開口部5基板6框架7電路基板8場效應管10振動傳感器11速度檢測電路12控制器13天線14當前位置檢測電路15地圖數據生成電路16再生裝置17顯示裝置18操作部
權利要求
1.一種振動傳感器，其特征在于備有基板、圓盤形的振動板和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承部、以及與上述支承部和上述振動部連結的可使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置，且使其與上述基板平行，與上述基板一起形成電容器；上述保持裝置用來保持上述基板，同時能保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或離開方向平行移動，該振動傳感器將振動變換為在上述振動板和上述基板之間形成的靜電電容的變化，并將該變化作為檢測信號輸出。
2.根據權利要求1所述的振動傳感器，其特征在于上述多個彈性位移部從上述振動部的中心呈輻射狀地設置。
3.根據權利要求2所述的振動傳感器，其特征在于在上述振動板上且在上述多個彈性位移部之間，設置消除加在上述振動傳感器上的聲壓用的裝置。
4.根據權利要求3所述的振動傳感器，其特征在于上述消除裝置由設置在上述多個彈性位移部之間的沿上述振動部圓周方向配置的多個開口部構成。
5.根據權利要求1所述的振動傳感器，其特征在于上述保持裝置是以幾乎密閉狀態封裝上述基板和上述振動板、同時保持上述基板和上述振動板的上述支承部的外殼。
6.一種振動傳感器，其特征在于備有基板、圓盤形的振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承部和與上述振動部及上述支承部連結且能使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板、同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或離開方向平行移動。
7.根據權利要求6所述的振動傳感器，其特征在于上述多個彈性位移部從上述振動部的中心呈輻射狀地設置。
8.根據權利要求7所述的振動傳感器，其特征在于在上述振動板上且在上述多個彈性位移部之間分別形成開口部。
9.根據權利要求8所述的振動傳感器，其特征在于上述開口部沿上述振動部的圓周方向設置。
10.根據權利要求6所述的振動傳感器，其特征在于上述保持裝置是以幾乎密閉的狀態封裝上述基板和上述振動板、同時保持上述基板和上述振動板的上述支承部的外殼。
11.一種振動傳感器，其特征在于備有基板、圓盤狀的振動板，駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承上述振動部可使其相對于上述基板平行移動的支承部、以及設在上述支承部和上述振動部之間的開口部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其平行于上述基板；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時能保持上述振動板的上述支承部，能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或向離開方向平行移動。
12.根據權利要求11所述的振動傳感器，其特征在于上述開口部沿上述振動板的圓周方向設置。
13.根據權利要求11所述的振動傳感器，其特征在于上述保持裝置是以幾乎密閉的狀態封裝上述振動板和上述基板、同時保持上述基板和上述振動板的支承部的外殼。
14.一種導向裝置，其特征在于備有檢測移動體的當前位置的位置檢測裝置、振動傳感器、讀出地圖數據使其再生的再生裝置、顯示來自上述再生裝置的地圖數據的顯示裝置、以及根據來自上述振動傳感器的輸出信號和/或來自上述位置檢測裝置的輸出信號控制上述再生裝置動作的控制裝置；上述振動傳感器備有基板、圓盤形振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板有振動部、支承部、以及與上述振動部和支承部連結可使它們相對于上述基板平行移動的多個彈性位移部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板，同時保持上述振動板的支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或向離開方向平行移動。
15.一種導向裝置，其特征在于備有檢測移動體的當前位置的位置檢測裝置、振動傳感器、讀出地圖數據使其再生的再生裝置、顯示來自上述再生裝置的地圖數據的顯示裝置、根據來自上述振動傳感器的輸出信號和/或來自上述位置檢測裝置的輸出信號控制上述再生裝置動作的控制裝置，上述振動傳感器備有基板、圓盤形的振動板、駐極膜和保持裝置，上述振動板具有振動部、支承上述振動部使其能相對于上述基板平行移動的支承部、以及設在上述振動部和上述支承部之間的開口部，該振動板通過規定的間隙與上述基板相對設置且使其與上述基板平行；上述駐極膜設置在上述基板上與上述振動板相對的面和上述振動板上與上述基板相對的面兩者中任意一個面上；上述保持裝置用來保持上述基板、同時保持上述振動板的上述支承部且能使上述振動部相對于上述基板向靠近方向或向離開方向平行移動。
全文摘要
一種振動傳感器或將該振動傳感器作為狀態檢測裝置使用的導向裝置。該振動傳感器備有基板(5)、形成電容器的圓盤形振動板(3)及保持該振動板且能使其相對于基板平行移動的保持裝置(2)、(4)、(6)，在振動板上設置多個彈性位移部(3C)、(3d)。當振動加到該振動傳感器上時，振動板的振動部振動，基板和振動板之間形成的靜電電容隨振動而變化，為用該變化檢測振動，設置了彈性位移部，使振動板不隨聲壓振動，所以不會因聲壓而干擾振動檢測輸出。
文檔編號G01C19/56GK1129979SQ9519057
公開日1996年8月28日 申請日期1995年6月14日 優先權日1994年6月20日
發明者中川芳守, 岸上純 申請人:索尼公司
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
