專利名稱：絕對位移檢測方法和使用該方法的絕對位移傳感器的制作方法
技術領域：
本發明涉及用于檢測振動體(檢測對象)的絕對位移的絕對位移檢測方法以及使
用該方法的絕對位移傳感器，該絕對位移檢測對諸如因用于工廠、營業所、建筑工地等的金 屬加工機、壓縮機等等引起的機器振動、由諸如可歸因于地震、車輛行駛等的地面和道路表 面的振動引起的樓宇和機器的振動、以及由風所引起的旋風誘生的振動或地震引起的摩天 大樓振動的觀測和/或振動控制是必需的。
背景技術：
[專利文獻1] JP-A-2003-130628 近年來，振動問題已經在諸如辦公室、企業樓宇、多種住宅以及常規家庭之類的結 構中出現，這些振動問題由可歸因于用于工廠、營業處所以及建筑工地的金屬加工機、壓縮 機等的振動而引起，或由諸如可歸因于地震或車輛行駛的地面和道路表面的振動引起。作 為用于這樣的常規家庭等的振動控制手段，可構想使用利用主動控制的主動動態減振器。 然而，在理想的主動控制中，在對象遭受振動的情況下，必須檢測作為控制對象即振動體 (檢測對象)的結構的絕對位移和絕對速度。在該檢測中，直接附連至控制對象的地震型位 移傳感器(以下稱為位移傳感器)是適用的。
發明內容
本發明要解決的問題 順便提及的是，因為隨著對土地的有效利用和建筑技術的提高從而兩層住宅更多 地轉變成三層常規住宅等這樣的事實，這樣的結構的固有頻率已經下降至諸如3Hz附近。 然而，因為位移傳感器的可檢測范圍高于這些結構本身的固有頻率，所以利用常規位移傳 感器難以檢測固有頻率低于位移傳感器本身的固有頻率的結構的絕對位移、絕對速度等。
為降低位移傳感器的固有頻率，如果使位移傳感器中的質量體的質量更大、且以 低剛度支承該質量體，則能滿足這一目的。然而，利用這樣的手段，可能使位移傳感器尺寸 變大且結構上脆弱。此外，可檢測幅度小的位移傳感器的預期用途有限，從而不能提供許多 便利性。 因此，專利文獻1提出了一種使用反饋技術的絕對位移傳感器。 根據專利文獻1提出的絕對位移傳感器，有可能滿意地解決上述問題、降低固有
頻率并擴展可檢測范圍。因此，不僅能在具有高固有頻率的結構和該結構以小幅度振動的
情況下滿意地檢測絕對速度和絕對位移，而且能在具有低固有頻率的結構和該結構以大幅
度振動的情況下也可能滿意地檢測絕對速度和絕對位移。 然而，在利用專利文獻1的使用反饋技術的絕對位移傳感器來檢測低至諸如摩天
大樓的振動之類的極低頻率時，存在的問題是，需要對相對位移的正反饋進行困難的調節，
而且該絕對位移傳感器在調節之后可能陷入由無意振動引起的控制不穩定。 鑒于上述方面設計了本發明，而且其目的在于提供一種絕對位移檢測方法以及使用該方法的絕對位移傳感器，該方法通過反饋質量體所具有的狀態量(位移、速度以及加
速度)能降低固有頻率并放大可檢測幅度且不會引起結構性缺陷，從而不僅使在具有高固
有頻率的結構中和該結構以小幅度振動的情況下滿意地檢測絕對位移成為可能，而且使在
具有低固有頻率的結構和該結構以大幅度振動的情況下滿意地檢測絕對位移成為可能，并
且使將檢測范圍擴展到低至極低頻率、穩定檢測絕對位移且不需要對相對位移的正反饋作
困難的調節成為可能。 用于解決問題的手段 根據本發明的絕對位移檢測方法包括以下步驟對檢測對象相對于由檢測對象以 預定彈簧系數和預定阻尼系數支承的質量體的相對速度進行檢測；分別通過正反饋對所檢 測到的相對速度求積分而獲得的相對位移、以及通過負反饋對所檢測到的相對速度求一次 微分而獲得的相對加速度而控制因檢測對象的絕對位移引起的質量體的位移；以及根據相 對位移獲得檢測對象的絕對位移，其中通過積分獲得的相對位移在所需頻率區域中被相位 滯后補償。 根據本發明的一種絕對位移傳感器包括由檢測對象以預定彈簧系數和預定阻 尼系數支承的質量體；對檢測對象相對于該質量體的相對速度進行檢測的檢測裝置；反饋 控制裝置，該反饋控制裝置分別通過正反饋對所檢測到的相對速度求積分而獲得的相對位 移、通過負反饋對所檢測到的相對速度求一次微分而獲得的相對加速度來控制因檢測對象 的絕對位移引起的質量體的位移；以及相位滯后補償裝置，該相位滯后補償裝置相對于通 過積分獲得的相對位移在所需頻率區域中執行相位滯后補償，其中相位滯后補償裝置對其 進行相位滯后補償的相對位移被輸出為檢測對象的絕對位移。 在根據本發明的絕對位移檢測方法中，通過負反饋或正反饋所檢測到的相對速 度，可控制因檢測對象的絕對位移引起的質量體的位移。此外，在根據本發明的絕對位移傳 感器中，通過進一步負反饋或正反饋所檢測到的相對速度，反饋控制裝置可適于控制因檢 測對象的絕對位移引起的質量體的位移。 在本發明中，絕對位移檢測是困難的，除非頻率比位移傳感器自身的固有頻率更 高，而且雖然如果能降低位移傳感器具有的固有頻率，則可將檢測范圍擴展至允許檢測甚 至低頻率，即使僅增大質量體的質量并使支承該質量體的彈簧的彈簧系數變小以降低固有 頻率，也存在位移傳感器尺寸變大和結構上脆弱的可能。鑒于這些事實，通過使用伺服技術 反饋質量體的狀態，而且將使用這種伺服技術獲得的相對位移進行相位滯后補償，從而降 低固有頻率。 利用本發明中的絕對位移檢測方法和絕對位移傳感器，通過正反饋對所檢測到的 相對速度求積分獲得的相對位移并正反饋對所檢測到的相對速度求一次微分獲得的相對 加速度來控制因檢測對象的絕對位移引起的質量體的位移。因此，如下文將描述的那樣，有 可能降低固有頻率。因此，不僅有可能在固有頻率高的結構中而且有可能在固有頻率低的 結構中令人滿意地檢測絕對位移。 此外，利用本發明中的絕對位移檢測方法和絕對位移傳感器，因為在反饋回路之 外對通過在所需頻率區中的積分而獲得的相對位移進行了相位滯后補償，所以如下文所描 述的那樣，即使不進行對相對位移的正反饋的調節——該調節容易陷入控制不穩定，也有 可能將檢測范圍向下擴展至極低頻率。具體而言，利用本發明的絕對位移檢測方法和絕對
4位移傳感器，相位在反饋回路中在固有頻率或更低處提前；因此，如果在所需頻率區下執行 相位滯后補償以使相位提前在檢測范圍中為零，則可將檢測范圍向下擴展至極低頻率。
此外，如下文將描述的那樣，利用本發明中的絕對位移檢測方法和絕對位移傳感 器，因為通過負反饋所檢測到的相對速度而控制了因檢測對象的絕對位移引起的質量體的 位移，所以可使阻尼比變大。 根據本發明，有可能提供適于基于從根據上述方面中的任一個方面的絕對位移傳
感器輸出的絕對位移來吸收振動體的振動的主動動態減振器。 發明優點 根據本發明，有可能提供一種絕對位移檢測方法以及使用該方法的絕對位移傳感
器，該方法通過反饋質量體所具有的狀態量(位移、速度以及加速度)能降低固有頻率并放
大可檢測幅度且不會引起結構性缺陷，從而不僅使在具有高固有頻率的結構中和該結構以
小幅度振動的情況下滿意地檢測絕對位移成為可能，而且使在具有低固有頻率的結構和該
結構以大幅度振動的情況下滿意地檢測絕對位移成為可能，并且使將檢測范圍向下擴展至
極低頻率以及穩定檢測絕對位移且不需要對相對位移的正反饋作困難的調節成為可能。 接下來，將參照附圖中示出的優選實施例給出本發明的實施方式。應當注意本發
明不限于這些實施例。 附圖簡述
圖1是本發明的援引實施例的說明圖； 圖2是圖1中所示的實施例的相位滯后補償裝置的說明圖； 圖3是圖1中所示的實施例的相位滯后補償裝置的頻率特性的說明圖；以及 圖4是圖1中所示的實施例的頻率特性的說明圖。 實施本發明的最佳方式 在圖1中，根據本實施例的絕對位移傳感器1包括用作檢測對象的傳感器外殼 2 ;質量為m(kg)的質量體3，該質量體3由傳感器外殼2可動地支承，該傳感器外殼2的彈 簧系數為k (N/m)，阻尼系數為c (Ns/m);檢測裝置4，該檢測裝置4電檢測傳感器外殼2相 對于質量體3的相對速度v( = vu-vx) (m/s)(其中vx(m/s)是因傳感器外殼2的絕對速度 Vu(m/S)引起的質量體3的絕對速度)；反饋控制裝置5，該反饋控制裝置5分別通過正反饋 對檢測裝置4檢測到的相對速度v求積分而獲得的相對位移(u-x)、通過負反饋本實施例中 檢測到的相對速度v、以及通過負反饋對檢測到的相對速度v求一次微分而獲得的相對加 速度(m/s2)來控制因傳感器外殼2的絕對位移u引起的質量體3的絕對位移x ;以及相位 滯后補償裝置6，該相位滯后補償裝置6相對于通過反饋控制裝置5的積分獲得的相對位移 (u-x)在所需頻率區域中執行相位滯后補償。 質量體3通過彈簧11被傳感器外殼2可移動地(可振動地)支承，該彈簧11具 有彈簧系數k(N/m)，而相對于這樣的質量體3的振動的阻尼系數c基于彈簧11本身的彈性 變形中的熱損耗和檢測裝置4中的渦流損耗來確定。 檢測裝置4包括固定至傳感器外殼2的永磁體12 ;固定至質量體3以檢測永磁 體12的磁通量的線圈13 ;以及放大器14，該放大器14將來自線圈13的指示相對速度v的 電流信號i轉換成作為具有放大率(電流_電壓轉換系數)Ka(V/A)的相對速度v的相對 速度電壓信號ev(V)。當永磁體12穿過線圈13的磁通量變化、以及由線圈13引起的永磁體12的磁通量變化的電檢測的渦流損耗對阻尼系數c有影響時，線圈13適于電檢測傳感 器外殼2相對于質量體3的相對速度。 反饋控制裝置5包括積分電路15，該積分電路15通過對相對速度電壓信號ev求 積分而輸出相對位移電壓信號eD(V)作為相對位移(u-x);微分電路16，該微分電路16通 過對相對速度電壓信號ev求一次微分而輸出相對加速度電壓信號eA(V)作為相對加速度； 乘法器17，該乘法器17通過將位移反饋增益KD乘以通過對相對速度電壓信號ev求積分而 獲得的相對位移電壓信號eD而輸出電壓KD *eD信號；乘法器18，該乘法器18通過將相對速 度電壓信號ev乘以速度反饋增益Kv而輸出電壓信號Kv *ev ;乘法器19，該乘法器19通過將 相對加速度電壓信號eA乘以加速度反饋增益KA而輸出電壓信號KA eA ;加減器20，該加減 器20通過對來自乘法器17、 18、 19的電壓信號KD eD、 Kv ev以及KA eA執行加法和減法 而輸出加減電壓信號e。( = KD eD_Kv ev_KA eA);轉換器21，該轉換器21以轉換反饋增益 Kf (A/V)將加減電壓信號e。轉換成電流信號f。；以及電磁致動器22，該電磁致動器22通過 將來自轉換器21的電流信號f。用作為線圈驅動電流而工作。 積分電路15包括電阻值為RD(Q)的電阻器25和靜電電容為CD(F)的電容器26， 而微分電路16包括靜電電容為(；(F)的電容器27和電阻值為RJQ)的電阻器28。
用作致動器的電磁致動器22包括固定至質量體3的線圈29和固定至傳感器外殼 2的永磁體30，該電磁致動器22通過輸入線圈29的電流(A)基于電流信號f。產生驅動力 F(N)。電磁致動器22適于相對于所輸入的電流產生驅動力F，并將驅動力F相對于質量體 3施加給線圈29，以使質量體3相對于傳感器外殼2移動。假定驅動力F相對于電流信號 fc的轉換增益包括在轉換反饋增益Kf中。 如圖2所示，相位滯后補償裝置6具有反相器41、積分器42、積分器43、加法器44、 反相器45以及反相器46。使輸入其中的相對位移電壓信號eD反相的反相器41包括電阻 值分別為&和&(Q)的電阻器51和52以及運算放大器53。對輸入其中的來自反相器41 和45的輸出信號積分的積分器42包括電阻值分別為R3、 R4和R5 ( Q )的電阻器54、55和 56 ;靜電電容為Q(F)的電容器57 ;以及運算放大器58。對輸入其中的來自積分器42的輸 出信號積分的積分器43包括電阻值為Re(Q)的電阻器59、靜電電容為CJF)的電容器60 以及運算放大器61。將輸入其中的來自反相器41、積分器43以及反相器46的輸出信號相 加的加法器44包括電阻值分別為R7、R8、Rg以及&。(Q)的電阻器62、63、64以及65和運算 放大器66。將輸入其中的來自積分器43的輸出信號反相的反相器45包括電阻值分別為 Rn和R^(Q)的電阻器67和68以及運算放大器69。將輸入其中的來自積分器42的輸出 信號反相的反相器46包括電阻值分別為1 13和1 14(0)的電阻器70和71以及運算放大器 72。 圖2中所示的相位滯后補償裝置6具有表達式(1)中所示的二次系統的傳遞函數 Gc(s)，其中& = R2， R3 = l/"d2， R4 R6 Q C2 = l/"d2， R5 Q = 1/(2 "d)， R10/
R7 = "d7"n2S， R10/R8 = l-"d7"n2， R10/R9 = 2 "(l/"n)-2 " d("d/"n2)， Ru =
R!2，且Ri3 = Ri4，以及其中"n = 0. 9 (2 Ji) (rad/s) ， 4 n = 0. 4， wd = 0. 1 (2 ji ) (rad/ s)，以及4 d = 0. 15，且具有圖3中所示的頻率特性。關于作為反饋控制裝置5的輸出信號、 而且其中相位提前不超過表達式(15)中所示的固有頻率"n的相對位移電壓信號e。，相位 滯后補償裝置6適于在所需的頻率區中執行相位滯后補償，以使該相的提前在所檢測的范圍中變為零:<formula>formula see original document page 7</formula>
在上述絕對位移傳感器1中，如果所有都是負反饋，則相對位移電壓信號e。關于
作為檢測對象的傳感器外殼2的絕對位移u的傳遞函數由以下表達式(2)給出<formula>formula see original document page 7</formula>
此外，相對速度電壓信號ev關于絕對位移u的傳遞函數由以下表達式(3)給出 [數學公式3]
<formula>formula see original document page 7</formula> 在表達式(2)禾P (3)中，系數a。、^、a2、a3以及a4由以下表達式(4)到(8)表示 [數學公式4]<formula>formula see original document page 7</formula> 這里，T。是積分電路15的時間常數，而TA是微分電路16的時間常數。積分電路 15的傳遞函數G。(s)由以下表達式(9)給出 [OO53][數學公式5]
<formula>formula see original document page 7</formula> 如果T。大，TdS >> 1，則該傳遞函數G。(s)由以下表達式(10)給出: [OO56] [數學公式6]
<formula>formula see original document page 7</formula>
微分電路16的傳遞函數Gjs)由以下表達式(11)給出 [數學公式7]
<formula>formula see original document page 7</formula>
在8小的范圍中，1^<< l，所以傳遞函數GA(S)由以下表達式(12)給出
[數學公式8] GA(s) = TAS (12) 根據表達式(10)和(12)，相對位移電壓信號eD關于絕對位移u的傳遞函數可通 過以下表達式(13)表示 [OO65][數學公式9]
③ —
"'(13) 同樣，根據表達式(10)和(12)，相對速度電壓信號ev關于絕對位移u的傳遞函數 可通過以下表達式(14)表示
[數學公式10] w 7^(附+r^^y++++a^^d
(14) (16):
如果根據表達式(13)確定固有頻率"n和阻尼比4 ，則給出以下表達式(15)和
To
附+
(15)
(16) 因傳感器外殼2的相對位移u-x引起的傳感器外殼2的絕對位移u的傳遞函數可 通過下式(17)給出。表達該表達式(17)的頻率響應特性由圖4中僅具有反饋的增益-相 位圖給出。在圖4中，"n由表達式(15)確定，而其頻率的峰值由表達式(16)確定。在如 虛線所示的沒有反饋的情況下，增益為OdB，但在如窄實線所示的僅有反饋的情況下，增益 在頻率為"n或更高時降至-34dB。然而，在lHz時，相位提前45。，用于測量位移的傳感器 的測量范圍編程約2Hz或更高。相位滯后補償裝置6將該測量范圍擴展到極低頻率。艮卩， 通過使圖4中的"n和圖3中的"n彼此一致，lHz處的相位被設置為O。，而低至0.2Hz或 附近的相位被設置于0。附近。
[數學公式12][酬 7 一雖+Z^/^)A7Kc+A^)抖脅ii^) 絕對位移傳感器1對絕對位移u的檢測范圍是該頻率是固有頻率o n或更高且傳 遞函數(u-x)/u的幅值(增益)變為恒定的區域。因此，表達式(17)中在固有頻率"n或 更高處受影響的項是分子和分母中具有s2的那些項，而固有頻率或更高頻率下的傳遞函數 (u-x)/u和檢測到的相對位移(u-x)由以下表達式(18)給出:
[數學公式13]
W —X 附
w 附+ Z!iOG^
7 柳
W — X = / =-W (18)
附+ 另一方面，可通過絕對位移傳感器1檢測的由絕對位移傳感器1內的結構要求導 致的可檢測幅值(可檢測最大幅值)H( = Max (u-x))與可通過絕對位移傳感器1檢測的 傳感器外殼2的可檢測幅值(可檢測最大幅值)U( = Max u)之間的關系由表達式(19) 給出[數學公式14]
W 附 〃 ^ = j f ^ " (19) 如根據絕對位移傳感器1的上述分析顯而易見的是，在表達式(15)中，因為相 對位移反饋增益K。變化，所以分子項中的(k+l/TD Ka Kf KD)變化。這里，因為1/TD、 &以及&為正，由于相對位移(u-x)的正反饋，所以分子項變成(k-l/TD Ka Kf KD)從 而小(應當注意的是，在相對位移(u-x)的負反饋中，表達式(15)中的分子項變成(k+1/ TD Ka Kf KD))。 此外，在表達式(15)中，因為相對加速度反饋增益^變化，所以分母項中的 (m+TA Ka Kf KA)變化。這里，因為Td和Kf為正，由于相對加速度a的負反饋，分 母項(m+TA Ka Kf KA)變大(應當注意的是，在相對加速度a的正反饋中，分母項變成 (m-TA'Ka*Kf *KA))。 因此，在絕對位移傳感器1中，因為相對位移(u-x)為正反饋，而相對加速度a為 負反饋，所以有可能降低固有頻率"n而不引起結構性缺陷。 此外，在絕對位移傳感器l的情況下，如根據表達式(19)可見，因為相對加速度被 負反饋，從而(TA*Ka*Kf *KA)被調整成變正，所以即使可檢測的幅度H小，也有可能檢測傳 感器外殼2的大絕對位移u，即有可能放大絕對位移傳感器1的可檢測幅度U。
此外，在絕對位移傳感器1的情況下，相對速度v的反饋僅影響阻尼比4 ，而且在 表達式(16)中，因為相對速度v的速度反饋增益Kv變化，所以分子項中的(c+Ka Kf Kv) 被調整成變化。這里，因為Ka和Kf是正序數，所以相對速度v被負反饋，如上所述，從而 (c+Ka*Kf *KV)變大，而阻尼比4也變大。如果相對速度v被正反饋，則表達式(16)總的 分子項變成(c_Ka Kf Kv)，從而可能通過相對速度v的正反饋使阻尼比4變小。
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此外，因為絕對位移傳感器1設置有用于關于通過積分獲得的相對位移(u-x) 執行相位滯后補償的相位滯后補償裝置6，所以有可能克服表達式(17)所示的傳遞函數 (u-x)/u的固有頻率"n附近的相位提前。因此，有可能降低固有頻率"n，而且即使在固有 頻率極低的結構的情況下，也能滿意地檢測它的絕對位移。 順便提及的是，在使用圖2所示的相位滯后補償裝置6的絕對位移傳感器1的情 況下，如根據圖4中粗實線所指示的頻率響應特性的反饋加上相位滯后補償的特性圖可 見，低至0. 2Hz的檢測是可能的。而且，因為增益被降低至_34(18，所以檢測50倍的位移成 為可能。例如，即使質量體3的可移動量為lmm，檢測50mm的絕對位移也成為可能，因此能 實現微型化。 因此，絕對位移傳感器1實現了一種絕對位移檢測方法，在該絕對位移檢測方法 中，檢測了傳感器外殼2相對于由用作檢測對象的傳感器外殼2以彈簧系數k和阻尼系數 c支承的質量體3的相對速度v，分別通過對所檢測到的相對速度v求積分而獲得的相對位 移(u-x)、通過負反饋對所檢測到的相對速度v求一次微分而獲得的相對加速度、以及通過 負反饋所檢測到的相對速度v來控制因傳感器外殼2的絕對位移u引起的質量體3的絕對 位移x，而且其中對通過積分獲得的相對位移(u-x)執行相位滯后補償，利用該絕對位移傳 感器1，可分別從輸出端子31和32通過作為實際絕對位移和絕對速度的電信號輸出和獲得 被相位滯后補償的相對位移(u-x)和檢測到的傳感器外殼2的相對速度v。
此外，利用絕對位移傳感器1，因為傳感器外殼2關于質量體3的相對速度v由檢 測裝置4電檢測，而相對位移(u-x)通過對檢測裝置4檢測到的相對速度v求積分而獲得， 所以相比其中直接電檢測相對位移(u-x)的絕對位移傳感器而言，有可能避免直流分量引 起的漂移效果。 利用絕對位移傳感器l，可輸出和獲得微分電路16的相對加速度電壓信號eA(V) 作為絕對加速度。
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權利要求
一種絕對位移檢測方法，包括以下步驟對檢測對象相對于質量體的相對速度進行檢測，所述質量體由所述檢測對象以預定彈簧系數和預定阻尼系數支承；分別通過正反饋對所檢測到的相對速度求積分而獲得的相對位移、以及負反饋對所檢測到的相對速度求一次微分而獲得的相對加速度來控制因所述檢測對象的絕對位移引起的所述質量體的位移；以及根據相對位移獲得所述檢測對象的所述絕對位移，其中通過所述積分獲得的所述相對位移在所需頻率區域中被相位滯后補償。
2. 如權利要求1所述的絕對位移檢測方法，其特征在于，通過負反饋或正反饋所檢測 到的相對速度，可控制因所述檢測對象的所述絕對位移引起的所述質量體的所述位移。
3. —種絕對位移傳感器，包括由檢測對象以預定彈簧系數和預定阻尼系數支承的質 量體；檢測所述檢測對象相對于所述質量體的相對速度的檢測裝置；反饋控制裝置，所述 反饋控制裝置分別通過正反饋對所檢測到的相對速度求積分而獲得的相對位移、通過負反 饋對所檢測到的相對速度求一次微分而獲得的相對加速度來控制因所述檢測對象的絕對 位移引起的所述質量體的位移；以及相位滯后補償裝置，所述相位滯后補償裝置相對于通 過所述積分獲得的所述相對位移在所需頻率區域中執行相位滯后補償，其中所述相位滯后 補償裝置對之進行所述相位滯后補償的所述相對位移被輸出為所述檢測對象的所述絕對 位移。
4. 如權利要求3所述的絕對位移傳感器，其特征在于，所述反饋控制裝置適于通過進 一步負反饋或正反饋所檢測到的相對速度來控制因所述檢測對象的所述絕對位移引起的 所述質量體的所述位移。
5. —種主動動態減振器，所述主動動態減振器適于基于從如權利要求3或4所述的所 述絕對位移傳感器輸出的所述絕對位移來吸收振動體的振動。
全文摘要
一種絕對位移傳感器1包括用作檢測對象的傳感器外殼2；質量為m的質量體3，該質量體3由傳感器外殼2以彈簧系數k和阻尼系數c可動地支承；檢測裝置4，該檢測裝置4電檢測傳感器外殼2相對于質量體3的相對速度；反饋控制裝置5，該反饋控制裝置5分別通過正反饋相對位移、以及通過負反饋通過對檢測到的相對速度求一次微分而獲得的相對加速度來控制可因傳感器外殼2的絕對位移引起的質量體3的絕對位移；以及相位滯后補償裝置6，該相位滯后補償裝置6相對于相對位移執行相位滯后補償。
文檔編號G01H1/00GK101790675SQ20088010209
公開日2010年7月28日 申請日期2008年8月5日 優先權日2007年8月6日
發明者背戶一登 申請人:背戶一登;奧依列斯工業株式會社
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