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專利名稱：檢查顯示器基板的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查顯示器基板的方法和設(shè)備。更具體而言，本發(fā)明涉及能夠提高檢查可靠性的顯示器基板的檢查方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
通常，液晶顯示(LCD)裝置包括利用液晶分子的透光率顯示圖像的LCD屏板和為LCD屏板提供光的背光組件。背光組件設(shè)置于LCD屏板之下。
LCD屏板包括陣列基板、濾色器基板以及插置于所述陣列基板和所述濾色器基板之間的液晶層。
所述陣列基板還可以包括多條信號線、多個信號施加焊盤、多條測試線和多個測試焊盤。每條信號線分別電連接到每一薄膜晶體管(TFT)。每一信號施加焊盤分別電連接到每條信號線。每一測試焊盤分別電連接到每一信號施加焊盤。在執(zhí)行完對陣列基板的檢查后，從所述陣列基板去除所述測試線和測試焊盤。在從所述陣列基板去除所述測試線和所述測試焊盤之后，在信號施加焊盤上安裝用于驅(qū)動TFT的額外的驅(qū)動芯片。
在LCD屏板的檢查當(dāng)中，向測試焊盤施加測試信號，從而在LCD屏板上顯示測試圖像，之后對所述測試圖像進(jìn)行分析以發(fā)現(xiàn)LCD屏板的顯示缺陷。
但是，在通過施加測試信號判斷是否產(chǎn)生了顯示缺陷，由此獲得結(jié)果時，以及在LCD屏板上產(chǎn)生了顯示缺陷時，無法精確地判斷產(chǎn)生缺陷的LCD屏板的部分的精確位置。具體地，無法判斷所述缺陷是由相對于信號施加焊盤的測試線和測試焊盤的缺陷引起的，還是由信號線的缺陷引起的。因此，通過常規(guī)的顯示器基板檢查方法無法準(zhǔn)確地判斷引起顯示器缺陷的原因，從而降低了檢查的可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種能夠提高檢查可靠性的顯示器基板的檢查方法。
本發(fā)明還提供了一種用于采用上述方法檢查顯示器基板的設(shè)備。
在本發(fā)明的一個方面，提供了一種顯示器基板的檢查方法。所述顯示器基板包括多條測試線、多個電連接到每條所述測試線的信號施加焊盤和多條電連接到所述信號施加焊盤的信號線。在所述方法中，向所述測試線施加多個第一測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第一信號缺陷。在產(chǎn)生第一信號缺陷時，使所述信號施加焊盤相互電短接。向所述測試線施加多個第二測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第二信號缺陷。
在本發(fā)明的一個方面，所述第一信號缺陷可能是測試線的缺陷或信號線的缺陷，或者是測試線的缺陷和信號線的缺陷，所述第二信號缺陷可能是信號線的缺陷。例如，在確定未產(chǎn)生第二信號缺陷時，可以確定所述顯示器基板的缺陷是測試線的缺陷。另一方面，在確定產(chǎn)生了第二信號缺陷時，確定所述顯示器基板的缺陷是信號線的缺陷。
在本發(fā)明的另一方面，一種顯示器基板的檢查設(shè)備包括底座體部分、測試信號施加部分和焊盤短接部分。
所述測試信號施加部分接合至所述底座體部分，并與所述顯示器基板的測試焊盤接觸。所述測試信號施加部分向每一所述測試焊盤施加多個測試信號。所述焊盤短接部分接合至所述底座體部分并與所述顯示器基板的信號施加焊盤接觸。所述焊盤短接部分使所述信號施加焊盤相互電短接。
在本發(fā)明的另一方面，所述的顯示器基板的檢查設(shè)備還可以包括多個沿基本平行于所述顯示器基板的端部的第一方向設(shè)置的測試信號施加部分。這里，將所述焊盤短接部分設(shè)置于每一所述測試信號施加部分之間。
例如，所述的顯示器基板的檢查設(shè)備可以有選擇地包括設(shè)置于所述底座體部分上的傳送部分。所述傳送部分通過接合至所述焊盤短接部分將所述焊盤短接部分沿所述第一方向傳送。
如上所述，在檢查第一信號缺陷之后，將信號施加焊盤相互電短接，之后檢查第二信號缺陷，因而有可能確定在所述顯示器基板的測試線或所述顯示器基板的信號線中產(chǎn)生缺陷的位置。因此，可以提高顯示器基板的檢查可靠性。此外，可以省略檢測在顯示器基板上產(chǎn)生的缺陷的原因的額外檢查步驟，從而降低檢查成本。


在結(jié)合附圖考慮時，通過參考下文的具體實施方式
，本發(fā)明的上述和其他優(yōu)點將變得顯而易見，其中圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的顯示器基板的檢查方法的流程圖；圖2是從概念上示出了顯示器基板和利用圖1中的顯示器基板檢查方法檢查顯示器基板的設(shè)備的平面圖；圖3是示出了圖2所示的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“A”的平面圖；圖4是示出了圖2所示的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“B”的平面圖；圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實施例的顯示器基板的檢查方法的流程圖；圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的顯示器基板的檢查設(shè)備的透視圖；圖7是示出了圖6中的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“C”的放大圖；圖8是示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實施例的顯示器基板的檢查設(shè)備的透視圖；圖9是示出了根據(jù)本發(fā)明的又一示范性實施例的顯示器基板的檢查設(shè)備的透視圖；以及圖10是沿圖9的I-I′線得到的截面圖。
具體實施例方式
下文中將參考附圖更為充分地描述本發(fā)明，附圖中展示了本發(fā)明的實施例。不過，本發(fā)明可以以許多不同的形式實施，不應(yīng)被視為受限于此處所述的示范性實施例。相反，提供這些實施例是為了使本公開透徹和完全，并將充分地把本發(fā)明的范圍傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。在附圖中，為了清晰起見可以夸大層和區(qū)域的尺寸和相對尺寸。
應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)稱一元件或?qū)釉诹硪辉驅(qū)印吧稀保蛘摺斑B接至”、“耦合至”另一元件或?qū)訒r，它可能直接在另一元件或?qū)由希蛑苯舆B接、耦合至另一元件或?qū)樱部赡艽嬖谥虚g元件或?qū)印７粗?dāng)稱一元件“直接位于”另一元件或?qū)印吧稀薄ⅰ爸苯舆B接到”或“直接耦接到”另一元件或?qū)由蠒r，不存在中間元件或?qū)印Ｊ冀K以類似的數(shù)字指示類似的元件。這里所用的術(shù)語“和/或”包括一個或多個相關(guān)所列項目的任何與全部組合。
應(yīng)當(dāng)理解，雖然這里可能使用術(shù)語第一、第二等來描述多種元件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)被視為受限于這些術(shù)語。這些術(shù)語僅用于將某一元件、部件、區(qū)域、層或部分與其他區(qū)域、層或部分區(qū)分開。這樣一來，在不背離本發(fā)明的教導(dǎo)的情況下，以下所討論的第一元件、組件、區(qū)域、層或部分可以被稱為第二元件、組件、區(qū)域、層或部分。
為了便于描述，這里可能使用例如“在......下”、“之下”、“下”、“之上”、“上”等空間相對術(shù)語來描述如圖所示的一個元件或特征與另一個或多個元件或特征的關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解，空間相對術(shù)語意在包括除圖示方向之外的在使用中或在工作中的器件的不同方向。例如，如果將圖中的器件反轉(zhuǎn)，被描述為在其他元件或功能部件“下”或“之下”的元件將位于其他元件或功能部件“之上”。這樣一來，示范性術(shù)語“在......下”可以包括之上和之下兩種方向。器件可以采取其他取向(旋轉(zhuǎn)90度或者在其他方向)，并對這里所用的空間關(guān)系描述語進(jìn)行相應(yīng)的解釋。
這里所用的術(shù)語僅僅是為了描述特定的實施例，并不意在限制本發(fā)明。如這里所用的，單數(shù)形式“一”和“該”意在同時包括復(fù)數(shù)形式，除非上下文另行明確指出。還要理解的是，本說明書中所用的術(shù)語“包括”指明所述特征、整數(shù)、步驟、操作、元件和/或組件的存在，但不排除一個或多個其他特征、整數(shù)、步驟、操作、元件、組件和/或其組合的存在或增加。
這里參考截面圖描述本發(fā)明的實施例，所述截面圖為本發(fā)明的理想化實施例(以及中間結(jié)構(gòu))的示意圖。照此，可以預(yù)見到由于例如制造技術(shù)和/或容限會引起圖示形狀的變化。這樣一來，本發(fā)明的實施例不應(yīng)被解釋為受限于這里圖示的特定的區(qū)域形狀，而是包括因(例如)制造而產(chǎn)生的形狀變化。例如，圖示為矩形的注入?yún)^(qū)通常具有圓形的或彎曲的功能部件和/或在其邊緣處具有注入濃度的梯度，而不是從注入?yún)^(qū)到非注入?yún)^(qū)具有二元變化。類似地，通過注入形成的掩埋層可能導(dǎo)致在所述掩埋層和通過其發(fā)生注入的表面之間的區(qū)域內(nèi)存在一些注入。這樣一來，圖示的區(qū)域從本質(zhì)上講是示意性的，它們的形狀不意在展示器件區(qū)域的實際形狀，且不意在限制本發(fā)明的范圍。
除非另有定義，否則文中所采用的所有術(shù)語(包括科技術(shù)語)具有本發(fā)明所屬領(lǐng)域普通技術(shù)人員通常理解的含義。還要理解的是，諸如在通用詞典中所定義的那些術(shù)語應(yīng)當(dāng)被解釋為有著與其在相關(guān)技術(shù)和本公開的上下文中的含義相一致的含義，除非這里明確加以定義，否則不應(yīng)被解釋為理想化的或過度形式的意義。
以下將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明。
實施例1(顯示器基板的檢查方法)圖1是根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的顯示器基板的檢查方法的流程圖。圖2是從概念上示出了顯示器基板和利用圖1中的顯示器基板檢查方法檢查顯示器基板的設(shè)備的平面圖。
首先，將描述將要采用根據(jù)本示范性實施例的顯示器基板檢查方法檢查的顯示器基板，之后將詳細(xì)說明所述顯示器基板檢查方法。
參考圖2，顯示器基板100包括多個像素電極(未示出)、多個薄膜晶體管(TFT)(未示出)、多個信號施加焊盤120、多條測試線130和多個測試焊盤140。顯示器基板100可以是液晶顯示器(LCD)屏板(未示出)的陣列基板。LCD屏板還可以包括濾色器基板以及插置于所述陣列基板和所述濾色器基板之間的液晶層。
像素電極包括遷移(transference)導(dǎo)電材料。像素電極以矩陣形狀設(shè)置于陣列基板上。
每一TFT電連接到每一像素電極，并控制像素電極內(nèi)所充的像素電壓。
每條信號線110電連接到每一TFT，并控制所述TFT。具體地，信號線110包括多條沿第一方向形成的數(shù)據(jù)線112和多條沿垂直于第一方向的第二方向形成的柵極線114。
每一信號施加焊盤120電連接到每條信號線110。可以將驅(qū)動芯片(未示出)設(shè)置于信號施加焊盤120上。將驅(qū)動芯片電連接到信號施加焊盤120，從而使驅(qū)動芯片為信號施加焊盤120提供用于顯示圖像的驅(qū)動信號。例如，信號施加焊盤120可以包括多個電連接到數(shù)據(jù)線112的數(shù)據(jù)焊盤122和多個電連接到柵極線114的柵極焊盤124。
每條測試線130電連接到每一信號施加焊盤120。例如，測試線130可以包括多個電連接到每一數(shù)據(jù)焊盤122的數(shù)據(jù)測試線132和多條電連接到柵極焊盤124的柵極測試線134。
每一測試焊盤140電連接到每條測試線130。可以使多個信號施加引腳(未示出)與測試焊盤140接觸。信號施加引腳為測試焊盤140提供用于測試LCD屏板上顯示的圖像的測試圖像信號。例如，測試焊盤140可以包括多個電連接到數(shù)據(jù)測試線132的數(shù)據(jù)測試焊盤142和多個電連接到柵極測試線134的柵極測試焊盤144。
圖3是示出了圖2所示的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“A”的平面圖。
參考圖3，將預(yù)定數(shù)量的數(shù)據(jù)焊盤122定義為一個組。沿第二方向設(shè)置多個所述組。例如，可以將六個數(shù)據(jù)焊盤122定義為一個組。將一個組內(nèi)的每一數(shù)據(jù)焊盤122一對一地電連接到每條對應(yīng)的數(shù)據(jù)線112。
數(shù)據(jù)測試線132包括多條第一數(shù)據(jù)測試線132a和多條第二數(shù)據(jù)測試線132b。
第一數(shù)據(jù)測試線132a沿第一方向形成。將第一數(shù)據(jù)測試線132a一對一地電連接到每一對應(yīng)的數(shù)據(jù)焊盤122，定義為一組的第一數(shù)據(jù)測試線132a的數(shù)量與數(shù)據(jù)焊盤122的數(shù)量基本相等。
第二數(shù)據(jù)測試線132b沿第二方向形成，從而與第一數(shù)據(jù)測試線132a交叉。將第二數(shù)據(jù)測試線132b通過每一第一接觸孔50一對一地電連接到每條對應(yīng)的第一數(shù)據(jù)測試線132a，定義為一組的第二數(shù)據(jù)測試線132b的數(shù)量與第一數(shù)據(jù)測試線132a的數(shù)量基本相等。
定義為一組的數(shù)據(jù)測試焊盤142的數(shù)量與第二數(shù)據(jù)測試線132b的數(shù)量基本相等。每一數(shù)據(jù)測試焊盤142電連接到每條第二數(shù)據(jù)測試線132b。例如，每條第二數(shù)據(jù)測試線132b可以包括第一端部和第二端部。第一端部電連接到設(shè)置于第一組內(nèi)的數(shù)據(jù)測試焊盤142。第二端部電連接到設(shè)置于與所述第一組相鄰的第二組內(nèi)的數(shù)據(jù)測試焊盤142。因此，所有組的數(shù)據(jù)測試焊盤142均得到了相互對應(yīng)的一對一電連接。
或者，可以使一組內(nèi)的數(shù)據(jù)焊盤122通過第一短接部分10相互電短接。而且，可以在通過根據(jù)本示范性實施例的顯示器基板檢查方法檢查顯示器基板100之后，沿第一切割線30切割顯示器基板100。因此，可以從顯示器基板100去除數(shù)據(jù)測試線132和數(shù)據(jù)測試焊盤142。在數(shù)據(jù)焊盤122和第二測試線132b之間設(shè)置第一切割線30，使之與第一數(shù)據(jù)測試線132a交叉。
圖4是示出了圖2所示的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“B”的平面圖。參考圖4，將預(yù)定數(shù)量的柵極焊盤124定義為一個組。沿第一方向設(shè)置多個所述組。例如，可以將四個柵極焊盤124定義為一組。每一柵極焊盤124一對一地電連接到每條對應(yīng)的柵極線114。
柵極測試線134包括多條第一柵極測試線134a和多條第二柵極測試線134b。
第一柵極測試線134a沿第一方向形成。定義為一組的第一柵極測試線134a的數(shù)量與柵極焊盤124的數(shù)量基本相同。將每條第一柵極測試線134a一對一地電連接到每一對應(yīng)的柵極焊盤124。
第二柵極測試線134b沿與第一柵極測試線134a交叉的第二方向形成。將第二柵極測試線134b通過每一對應(yīng)的第二接觸孔60一對一地電連接到每條第一柵極測試線134a，定義為一組的第二柵極測試線134b的數(shù)量與第一柵極測試線134a的數(shù)量基本相等。
定義為一組的柵極測試焊盤144的數(shù)量與第二柵極測試線134b的數(shù)量基本相等。每一柵極測試焊盤144電連接到每一第二柵極測試線134b。
或者，可以使一組內(nèi)的柵極焊盤124通過第二短接部分20相互電短接。而且，可以在通過根據(jù)本示范性實施例的顯示器基板檢查方法檢查顯示器基板100之后，沿第二切割線40切割顯示器基板100。因此，可以從顯示器基板100去除柵極測試線134和柵極測試焊盤144。將第二切割線40設(shè)置于柵極焊盤124和第二柵極測試線134b之間，使之與第一柵極測試線134a交叉。
在下文中，將參考圖1到圖4詳細(xì)描述如上所述的顯示器基板100的檢查方法。
分別向測試線130施加多個第一測試信號(步驟S10)。在分別向測試線130施加第一測試信號時，在顯示器基板100的像素電極內(nèi)充入對應(yīng)于第一測試信號的電壓，從而顯示第一測試圖像。第一測試信號包括多個第一數(shù)據(jù)測試信號和多個柵極測試信號。
具體地，分別向數(shù)據(jù)測試焊盤142施加第一數(shù)據(jù)測試信號。分別通過第一和第二數(shù)據(jù)測試線132a和132b將施加到數(shù)據(jù)測試焊盤142上的第一數(shù)據(jù)測試信號施加到數(shù)據(jù)焊盤122上。分別通過數(shù)據(jù)線112將施加到數(shù)據(jù)焊盤122上的第一數(shù)據(jù)測試信號施加到TFT上，由此控制所述TFT。
或者，可以將第一柵極測試信號分別施加到柵極測試焊盤144上。分別通過第一柵極測試線134a、第二柵極測試線134b、柵極焊盤124和柵極線114將施加至柵極測試焊盤144的第一柵極測試信號施加至TFT，由此控制所述TFT。
通過第一數(shù)據(jù)測試信號和第一柵極測試信號控制的TFT將像素電極充至一定電壓，由此顯示第一測試圖像。第一測試圖像用于確定是否正確顯示了預(yù)期圖像，即就色調(diào)、亮度等而言具有預(yù)期質(zhì)量的圖像。
之后，執(zhí)行檢查，從而通過觀察第一測試圖像確定是否產(chǎn)生了第一信號缺陷(步驟S20)。例如，所述第一信號缺陷可能是由測試線130的缺陷或信號線110的缺陷引起的。
測試線130的缺陷是指在第一和第二數(shù)據(jù)測試線132a和132b之間的電連接關(guān)系內(nèi)存在缺陷，以及在第一柵極測試線134a和134b之間的電連接關(guān)系內(nèi)存在缺陷。
具體地，第一和第二數(shù)據(jù)測試線132a和132b通過第一接觸孔50相互對應(yīng)地一對一電連接；但是，在所述電連接關(guān)系內(nèi)可能產(chǎn)生問題。例如，可能將第一數(shù)據(jù)測試線132a之一電連接到兩條或更多條第二數(shù)據(jù)測試線132b。再例如，可能未將第一數(shù)據(jù)測試線132a之一電連接到第二數(shù)據(jù)測試線132b中的至少一條。
采用基本相同的方式，將第一和第二柵極測試線134a和134b通過第二接觸孔60相互對應(yīng)地一對一電連接；但是，在所述電連接關(guān)系內(nèi)可能產(chǎn)生問題。
信號線110的缺陷是指每條數(shù)據(jù)線112彼此電切斷或相互電短接，以及每條柵極線114彼此電切斷或相互電短接。
在步驟S20中確定未產(chǎn)生第一信號缺陷后，確定在顯示器基板100上未產(chǎn)生缺陷(步驟S70a)。
另一方面，在步驟S20中確定產(chǎn)生了第一信號缺陷之后，確定在測試線130或信號線110內(nèi)產(chǎn)生了缺陷(步驟S70a)。但是，不可能確定第一信號缺陷是由測試線130的缺陷還是由信號線110的缺陷導(dǎo)致的。
因此，為了準(zhǔn)確判斷第一信號缺陷的原因，還要執(zhí)行下述檢查步驟。
采用包括導(dǎo)電材料的額外短接體使信號施加焊盤120相互電短接(步驟S30)。例如，可以采用短接體使對應(yīng)于第一信號缺陷的由信號施加焊盤120構(gòu)成的組相互電短接。
具體地，在沿數(shù)據(jù)線112的部分產(chǎn)生第一信號缺陷時，通過第一短接部分10使對應(yīng)于數(shù)據(jù)線112的部分的由數(shù)據(jù)焊盤122構(gòu)成的組相互電短接。
或者，在沿柵極線114的部分產(chǎn)生第一信號缺陷時，通過第二短接部分20使對應(yīng)于柵極線114的部分的由柵極焊盤124構(gòu)成的組相互電短接。
于是，在采用短接體將信號施加焊盤120相互電短接之后，向測試線130施加第二測試信號(步驟S40)。例如，當(dāng)?shù)诙y試信號包括第二數(shù)據(jù)測試信號和第二柵極測試信號時，可以將第二數(shù)據(jù)測試信號施加到數(shù)據(jù)測試焊盤142上，可以將第二柵極測試信號施加到柵極測試焊盤144上。
例如，每一第二測試信號可以基本彼此相同。例如，每一第二數(shù)據(jù)測試信號可以基本相同，每一第二柵極測試信號可以基本相同。
相應(yīng)地，在向測試線130施加第二測試信號時，在LCD屏板上顯示第二測試圖像。
之后，執(zhí)行檢查，從而通過觀察第二測試圖像確定是否產(chǎn)生了第二信號缺陷(步驟S50)。例如，第二信號缺陷可能是由信號線110的缺陷導(dǎo)致的。
在步驟S50中確定未產(chǎn)生第二信號缺陷后，確定顯示器基板100的缺陷是由測試線130內(nèi)產(chǎn)生的缺陷導(dǎo)致的(步驟S70b)。例如，第一信號缺陷可能是測試線130或信號線110的缺陷，第二信號缺陷可能是信號線110的缺陷。因此，如果產(chǎn)生了第一信號缺陷，但沒有產(chǎn)生第二缺陷，那么確定在顯示器基板100上產(chǎn)生的缺陷是由測試線130導(dǎo)致的缺陷。
另一方面，在步驟S50中確定產(chǎn)生了第二信號缺陷后，確定顯示器基板100的缺陷不是測試線1 30的缺陷，而是信號線110的缺陷(步驟S70c)。
根據(jù)根據(jù)本示范性實施例的顯示器基板100的檢查方法，有可能確定顯示器基板100上產(chǎn)生的缺陷是在測試線130內(nèi)產(chǎn)生的，還是在信號線110內(nèi)產(chǎn)生的。因此，可以提高檢查的可靠性。此外，可以省略檢測顯示器基板100的缺陷產(chǎn)生原因的額外檢查步驟，從而降低檢查成本。
此外，在對顯示器基板100進(jìn)行全面檢查后去除測試線130。因此，在確定顯示器基板100的缺陷僅是測試線130內(nèi)的缺陷后，可以隨著將測試線130從顯示器基板100上去除而消除顯示器基板100的缺陷。因此，可以減少LCD屏板的檢查成本和檢查時間，從而進(jìn)一步提高LCD屏板的制造生產(chǎn)率。
在圖1所示的上述顯示屏板檢查方法中，認(rèn)為第一信號缺陷是測試線130的缺陷和信號線110的缺陷之一。
但是，當(dāng)?shù)谝恍盘柸毕菔切盘柧€110的缺陷和測試線130的缺陷的至少其中之一時，可以在圖1所示的上述顯示屏板檢查方法中包含第一信號缺陷和第二信號缺陷之間的對比步驟。
圖5是根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實施例的顯示器基板的檢查方法的流程圖。除了步驟S60和步驟S70d以外，根據(jù)本示范性實施例的步驟S10到步驟S70c與圖1所示基本相同。因此，將采用相同附圖標(biāo)記表示與圖1所示的相同的步驟，并且將省略與上述步驟相關(guān)的任何額外說明。
在下文中，將參考圖5詳細(xì)描述新的額外步驟。
在步驟S50中確定產(chǎn)生了第二信號缺陷后，將第一信號缺陷與第二信號缺陷進(jìn)行對比(步驟S60)。例如，第一和第二缺陷的對比步驟可以包括通過所顯示的圖像對第一和第二缺陷進(jìn)行視覺比較。再例如，第一和第二缺陷之間的對比步驟可以包括通過諸如電流探測裝置的額外裝置將第一和第二缺陷進(jìn)行相互比較。
在步驟S50中確定第一信號缺陷基本等同于第二信號缺陷之后，可以確定顯示器基板100的缺陷是信號線110的缺陷(步驟S70c)。第一和第二信號缺陷的等同是指第一信號缺陷的產(chǎn)生位置與第二信號缺陷的產(chǎn)生位置基本相同。
在步驟S50中確定第一信號缺陷不同于第二信號缺陷之后，可以確定顯示器基板100的缺陷是測試線130和信號線110的缺陷(步驟S70d)。例如，在顯示器基板100的測試線130的部分內(nèi)產(chǎn)生了缺陷，在顯示器基板100的信號線110的部分內(nèi)還產(chǎn)生了另一缺陷。
相應(yīng)地，向圖1所示的顯示器基板的檢查方法增加對比第一和第二信號缺陷的步驟，從而能夠準(zhǔn)確地判斷顯示器基板100中產(chǎn)生的缺陷僅是測試線130的缺陷，僅是信號線110的缺陷，抑或是測試線130和信號線110二者的缺陷。
實施例2(顯示器基板的檢查設(shè)備)圖6是示出了根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的顯示器基板檢查設(shè)備的透視圖。圖7是示出了圖6中的顯示器基板檢查設(shè)備的部分“C”的放大圖。
參考圖6和圖7，根據(jù)本發(fā)明的示范性實施例的檢查設(shè)備200包括底座體部分210、測試信號施加部分220和焊盤短接部分230。例如，可以將兩個檢查設(shè)備200設(shè)置于陣列基板100的數(shù)據(jù)側(cè)和柵極側(cè)，從而向LCD屏板的陣列基板100的數(shù)據(jù)線和柵極線提供測試信號。
底座體部分(base body section)210接合至測試信號施加部分220和焊盤短接部分230。例如，可以豎直移動底座體部分210，從而使測試信號施加部分220和焊盤短接部分230豎直移動。
測試信號施加部分220接合至底座體部分210。測試信號施加部分220與陣列基板100的測試焊盤140接觸，從而使測試信號施加部分220為每一測試焊盤140提供多個測試信號。
具體地，測試信號施加部分220包括信號施加體222和信號施加引腳224。信號施加體222接合至底座體部分210。信號施加引腳224接合至信號施加體222。信號施加引腳224具有從信號施加體222突出的形狀，以面對測試焊盤140。信號施加引腳224的數(shù)量可以與測試焊盤140的數(shù)量基本相等。信號施加引腳224通過底座體部分210的豎直運動與測試焊盤140接觸，從而使信號施加引腳224為每一測試焊盤140提供測試信號。
可以沿基本平行于陣列基板100的端部的第一方向設(shè)置多個測試信號施加部分220。測試信號施加部分220的數(shù)目可以與測試焊盤140構(gòu)成的組的數(shù)量基本相等。焊盤短接部分230接合至底座體部分210，并與信號施加焊盤220接觸，從而使每一信號施加焊盤220通過焊盤短接部分230相互電短接。可以在沿第一方向設(shè)置的測試信號施加部分220之間設(shè)置焊盤短接部分230。焊盤短接部分230的數(shù)量可以與信號施加焊盤220構(gòu)成的組的數(shù)量基本相等。
具體地，焊盤短接部分230包括主體232和焊盤短接單元234。主體232接合至底座體部分210。焊盤短接單元234接合至主體232，并與信號施加焊盤220接觸，因而焊盤短接單元234使信號施加焊盤220相互電短接。
焊盤短接單元234可以包括，例如，短接體234a、連接桿234b、按壓體234c和彈簧234d。
短接體234a設(shè)置于主體232之下，面對信號施加焊盤220，使短接體234a與信號施加焊盤220接觸，從而使信號施加焊盤220電短接。例如，短接體234a可以整個由導(dǎo)電材料構(gòu)成。再例如，與信號施加焊盤220接觸的短接體234a的端部可以由導(dǎo)電材料構(gòu)成。
連接桿234b連接至短接體234a，并穿過主體232，從主體232的上部突出。優(yōu)選地，可以將多個連接桿234b，例如兩個連接桿234b連接至短接體234a。
按壓體234c連接至連接桿234b，按壓體234c設(shè)置于主體232的上部之上，以面對短接體234a。在通過外力使按壓體234c向上移動時，按壓體234c將短接體234a與信號施加焊盤220分開。或者，在通過外力使按壓體234c向下移動時，按壓體234c與短接體234a和信號施加焊盤220接觸。
在按壓體234c和主體232之間設(shè)置接合至連接桿234b的彈簧234d。彈簧234d的數(shù)量與連接桿234b的數(shù)量基本相等。彈簧234d為按壓體234c提供了動態(tài)穩(wěn)定性，從而使按壓體234c返回到起始位置。例如，在向按壓體234c提供外力時，可以降低彈簧234d的尺寸，從而使短接體234a與信號施加焊盤220接觸。于是，在將外力從按壓體234c上去除之后，彈簧234d的尺寸恢復(fù)到先前狀態(tài)，從而使短接體234a與信號施加焊盤220分開。
根據(jù)用于根據(jù)本示范性實施例檢查顯示器基板的檢查設(shè)備200，有可能通過測試信號施加部分220檢查圖像是否在LCD屏板上得到了正常顯示，以確定導(dǎo)致LCD屏板的缺陷的原因。
因此，在采用根據(jù)本示范性實施例的檢查設(shè)備200執(zhí)行檢查，以確定是否在LCD屏板的陣列基板100內(nèi)產(chǎn)生了缺陷時，有可能檢查是否在陣列基板100上產(chǎn)生了缺陷。此外，有可能檢查缺陷的原因，因而可以提高陣列基板的檢查可靠性。
實施例3(顯示器基板的檢查設(shè)備)圖8是示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示范性實施例的顯示器基板的檢查設(shè)備的透視圖。除了傳送部分(transfer section)以外，本實施例的顯示器基板檢查設(shè)備與實施例2的基本相同。因此，將采用相同的附圖標(biāo)記表示與實施例2中描述的相同或相似的部分，并將省略與上述元件相關(guān)的任何進(jìn)一步的重復(fù)性說明。
參考圖8，根據(jù)另一示范性實施例的檢查設(shè)備200包括底座體部分210、測試信號施加部分220、焊盤短接部分230和第一傳送部分240。
第一傳送部分240包括使焊盤短接部分230發(fā)生移動的傳送桿242和支撐傳送桿242的支撐體244。
傳送桿242沿基本平行于陣列基板100的端部的第一方向形成，并且其穿過焊盤短接部分230。具體地，在焊盤短接部分230的主體232上形成貫穿孔，傳送桿242通過貫穿孔232a穿過焊盤短接部分。
相應(yīng)地，由于傳送桿242穿過焊盤短接部分230的主體232，因此可以通過傳送桿242引導(dǎo)焊盤短接部分230沿第一方向移動。
在底座體部分210上形成一對支撐體244，并將其分別接合至傳送桿242的兩個端部，以支撐傳送桿242。
或者，可以將多個傳送桿242設(shè)置為基本相互平行。例如，傳送桿242的數(shù)量可以是兩個或更多。每一傳送桿242的長度優(yōu)選不超過300mm左右。例如，在基本平行設(shè)置一對長度不超過300mm的傳送桿242，并使其支撐焊盤短接部分230時，這對傳送桿242所具有的強(qiáng)度量可以使焊盤短接部分230不發(fā)生彎曲。
由于通過第一傳送部分240使焊盤短接部分230發(fā)生移動，因此可以使根據(jù)本示范性實施例的焊盤短接部分230的數(shù)量少于根據(jù)實施例2的焊盤短接部分230的數(shù)量。具體地，在實施例2中的測試信號施加部分220之間設(shè)置焊盤短接部分230。但是，由于在用于根據(jù)本示范性實施例檢查顯示器基板的檢查設(shè)備200中，通過第一傳送部分240使焊盤短接部分230發(fā)生移動，因此進(jìn)一步降低了焊盤短接部分230的數(shù)量。例如，可以將焊盤短接部分230移動到陣列基板100的缺陷部分，從而再次檢查陣列基板100，由此進(jìn)一步降低了焊盤短接部分230的數(shù)量。
實施例4(顯示器基板的檢查設(shè)備)圖9是示出了根據(jù)本發(fā)明的又一示范性實施例的顯示器基板的檢查設(shè)備的透視圖。圖10是沿圖9的I-I′線得到的截面圖。除了傳送部分以外，根據(jù)本示范性實施例的顯示器基板檢查設(shè)備與實施例2的基本相同。因此，將采用相同的附圖標(biāo)記表示與實施例2中描述的相同或相似的部分，并將省略與上述元件相關(guān)的任何進(jìn)一步的重復(fù)性說明。
參考圖9和圖10，根據(jù)本發(fā)明又一示范性實施例的顯示器基板檢查設(shè)備包括底座體部分210、測試信號施加部分220、焊盤短接部分230和第二傳送部分250第二傳送部分250包括引導(dǎo)焊盤短接部分230的傳送路徑的傳送軌(transfer rail)252和降低焊盤短接部分230的摩擦力的傳送球254。
傳送軌252設(shè)置于底座體部分210上。傳送軌具有縱長形狀，即沿基本平行于陣列基板100的端部的第一方向形成。傳送軌252接合至焊盤短接部分230，并引導(dǎo)焊盤短接部分230沿第一方向移動。
具體地，在焊盤短接部分230的主體232上形成接合至傳送軌252的接合槽232b。由于傳送軌252接合至主體232的接合槽232b，因此沿傳送軌252引導(dǎo)焊盤短接部分230發(fā)生移動。或者，可以在傳送軌252上形成導(dǎo)槽252a以增大對焊盤短接部分230的束縛力。
在主體232的接合槽232b和傳送軌252之間設(shè)置傳送球254。傳送球254降低了焊盤短接部分230和傳送軌252之間的摩擦力。例如，在沿傳送軌252移動焊盤短接部分230時，在焊盤短接部分230和傳送軌252之間將產(chǎn)生摩擦力。摩擦力阻礙焊盤短接部分230精確地移動到測試信號施加部分220之間的位置。因此，傳送球254降低了焊盤短接部分230和傳送軌252之間的摩擦力，從而將焊盤短接部分230移動到更為精確的位置。
或者，可以將多個傳送球254劃分為多個組。可以將所劃分的傳送球254的組設(shè)置在多個位置處。例如，可以將傳送球254設(shè)置為面對傳送軌252的兩個側(cè)表面。再例如，可以將傳送球254設(shè)置為面對傳送軌252的上表面。傳送球254構(gòu)成的組在主體232的內(nèi)側(cè)部分和接合槽232b的內(nèi)側(cè)部分之間，(例如)按照諸如橢圓軌跡的預(yù)定軌跡運動，從而進(jìn)一步降低焊盤短接部分230和傳送軌252之間的摩擦力。
根據(jù)本發(fā)明，在檢查第一信號缺陷之后，將信號施加焊盤相互電短接，之后檢查第二信號缺陷，因而有可能確定是否在顯示器基板的測試線內(nèi)產(chǎn)生了缺陷，在顯示器基板的信號線內(nèi)產(chǎn)生了缺陷，或者在兩者之內(nèi)產(chǎn)生了缺陷。因此，可以提高顯示器基板的檢查可靠性。此外，可以省略檢測在顯示器基板上產(chǎn)生的缺陷的原因的額外檢查步驟，從而降低檢查成本。
此外，在確定顯示器基板的缺陷僅為測試線的缺陷后，可以隨著將測試線從顯示器基板去除而消除顯示器基板的缺陷。因此，可以減少LCD屏板的檢查成本和檢查時間，從而進(jìn)一步提高LCD屏板的制造生產(chǎn)率。
盡管已經(jīng)描述了本發(fā)明的示范性實施例，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于這些示范性實施例，在由權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可以對其做出各種修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種顯示器基板的檢查方法，所述顯示器基板包括多條測試線、多個電連接到每條所述測試線的信號施加焊盤和多條電連接到所述信號施加焊盤的信號線，所述方法包括向所述測試線施加多個第一測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第一信號缺陷；在產(chǎn)生所述第一信號缺陷時，將所述信號施加焊盤相互電短接；以及向所述測試線施加多個第二測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第二信號缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第二測試信號彼此基本相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一信號缺陷是測試線的缺陷和信號線的缺陷之一，所述第二信號缺陷是信號線的缺陷。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，在未產(chǎn)生所述第二信號缺陷時，所述顯示器基板內(nèi)產(chǎn)生的缺陷是所述測試線的缺陷，在產(chǎn)生了所述第二信號缺陷時，所述顯示器基板內(nèi)產(chǎn)生的缺陷是所述信號線的缺陷。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，所述測試線包括多條電連接到每一所述信號施加焊盤的第一測試線；以及多條被設(shè)置為與所述第一測試線交叉的第二測試線，所述第二測試線電連接到每條所述第一信號線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述顯示器基板還包括多個電連接到每條所述第二測試線的測試焊盤，所述測試焊盤向每條所述第二測試線施加所述測試信號。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述信號線包括沿第一方向形成的多條數(shù)據(jù)線和沿基本垂直于所述第一方向的第二方向形成的多條柵極線；且所述信號施加焊盤包括多個電連接到每條所述數(shù)據(jù)線的數(shù)據(jù)焊盤和多個電連接到每條所述柵極線的柵極焊盤，其中，將所述信號施加焊盤相互電短接包括將所述數(shù)據(jù)焊盤劃分為六個一組，并將每一經(jīng)過分組的所述分組數(shù)據(jù)焊盤相互電短接；以及將所述柵極焊盤劃分為四個一組，并將每一經(jīng)過分組的所述柵極焊盤相互電短接。
8.一種顯示器基板的檢查設(shè)備，包括底座體部分；接合至所述底座體部分并與顯示器基板的測試焊盤接觸的測試信號施加部分，所述測試信號施加部分向每一所述測試焊盤施加多個測試信號；以及接合至所述底座體部分并與所述顯示器基板的信號施加焊盤接觸的焊盤短接部分，所述焊盤短接部分使所述信號施加焊盤相互電短接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述焊盤短接部分包括接合至所述底座體部分的主體；以及接合至所述主體的焊盤短接單元，所述焊盤短接單元通過與所述信號施加焊盤接觸使所述信號施加焊盤相互電短接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中，所述焊盤短接單元包括設(shè)置于所述主體下，面對所述信號施加焊盤的短接體，所述短接體通過與所述信號施加焊盤接觸使所述信號施加焊盤相互電短接；連接至所述短接體的連接桿，所述連接桿從所述短接體穿過所述主體朝向所述主體的上部突出；以及連接至所述連接桿的按壓體，所述按壓體設(shè)置于所述主體的上部，面對所述短接體，所述按壓體響應(yīng)于外力使所述短接體與所述信號施加焊盤分開或接觸。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中，所述焊盤短接單元還包括彈簧，所述彈簧接合至設(shè)置于所述按壓體和所述主體之間的所述連接桿，所述彈簧為所述按壓體提供動態(tài)穩(wěn)定性，從而允許所述按壓體返回到起始位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述測試信號施加部分包括接合至所述底座體部分的信號施加體；以及接合至所述信號施加體的信號施加引腳，其從所述信號施加體的下部突出，以面對所述測試焊盤，所述信號施加引腳通過與所述測試焊盤接觸為每一所述測試焊盤提供測試信號。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，還包括多個沿基本平行于所述顯示器基板的端部的第一方向設(shè)置的測試信號施加部分。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中，將所述焊盤短接部分設(shè)置于每一所述測試信號施加部分之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，還包括設(shè)置于所述底座體部分上的傳送部分，所述傳送部分通過接合至所述焊盤短接部分，將所述焊盤短接部分沿第一方向傳送。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其中，所述傳送部分包括沿所述第一方向形成的穿過所述焊盤短接部分的傳送桿，所述傳送桿引導(dǎo)所述焊盤短接部分沿所述第一方向移動；以及接合至所述傳送桿的兩個端部的支撐體，所述支撐體支撐所述傳送桿。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備，其中，所述傳送桿的數(shù)量為兩個或更多，所述傳送桿基本相互平行設(shè)置。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的設(shè)備，其中，每一所述傳送桿的長度不超過300mm左右。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其中，所述傳送部分包括沿所述第一方向以縱長形狀形成的傳送軌，其接合至所述焊盤短接部分，所述傳送軌引導(dǎo)所述焊盤短接部分沿所述第一方向移動；以及形成于所述焊盤短接部分上的用于接合至所述傳送軌的接合槽。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其中，所述傳送部分還包括設(shè)置于所述焊盤短接部分的接合槽和所述傳送軌之間的傳送球，所述傳送球降低了所述焊盤短接部分和所述傳送軌之間的摩擦力。
全文摘要
提供了顯示器基板的檢查方法和顯示器基板的檢查設(shè)備。所述顯示器基板包括多條測試線、多個電連接到每條所述測試線的信號施加焊盤和多條電連接到所述信號施加焊盤的信號線。在所述方法中，向所述測試線施加多個第一測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第一信號缺陷。在產(chǎn)生第一信號缺陷時，使所述信號施加焊盤相互電短接。向所述測試線施加多個第二測試信號，以檢查是否產(chǎn)生了第二信號缺陷。因此，可以提高顯示器基板的檢查可靠性。
文檔編號G01R31/28GK101071157SQ20071000773
公開日2007年11月14日 申請日期2007年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月8日
發(fā)明者任燦享, 金奎泰, 宋寅喆 申請人:三星電子株式會社