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專利名稱：一種可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體元器件制備過程中所用的濕化學(xué)腐蝕裝置，特別是指一種能使樣品在腐蝕過程中自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置。
本實(shí)用新型的一種可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上置有耐腐蝕的容器，容器內(nèi)底部置有磁子，容器內(nèi)灌有腐蝕液，腐蝕液中放有可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的樣品架。所說的樣品架包括手柄，在手柄下端有一與手柄呈90°螺接的小軸；小軸的另一端，即與手柄螺接相對的一端，加工成一定長度的小軸階臺；有一軸套與小軸階臺外園作軸與孔的松動(dòng)配合，即軸套在小軸階臺的外園上可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)；在小軸階臺的末端有一檔圈與小軸階臺螺接，這樣軸套在小軸階臺上的轉(zhuǎn)動(dòng)不至于產(chǎn)生過大的軸向串動(dòng)；軸套的外園周上均布有四片葉片；有一樣品盤，其中心孔與軸套尾端外園緊配，樣品盤平面處粘貼有樣品，當(dāng)磁力攪拌器帶動(dòng)容器內(nèi)磁子作正反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，使腐蝕液作雙向流動(dòng)從而帶動(dòng)裝有樣品的樣品盤一起轉(zhuǎn)動(dòng)，形成本實(shí)用新型的樣品旋轉(zhuǎn)裝置。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是1.由于樣品架增加了一個(gè)旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，腐蝕液在雙向磁力攪拌器的作用下帶動(dòng)樣品盤旋轉(zhuǎn)，使樣品的腐蝕生成物快速離開腐蝕位置，從而使樣品溝槽腐蝕順利進(jìn)行。
2.由于樣品在腐蝕時(shí)，會自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣可減少樣品表面各處液體流動(dòng)速度的不均勻和因進(jìn)入溝槽內(nèi)壁的腐蝕液先后引起的腐蝕時(shí)間不一致帶來的影響，大大地提高了溝槽內(nèi)壁均勻性。
3.因?yàn)槭请p向磁力攪拌，所以樣品沿其法線方向周期地作順時(shí)針和逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣可以避免腐蝕坑出現(xiàn)單邊峰、雙邊峰和不平整等問題。
腐蝕裝置工作時(shí)，先將裝有腐蝕液的容器放置在磁力攪拌器10上，將旋轉(zhuǎn)磁子11放入腐蝕液里，打開磁力攪拌器10，讓腐蝕液充分?jǐn)嚢韬陀幸欢ǖ碾p向流動(dòng)速率，然后手握樣品架手柄1將該裝置放入腐蝕液中，此時(shí)樣品架在漩渦式流動(dòng)的腐蝕液帶動(dòng)下將四片蝶形葉片7轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)樣品盤5旋轉(zhuǎn)。
本實(shí)用新型的腐蝕裝置，已經(jīng)成功用于半導(dǎo)體材料深溝槽的腐蝕，其腐蝕圖形見用臺階儀攝取的溝槽形狀圖2，溝槽側(cè)壁垂直，底面平坦。
權(quán)利要求1.一種可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置，包括磁力攪拌器(10)，磁力攪拌器上置有一耐腐蝕的容器(8)，容器內(nèi)底部置有磁子(11)，容器內(nèi)灌有腐蝕液(9)，腐蝕液中放有樣品架；其特征在于所說的樣品架包括手柄(1)，在手柄下端有一與手柄呈90°螺接的小軸(2)；小軸的另一端，即與手柄螺接相對的一端，延生有一定長度的小軸階臺(3)；有一軸套(4)與小軸階臺外園作軸與孔的松動(dòng)配合；在小軸階臺(3)的末端有一檔圈(12)與小軸階臺螺接，；軸套(4)的外園周上均布有四片葉片(7)；有一樣品盤(5)，其背面有一中心孔(502)與軸套尾端外園緊配，樣品盤正面(501)處粘貼有樣品(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1一種可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置，其特征在于所述說的裝置所有零件均系耐腐蝕的聚四氟乙稀材料制成。
專利摘要一種可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的腐蝕裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上置有耐腐蝕的容器，容器內(nèi)底部置有磁子，容器內(nèi)灌有腐蝕液，腐蝕液中放有可使樣品自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的樣品架。所說的樣品架的軸外圓上套有帶四片均布葉片的軸套，樣品盤背面中心孔與軸套尾端外圓緊配，樣品盤平面處粘貼有樣品。當(dāng)磁力攪拌器帶動(dòng)容器內(nèi)磁子作正反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，使腐蝕液作雙向流動(dòng)從而帶動(dòng)裝有樣品的樣品盤一起轉(zhuǎn)動(dòng)，使樣品腐蝕反應(yīng)生成物快速離開樣品溝槽，保證了溝槽內(nèi)壁的均勻腐蝕。
文檔編號G01N17/00GK2575659SQ02261149
公開日2003年9月24日 申請日期2002年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月31日
發(fā)明者朱建妹, 胡曉寧, 葉振華, 王正官 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所