專利名稱：生物芯片閱讀器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種諸如DNA芯片、蛋白質芯片等的生物芯片閱讀器，特別涉及一種能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化、并使降低成本成為可能的生物芯片閱讀器。
背景技術：
生物芯片具有這樣的基片，即，在其上像陣列一樣放置了數千到數萬種類型的已知的DNA片段。如果允許未知DNA片段流入這種DNA芯片，那么利用相同類型的DNA片段相互結合的性質、使用生物芯片閱讀器對已知DNA的結合情況進行檢查，從而確定未知DNA序列等。
圖17為示出在這樣的生物芯片上進行雜交示例的說明圖。在圖17中，由“DN01”、“DN02”、“DN03”、“DN04”、“DN05”、“DN06”表示的六種類型的DNA片段的位點像陣列一樣放置在由“SB01”表示的基片上，從而構成了DNA芯片。
另一方面，圖17中的“UN01”為未知DNA片段，該未知DNA片段被預先附加了如圖17中“LM01”所表示的熒光標記。將這樣的未知DNA片段與上述DNA芯片進行雜交，從而使DNA片段與互補序列進行結合。
例如，如圖17中“CB01”所示，在圖17中“UN01”的未知DNA片段與圖17中“DN01”的已知DNA片段結合。
利用生物芯片閱讀器，將激勵光照射到這樣雜交的DNA芯片上，并且檢測出熒光標記產生的熒光，從而能夠確定未知DNA片段與哪一個已知DNA片段結合。
例如，在如圖17中“SI01”所表示的DNA芯片的掃描結果的圖像中，只在圖17中“CB01”的部分產生熒光，并因此僅能檢測到來自圖17中“LD01”所表示的部分的熒光。
JP-A-2001-194309、JP-A-2001-194310、JP-A-2003-028799、JP-A-2003-057557、JP-A-2004-138420被看作是與諸如DNA芯片或蛋白質芯片等生物芯片閱讀器相關的現有技術。
圖18為示出現有技術中生物芯片閱讀器示例的結構框圖。在圖18中，標號1表示在圓形基片上形成有多個微透鏡的微透鏡板，標號2表示用于根據光的波長進行透射或反射的分色鏡，標號3表示具有像陣列一樣放置的多個位點的生物芯片，標號4表示透鏡，標號5表示用于阻擋特定波長區域的光透射的屏障濾光片，標號6表示諸如照相機等的攝像部分，以及標號7表示用于旋轉微透鏡板1的諸如電動機等的驅動部分。
圖18中的“EL11”所表示的激勵光(來自諸如用于發射相于光的激光光源等光源(未示出)的出射光)照射到微透鏡板1上，并且激勵光會聚于在微透鏡板1上形成的多個微透鏡上，然后透過分色鏡2，最后會聚于生物芯片3上。
通過激勵光在生物芯片3上產生的熒光(具體而言，在放置了同一種類型的多個DNA片段的位點處所產生的熒光)被分色鏡2反射，并且該反射光通過透鏡4后透過屏障濾光片5，最后會聚于攝像(圖像采集)部分6上。
另一方面，驅動部分7使微透鏡板1圍繞圓板中心軸旋轉，從而使形成在微透鏡板1上的多個微透鏡的位置移動，并且相應地，會聚在多個微透鏡上的激勵光對生物芯片3的表面進行掃描。
例如，圖19為示出微透鏡板1的示例平面圖。如圖19所示，在微透鏡板1上螺旋形地設置如圖19中“ML21”所表示的微透鏡，并且使這樣形成有多個微透鏡的微透鏡板1圍繞其中心軸旋轉，從而使得會聚在多個微透鏡上的激勵光對生物芯片3的表面進行掃描。
(在日本專利No.2663766與2692416中描述過典型示例。)然而，在圖18所示的現有技術示例中，需要在微透鏡板1的準確位置處形成微透鏡且準確地設置中心軸、并使驅動部分7的電動機的偏心與攝像部分6的照相機同步旋轉等，從而導致了成本的增加；這是一個問題。
如果使用激光光源的出射光作為激勵光，那么諸如激光光源的出射光的光分布不勻等性能波動或透鏡、分色鏡等光學系統的不潔或長期變化(老化)，均會直接影響用攝像部分6拍攝的圖像、使S/N(信噪比)惡化；這是一個問題。
例如，圖20與21為示出當使用用于根據激勵光而均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片3時，拍攝圖像與任意軸向光量的分布特性示例的說明圖。
如圖20所示，盡管圖像應該具有均勻光量，但像由諸如激光光源的出射光的光分布不勻等性能波動或者光學系統中的長期變化與不潔引起的圖像不均和干涉條紋的圖案，均反映在拍攝圖像中，并且容易看出在圖21中“CH41”表示由圖20中“LN31”所表示的線上的光量分布，在圖21“CH41”中，光量的特性曲線為非均勻光量、并且S/N惡化的特性曲線。
其原因是由于使用激光等的相干光作為光源，容易發生諸如散斑噪聲等干涉噪聲。
發明內容
本發明的目的在于提供一種能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化、并使降低成本成為可能的生物芯片閱讀器。
本發明提供一種生物芯片閱讀器，包括在其上任意位置設置有多個微透鏡的微透鏡板，多個微透鏡的發散光或會聚光的出射角被限制為窄角，其中多個微透鏡中的每一個均具有任意大小；光源，其將作為激勵光的相干光照射到微透鏡板上；分色鏡，其透射或反射從微透鏡板來的出射光，并且反射或透射在生物芯片上產生的熒光；攝像部分；透鏡，其將在分色鏡上反射或透射的光會聚到攝像部分中；屏障濾光片，其設置在分色鏡與攝像部分之間；以及驅動部分，其對微透鏡板進行驅動，其中在該驅動部分對微透鏡板進行驅動的同時，由多個微透鏡進行發散或會聚的激勵光對生物芯片的表面進行掃描。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于多個微透鏡是通過在微透鏡板的基片上設置凸出(中凸的)凹陷(中凹的)來形成的。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于是通過在基片上分布具有與微透鏡板的基片的折射率不同的折射率的區域來形成多個微透鏡的。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于微透鏡板為玻璃或樹脂。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于驅動部分對微透鏡板進行旋轉。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于驅動部分使微透鏡板在一維方向、二維方向，或三維方向上進行移動。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于驅動部分使微透鏡板進行振動。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于多個微透鏡中的每一個均為圓形。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于多個微透鏡的形狀像網眼形。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于多個微透鏡中的每一個均為任意形狀。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于多個微透鏡中的出射光的出射角均在±20度之內。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
在該生物芯片閱讀器中，由于微透鏡的直徑對微透鏡的曲率的比率為0.1或更小。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
根據該生物芯片閱讀器，當在任意位置隨機設置有具有各種不同大小的多個微透鏡、并且因全部微透鏡的光發散等而產生的出射角被限制為窄角的微透鏡板被驅動時，由多個微透鏡會聚的激勵光對生物芯片的表面進行掃描。因此，能夠靈活處理光學系統的性能波動和光學系統中的長期變化，并使降低生物芯片閱讀器的成本成為可能。
圖1為示出根據本發明生物芯片閱讀器的實施例的結構框圖；圖2為示出隨機微透鏡板示例的平面圖；圖3為描述微透鏡出射角的限制的說明圖；圖4為示出實際隨機微透鏡板示例的二維圖像；圖5為示出實際隨機微透鏡板示例的三維圖像；圖6為示出測量的隨機微透鏡板的出射角的分布特性的特性曲線圖；圖7為描述當每個形成的微透鏡形狀像圓錐形時出射角的限制方法的說明圖；圖8為描述當每個形成的微透鏡為凸球面時出射角的限制方法的說明圖；
圖9為描述當每個形成的微透鏡為凹球面時出射角的限制方法的說明圖；圖10為示出當隨機微透鏡板旋轉、并且使用根據激勵光均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片時，拍攝圖像示例的說明圖；圖11為示出當隨機微透鏡板旋轉、并且使用根據激勵光均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片時，任意軸向光量的分布特性示例的說明圖；圖12為描述如果光源為白光光源，攝像部分接收的光量的說明圖；圖13為描述如果光源為激光光源時，攝像部分接收的光量的說明圖；圖14為示出在隨機微透鏡板上形成的每個微透鏡形狀的其它示例的說明圖；圖15為示出在隨機微透鏡板上形成的每個微透鏡形狀的另一示例的說明圖；圖16為示出在使用通過一次性會聚激勵光來提供光的情況的說明圖；圖17為示出在生物芯片上進行雜交示例的說明圖；圖18為示出現有技術中的生物芯片閱讀器示例的結構框圖；圖19為示出微透鏡板示例的平面圖；圖20為示出當使用根據激勵光均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片時，拍攝圖像示例的說明圖；以及圖21為示出當使用根據激勵光均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片時，任意軸向光量的分布特性示例的說明圖。
具體實施例方式
下面，將結合附圖對本發明進行詳細描述。圖1為示出根據本發明生物芯片閱讀器的一個實施例的結構框圖。在圖1中，標號8表示在圓形基片上的任意位置形成有任意大小的多個微透鏡的微透鏡板，為簡化起見，在下文將其稱之為隨機微透鏡板8，標號9與12表示透鏡，標號10表示用于根據光的波長進行光的透射或反射的分色鏡，標號11表示具有像陣列一樣放置的多個位點的生物芯片，標號13表示用于阻擋特定波長區域的光透射的屏障濾光片，標號14表示諸如照相機等的攝像部分，以及標號15表示用于旋轉隨機微透鏡板8的諸如電動機等的驅動部分。
由圖1中的“EL51”表示的激勵光(從諸如用于發射相干光的激光光源等光源(未示出)來的出射光)照射到隨機微透鏡板8上，接著激勵光在形成于隨機微透鏡板8上的多個微透鏡上進行發散，然后入射到透鏡9中。
透鏡9對發散的激勵光進行會聚，并且會聚的激勵光透過分色鏡10，最后會聚在生物芯片11上。
通過激勵光在生物芯片11上激勵產生的熒光(具體而言，在放置有同一種類型的多個DNA片段的位點處產生的熒光)在分色鏡10上被反射，然后該反射光通過透鏡12后透過屏障濾光片13，最后會聚于攝像部分14上。
另一方面，驅動部分15使隨機微透鏡板8圍繞圓板的中心軸旋轉，從而使得在隨機微透鏡板8上形成的多個微透鏡的位置移動，并且相應地，在多個微透鏡上激勵光被發散，然后由透鏡9對激勵光進行會聚以掃描生物芯片11的表面。
例如，圖2為示出隨機微透鏡板8示例的平面圖。如圖2所示，在隨機微透鏡板8上的任意位置處隨機地形成如圖2中“ML61”、“ML62”以及“ML63”所表示的大、中和小三種大小的圓形微透鏡。
為便于在圖2中進行繪制，將這些微透鏡彼此間隔開；然而，實際上，這些微透鏡均以彼此接觸的狀態被放置。
然而，對于在隨機微透鏡板8上形成的如圖2中“ML61”、“ML62”以及“ML63”表示的大、中和小三種大小的所有圓形微透鏡，為確保入射到聚光用的透鏡9上的光量，將由于分散而產生的出射角限制為窄角。
例如，圖3為描述微透鏡出射角的限制的說明圖。形成如由圖3中“EL51”表示的照射到隨機微透鏡板8上的激勵光，以便將其出射角限制為由圖3中θ表示的出射角。
這樣，具有如由圖3中“OL71”或“OL72”表示的出射角的出射光入射到聚光用的透鏡9中，而具有如由圖3中“OL73”或“OL74”表示的出射角的光則不會出射到透鏡9中。
圖4與5為示出實際隨機微透鏡板8示例的二維圖像與三維圖像。圖6為示出當平行激光入射到其中一個這樣的隨機微透鏡板上時，測量的出射角的分布特性示例的特性曲線圖。
例如，如由圖6中“CH81”表示的測量的出射角的分布特性通過回歸分析變成如由圖6中“CH82”表示的測量的出射角的分布特性。從由圖6中的“CH82”表示的特性曲線圖中，可以看出在“l/e2”處，角度為10度，出射角被限制為窄角。
此外，將結合圖7、8以及9詳細描述限制出射角的具體方法。圖7為描述當每個形成的微透鏡形狀像圓錐形時出射角的限制方法的示意圖。圖8為描述當每個形成的微透鏡為凸球面時出射角的限制方法的示意圖。圖9為描述當每個形成的微透鏡為凹球面時出射角的限制方法的示意圖。
當微透鏡的形狀像圓錐形時，在圖7中，將從微透鏡來的出射角設為“θ”、圓錐形微透鏡的傾角設為“φ”、空氣的折射率設為“no”，以及隨機微透鏡板8的折射率設為“n”，根據斯涅爾折射定律，可知i′＝φ+θsin i′＝(n/no)sinφ∴φ＝sin-1((no/n)×sin i′)例如，設定i′＝15°、n＝1.5以及no＝1.0，并且設定圓錐形微透鏡的傾角φ為φ＝sin-1((1/1.5)×sin15°)9.9°這樣，θ＝i′-φ＝5.0°從而能夠將出射角“θ”限制為窄角。
另一方面，當微透鏡為凸或凹球面時，在圖8與9中，將從微透鏡來的出射角設為“θ”、球面微透鏡的直徑設為“d”、球面微透鏡的焦距設為“f”、球面微透鏡的曲率半徑設為“R”、球面微透鏡的數值孔徑設為“NA”、空氣的折射率設為“no”，以及隨機微透鏡板8的折射率設為“n”，f＝R/(n-no)NAf/(d/2)＝2R/(d×(n-no))這里，例如，設定n＝1.5和no＝1.0，NA4R/dR/dNA/4因此，“R/d”受到限制，從而能夠將出射角“θ”限制為窄角。
將球面微透鏡的垂度(凸起量)設為“S”，S＝R-(R2-(d/2)2)1/2此外，將平均傾角“φ′”設為“S/(d/2)”φ′＝S/(d/2)＝R/(d/2)-(R/(d/2)2-1)1/2“R/d”受到限制，從而能夠唯一地確定平均傾角“φ′”。
例如，如果“NA”在大約0.4(θ24度)之內，則容易得到聚光用的透鏡9。在這種情況下，R/dNA/4＝0.1這樣，當在任意位置上隨機地形成有不同大小的圓形微透鏡的隨機微透鏡板8(在其上由于全部微透鏡的光發散而產生的出射角被限制為窄角)進行旋轉時，會聚在多個微透鏡上的激勵光對生物芯片11的表面進行掃描，從而使照度平滑化且提供均勻光量的圖像。
例如，圖10與11為示出當隨機微透鏡板8旋轉、并且使用根據激勵光均勻地產生熒光的熒光板代替生物芯片11時，拍攝圖像與任意軸向光量的分布特性示例的說明圖。
如圖10所示，可以看出拍攝圖像變成具有均勻光量的圖像，而且像由諸如激光光源的出射光的光分布不勻等性能波動或者光學系統的不潔與長期變化引起的不均和干涉條紋的圖案均沒有反映在拍攝圖像中，而這與在現有技術示例中圖20所示的圖像不一樣。
還可以看出在圖11中“CH101”表示由圖10中“LN91”所表示的線上的光量分布中，光量的特性曲線是均勻的，并且靈活處理了諸如光源的光分布不勻等性能波動或者光學系統的不潔和長期變化。
此外，在任意位置上隨機地形成有不同大小的圓形微透鏡的隨機微透鏡板8(在其上由于全部微透鏡的光發散而產生的出射角被限制為窄角)進行旋轉的情況下，由于不需要準確的對微透鏡的形成位置進行對準以及使旋轉同步，因此能夠降低成本。
因此，當在任意位置上隨機地形成有不同大小的微透鏡的隨機微透鏡板8(在其上由于全部微透鏡的光發散而產生的出射角被限制為窄角)進行旋轉時，被多個微透鏡會聚的激勵光對生物芯片11的表面進行掃描，從而能夠靈活處理光學系統的性能波動與光學系統中的長期變化，并使降低成本成為可能。
如果使用白光作為非相干光來測量生物芯片，則難以產生與使用激光一樣的噪聲，但如下所示的背景噪聲將會惡化。在圖1所示的實施例中，屏障濾光片13放置在攝像部分14的前面。例如，圖12與13為描述假定光源為白光光源與激光光源，攝像部分14接收的光量的說明圖。
如果屏障濾光片13的透射特性為由圖12中的“CH111”表示的特性、并且將作為激勵光的白光照射到生物芯片上，由于該激勵光具有如由圖12中“CH112”表示的下擺寬的波長分布，因此不能夠充分遮蔽由圖12中“BN111”表示的部分，從而產生背景噪聲。
反之，如果屏障濾光片13的透射特性為由圖13中的“CH121”表示的特性、并且將作為激勵光的激光照射到生物芯片上，由于該激勵光具有如由圖13中的“CH122”表示的下擺非常窄的波長分布，因此屏障濾光片13就能充分遮蔽由圖12中“BN111”表示的部分，從而可以降低背景噪聲。
在圖1所示的實施例中，分色鏡允許激勵光透過并對生物芯片上產生的熒光進行反射；當然，分色鏡也可以反射激勵光，并且可以允許生物芯片上產生的熒光透過。
在圖1所示的實施例中，具體而言，至于在圖2中所示的隨機微透鏡板8上形成的每個微透鏡的形狀，作為簡化描述的示例示出了圓形的微透鏡。當然，每個微透鏡的形狀并不局限于圓形。
圖14與15為示出在隨機微透鏡板8上形成的每個微透鏡形狀的其它示例的說明圖。每個微透鏡的形狀不僅可以是如由圖14中“ML131”表示的圓形，而且還可以是如由圖14中“ML132”表示的圓柱形、多角形、如由圖14中“ML133”表示的閉合自由曲線的形狀、如由圖14中“ML134”表示的網眼形等。換言之，可以采用任意的形狀。
此外，微透鏡也可以采用像如由圖15中“ML141”表示的由許多島狀物排列而成的形狀。然而，如果采用任何形狀，則有必要將由于全部微透鏡的光發散而產生的出射角限制為窄角。這些微透鏡不僅可以為球形的形狀，而且還可以是像棱柱或斜坡的形狀。
可以將玻璃、樹脂等用作在任意位置上隨機地形成有不同大小的圓形微透鏡的隨機微透鏡板8(在其上由于全部微透鏡的光發散而產生的出射角被限制為窄角)的材料。
如果出射光的出射角被限制在窄角的范圍之內，則入射到隨機微透鏡板8上的激勵光不僅可以是平行光，而且還可以是會聚光或發散光。
在圖1等所示的實施例中，是在隨機微透鏡板8(基片)上形成凹凸以形成微透鏡，但也可以在隨機微透鏡板8(基片)上分布具有與隨機微透鏡板8(基片)的基本折射率不同的折射率的區域，以形成微透鏡。
在這種情況下，并不將具有與隨機微透鏡板8(基片)的基本折射率不同的折射率的區域的形狀限制為圓形，并且能夠使用如圖14與15中所示的任意形狀。
可以改變聚光用透鏡9的焦點位置與生物芯片11之間的距離，換言之，可以使聚焦適當偏移，從而提高隨機微透鏡板8的隨機化效果。
在圖1所示的實施例中，當對隨機微透鏡板8進行旋轉時，由多個微透鏡會聚的激勵光對生物芯片11的表面進行掃描，但驅動方法并不局限于旋轉。當隨機微透鏡板8在與生物芯片11平行的平面上進行像平行移動等的移動時，光也可以對生物芯片11的表面進行掃描。
此外，由于隨機微透鏡板8與生物芯片11之間的對齊并不嚴密，因此，隨機微透鏡板8不僅可以在平面上進行移動，而且還可以在任意方向上進行移動。也可以對隨機微透鏡板8進行振動。
在圖1所示的實施例中，激勵光是由形成在隨機微透鏡板8上的微透鏡進行發散的，但也可以使用通過一次性會聚激勵光而提供的光。
圖16為示出使用通過一次性會聚激勵光而提供的光的情況的說明圖。隨機微透鏡板8可以形成有許多如由圖16中的“RM151”表示的斜坡形突出物，并且可以將在由圖16中“EL151”表示的激勵光被會聚且形成如由圖16中“BW151”表示的光束腰之后的激勵光照射到生物芯片上。在這種情況下，不需要使用聚光用的透鏡9。
權利要求
1.一種生物芯片閱讀器，包括微透鏡板，在其上任意位置設置有多個微透鏡，所述微透鏡的發散光或會聚光的出射角被限制為窄角，其中所述多個微透鏡中的每一個均具有任意大小；光源，其將作為激勵光的相干光照射到所述微透鏡板上；分色鏡，其透射或反射從所述微透鏡板來的出射光，并且反射或透射在生物芯片上產生的熒光；攝像部分；透鏡，其將在所述分色鏡上反射或透射的光會聚到所述攝像部分中；屏障濾光片，其設置在所述分色鏡與所述攝像部分之間；以及驅動部分，其驅動所述微透鏡板，其中在所述驅動部分對所述微透鏡板進行驅動的同時，被所述多個微透鏡發散或會聚的激勵光對所述生物芯片的表面進行掃描。
2.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡是通過在所述微透鏡板的基片上設置凹凸來形成的。
3.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡是通過在基片上分布具有與所述微透鏡板的基片的折射率不同的折射率的區域來形成的。
4.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述微透鏡板為玻璃或樹脂。
5.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述驅動部分使所述微透鏡板旋轉。
6.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述驅動部分使所述微透鏡板在一維方向、二維方向，或三維方向上進行移動。
7.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述驅動部分使微透鏡板進行振動。
8.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡中的每一個均為圓形。
9.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡形狀像網眼形。
10.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡中的每一個均為任意形狀。
11.根據權利要求1所述的生物芯片閱讀器，其中所述多個微透鏡的出射光的出射角均在±20度之內。
12.根據權利要求8所述的生物芯片閱讀器，其中所述微透鏡的直徑對其曲率的比率為0.1或更小。
全文摘要
一種生物芯片閱讀器包括具有多個微透鏡的微透鏡板、將作為激勵光的相干光照射到微透鏡板上的光源、透射或反射從所述微透鏡板來的出射光并且反射或透射生物芯片上產生的熒光的分色鏡、攝像部分、將在分色鏡反射或透射的光會聚到攝像部分的透鏡，設置在分色鏡與攝像部分之間的屏障濾光片，以及驅動微透鏡板的驅動部分，其中在驅動部分對微透鏡板進行驅動的同時，由多個微透鏡進行發散或會聚的激勵光對生物芯片的表面進行掃描。在微透鏡板上的任意位置設置具有任意大小的每個微透鏡，并將每個微透鏡的發散光或會聚光的出射角限制為窄角。
文檔編號G01N21/64GK1719234SQ20051008281
公開日2006年1月11日 申請日期2005年7月8日 優先權日2004年7月9日
發明者田名綱健雄, 鈴木靖典, 杉山由美子 申請人:橫河電機株式會社
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
