專利名稱：液晶盒厚度檢測方法、液晶盒厚度控制系統及液晶裝置制造方法
技術領域：
本發明所屬領域本發明涉及用來檢測液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度檢測方法、液晶盒厚度控制系統及液晶裝置的制造方法。
相關技術描述過去，液晶顯示裝置具有用密封材料將2塊襯底粘貼在一起并在該密封材料的內側注入液晶的液晶顯示面板。在該液晶顯示面板中，2塊襯底的間隔(以下稱作‘液晶盒厚度’)是決定液晶層厚度的重要參數，由該液晶盒厚度來決定液晶顯示面板的光學特性。
通常，在液晶顯示裝置的制造工序中，用未硬化的密封材料將2塊襯底粘貼后，施加規定的壓力，使襯底相互壓著。這時，使用混合了球狀或圓柱狀的隔離基的密封材料，或者，通過在一塊襯底的內面散布很多隔離基再與另一塊襯底粘貼，由這些隔離基的外徑來限制液晶盒厚度。接著，在該狀態下通過加熱等處理使密封材料硬化，形成液晶顯示面板的液晶盒結構(即，空液晶盒)。
上述密封材料設有構成液晶注入口的開口部。而且，從該液晶注入口向上述空液晶盒內注入液晶。一旦注入液晶，液晶面板就會鼓起來，所以，對液晶面板加壓，在液晶盒厚度均勻的狀態下對液晶注入口涂敷密封材料，并對其進行紫外線照射等使密封材料硬化，從而密封液晶。這樣的密封了液晶的液晶面板可以原封不動地維持密封時的形狀，可以使整個液晶顯示區實現大致均勻的液晶盒厚度分布。
如上所述，液晶密封時的液晶盒厚度決定最后的液晶面板的液晶盒厚度及其分布狀態，所以，過去就有在液晶密封階段一邊測定液晶盒厚度一邊加壓，在液晶盒厚度達到所要的尺寸時進行密封的情況。這時，作為液晶盒厚度的測定方法，已知的有利用從光源照射的光經襯底的表面等反射后的界面反射光的干涉測定液晶盒厚度的方法(使用干涉膜厚計的方法)和將一對偏振光板配置在液晶面板的前后再根據透過液晶面板及一對偏振光板的光的色相求得液晶盒厚度的方法。
但是，在上述先有的液晶顯示面板的液晶盒厚度的測定方法中，利用界面反射光的干涉球液晶盒厚度的方法因液晶面板內存在象透明電極、絕緣膜、定向膜、濾色器等那樣的多個層，由各層間的界面產生的反射光相互間呈現復雜的關系而使干涉復雜化，同時，界面反射光本身的強度相當弱，所以存在難以準確地求出液晶盒厚度的問題。
另一方面，在求出透過液晶面板及配置在其前后的偏振光板的光的色相值再根據該色相值求得液晶盒厚度的方法中，當測定具有濾色器的彩色液晶顯示面板的液晶盒厚度時，因液晶盒厚度的檢測值受濾色器的色相的影響，所以，有時因濾色器的存在而不能檢測液晶盒厚度，此外，還存在即使考慮濾色器的色相來修正檢測值也不能準確地檢測液晶盒厚度的問題。
因此，本發明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于實現一種新的液晶盒厚度測定方法，能準確檢測出液晶面板的厚度且不因濾色器的存在而受影響。此外，本發明的目的在于提供一種高品位的液晶裝置，通過使用新的液晶盒厚度測定方法來形成高精度的液晶盒結構。
解決問題的手段本發明的液晶盒厚度檢測方法是用來檢測將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度檢測方法，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，求出上述光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
若對依次通過第1偏振光裝置、液晶層和第2偏振光裝置的光進行分光，就能得到規定的分光光譜。在該分光光譜中，在由第1偏振光裝置的偏振光透過軸和第2偏振光裝置的偏振光透過軸之間的相對角度φ、液晶折射率的各向異性Δn、液晶的扭角θ和液晶盒厚d決定的波長或頻率的位置上，出現極小值或極大值。特別，在將上述相對角度φ設定為規定值時，出現該極小值或極大值的波長或頻率實質上根據液晶盒厚度d變化，幾乎不受液晶面板的濾色器等產生的色相的影響。因此，通過作為檢測值而得到上述波長或頻率或與它們相關的對應值，就可以容易地以很高的精度求出液晶盒厚度d，而不受界面反射光等的干涉或濾色器等的色調的影響。
在本發明中，在上述分光光譜中能得到極小值或極大值的波長或頻率最好是可見光區域內的波長或頻率。通過使用可見光區域內的檢測值，可以容易進行測量，同時，能提高液晶盒厚度的檢測精度。
在本發明中，通過上述光路的光的光源最好在至少與上述檢測值對應的波長區域內具有連續的發光光譜。通過使用在與檢測值對應的波長區域內具有連續的發光光譜的光源，可以降低光源的發光光譜對檢測值的影響，所以，能夠高精度地檢測出液晶盒厚度。例如，作為在可見光區域內有連續發光光譜的光源，有鹵素燈等，作為在可見光區域內有不連續發光光譜的光源，有熒光燈等。
其次，本發明的液晶盒厚度控制系統是用來控制將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度控制系統，其特征在于，具有對上述液晶面板施加受控制的壓力的加壓裝置；具有依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路的檢測光學系；對從該檢測光學系導出的光進行分光的分光裝置；根據該分光裝置的輸出求出從上述檢測光學系得到的光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值的檢測值導出裝置；控制上述加壓裝置的壓力使上述檢測值接近與上述液晶盒厚度的目標值對應的值的控制裝置。
在本發明中，上述控制裝置最好根據預先設定的上述檢測值或對應于上述檢測值的液晶盒厚度的變化量和對上述液晶面板施加的壓力的關系控制上述加壓裝置。因此，可以在短時間內高精度地控制液晶盒厚度。這時，最好使用液晶盒厚度的目標值附近的檢測值或液晶盒厚度的變化量和壓力的關系。
在本發明中，上述加壓裝置最好包括至少一方具有透光性且將上述液晶面板夾在中間的相互對置的一對夾持部件；密封該一對夾持部件和上述液晶面板之間的間隙的密封裝置；以受控制的壓力向上述一對夾持裝置和上述液晶面板之間的間隙供給流體的流體供給裝置。通過將液晶面板配置在夾持部件之間并利用向夾持部件和液晶面板之間的間隙供給的流體對液晶面板施加壓力，可以對液晶面板進行柔軟而均勻的加壓，所以，可以高精度控制液晶盒厚度，同時，可以進行微妙的調整，由此，能夠使控制液晶盒厚度所需要的時間比以前的方法短。
其次，本發明的液晶裝置的制造方法是將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的制造方法，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和上述第2偏振光裝置的光路，對通過上述光路的光進行分光，求出上述光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值，根據該檢測值對上述液晶面板進行加壓，并進行調整，使上述檢測值與和上述液晶盒厚度的目標值對應的值大致一致。
在本發明中，最好在向上述液晶面板內注入液晶后，根據上述檢測值對上述液晶面板進行加壓，在調整壓力使上述檢測值與和上述液晶盒厚度的目標值對應的值大致一致的狀態下密封上述液晶裝置。
進而，作為本發明的液晶盒厚度檢測方法，是用來檢測將2塊襯底對置并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度檢測方法，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，在上述光的分光光譜中，將能得到極小值或極大值的波長或頻率作為檢測值求出，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
此外，作為本發明的液晶盒厚度檢測方法，是用來檢測將2塊襯底對置并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度檢測方法，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，在上述光的分光光譜中，將與能得到極小值或極大值的波長或頻率相關的對應值作為檢測值求出，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
附圖描述圖1是表示本發明實施形態的液晶盒厚度控制系統的整體構成的概略構成圖。
圖2是表示同實施方式的工作流程的順序的概略流程圖。
圖3是表示同實施形態的利用分光液晶盒得到的分光光譜的圖。
圖4是表示同實施形態的利用分光液晶盒得到的(A)沒有濾色器的單色面板、(B)具有濾色器的彩色面板、(C)具有別的濾色器的彩色面板3種情況下的分光光譜的圖。
圖5是表示構成反射型檢測系統的另一實現方式的加壓夾具和分光裝置的加壓夾具和分光裝置的構造的概略構成圖。
圖6(a)是表示同實施方式中的函數F的具體例已使用的液晶面板的摩擦方向的說明圖，(b)是表示配置在同液晶面板的前后偏振光板的偏振光透過軸的方向的說明圖，(c)是表示上述函數F的具體例中的波長λ和液晶盒厚度d的關系的圖。
其次，參照
本發明的液晶盒厚度測定方法、液晶盒厚度控制系統和液晶裝置的制造方法的實施方式。
實施例描述圖1是表示使用了本發明的液晶盒厚度測量方法的液晶盒厚度控制系統100的整體構成的概略構成圖。該液晶盒厚度控制系統100包括具有個人計算機等微處理器液晶盒(MPU)的控制裝置110、用來對液晶顯示面板10加壓的加壓夾具120、向加壓夾具供給壓縮空氣等加壓流體的流體供給裝置130、對從設在加壓夾具120上的液晶顯示面板10發出的光進行分光的分光裝置140。
液晶顯示面板是將具有扭轉取向性的液晶(例如向列的液晶)封入由密封材料粘貼的2塊面板襯底之間而形成的。此外，在該實施方式中，作為控制對象的液晶顯示面板10是具有所謂光透過型面板結構的面板。
控制裝置110設有作為控制裝置本體的控制單元111、與控制單元111連接的鍵盤等輸入裝置112與控制單元111連接的顯示器等輸出裝置113。控制裝置111內MPU設有包括CPU(中央運算單元)、存儲器和信號線等的上述MPU和對該MPU與外部裝置之間的信號交換進行中繼的輸入輸出電路。控制單元111經該輸入輸出電路分別向加壓夾具120、流體供給裝置130和分光裝置140送出控制信號，控制各部分，同時，由輸入輸出電路接收表示由分光裝置得到的分光光譜及其它分光參數的分光數據，并取入內部。
加壓夾具120設有由LED或冷陰極射線管等點狀或線狀光源及導光板組合形成的、或者由場致發光面板等面狀光源等形成的背照光121。作為本實施方式使用的光源，為了減小對后述的分光光譜的極小值或極大值的波長或頻率的影響，最好是至少在具有這些極小值或極大值的波長區及其附近具有連續的發光光譜的光源。例如，最好是象鹵素燈那樣在可見光區域具有平滑的發光光譜的光源，而不是向熒光燈那樣具有存在尖峰的發光光譜的光源。
在該背景光121的上面設置由玻璃或丙烯基樹脂等形成的透明的第1襯底122和第2襯底125，該第1襯底122和第2襯底125通過整體構成閉合曲線形狀的具有彈性的密封材料123、126將液晶顯示面板夾在中間。第1襯底122和液晶面板10之間的間隙由密封材料123密封，第2襯底125和液晶面板10之間的間隙由密封材料126密封。此外，在第1襯底122的內面設置偏振光板124，其偏振光透過軸可繞光軸(圖中的上下軸)旋轉，在第2襯底125的內面設置可繞光軸旋轉的偏振光板127。再有，當第1襯底122和第2襯底125分別由不具有光學各向異性的玻璃等材料形成時，上述偏振光板124、127也可以配置在第1襯底122和第2襯底125的外面或外側。
在第1襯底122和第2襯底125的內部分別設置通過上述間隙的流體供給通路(未圖示)，該流體供給通路與上述流體供給裝置130連接。在流體供給裝置130上設置由壓縮機或儲氣瓶等形成的流體供給源131和與該流體供給源131連接的壓力控制單元132。壓力控制單元132控制流體供給源131斷續地向上述第1襯底122和第2襯底125供給流體，同時，調整向第1襯底122和第2襯底125供給流體的壓力。
分光裝置140具有分光單元141和使該分光單元141相對上述加壓夾具120移動的移動機構142。分光單元141是能夠得到從加壓夾具120發出的光的至少在可見光區域內的分光光譜或與此對應的檢測數據的裝置，例如，可以是使用了分光元件的分光計，使用了多路分光法的分光裝置或多通道分光計等。移動機構142最好構成為當具有由分光單元141對液晶顯示面板的液晶顯示區限定的測量范圍時，通過掃描該測量范圍能夠覆蓋全部液晶面板10的液晶顯示區。
再有，作為分光裝置140設定成使其分光范圍涵蓋整個液晶顯示面板10的液晶顯示區，或其分光范圍涵蓋液晶顯示面板10的液晶顯示區的主要部分，結果，也可以不需要上述移動機構142。
在該液晶盒厚度控制系統100中，因液晶面板10夾在第1襯底122和第2襯底125的中間，故背景光121的照明光經第1襯底122和偏振光板124而透過液晶顯示面板10，進而，經偏振光板127和第2襯底125而到達分光單元141。
在分光單元141中，檢測出沿上述光路到達的光的可見光區的分光光譜本身、或與該分光光譜等效的、即通過規定的數學運算可導出分光光譜的各種光學參數(復數介電常數等)。
圖3示出上述分光光譜的一個例子。在該分光光譜中，在可見光區存在極小值Mb和極大值Mp。能得到該極小值Mb的波長λb和能得到該極大值Mp的波長λp與液晶面板10的液晶盒厚度之間具有規定的關系。
一般，通過使用Jones矢量法和4×4矩陣法，并根據液晶的光學特性，即光學的各向異性Δn、扭角θ、液晶盒厚d和偏振光板124的偏振光透過軸與偏振光板127的偏振光透過軸之間的相對光軸的角度φ，可以導出上述分光光譜。而且，利用上述參數可以表示該分光光譜中的上述極小值Mb和極大值Mp的位置，即波長λb、λp。因此，若光源和加壓夾具的條件相同，則可用上述波長λb或λp的函數F(λ)表示規定的Δn、θ、φ時的液晶盒厚度d。該液晶盒厚度d＝F(λ)在實用上可由波長λb或λp的1次或4次函數表示。
圖3示出使液晶盒厚度d變化時(d＝d0、d＝d0-Δd)的2個分光光譜。通常，當液晶盒厚度d增加時，根據上述函數F(λ)，可見光區的上述波長λb、λp單調增加。再有，上述函數F(λ)也可以是根據從預先反復實驗得到的數據求得的實驗式。
其次，參照圖6示出上述函數F(λ)的具體例。在STN型液晶面板中，該液晶的光學各向異性Δn＝0.141，此外，在液晶面板的入射側(光的入射側)的襯底和射出側的襯底上形成定向膜，沿圖6(a)所示的磨擦方向對這些定向膜進行摩擦處理，使液晶的扭角θ＝250度。這里，圖6(a)示出從液晶面板的射出側看去的磨擦方向。進而，將相對該液晶面板配置在入射側的偏振光板的偏振光透過軸與配置在射出側的偏振光板的偏振光透過軸設定為圖6(b)所示的方向。這里，圖6(b)示出從光的射出側看去的偏振光透過軸的方向。而且，設液晶面板的液晶盒厚度的目標值為d0＝5.6μm，在5.1～6.1μm的液晶盒厚度范圍內，算出上述分光光譜的極小值的波長λb[nm]，求出上述函數F。這樣一來，求出的函數F變成
d＝F(λb)＝-9×10<SUP>-7</SUP>λb<SUP>3</SUP>+0.0014λb<SUP>2</SUP>-0.7653λb+138.29圖6(c)示出該函數F中的波長λb和液晶盒厚度d的關系。
圖4示出作為液晶顯示面板10在使用沒有濾色器的單色面板A及具有濾色器的彩色面板B和C的情況下的各分光光譜。這里，彩色面板B和彩色面板C具有不同的設定著色層的彩色濾色器。這時，利用上述分光單元分光的光的范圍設定在分別通過包含液晶顯示區中的多個象素的區域的范圍內。
如圖4所示，分光光譜隨濾色器的有無和濾色器的種類有很大的變化，但上述極小值Mb和極大值Mp的位置幾乎不變，上述波長λb、λp大致一定。因此，當使用上述函數F(λ)求液晶盒厚度d時，其檢測值幾乎不受濾色器的有無和濾色器色調變化的影響。
上述液晶盒厚度控制系統100在向液晶面板10注入液晶后用密封材料密封密封材料的液晶注入口時，利用加壓夾具120一邊加壓一邊測定液晶盒厚度，在控制施加的壓力使液晶盒厚度達到目標值的時刻，涂敷密封材料并使其硬化。這樣，通過一邊控制液晶盒厚度一邊進行液晶密封，可以得到高精度而且均勻的液晶盒厚度分布。再有，當采用構成能獲取多個液晶顯示面板的大面板的制造工序時，將大面板分割成長方塊(第1次分割)，在對該長方塊面板的各液晶密封區分別注入液晶后，將長方塊面板放在上述加壓夾具120上，一邊測定液晶盒厚度一邊進行液晶密封。
圖2是表示用來使上述液晶盒厚度控制系統100動作的動作流程的概略流程圖。首先，將液晶顯示面板10放在加壓夾具120上，從輸入裝置112接收輸入數據并進行保存。該輸入數據有液晶盒狀態，即液晶的光學各向異性Δn、扭角θ、偏振光板124、127的偏振光透過軸的角度φ和面板襯底的厚度、材料及光學特性等。此外，還接收輸入的液晶盒厚度的目標值d0并進行記錄。
控制單元111根據上述輸入的液晶盒狀態和目標值求上述函數F(λ)。該函數F(λ)示出液晶盒厚度d和上述波長λb或λp的關系。在本實施方式中，使用與分光光譜的極小值Mb對應的波長λb。
此外，在求上述函數F(λ)的同時，還求出表示加壓夾具120中的加壓力P和液晶盒厚度d的關系的函數G(Δd)。該函數G(Δd)示出從壓力控制單元132向加壓夾具120提供的流體壓力的加壓力P和因該加壓力P而使液晶盒厚度向目標值d0接近的液晶盒厚度d的變化量Δd的關系，通常，可以根據理論的或從實驗求得的參數適當求出，所以，也可以只將函數G(Δd)作為規定的變量進行設定。但是，最好在根據上述參數和面板襯底的厚度或材料等修正參數對每一塊液晶顯示面板(液晶盒)修正了函數G(Δd)之后再使用。
當完成上述準備工作后，等待輸入裝置112輸入的開始指令，一旦輸入開始指令，便將分光單元放在適當的位置上，開始分光測量。接著，從分光單元141向控制單元111送出分光數據，控制單元111根據分光數據求上述波長λb。
接著，根據上述函數F(λ)從上述波長λb求出液晶盒厚度d，將該算出的液晶盒厚度d與目標值d0進行比較，當液晶盒厚度d與目標值d0不同時，求出與Δd＝|d-d0|(d和d0的差的絕對值)對應的上述加壓力P＝G(Δd)，從控制單元111向壓力控制單元132送出施加該加壓力P的控制信號，對加壓夾具120進行液晶顯示面板10的加壓控制。
然后，進而進行與上述同樣的分光測量，再算出液晶盒厚度d并與目標值d0進行比較。就這樣，反復進行測量和比較，最后，當液晶盒厚度d與目標值d0大致一致時，結束分光測量和加壓控制。這時，利用密封材料密封該液晶顯示面板10的液晶密封口。
然后，根據預定的測量模式，例如，當對長方形的多個面板的每一個預定區進行測量時，使用移動機構142改變分光單元141的測量位置，在其余的面板預定區上進行和上述一樣的反復測量，從而控制液晶盒厚度。
在液晶盒厚度控制系統及液晶制造裝置的制造方法中，以上說明的本實施方式的液晶盒厚度檢測方法可以高精度地檢測液晶顯示面板的液晶盒厚度，而且，幾乎不因濾色器的有無和色相的離散等原因而受影響。
在上述實施方式中，為了求液晶盒厚度而使用了分光光譜的波長λb，但也可以使用λp，此外，還可以使用與波長相當的頻率，或與此關連的種種對應值。
此外，在上述實施方式中，從波長、頻率或對應值等檢測值算出液晶盒厚度d并將該液晶盒厚度d與目標值d0進行比較，但也可以與此不同，不求液晶盒厚度d而直接將上述檢測值與和液晶盒厚度的目標值對應的檢測值的目標值進行比較。
圖5是示出能代替上述實施方式的加壓夾具120和分光裝置140使用的加壓夾具220和分光裝置240的概略結構。
加壓夾具220具有第1襯底222、密封材料223、透明的第2襯底225和密封材料226，由第1襯底222和第2襯底225將液晶顯示面板10夾在中間。第1襯底222和液晶顯示面板10之間的間隙由密封材料223密封，第2襯底225和液晶顯示面板10之間的間隙由密封材料226密封，可以利用上述流體供給裝置130對液晶顯示面板10加壓這一點與上述實施方式相同。在該加壓夾具220中，第1襯底222的表面(上面)成為反射面。
另一方面，分光裝置240具有和上述同樣的分光單元241、從斜上方向上述加壓夾具220照射光的光源243、配置在光源243和加壓夾具220之間的偏振光板244、配置在加壓夾具220和分光單元241之間的偏振光板245。再有，光源243也可以是形成環狀的環形照明燈。
在該分光裝置240中，向加壓夾具照射的光經偏振光板244、第2襯底225和液晶顯示面板10由第1襯底222反射，該反射光再次通過液晶顯示面板10后經第2襯底225和偏振光板245到達分光單元241，進行分光。
再有，上述加壓夾具220和分光裝置240不限于上述透過型液晶顯示面板10，也可以使用反射型液晶顯示面板。
如上所述，若按照本發明，可以高精度而且容易地求出液晶盒厚度d，而不受界面反射光等的干擾及濾色器等的色調的影響。
權利要求
1.一種液晶盒厚度檢測方法，用來檢測將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，求出上述光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
2.權利要求1的液晶盒厚度檢測方法，其特征在于在上述分光光譜中能得到極小值或極大值的波長或頻率是可見光區域內的波長或頻率。
3.權利要求1或2的液晶盒厚度檢測方法，其特征在于通過上述光路的光的光源在至少與上述檢測值對應的波長區域內具有連續的發光光譜。
4.一種液晶盒厚度控制系統，用來控制將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度，其特征在于，具有對上述液晶面板施加受控制的壓力的加壓裝置；具有依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路的檢測光學系；對從該檢測光學系導出的光進行分光的分光裝置；根據該分光裝置的輸出求出從上述檢測光學系得到的光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值的檢測值導出裝置；控制上述加壓裝置的壓力使上述檢測值接近與上述液晶盒厚度的目標值對應的值的控制裝置。
5.權利要求4的液晶盒厚度控制系統，其特征在于在上述分光光譜中能得到極小值或極大值的波長或頻率是可見光區域內的波長或頻率。
6.權利要求4或5的液晶盒厚度控制系統，其特征在于通過上述光路的光的光源在至少與上述檢測值對應的波長區域內具有連續的發光光譜。
7.權利要求4至6的任何一項的液晶盒厚度控制系統，其特征在于上述控制裝置根據預先設定的上述檢測值或對應于上述檢測值的液晶盒厚度的變化量和對上述液晶面板施加的壓力的關系控制上述加壓裝置。
8.權利要求4至7的任何一項的液晶盒厚度控制系統，其特征在于上述加壓裝置包括至少一方具有透光性且將上述液晶面板夾在中間的相互對置的一對夾持部件；密封該一對夾持部件和上述液晶面板之間的間隙的密封裝置；以受控制的壓力向上述一對夾持部件和上述液晶面板之間的間隙供給流體的流體供給裝置。
9.一種液晶裝置的制造方法，通過密封材料將2塊襯底粘貼在一起并在該襯底間配置液晶層而形成液晶面板，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和上述第2偏振光裝置的光路；對通過上述光路的光進行分光；求出上述光的分光光譜中的能得到極小值或極大值的波長或頻率或與它們相關的對應值的檢測值，根據該檢測值對上述液晶面板進行加壓，并進行調整，使上述檢測值與和上述液晶盒厚度的目標值對應的值大致一致。
10.權利要求9的液晶裝置的制造方法，其特征在于在上述分光光譜中能得到極小值或極大值的波長或頻率是可見光區域內的波長或頻率。
11.權利要求9和10任何一項的液晶裝置的制造方法，其特征在于在向上述液晶面板內注入液晶后，根據上述檢測值對上述液晶面板進行加壓，在調整壓力使上述檢測值與和上述液晶盒厚度的目標值對應的值大致一致的狀態下密封上述液晶。
12.一種液晶盒厚度檢測方法，用來檢測將2塊襯底對置并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，在上述光的分光光譜中，將能得到極小值或極大值的波長或頻率作為檢測值求出，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
13.一種液晶盒厚度檢測方法，用來檢測將2塊襯底對置并在該襯底間配置液晶層的液晶面板的液晶盒厚度，其特征在于設定依次通過第1偏振光裝置、上述液晶層和第2偏振光裝置的光路，對通過該光路的光進行分光，在上述光的分光光譜中，將與能得到極小值或極大值的波長或頻率相關的對應值作為檢測值求出，根據該檢測值得出上述液晶盒厚度。
全文摘要
提供一種新的液晶盒厚度測定方法,可以精確地檢測液晶面板的液晶盒厚度,而不因濾色器的存在而受影響。利用分光單元141對透過夾持液晶顯示面板10的加壓夾具的光進行分光,根據該分光光譜中的極小值或極大值的波長或頻率求出液晶盒厚度。將檢測出的液晶盒厚度與目標值進行比較,與該比較結果對應,利用壓力控制單元132向加壓夾具供給流體。
文檔編號G01B11/06GK1340690SQ0113251
公開日2002年3月20日 申請日期2001年8月31日 優先權日2000年9月1日
發明者黑巖雅宏 申請人:精工愛普生株式會社
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
