專利名稱:具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺的制作方法
具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是關(guān)于一種測試機(jī)臺,尤其是一種具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及 出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺。
背景技術(shù):
無論半導(dǎo)體組件或光學(xué)感測組件,在出廠或上線使用前,都須經(jīng)層層的 檢測作業(yè),以確認(rèn)組件的質(zhì)量。
如圖1所示,臺灣新型專利第551500號,名稱為"IC檢測機(jī)之運(yùn)送裝 置",揭露了一種自動化檢測機(jī)臺1,其機(jī)臺1設(shè)置多個測試裝置10,每一 測試裝置10上分別形成單一測試基座100,當(dāng)承載有待測IC的承載盤121 被放置于進(jìn)料區(qū)12后,左懸臂取放裝置13會移動至承載盤121上方,驅(qū)動 吸嘴130吸起待測組件,再沿著滑軌132及134以平面X-Y方向?qū)⒋郎y組件 搬移至轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14上的第一容置槽140放置。
隨即,轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14向圖示上方沿Y方向移動,由對應(yīng)于左懸臂取放裝 置13的位置,移動至對應(yīng)于右懸臂取放裝置15的管轄范圍。
同時,右懸臂取放裝置15同樣沿著滑軌152及154,循圖示X-Y平面 移動至轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14上方, 一方面將原先由測試基座100中以吸嘴150取回 的測畢組件放入轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14的第二容置槽142,再接續(xù)將第一容置槽140 中新送入的待測組件吸起、搬移至另一完測的測試裝置10,并與其中測畢的 待測組件交換,進(jìn)行下一輪測試。
此時,轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14退回左懸臂取放裝置13的轄區(qū),由左懸臂取放裝置 13將剛才放置于第二容置槽142內(nèi)的測畢組件吸起,繼續(xù)向圖示右側(cè)搬移至出料區(qū)16的完測承載盤161內(nèi)。
然而,不論是左、右懸臂取放裝置B、 15,分別均需負(fù)責(zé)供給、收取組 件的雙重動作流程, 一方面左懸臂取放裝置13行走動線是由進(jìn)料區(qū)移動待 測組件至轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14,再由轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14搬移測畢組件至出料區(qū),作動時必 須完整經(jīng)過進(jìn)料-轉(zhuǎn)運(yùn)-出料三區(qū),并有進(jìn)料/出料兩種動作,無論就動作復(fù)雜 度及動線的長度,都有其不理想之處。
另方面,由于各測試裝置分別僅有單一測試基座,測試速度無疑受到相 當(dāng)限制,無法大幅提升,無法因應(yīng)大量生產(chǎn)檢驗的需求。
尤其,右懸臂取放裝置15是負(fù)責(zé)將待測組件在測試基座100至轉(zhuǎn)運(yùn)裝 置14間搬移,而左懸臂取放裝置13則負(fù)責(zé)在轉(zhuǎn)運(yùn)裝置14與進(jìn)料/出料區(qū)間 搬移,待測組件從送入機(jī)臺后,必須經(jīng)過左懸臂-轉(zhuǎn)運(yùn)裝置-右懸臂-測試基座 -右懸臂-轉(zhuǎn)運(yùn)裝置-左懸臂的多次搬移,無疑增加吸嘴摩擦組件的機(jī)會, 一旦 受測組件是屬于例如必須保持表面光滑的光學(xué)感測組件,無疑會因此增加組 件不良率,無謂提升損耗與成本。
為提升前案的檢測速度,如圖2所示,臺灣發(fā)明專利第1274029號,名 稱為"IC檢測機(jī)(一)",揭露一自動化檢測機(jī)臺3,其進(jìn)料承載裝置32將 待測承載盤321循Y方向朝圖示上方移動,移料裝置34則循圖示的X-Y平 面方向移動至承載盤321上空,并以吸嘴340將待測組件吸起,并循圖示 X-Y平面方向?qū)⒋郎y組件搬移至加熱裝置38預(yù)熱,同時將完成預(yù)熱的待測 組件由加熱裝置38取出,并循圖示X-Y平面方向,搬移至第一承載移動裝 置33或第二承載移動裝置35的載臺330、 350處。
第一承載移動裝置33及第二承載移動裝置35則分別將載臺330、 350 左右移動,并由六組取放機(jī)構(gòu)331、 351分別將吸嘴332、 352移至對應(yīng)載臺 330、 350處, 一方面將原先測畢組件搬移至載臺330、 350剩余的空位上,另方面將剛才放置的待測組件搬回各測試裝置30的測試基座300上進(jìn)行檢 測。相反地,載臺330、 350重新由第一承載移動裝置33或第二承載移動裝 置35移動至移料裝置34的位置,由移料裝置34將測畢組件吸取并搬移至 出料區(qū)36的完測承載盤361中。
與前案相較,此前案的移料裝置34恰對應(yīng)于較早前案的左懸臂取放裝 置13,同樣要負(fù)責(zé)將待測組件由入料區(qū)移動至一中轉(zhuǎn)裝置,并由中轉(zhuǎn)裝置中 取出測畢組件至出料區(qū),仍然要以單一機(jī)械臂與吸嘴負(fù)擔(dān)全部進(jìn)/出料動作, 進(jìn)行X-Y-Z三方向的作動,亳無速度提升效果。
至于后半程的測試部分,雖然此前案改以兩組承載移動裝置33、 35區(qū) 分左右,并以六組取放機(jī)構(gòu)331、 351驅(qū)動吸嘴332、 352,乍看可以加速整 體流程;但實(shí)質(zhì)上,各組取放機(jī)構(gòu)與吸嘴的動線,必須同時在圖示上下的Y 方向與升降吸嘴的Z方向作動,動作本身復(fù)雜性毫無降低。何況,在前半程 的速度限制因素未改下,后半程的改良不能獨(dú)自提升整體效果,反倒因為作 動機(jī)構(gòu)由單一的右懸臂取放裝置增加為六組取放機(jī)構(gòu),導(dǎo)致制造成本的暴 增。
而且,無論考慮移料裝置34三維動線的空間需求、以及配合多組動作 復(fù)雜的取放裝置空間需求,機(jī)臺本身尺寸無疑會更龐大。待測組件需經(jīng)過多 次吸取動作,搬移流程也毫無簡化,因而傷害例如光學(xué)感測組件的機(jī)率無由 下降;而機(jī)臺的結(jié)構(gòu)與動作復(fù)雜,無形中促使機(jī)臺運(yùn)轉(zhuǎn)的良率降低。因此, 此發(fā)明案與前案相較,不過五十步與百步之差,仍不符合產(chǎn)業(yè)界的真實(shí)需求。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之一目的,是提供一種減少吸取次數(shù),降低與組件接觸的機(jī)會, 避免在測試的過程中造成組件無謂損耗的具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料 區(qū)的多測試座測試機(jī)臺。本發(fā)明之另一目的,是提供一種無須配置過多的吸取裝置,使機(jī)臺尺寸 精簡化的具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺。
本發(fā)明之再一目的,是提供一種進(jìn)料、出料各自獨(dú)立運(yùn)作,測試流程簡 單化的具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺。
本發(fā)明之又一目的,是提供一種將進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)三者依序排 列,承載移動裝置、撿取裝置于上述三區(qū)間相對交錯移動,使得機(jī)臺動線密 集化,縮短搬運(yùn)路徑,提升總檢驗效率的具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料 區(qū)的多測試座測試機(jī)臺。
為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的,提供如下技術(shù)方案
本發(fā)明的一種具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī) 臺,其中該機(jī)臺具有貫穿該進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的軸線,是用來測試多 個待測組件,其中該等待測組件在進(jìn)出該機(jī)臺時,是被設(shè)置在承載盤上搬移, 該機(jī)臺包含設(shè)置于該進(jìn)料區(qū)、并以與該軸線夾一預(yù)定角度方向移動進(jìn)料承 載盤的進(jìn)料裝置;多個沿該軸線配置于該測試區(qū)、并分別具有多個供容置該 等待測組件的容置槽的測試座;大致沿該軸線方向移動、供將該進(jìn)料承載盤 上的該等待測組件搬移至該等測試座上容置槽的承載移動裝置;多個分別對 應(yīng)各該測試座、用以測試該等待測組件的測試裝置;設(shè)置于該出料區(qū)、并以 與該軸線夾一預(yù)定角度方向移動出料承載盤的出料裝置;及大致沿該軸線方 向移動、供將該等容置槽上的該等受測完畢的待測組件搬移至該出料承載盤 上的撿取裝置。
本發(fā)明是由承載移動裝置將檢測待測組件吸取、搬移至測試基座,撿取 裝置將完測組件吸取、搬移至出料承載盤,進(jìn)料/出料是由承載移動裝置/撿 取裝置分別獨(dú)立運(yùn)作、互不干擾,更無需負(fù)擔(dān)全部進(jìn)/出料動作,并讓進(jìn)料與 出料分列于測試區(qū)兩端,使機(jī)臺配置集積化,運(yùn)送及測試的效率提高;于進(jìn)料后、出料前,待測組件均放置于測試基座的容置槽內(nèi),隨著驅(qū)動裝置驅(qū)動 測試基座位移依序進(jìn)行測試,待測組件僅于進(jìn)料/出料的階段被吸取、搬移, 測試均無離開測試基座,因而減少待測組件搬移的次數(shù),避免無謂劣化而降 低良率;并通過進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)依序排列,承載移動裝置、撿取裝置則在上述三區(qū)間相對移動,交錯、密集的動線設(shè)計,使得彼此間的距離以 及組件搬移的路程縮短。
圖l、 2是現(xiàn)有測試機(jī)臺的俯視圖;圖3是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第一較佳實(shí)施例的立體示意圖;圖4是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第一較佳實(shí)施例的俯視圖;圖5是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第一較佳實(shí)施例的正視圖;圖6是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第一較佳實(shí)施例的右側(cè)視圖;圖7是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 的測試裝置結(jié)構(gòu)方塊圖;圖8是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第一較佳實(shí)施例的步驟流程圖;圖9是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第二較佳實(shí)施例的俯視圖;及圖10是本發(fā)明具循序排列進(jìn)料區(qū)、 第三較佳實(shí)施例的俯視圖。測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺 測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺1、 3...機(jī)臺5、 5'、 5"…承載移動裝置 7、 7'…測試區(qū) 9、 9,、 9"…撿取裝置 6、 12...進(jìn)料區(qū)10、30、 74、 74,、 74"...測試裝置13...左懸臂取放裝置14...轉(zhuǎn)運(yùn)裝置15…右懸臂取放裝置16、36、 8、 8"...出料區(qū)32...進(jìn)料承載裝置33...第一承載移動裝置34...移料裝置35....第二承載移動裝置38…加熱裝置50...螺桿54、94…馬達(dá)60...進(jìn)料螺桿72、72"…驅(qū)動裝置76...平整數(shù)值顯示器80…出料螺桿100、300、 70、 70,'…測試基座121、321…待測承載盤130、150、 332、 352、340、 52、 92…吸嘴132、134、 152、 154...滑軌 140...第一容置槽142...第二容置槽161、,361...完測承載盤331、351…取放機(jī)構(gòu)330、,350...載臺700、700"…容置槽740...平整傳感器742...測試臂401 -412...步驟具體實(shí)施方式有關(guān)本發(fā)明的前述及其它技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)弓功效,在以下配合參考附圖 的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中,將可清楚的呈現(xiàn)。為方便說明,本發(fā)明檢測機(jī)臺的進(jìn)料裝置、出料裝置及驅(qū)動裝置72均以一螺桿為例。如圖3至8所示,機(jī)臺主要被區(qū)隔為進(jìn)料區(qū)6、測試區(qū)7及出料區(qū)8。 其中,進(jìn)料區(qū)6設(shè)置有進(jìn)料螺桿60;測試區(qū)7則包括多個分別形成多個容置槽700的測試基座70、多個分別對應(yīng)測試基座70的驅(qū)動裝置72、測試裝置 74、平整傳感器740以及平整數(shù)值顯示器76;,其中出料區(qū)8包含出料螺桿 80;承載移動裝置5及撿取裝置9。測試區(qū)7的測試裝置74更分別包含多個測試臂742以及電性測試單元、 效能測試單元、電性效能的切換單元;承載移動裝置5及撿取裝置9更分別 包含螺桿,多個吸嘴52、 92及馬達(dá)54、 94。參照圖8的步驟401、 402,進(jìn)料螺桿60將放置于進(jìn)料區(qū)6內(nèi)的待測承 載盤逐步、定速地循圖示的Y方向移動,使待測承載盤于承載移動裝置5 處暫停,以便于待測組件的吸取,此時,承載移動裝置5由馬達(dá)54驅(qū)動吸 嘴52吸起待測承載盤內(nèi)例如四個待測組件,并由螺桿50搬移至測試基座70 的容置槽700內(nèi)放置。參照圖8的步驟403,分別設(shè)置于各測試基座70下方的驅(qū)動裝置72, 將驅(qū)動測試基座70循圖示的Y方向移動,致使測試基座70于測試裝置74 處暫停,進(jìn)行平整、電性及效能的測試流程。參照圖8的步驟404至步驟406,驅(qū)動裝置72先驅(qū)動測試基座70于測 試裝置74的平整傳感器740處暫停,平整傳感器740會以光纖照射待測組 件的表面,通過平整數(shù)值顯示器76呈現(xiàn)組件表面的反射值,來判斷待測組 件有無不平整或是重復(fù)堆放的情形發(fā)生,此時,若有上述的情形發(fā)生,驅(qū)動 裝置72會將容置此等待測組件的測試基座70整個退出測試裝置74,將待測 組件重新放平或是將重疊的待測組件移出后再接著進(jìn)行原先預(yù)定的測試流 程。為避免機(jī)臺針對電性不良的待測組件進(jìn)行后續(xù)的效能測試對,會導(dǎo)致整 個測試裝置74發(fā)生短路、當(dāng)機(jī)的情形,所以,如圖8的步驟407至步驟409, 待測組件通過平整測試后,驅(qū)動裝置72會驅(qū)動測試基座70繼續(xù)循圖示的Y方向移動、并在多個測試臂742處暫停,測試臂742循圖示的Z方向移動、 接觸待測組件表面,以獲得待測組件的相關(guān)電性數(shù)據(jù),當(dāng)待測組件電性測試 的結(jié)果為嚴(yán)重不良時,驅(qū)動裝置72亦會驅(qū)動測試基座70退至撿取裝置9處 暫停,待撿取裝置9將測試基座70上的待測組件搬移至出料區(qū)8,將短路組 件歸類為「不良品」,并將其余三顆歸類為「未檢測」,待稍后,再回過頭 將整盤未檢測組件重新進(jìn)行測試。如圖8的步驟410,待測組件通過電性測試后,可利用測試裝置74內(nèi)的 切換單元,將測試裝置74與電性測試單元的電性連接切換為測試裝置74與 效能測試單元的電性連接,進(jìn)行待測組件的效能實(shí)境測試。由此,檢測流程 的搬移次數(shù)被有效降低,測試過程造成組件損壞的機(jī)率從而同步降低;且吸 取裝置被減少,機(jī)臺造價益形低廉。最后,當(dāng)待測組件依序完成平整、電性及效能所有的測試流程時,如圖 8的步驟411、 412,驅(qū)動裝置72驅(qū)動測試基座70再循圖示的Y方向移動至 撿取裝置9處暫停,由撿取裝置9的馬達(dá)94驅(qū)動多個吸嘴92將位于容置槽 700內(nèi)的測畢組件吸起、經(jīng)由螺桿沿圖示的X方向搬移至出料區(qū)8,并依據(jù) 測試結(jié)果將測畢組件區(qū)分為例如合格品、次級品、不良品及未測試品,而分 別放置于不同的完測承載盤中。由于此種排列配置入料區(qū)、測試區(qū)、及出料 區(qū)的巧妙空間排列,使機(jī)臺整體的體積縮減,占用廠房空間減小,對生產(chǎn)廠 商更具經(jīng)濟(jì)效益。當(dāng)然,如本技術(shù)領(lǐng)域者所能輕易理解,本案第二較佳實(shí)施例如圖9所示, 由于測試裝置74'相較于機(jī)臺上的其它機(jī)構(gòu)配備較需要隨待測組件的生產(chǎn)線 變更而更換,且需定期維護(hù)保養(yǎng)調(diào)校,為使更換、保養(yǎng)測試裝置74,的動作 更加便利,所以將承載移動裝置5'及撿取裝置9'設(shè)置于同一側(cè),測試區(qū)7' 則設(shè)置于較撿取裝置9'更遠(yuǎn)離承載移動裝置5'的另一側(cè),于測試裝置74'需更換或保養(yǎng)時,無須觸碰到承載移動裝置5'及撿取裝置9'而產(chǎn)生不必要的麻 煩。當(dāng)然,機(jī)臺的測試基座亦可不限于單一的并排橫向排列配置,如圖10 第三較佳實(shí)施例所示,測試基座亦可70"為一圓盤,當(dāng)承載移動裝置5"將待 測組件吸起、搬移至圓形測試基座70"上的多個容置槽700"內(nèi),驅(qū)動裝置72" 驅(qū)動測試基座70"以例如四分之一圓的角度旋轉(zhuǎn),致使圓形測試基座70"上 的多個容置槽700"于測試裝置74"處暫停,依序進(jìn)行平整、效能及電性的測 試流程。待多個待測組件依序測試完畢后,驅(qū)動裝置72"驅(qū)動圓形測試基座70", 再以例如四分之一圓的角度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)至撿取裝置9"處暫停,由撿取裝置9" 將測畢組件吸起、并搬移至出料區(qū)8"的完測承載盤內(nèi)放置。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此, 對于測試基座的形狀、測試基座容置槽的多寡、測試裝置設(shè)置的位置以及驅(qū) 動裝置位移的方向,均為本發(fā)明實(shí)施的范圍,當(dāng)不能受上述實(shí)施例的限定, 本領(lǐng)域中的技術(shù)人員任何基于本發(fā)明技術(shù)方案上非實(shí)質(zhì)性變更均包括在本 發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種具循序排列進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的多測試座測試機(jī)臺,其中該機(jī)臺具有貫穿該進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)的軸線,是用來測試多個待測組件,其特征在于,該等待測組件在進(jìn)出該機(jī)臺時,是被設(shè)置在承載盤上搬移,該機(jī)臺包含設(shè)置于該進(jìn)料區(qū)、并以與該軸線夾一預(yù)定角度方向移動進(jìn)料承載盤的進(jìn)料裝置;多個沿該軸線配置于該測試區(qū)、并分別具有多個供容置該等待測組件的容置槽的測試座;大致沿該軸線方向移動、供將該進(jìn)料承載盤上的該等待測組件搬移至該等測試座上容置槽的承載移動裝置;多個分別對應(yīng)各該測試座、用以測試該等待測組件的測試裝置;設(shè)置在該出料區(qū)、并以與該軸線夾一預(yù)定角度方向移動出料承載盤的出料裝置;及大致沿該軸線方向移動、供將該等容置槽上的該等受測完畢的待測組件搬移至該出料承載盤上的撿取裝置。
2. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于該進(jìn)料裝置及該出 料裝置分別包含供該進(jìn)料承載盤及該出料承載盤移動、并與該軸線相垂直 的螺桿。
3. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于該測試區(qū)設(shè)置有多 個分別對應(yīng)各該測試座,并使各該測試座的該等容置槽分別在對應(yīng)于該承 載移動裝置、各該對應(yīng)檢測裝置、及該撿取裝置處暫停的驅(qū)動裝置。
4. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于該承載移動裝置及 該撿取裝置分別包括驅(qū)動該承載移動裝置/該撿取裝置的驅(qū)動馬達(dá); 受該驅(qū)動馬達(dá)驅(qū)動的螺桿;及多個受該螺桿驅(qū)動沿該軸線方向移動、吸取該進(jìn)料承載盤上該等待測組 件/該等容置槽上的該等受測完畢的待測組件的吸嘴。
5. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于各該測試裝置,更 分別包括測試該等測試座上待測組件平整度的平整傳感器; 測試該等待測組件電氣特性的電性測試單元; 測試該等待測組件效能的效能測試單元;及將該等測試座中該等待測組件切換電性連接至該電性測試單元或該效能 測試單元的切換單元。
6. 如權(quán)利要求5所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于各該平整傳感器分 別包含平整數(shù)值顯示器。
7. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于各該測試裝置是配 置于較該撿取裝置更遠(yuǎn)離該承載移動裝置側(cè)。
8. 如權(quán)利要求l所述的多測試座測試機(jī)臺,其特征在于各該測試座分別包 括具有多個容置槽的圓盤。
全文摘要
本發(fā)明是將進(jìn)料區(qū)、測試區(qū)及出料區(qū)三者沿第一方向排列,承載移動裝置、撿取裝置則彼此相對沿第二方向配置,并沿第一方向在上述三區(qū)間相對移動,通過兩者交錯的動向設(shè)計,由承載移動裝置吸取進(jìn)料區(qū)的待測組件,將待測組件搬移至測試區(qū)的測試座中,由驅(qū)動裝置驅(qū)動各測試座依序經(jīng)過如平整測試、電性測試、效能測試等單元后,再由撿取裝置將完測組件搬移至出料區(qū)的出料承載盤放置。這樣,批次進(jìn)行大量檢測,并讓進(jìn)料與出料分列于測試區(qū)兩端,使機(jī)臺配置集積化,運(yùn)送及測試的效率提高,更減少待測物搬移次數(shù),避免無謂劣化而降低良率。
文檔編號G01R31/26GK101315402SQ20071010986
公開日2008年12月3日 申請日期2007年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月1日
發(fā)明者陳建名 申請人:致茂電子股份有限公司