專利名稱：氣體檢漏器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種按權利要求1前序部分所述的氣體檢漏器。
這種特征的氣體檢漏器可從DE-A-3124205得知。這種型式的檢漏器實現兩級檢漏。只要進氣口的壓力還相當高，則位于伸向中間接管的管道中的閥門關閉。從預真空泵吸入的混合氣到達第二摩擦泵的預真空側。如果測試件中有較粗的漏洞或裂縫使混合氣中有測試氣體(如氦氣)，則該氣體逆流通過兩級摩擦泵到達探測器并被記錄。如果測試件漏洞或裂縫不大，則在檢漏器進氣管足夠低的壓力下可打開伸向中間接管的管道中的閥門，從而實現更高靈敏度的檢漏。
現有技術中上述檢漏器其預真空泵是一個油密封的泵，因此存在油蒸汽進入接在檢漏器進氣管上的測試件或測試容器中的危險。
本發明首要目的在于設計一種無油檢漏的氣體檢漏器。
本發明通過將預真空泵做成隔膜泵實現了該目的。隔膜泵能夠產生一個完全無油的真空。預真空泵的油蒸汽進入檢漏器進氣管的危險因而也就不存在了。
摩擦真空泵只能由預抽真空壓力推動，其上限只有幾個毫巴(如5個)、隔膜真空泵有一個最終壓力，其數量級與此相同。因此推動帶有隔膜真空泵作前置泵的摩擦真空泵的前提是，隔膜真空泵在其最終壓力附近被推動。隨著壓力逐漸靠近最終壓力隔膜真空泵的進吸能力趨于零。因為在此所述型式的檢漏器的響應時間，主要取決于預抽真空泵的進吸能力，所以用隔膜真空泵作預抽真空泵響應時間將很長。
因此本發明進一步的目的是，縮短以隔膜泵作預抽真空泵的現有類型檢漏器的響應時間。
按本發明，該目的是這樣來實現的，使檢漏器的進氣管與中間接管之間的連接管的導納可調。連接管導納的調節必須盡可能高，但不能超過為保持質譜儀—探測器的驅動壓力所必需的兩摩擦泵間的壓力。這樣就可以使檢漏器進氣管提前通過受阻滯的連接管與中間連接管相連，即使此時檢漏器進氣管的壓力仍然高于兩摩擦泵間的最大允許壓力。這個方法的最大優點是，可提前利用第二級摩擦泵相對隔膜泵明顯高的進吸能力，從而使響應時間大大縮短。
本發明的其他優點和細節借助
圖1和2闡明。
圖1本發明氣體檢漏器的實施例。
圖2導納可調的閥門的實施例。
圖1所示，檢漏器為標號1，進氣管為標號2，質譜儀式氣體探測器為標號3，兩級摩擦真空泵為標號4，其第一級是渦輪分子泵式摩擦泵5和中間接管6，第二級是螺紋式摩擦真空泵7，隔膜泵8為預抽真空泵。第二級摩擦泵7的出口端與隔膜泵8的進口端9相接，通過管11和閥12、檢漏器1的進氣管2通過接管13和閥14與隔膜泵8的進口端9相接。此外，進氣管2和中間接管通過管15和閥16連接。
為檢測隔膜8的入口9處的壓力安裝了壓力計17。它將信號傳送到調節器(方框18)，調節器與閥16相接。
舉例說明檢漏的實現，將測試件連到氣體檢漏器1的進氣管2，在閥12和閥16關閉時通過管13預抽成真空。壓力足夠低時(大約5毫巴)閥12開啟，檢漏開始。如果試件中有較大漏洞或裂縫，則測試氣體到達摩擦泵4的預抽真空端，再逆流到達探測器3。這種情況的檢漏結束。
如果還沒有測試氣體記錄，繼續通過管13對試件抽空。按現有技術的檢漏器抽空必須持續到進氣管壓力與中間接管6壓力相當然后閥16才能切開，進入高靈敏度檢漏狀態。
在所述實施例中預抽真空泵是隔膜泵，因此這將由于其降低的進吸能力而需要持續很長時間，直到能夠開始高靈敏度檢漏。同樣檢漏器的響應時間—從測試氣體進入進氣管2到探測器3記錄之間的時間—在閥16關閉狀態下也仍然很長。
因閥16的導納可調，所以可以使進氣管2和中間接管6在進氣壓力仍高于中間接管6的時候就接通。接管的導納調節必須使閥16總是保持所要求的壓力差。隨著進氣管2壓力的降低，閥16的導納增加，當進氣壓力與中間接管6的壓力相當時，閥16完全打開。
所以調節可依據中間接管6的壓力自動實現或者也可以—如在實施例中所實現的那樣—依據預抽真空壓力(由壓力計17測量)，壓力計17將信號傳送到調節器18，調節器按所希望的壓力比調節閥16的導納。
圖2所示為可調閥16的實施例，可調閥桿21連著一個帶O形圈23的閥盤22。如果O形圈23壓在座24上，則閥16關閉。閥盤22裝有錐體25，根據閥桿21的不同位置，錐體25或多或少地插入與其相配合的錐形閥門通氣口26。這樣錐體25與口26之間的環狀間隙的大小可變。
也可用兩個或者多個帶隔板或其他導納限制形式的閥來代替所述可調閥16。這樣就依據進氣壓力逐漸地按導納從小到大順序從一個閥換到另一個閥。
權利要求
1.氣體檢漏器(1)，它設有進氣口(2)，質譜儀型探測器(3)，逆流驅動的第一級摩擦泵(5)，第二級摩擦泵(7)，中間接管(6)，它在第一級和第二級摩擦泵之間，預抽真空泵(8)，檢漏器進氣口(2)和預抽真空泵(8)入口端(9)之間的第一級可隔絕連接管(13)，以及檢漏器進氣口(2)和中間接管(6)之間的第二級可隔絕管(15)，其特征在于，預抽真空泵(8)是一個隔膜泵。
2.根據權利要求1所述的檢漏器，其特征在于，檢漏器(1)的進氣口(2)和中間接管(6)之間的連接管(15)其導納可調。
3.根據權利要求2所述的檢漏器，其特征在于，導納可調的閥(16)位于管(15)內。
4.根據權利要求3所述的檢漏器，其特征在于，閥(16)裝有閥桿(21)，它帶有一個錐體(25)，并裝有與錐體相配合的錐形的閥門氣口(26)。
5.根據權利要求2所述的檢漏器，其特征在于，可用多個閥來實現導納調節。
6.根據權利要求2至5中任一項所述的檢漏器的驅動方法，其特征在于，連接管(15)或閥(16)的導納調節取決于預抽真空泵(8)的入口端的預真空壓力或者中間接管(6)的壓力。
7.按權利要求6所述方法，其特征在于，導納的調節應使兩個摩擦泵(5，7)之間保持一個壓力，這個壓力一方面應盡可能高，另一方面能保持探測器(3)的工作真空。
全文摘要
本發明涉及一種氣體檢漏器(1)，它有進氣口(2)，質譜儀式探測器(3)，逆流推動的第一級摩擦泵(5)，第二級摩擦泵(7)，第一、第二級摩擦泵間的中間接管(6)，預抽真空泵(8)，檢漏器進氣口(2)和預抽真空泵(8)入口端(9)之間的第一級可隔絕連接管(13)，以及檢漏器進氣口(2)與中間接管(6)之間的第二級可隔絕接管(15)；為實現無油檢漏，預抽真空泵(8)用隔膜泵。為實現較短的響應時間，檢漏器(1)的進氣口(2)和中間接管(6)之間的接管(15)的導納可調。
文檔編號G01M3/20GK1146553SQ96101379
公開日1997年4月2日 申請日期1996年2月8日 優先權日1995年2月9日
發明者托馬斯·伯姆, 魯迪·維特 申請人:萊波爾德股份公司
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