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用于硅烷色譜分析的采樣系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型為一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統，其特征在于：所述的采樣系統設有一路樣品進氣氣路和兩路吹掃氣進氣氣路，所述的過濾器和流量計設于進入分析單元的氣路上，所有尾氣都進入尾氣處理系統。采樣系統中樣品進氣氣路串接第一減壓閥后與第一氣路三通連接；第一吹掃氣進氣氣路串接第二減壓閥后再和第一氣路三通連接，在第二減壓閥和第一氣路三通之間設有第一截止閥；第二吹掃氣進氣氣路串接第三減壓閥后直接連接到尾氣處理系統上。本實用新型實現了在硅烷采樣中排除了空氣干擾，減少實驗誤差，同時保障了采樣的安全性。
【專利說明】用于硅烷色譜分析的采樣系統

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種色譜分析的采樣系統，特別是公開一種針對硅烷色譜分析的采樣系統，通過吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設計使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，也提供了采樣安全性。

【背景技術】
[0002]硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。在色譜分析硅烷的采樣過程中，進樣管道殘留的空氣對實驗的分析結果有很大影響，并且可能會造成管道堵塞和損壞儀器。且進樣分析后殘留的硅烷可能會產生安全隱患。


【發明內容】

[0003]本實用新型的目的是解決現有技術的問題，設計一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，采用吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設計并利用高純氦氣在采樣系統進行分析的前后對整個系統進行吹掃，確保管路無殘留空氣，使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，減少實驗誤差，同時保障了采樣的安全性。
[0004]本實用新型是這樣實現的:一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統，其特征在于:所述的采樣系統設有一路樣品進氣氣路和兩路吹掃氣進氣氣路，所述的過濾器10和流量計11設于進入分析單元12的氣路上，所有尾氣都進入尾氣處理系統13。
[0005]所述的采樣系統中樣品進氣氣路I串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接；第一吹掃氣進氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設有第一截止閥7 ;第二吹掃氣進氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統13上。
[0006]所述的第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過濾器10和流量計11后與分析單元12連接，第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9，分析單元12排出的尾氣通過第三氣路三通17接入尾氣處理系統13。
[0007]所述的尾氣處理系統13采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口 14。
[0008]本實用新型的有益效果是:本實用新型設計采用兩路吹掃氣進氣氣路進行吹掃管路，避免了管路中的空氣和硅烷殘留對色譜分析造成的不利因素，減少實驗誤差，也加強了硅烷采樣的安全性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型采樣系統結構示意圖。
[0010]圖中:1、樣品進氣氣路；2、第一吹掃氣進氣氣路；3、第二吹掃氣進氣氣路；4、第一減壓閥；5、第二減壓閥；6、第三減壓閥；7、第一截止閥；8、第二截止閥；9、第三截止閥；10、過濾器；11、流量計；12、分析單元；13、尾氣處理系統；14、排空口； 15、第一氣路三通；16、第二氣路三通；17、第三氣路三通。

【具體實施方式】
[0011]根據附圖，本實用新型一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統。
[0012]本實用新型采樣系統設有一路樣品進氣氣路I和兩路吹掃氣進氣氣路，即第一吹掃氣進氣氣路2和第二吹掃氣進氣氣路3。過濾器10和流量計11設于進入分析單元12的氣路上，采用系統所有的尾氣都進入尾氣處理系統13。
[0013]本實用新型采樣系統中樣品進氣氣路I串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接。第一吹掃氣進氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設有第一截止閥7。第二吹掃氣進氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統13上。第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過濾器10和流量計11后與分析單元12連接。第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9。分析單元12排出的尾氣通過第三氣路三通17接入尾氣處理系統13。尾氣處理系統13采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口 14。
[0014]本實用新型采樣工作具體步驟如下:
[0015](I)打開第一吹掃氣進氣開關，通過第一吹掃氣進氣氣路2并利用第二減壓閥5控制吹掃氣的壓力和流量，打開第一截止閥7和第三截止閥9，對采用系統氣路開始吹掃，通過打壓方式吹3?5遍。
[0016](2)關閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，對氣路開始吹掃，通過打壓方式吹至3?5遍。
[0017](3)關閉第一截止閥7，關閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，打開樣品進氣氣路
I(硅烷)，通過調第一節減壓閥4，同時利用第二減壓閥5控制氣體壓力和流量，對氣路進行吹掃，通過打壓方式吹至3?5遍。
[0018](4)關閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，調節第二減壓閥5將流量調節到所需大小。至此采樣完成。第二吹掃氣進氣氣路3 —直在第三減壓閥6的調節下控制小流量氣體對洗氣瓶進行吹掃。
[0019](5)采樣完成后關閉樣品進氣開關和第一減壓閥4，重復上述第(I)和第(2)步驟，保證整個管路中殘余硅烷被吹盡。
[0020]綜合上述步驟，本實用新型實現了硅烷采樣。避免了管路的空氣和硅烷殘留對色譜分析造成的不利因素，也加強了硅烷采樣的安全性。
[0021]以上所述為本實用新型的較佳實施例，凡依本實用新型申請公開的專利描述范圍所作的均等變化與修飾，皆應屬于本實用新型專利要求保護的范圍。
【權利要求】
1.一種用于硅烷色譜分析的采樣系統，包括樣品進氣氣路、吹掃氣進氣氣路、截止閥、過濾器、氣路三通、流量計、分析單元和尾氣處理系統，其特征在于:所述的采樣系統設有一路樣品進氣氣路和兩路吹掃氣進氣氣路，所述的過濾器(10)和流量計(11)設于進入分析單元(12)的氣路上，所有尾氣都進入尾氣處理系統(13)。
2.根據權利要求1所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于:所述的采樣系統中樣品進氣氣路(I)串接第一減壓閥(4)后與第一氣路三通(15)連接；第一吹掃氣進氣氣路(2)串接第二減壓閥(5)后再和第一氣路三通(15)連接，在第二減壓閥(5)和第一氣路三通(15)之間設有第一截止閥(7);第二吹掃氣進氣氣路(3)串接第三減壓閥(6)后直接連接到尾氣處理系統(13)上。
3.根據權利要求1或2所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于:所述的第一氣路三通(15)和第二氣路三通(16)相連，再依次串接第二截止閥(8)、過濾器(10)和流量計(11)后與分析單元(12)連接，第二氣路三通(16)與第三氣路三通(17)間還串接有第三截止閥(9 )，分析單元(12 )排出的尾氣通過第三氣路三通(17 )接入尾氣處理系統(13 )。
4.根據權利要求1或2所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統，其特征在于:所述的尾氣處理系統(13)采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設有三路氣路，一路連接第三氣路三通(17)，接收第三氣路三通(17)排出的尾氣，一路連接第三減壓閥(6)，接收第三減壓閥(6 )排出的吹掃氣，另一路連接排空口( 14 )。
【文檔編號】G01N30/20GK204129017SQ201420657772
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年11月6日 優先權日:2014年11月6日
【發明者】莊鴻濤, 郁光, 方華 申請人:上海華愛色譜分析技術有限公司