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專利名稱：用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的隨動(dòng)件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種按照權(quán)利要求1的前序部分所述的、用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的隨動(dòng)件，以及一種按照權(quán)利要求10所述的、具有一個(gè)這種類型的隨動(dòng)件的位置測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
這種類型的隨動(dòng)件包括一個(gè)用于容納所述位置測(cè)量裝置的一個(gè)掃描單元的容納部位、一個(gè)用于將隨動(dòng)件固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上的安裝部位、以及一個(gè)連接段，通過該連接段將隨動(dòng)件的容納部位和安裝部位彼此連接起來，并且該連接段如此構(gòu)造和設(shè)置使得在一個(gè)殼體的并排延伸的且分別貼靠在隨動(dòng)件連接段上的彈性密封元件之間被導(dǎo)向，該殼體用于所述位置測(cè)量裝置的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
這種類型的隨動(dòng)件特別是在一個(gè)封閉的位置測(cè)量裝置中使用，該位置測(cè)量裝置用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的物體的相對(duì)位置，該測(cè)量裝置的可與待測(cè)量的物體中的一個(gè)相連接的、且容納一個(gè)尺寸標(biāo)準(zhǔn)的殼體具有一個(gè)沿相對(duì)運(yùn)動(dòng)的物體的運(yùn)動(dòng)方向(測(cè)量方向)延伸的縫隙，所述隨動(dòng)件(通過它的安裝部位可與所述兩個(gè)物體中的另一個(gè)連接)穿過該縫隙伸入到殼體的內(nèi)部，在那里該隨動(dòng)件通過它的容納部位與一個(gè)安裝在殼體內(nèi)部中的、用于位置測(cè)量的結(jié)構(gòu)單元(掃描單元)連接。這樣，隨動(dòng)件也穿過一個(gè)在位置測(cè)量裝置的殼體中沿測(cè)量方向延伸的縫隙，通過該縫隙所述隨動(dòng)件伸入到殼體的內(nèi)部中，以便將一個(gè)設(shè)置在那里的、用于掃描一個(gè)在殼體上設(shè)置的尺寸標(biāo)準(zhǔn)的掃描單元與在殼體外部設(shè)置的安裝底座連接起來。通過這個(gè)安裝底座使得該隨動(dòng)件又固定在所述兩個(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的物體中的一個(gè)上。
所述作相對(duì)運(yùn)動(dòng)的物體是一個(gè)機(jī)床的床身和滑塊，這樣，它們的相對(duì)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為隨動(dòng)件相對(duì)于位置測(cè)量裝置的支承尺寸標(biāo)準(zhǔn)(特別是測(cè)量刻度)的殼體的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，這樣，隨動(dòng)件沿縫隙的延伸方向相對(duì)于位置測(cè)量裝置的殼體運(yùn)行，這種運(yùn)動(dòng)通過設(shè)置在隨動(dòng)件上的掃描單元與設(shè)置在位置測(cè)量裝置的殼體上的尺寸標(biāo)準(zhǔn)的共同作用而被測(cè)量。
這種類型的位置測(cè)量裝置既可設(shè)計(jì)成長(zhǎng)度測(cè)量裝置(在位置測(cè)量裝置的殼體中具有一個(gè)直線延伸的縫隙)，也可設(shè)計(jì)成角度測(cè)量裝置(具有一個(gè)相應(yīng)弧形地延伸的縫隙)，并且按照不同的已公開的物理原理工作，以通過所述設(shè)置在隨動(dòng)件上的掃描單元掃描設(shè)置在位置測(cè)量裝置的殼體上的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
為了保護(hù)設(shè)置在位置測(cè)量裝置的殼體中的尺寸標(biāo)準(zhǔn)(測(cè)量刻度)必須對(duì)位置測(cè)量裝置殼體中的被隨動(dòng)件的連接段穿過的縫隙進(jìn)行盡可能良好的密封，為此，在隨動(dòng)件的連接段的兩側(cè)使得沿縫隙延伸的彈性密封元件分別貼靠在隨動(dòng)件的連接段的每個(gè)側(cè)面上。
在EP 0 646 765 B1中已公開的這種類型的位置測(cè)量裝置中，在隨動(dòng)件兩側(cè)延伸的彈性密封元件由一種能導(dǎo)電的非金屬材料以板條形式構(gòu)成。由此采用該密封元件不僅可以阻止臟物或潮氣滲入到殼體的內(nèi)部中，而且同時(shí)能實(shí)現(xiàn)法拉第籠那種類型的電屏蔽。
JP-A 02-027209公開了一種直線位置測(cè)量裝置，其中所述隨動(dòng)件的作為板條設(shè)計(jì)的連接段、或者所屬的貼靠在該連接板條的兩個(gè)側(cè)面上的密封機(jī)構(gòu)配設(shè)有無摩擦的、例如以浸油金屬的形式的元件。由此當(dāng)隨動(dòng)件沿著在位置測(cè)量?jī)x的殼體上設(shè)置的縫隙運(yùn)動(dòng)時(shí)，在所述隨動(dòng)件的連接板條和貼靠在其上的密封機(jī)構(gòu)之間的摩擦被減小，并且盡可能地避免了密封機(jī)構(gòu)的磨損。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是，在與位置測(cè)量裝置的所屬的密封機(jī)構(gòu)的共同作用方面對(duì)前述類型的用于位置測(cè)量裝置的隨動(dòng)件作進(jìn)一步的改進(jìn)。
這個(gè)任務(wù)根據(jù)本發(fā)明通過提供一種具有權(quán)利要求1的特征的隨動(dòng)件得以完成。
依此，所述隨動(dòng)件至少在它的連接段上設(shè)置一個(gè)無定形的碳層。所述連接段將隨動(dòng)件的容納部位與安裝部位連接起來，并且在該連接段中該隨動(dòng)件與一個(gè)位置測(cè)量裝置的所屬的密封機(jī)構(gòu)相接觸。
無定形的碳層由于其特殊的硬度也叫做類似金剛石的碳層，也就是說叫做類金剛石碳(DLC)，或者叫做硬的無定形的碳層(硬質(zhì)材料層)。把它用作一個(gè)這種類型的隨動(dòng)件的涂層可以特別大地降低摩擦和磨損。事實(shí)表明，通過將一種無定形的碳層用于對(duì)一個(gè)在密封機(jī)構(gòu)之間引導(dǎo)的隨動(dòng)件的連接段進(jìn)行涂層，就可實(shí)現(xiàn)將摩擦減少一個(gè)數(shù)量級(jí)以上、特別是直至兩個(gè)數(shù)量級(jí)。同時(shí)還看不出有明顯的磨損。
由于大大地降低的摩擦、并且與此相關(guān)地使兩個(gè)摩擦副、特別是密封機(jī)構(gòu)的磨損最小化，就相應(yīng)地減小了特別是通過磨損本身所造成的臟物進(jìn)入到位置測(cè)量裝置的殼體中。
用DLC名稱可以找到大量在此可作參考的關(guān)于制造這種類型的碳層的文獻(xiàn)。其中例如有Martin Grischke在Jot 1/94中的文章。據(jù)此例如借助于一種PECVD工藝(等離子體增強(qiáng)化學(xué)蒸汽噴鍍-PlasmaEnhanced Chemical Vapour Deposition)將碳層以幾微米的厚度涂覆到待涂層的材料上，其中從直流磁控管噴射源(DC-Magnetron-Sputter-Quelle)加入可能的金屬添加劑。在這種情況下，關(guān)于涂層厚度變化的各單個(gè)元素(材料的選擇和比例)的組合決定著摩擦學(xué)的特性，如硬度和摩擦。
典型的是無定形的a-C:H型碳層。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式，為了對(duì)隨動(dòng)件進(jìn)行涂層使用了一種含有金屬的、無定形的、特別是a-C:H:Me型的碳層。在這種情況下，例如鎢、鉬、鈦或者鉭適合作為金屬(Me)嵌入到無定形的碳基質(zhì)中。替代地或者附加于金屬以外，也可以將硅(Si)嵌入到無定形的碳基質(zhì)中，這樣就產(chǎn)生了一種無定形的a-C:H:Si型的碳層，必要時(shí)還可補(bǔ)充一種金屬成分。在這種情況下，金屬或者硅在涂層中的材料份額直至大約為15％的數(shù)量級(jí)。
此外，這種類型的含金屬的無定形碳層的特征在于它的導(dǎo)電能力。通過這一措施可以阻止隨動(dòng)件在與殼體側(cè)的密封元件相接觸時(shí)的靜電充電，這種靜電充電會(huì)損害相鄰的電子元件，并且可能使將要由位置測(cè)量裝置產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)發(fā)生失真。因此可省卻必須通過局部地去除鋁陽極處理層而對(duì)通常由鋁制成的、并且設(shè)計(jì)為鋁-壓鑄件的、且配設(shè)有一個(gè)絕緣的鋁陽極處理層的隨動(dòng)件進(jìn)行的機(jī)械加工。而是在使用一種含金屬的、能導(dǎo)電的無定形碳層對(duì)隨動(dòng)件進(jìn)行涂層時(shí)，可以直接利用那個(gè)涂層的導(dǎo)電能力，以便使隨動(dòng)件和與此相連的待測(cè)量的物體、例如機(jī)器零件處于相同的電位。為此，通過合適的導(dǎo)電的(由金屬制成的)固定機(jī)構(gòu)將隨動(dòng)件連接到那個(gè)機(jī)器零件上就足夠了。代替地或者補(bǔ)充地也可通過在隨動(dòng)件的一個(gè)已涂層的表面與所述待測(cè)量的物體之間的表面接觸而實(shí)現(xiàn)隨動(dòng)件與所屬的待測(cè)量的物體的電連接。
在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，隨動(dòng)件不僅在其連接段的那些部位處設(shè)置一個(gè)無定形的碳層，即當(dāng)根據(jù)規(guī)定使用一個(gè)位置測(cè)量裝置中的隨動(dòng)件時(shí)該部位與所配置的、殼體側(cè)的密封機(jī)構(gòu)相接觸；而且此外在其它部位處也設(shè)置無定形的碳層。特別優(yōu)選的是，隨動(dòng)件的基體(例如由鋁組成)整體設(shè)置這種類型的涂層。在使用一種含金屬的非定形的碳層對(duì)隨動(dòng)件進(jìn)行涂層時(shí)在利用導(dǎo)電能力方面具有意義的是，隨動(dòng)件至少既在一個(gè)部位處(其中隨動(dòng)件在按規(guī)定使用時(shí)與所配置的密封機(jī)構(gòu)相接觸)、同時(shí)也在一個(gè)部位處(該部位用于將隨動(dòng)件與一個(gè)待測(cè)量的物體(機(jī)器零件)相連接)都設(shè)置金屬的非定形的碳層，其中該涂層必須如此形成，即在連接段中的涂層和用于固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上的部位之間存在一種導(dǎo)電連接。
一種具有一個(gè)根據(jù)本發(fā)明所設(shè)計(jì)的隨動(dòng)件的位置測(cè)量裝置具有權(quán)利要求10的特征。
在這樣一種位置測(cè)量裝置中，附加于隨動(dòng)件或者替代該隨動(dòng)件地、也就是不用該隨動(dòng)件地使位置測(cè)量裝置的殼體側(cè)的密封機(jī)構(gòu)也可設(shè)置一個(gè)根據(jù)本發(fā)明設(shè)計(jì)的無定形的碳層，以使摩擦和磨損最小化。


在下面對(duì)一個(gè)實(shí)施例的說明中借助附圖對(duì)本發(fā)明的其它細(xì)節(jié)和優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
這些附圖是圖1具有一個(gè)殼體和一個(gè)在該殼體處沿著一個(gè)測(cè)量方向運(yùn)動(dòng)地導(dǎo)向的隨動(dòng)件的一個(gè)長(zhǎng)度測(cè)量裝置形式的一個(gè)位置測(cè)量裝置的側(cè)面圖；圖2圖1的位置測(cè)量裝置在隨動(dòng)件部位的橫截面圖；圖3圖1和2的位置測(cè)量裝置的變型方案的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式
圖1和2表示一個(gè)長(zhǎng)度測(cè)量裝置形式的位置測(cè)量裝置1，該裝置具有一個(gè)殼體2，該殼體用作一個(gè)尺寸標(biāo)準(zhǔn)的支架。為此，在殼體2的內(nèi)部中設(shè)置一個(gè)沿著一個(gè)測(cè)量方向M延伸的測(cè)量刻度支承體3，在該支承件上設(shè)置一個(gè)測(cè)量刻度3a。一個(gè)掃描單元4用于例如以公開的方式按照光電測(cè)量原理對(duì)測(cè)量刻度3a進(jìn)行掃描，該掃描單元設(shè)置在一個(gè)沿測(cè)量方向M移動(dòng)地支承在位置測(cè)量裝置1的殼體2上的隨動(dòng)件5的容納部位51上。
隨動(dòng)件5的設(shè)置在殼體2內(nèi)部中的容納部位51通過一個(gè)連接板條形式的連接段50與隨動(dòng)件5的設(shè)置在殼體2外部的、一個(gè)安裝底座6形式的安裝部位52連接。通過該安裝底座使得隨動(dòng)件5可固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上。為此，在位置測(cè)量裝置1的殼體2中設(shè)置一個(gè)沿測(cè)量方向M延伸的縱向縫隙20。隨動(dòng)件5的連接段50穿過該縱向縫隙，并且在它的兩個(gè)縱向側(cè)面上分別設(shè)置一種密封唇形狀的密封機(jī)構(gòu)7，8，其中每個(gè)密封唇分別貼靠在連接板條50的這兩個(gè)側(cè)面50a，50b中的每個(gè)上。通過這一措施，殼體2的內(nèi)部與殼體2的外圍進(jìn)行如此的密封，使得無論是污物顆粒還是潮氣均不能通過該縱向縫隙20進(jìn)入到殼體2的內(nèi)部中，而一旦進(jìn)入內(nèi)部就會(huì)對(duì)測(cè)量刻度3a造成損害。
這種類型的位置測(cè)量裝置在結(jié)構(gòu)上已是公開的，因此，關(guān)于其它的細(xì)節(jié)請(qǐng)參閱EP 06 46 765 B1，DE 199 18 654 A1以及DE 101 09 909A1。在這些文獻(xiàn)中分別對(duì)一種在圖1和2中所示類型的位置測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)均有很詳細(xì)的說明。
在工作時(shí)，一方面位置測(cè)量裝置1的殼體2、另一方面位置測(cè)量裝置1的隨動(dòng)件5通過相應(yīng)的安裝孔2a，52a分別與兩個(gè)沿測(cè)量方向M彼此運(yùn)動(dòng)的、特別是以機(jī)器零件形式的物體O1或O2中的一個(gè)進(jìn)行連接，例如與一個(gè)機(jī)床的一個(gè)滑塊和一個(gè)床身連接。在這種情況中，例如隨動(dòng)件5通過在它的容納部位52上形成的安裝底座6與機(jī)床床身連接，殼體2與機(jī)床的滑塊連接。滑塊相對(duì)于床身沿測(cè)量方向M的相對(duì)運(yùn)動(dòng)相應(yīng)地導(dǎo)致在隨動(dòng)件5的容納部位51上設(shè)置的掃描單元4相對(duì)于設(shè)置在殼體2的支承體3上的測(cè)量刻度3a的一種同樣類型的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。通過借助所屬的掃描單元4對(duì)測(cè)量刻度3a的掃描，可以采集到滑塊相對(duì)于床身所作的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的大小。
在隨動(dòng)件5沿測(cè)量方向M相對(duì)于位置測(cè)量裝置1的殼體2作這種運(yùn)動(dòng)時(shí)，殼體側(cè)的密封唇7，8分別貼靠在隨動(dòng)件5的連接段50的一個(gè)側(cè)面50a，50b上。
為了在對(duì)于封閉的位置測(cè)量裝置得到實(shí)質(zhì)上的密封功能時(shí)使得隨動(dòng)件5的連接段50能沿著所屬的殼體側(cè)的密封唇7、8盡可能無摩擦和無磨損地滑動(dòng)，隨動(dòng)件5至少在它的兩個(gè)與密封唇7，8接觸的側(cè)面50a，50b上設(shè)置一個(gè)含有金屬的、無定形的a-C:H:Me型的碳層S，其中，“a”為無定形，“Me”為金屬、特別是鎢，鉬，鈦或者鉭。所選擇的金屬的材料份額在此約為15％。
所述碳層S例如可借助PECVD工藝以幾微米的厚度涂敷到隨動(dòng)件5的為此規(guī)定的部位上、特別是涂敷到隨動(dòng)件5的連接段50的所述兩個(gè)側(cè)面50a，50b上，其中金屬添加料從一個(gè)直流磁控管噴射源引入。層S的厚度最好在幾個(gè)微米的范圍內(nèi)，也就是說它是一個(gè)薄膜層。
為了利用含金屬的碳層S的電特性(導(dǎo)電能力)，這個(gè)涂層最好超出隨動(dòng)件5的連接段50，一直延伸到隨動(dòng)件的安裝部位52的安裝底座6上的通孔52a。通過這些通孔使隨動(dòng)件5可與一個(gè)配置的待測(cè)量的物體O2、例如一個(gè)機(jī)床的一個(gè)機(jī)器零件連接。為了固定隨動(dòng)件5選擇一種例如螺栓形式的金屬固定機(jī)構(gòu)，該固定機(jī)構(gòu)穿過在隨動(dòng)件5的安裝部位52上作為安裝孔設(shè)置的通孔52a，并且在這種情況下至少局部地貼靠在這些孔的邊緣上，并且支承在那里。通過對(duì)于隨動(dòng)件5進(jìn)行涂層，在通孔52a的部位處在隨動(dòng)件5的連接段50和所屬的待測(cè)量的物體O2(機(jī)器零件)之間產(chǎn)生了一個(gè)金屬橋。通過這一措施使得隨動(dòng)件5、特別是它的連接段50可以與待測(cè)量的物體O2的電位相同，并且通過連接段50與所屬的殼體側(cè)的密封唇7，8的共同作用阻止隨動(dòng)件5的局部充電。也可如此補(bǔ)充地或者代替地實(shí)現(xiàn)隨動(dòng)件5和所屬的待測(cè)量的物體O2之間的電接觸隨動(dòng)件5以涂層的部分部位、特別是以涂層的安裝部位52貼靠在所屬的待測(cè)量的物體O2上。
由于既能大大地減少隨動(dòng)件5和殼體側(cè)的密封唇7，8之間的摩擦，又能大大地減少在隨動(dòng)件相對(duì)于密封唇7，8作運(yùn)動(dòng)時(shí)的可以想像的磨損、特別是磨耗形式的磨損，所以可以完全放棄在隨動(dòng)件5和殼體側(cè)的密封唇7，8之間涂敷潤(rùn)滑劑，只要不是由于其它原因仍然需要使用這樣一種潤(rùn)滑劑的話。
圖3表示一個(gè)位置測(cè)量裝置的在圖1和2中示出的實(shí)施例的一種變型方案。根據(jù)該變型方案，密封唇7，8至少在它們的面向隨動(dòng)件5的、且貼靠在隨動(dòng)件5連接段50上的表面部位7a，8a上分別設(shè)置一個(gè)前述類型的碳層S’。由此，在密封唇7，8和隨動(dòng)件5的安裝部位52共同作用時(shí)可以相應(yīng)的方式減少摩擦和磨損。可以替代地或者也可補(bǔ)充借助圖1和2所說明的隨動(dòng)件5涂層地以一種碳層S實(shí)現(xiàn)密封唇7，8的涂層。
權(quán)利要求
1.用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的隨動(dòng)件，該隨動(dòng)件具有-一個(gè)用于容納所述位置測(cè)量裝置的一個(gè)掃描單元的容納部位，-一個(gè)用于將隨動(dòng)件固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上的安裝部位，-一個(gè)連接段，通過該連接段將該隨動(dòng)件的容納部位和安裝部位彼此連接起來，并且該連接段如此構(gòu)成和設(shè)置按一個(gè)測(cè)量方向沿著一個(gè)殼體的彈性的、貼靠在該連接段上的密封機(jī)構(gòu)被導(dǎo)向，所述殼體用于一個(gè)將要通過掃描單元來掃描的尺寸標(biāo)準(zhǔn)，-一個(gè)涂層，所述隨動(dòng)件利用該涂層用于減少在連接段和所屬的密封機(jī)構(gòu)之間的摩擦，其特征在于，所述隨動(dòng)件(5)至少在連接段(50)上設(shè)置一個(gè)無定形的碳層。
2.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，所述無定形碳層是類似金剛石的a-CH型的碳層。
3.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，所述碳層至少含有一種金屬(Me)。
4.按照權(quán)利要求3所述的隨動(dòng)件，其特征在于，所使用的金屬(Me)選自材料鎢、鉬、鈦或者鉭。
5.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，所述碳層附加地含有硅(Si)。
6.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，所述無定形的碳層由隨動(dòng)件的連接段(50)至少一直延伸到隨動(dòng)件(5)的安裝部位(52)中的固定位置(52a)，通過該固定位置可將隨動(dòng)件固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上。
7.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，整個(gè)隨動(dòng)件(5)都設(shè)置無定形的碳層。
8.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，隨動(dòng)件(5)的連接段(50)在兩個(gè)并排延伸的密封元件(7，8)之間被導(dǎo)向，該密封元件分別貼靠在連接段(50)的一個(gè)側(cè)面(50a，50b)上。
9.按照權(quán)利要求1所述的隨動(dòng)件，其特征在于，隨動(dòng)件(5)由鋁制成。
10.用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的物體的相對(duì)位置的位置測(cè)量裝置，它具有-一個(gè)可以與所述待測(cè)量的物體中的一個(gè)進(jìn)行連接的殼體(2)，該殼體具有一個(gè)沿測(cè)量方向(M)延伸的縫隙(20)，-一個(gè)設(shè)置在殼體(2)中的、沿測(cè)量方向(M)延伸的尺寸標(biāo)準(zhǔn)(3a)，-一個(gè)通過縫隙(20)伸入到殼體(2)中的隨動(dòng)件(5)，該隨動(dòng)件在殼體(2)的內(nèi)部具有一個(gè)容納部位，用于容納一個(gè)掃描所述尺寸標(biāo)準(zhǔn)(3a)的掃描單元(4)；并且該隨動(dòng)件在殼體(2)的外部具有一個(gè)安裝部位(52)，用于將隨動(dòng)件(5)與待測(cè)量的物體中的另一個(gè)連接起來，-隨動(dòng)件(5)的一個(gè)連接段(50)，通過該連接段將隨動(dòng)件的容納部位(51)和安裝部位(52)連接起來，-沿縫隙(20)設(shè)置的密封機(jī)構(gòu)(7，8)，該密封機(jī)構(gòu)密封地貼靠在沿測(cè)量方向(M)移動(dòng)地支承的隨動(dòng)件(5)的連接段(50)上，其特征在于，設(shè)置一個(gè)按照前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的隨動(dòng)件(5)。
11.按照權(quán)利要求10所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，用一種無定形的碳層對(duì)密封機(jī)構(gòu)(7，8)進(jìn)行涂層。
12.按照權(quán)利要求11所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，所述無定形的碳層是一種類似金剛石的a-CH型的碳層。
13.按照權(quán)利要求11所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，所述在密封機(jī)構(gòu)(7，8)上涂敷的無定形的碳層是一種含金屬的涂層。
14.按照權(quán)利要求13所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，所述金屬選自材料鎢，鉬、鈦或者鉭。
15.按照權(quán)利要求11所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，所述碳層附加地含有硅(Si)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的隨動(dòng)件，該隨動(dòng)件具有一個(gè)用于容納所述位置測(cè)量裝置的一個(gè)掃描單元的容納部位；一個(gè)用于將隨動(dòng)件固定在一個(gè)待測(cè)量的物體上的安裝部位；一個(gè)連接段，通過該連接段將該隨動(dòng)件的容納部位和安裝部位彼此連接起來，并且該連接段如此構(gòu)成和設(shè)置沿著一個(gè)殼體的彈性的、貼靠在該連接段上的密封機(jī)構(gòu)被導(dǎo)向，所述殼體用于一個(gè)將要通過掃描單元來掃描的尺寸標(biāo)準(zhǔn)；一個(gè)涂層，所述隨動(dòng)件利用該涂層用于減少在連接段和所屬的密封機(jī)構(gòu)之間的摩擦。根據(jù)本發(fā)明，所述隨動(dòng)件(5)至少在連接段(50)上設(shè)置一個(gè)無定形的碳層。
文檔編號(hào)G01B21/00GK1789921SQ20051013172
公開日2006年6月21日 申請(qǐng)日期2005年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月13日
發(fā)明者P·施佩克巴赫, M·烏爾里希 申請(qǐng)人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司