專利名稱:高電流探針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種高電流探針,該高電流探針的結(jié)構(gòu)具有下列特征可以彈性地出入針管內(nèi)外的柱塞(Plunger)受到被檢測件從下面施加的壓力并移動(dòng)到下方時(shí),將與安裝在電路板上的下側(cè)接觸材料進(jìn)行相互接觸,上述柱塞(Plunger)或接觸材料的內(nèi)側(cè)端部形成插槽,多個(gè)接觸線材插入并固定在上述插槽后構(gòu)成清晰而穩(wěn)定的接觸,不僅提高檢測可靠性,還大幅減少電流密度和接觸抵抗,防止因劣化而來的破損等缺點(diǎn)。
該高電流探針可以針對連接了5A以上的大容量電流的晶片進(jìn)行測試,與利用微量電流的半導(dǎo)體芯片檢測用探針相比,本發(fā)明的結(jié)構(gòu)更加注重了電流的穩(wěn)定路徑。
背景技術(shù):
一般來說,半導(dǎo)體芯片檢測用探針在進(jìn)行檢測試驗(yàn)時(shí),電流很容易集中在屬于螺旋彈簧及螺旋彈簧和針管之間接觸部位的微小面積的路徑上,如果連接5A以下的電流,即使電流流經(jīng)上述微小路徑,也不會(huì)對探針壽命造成影響,還可以增強(qiáng)彈性,可以較為自由地改變結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的接觸。
與此相比,流經(jīng)高電流探針的電流屬于5-500A左右的大容量電流,整體尺寸比上述半導(dǎo)體芯片檢測用探針大,當(dāng)電流集中通過螺旋彈簧和微小接觸部位時(shí),上述螺旋彈簧和微小接觸部位容易劣化并引起材料熔化或熱特性變化,進(jìn)而影響機(jī)械操作。
和半導(dǎo)體芯片檢測用探針相似的是,為了使柱塞(Plunger)可以彈性地滑動(dòng),上述高電流探針也需要采取可以容納并結(jié)合螺旋彈簧的結(jié)構(gòu)。由于上述螺旋彈簧和各組成部件之間在組裝安裝時(shí)的接觸面積不穩(wěn)定,現(xiàn)有探針容易出現(xiàn)電流路徑不穩(wěn)定,零件容易破損的現(xiàn)象。而且,即使只有部分零件被損壞,也因無法再使用而需要更換整個(gè)探針。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述缺點(diǎn)提供了解決方法。本發(fā)明的目的是提供一種具有接觸穩(wěn)定性,不通過螺旋彈簧的較為明確的電流路徑,相互緊密的組裝結(jié)構(gòu),使電流穩(wěn)定并提高檢測可靠性的高電流探針。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種可以大幅減少電流密度和接觸抵抗,防止因劣化而來的破損,提高探針壽命的高電流探針。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種組裝和分解容易且可以輕易更換消耗品的高電流探針。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種包含上下開放的圓柱形針管10;以彈性地出入上述針管10上側(cè)的方式安裝并與被檢測件的接觸端子接觸的柱塞(Plunger)20;安裝并固定在上述針管10下側(cè)并與電路板的接觸端子進(jìn)行電氣連接的接觸材料30;以及為了使上述柱塞20和上述接觸材料30之間進(jìn)行電氣連接而安裝到上述柱塞20和接觸材料30的嵌合部、并在上述嵌合部往外突出的一端包含朝外折曲的多個(gè)接觸線材50為特征的高電流探針。
此時(shí),上述柱塞(Plunger)20的下側(cè)具有可以使上述接觸材料30的上側(cè)插入的插槽40,而上述接觸材料30則與上述柱塞20之間具有彈性彈簧70并被安裝在上述針管10的下側(cè),其上側(cè)具有可以插入上述插槽40的線材接觸部42。上述接觸線材50的一側(cè)端插入上述柱塞(Plunger)的插槽40,另一側(cè)端突出于上述柱塞20的下端并彎曲到上述柱塞20的外面,通過嵌合在上述柱塞20外圓周面的線材固定環(huán)60使其緊密固定在上述柱塞20外圓周面,這樣的實(shí)施例較佳。
另外,上述柱塞(Plunger)20的下側(cè)具有線材接觸部42,而上述接觸材料30則與上述柱塞20之間具有彈性彈簧70并被安裝在上述針管10的下側(cè),其上側(cè)具有可以插入上述柱塞的線材接觸部42的插槽40。上述接觸線材50的一側(cè)端插入上述接觸材料的插槽40,另一側(cè)端突出于上述接觸材料30的上端并彎曲到上述接觸材料30的外面,通過嵌合在上述接觸材料30的外圓周面的線材固定環(huán)60使其緊密固定在上述接觸材料30的外圓周面,這樣的另一實(shí)施例較佳。
另外,上述針管10具有朝內(nèi)突出的阻擋突塊11,上述柱塞20中位于上述針管10內(nèi)側(cè)的一部分外經(jīng)會(huì)收縮,使得上述柱塞20在上述針管10內(nèi)側(cè)被上述阻擋突塊11限制其上下移動(dòng)的距離,在上述外經(jīng)被收縮的空間部位容納了上述阻擋突塊11,這樣的實(shí)施例較佳。
另外,上述接觸線材50朝上述插槽40內(nèi)側(cè)彎曲并安裝較好。
另外,上述線材固定環(huán)60在下端部外經(jīng)被收縮的上述柱塞(Plunger)20的外圓周面形成連續(xù)的外經(jīng)后套在上述柱塞20的下端部外側(cè),或者在上端部的外經(jīng)被收縮的上述接觸材料30的外圓周面形成連續(xù)的外經(jīng)后套在上述接觸材料30的上端部外側(cè),以及位于上述接觸線材50的折曲部的端部內(nèi)徑被收縮較佳。
另外,上述插槽40在內(nèi)側(cè)斷面上突出形成半球狀的制約突塊41,在上述插槽40的內(nèi)圓周面和上述制約突塊41的外圓周之間制約上述接觸線材50的端部較佳。
另外,上述接觸線材50的一端被拘束在上述插槽40的內(nèi)側(cè)斷面上,另一端被上述線材固定環(huán)60加壓固定,使中央部位朝上述插槽40的中心軸彎曲,這樣的實(shí)施例較佳。
本發(fā)明高電流探針具有接觸穩(wěn)定性,不通過螺旋彈簧的較為明確的電流路徑,相互緊密的組裝結(jié)構(gòu),使電流穩(wěn)定并提高檢測可靠性。
本發(fā)明高電流探針可以大幅減少電流密度和接觸抵抗,防止因劣化而來的破損,提高探針壽命。
本發(fā)明高電流探針的組裝和分解容易,可以輕易更換消耗品。
如上述,本發(fā)明高電流探針具有接觸穩(wěn)定性,不通過螺旋彈簧的較為明確的電流路徑,相互緊密的組裝結(jié)構(gòu),使電流穩(wěn)定并提高檢測可靠性。
本發(fā)明高電流探針可以大幅減少電流密度和接觸抵抗,防止因劣化而來的破損,提高探針壽命。
本發(fā)明高電流探針的組裝和分解容易,可以輕易更換消耗品。
圖1為本發(fā)明高電流探針的第一實(shí)施例剖面圖。
圖2為本發(fā)明高電流探針的第二實(shí)施例剖面圖。
圖3為本發(fā)明高電流探針的第三實(shí)施例剖面圖。
圖4為圖3的分解剖面圖。
圖5為本發(fā)明高電流探針的第四實(shí)施例剖面圖。
<圖形主要符號(hào)的說明>
10針管 11阻擋突塊20柱塞(Plunger)21探針突塊22針管插入部 30接觸材料32針管結(jié)合部 40插槽41制約突塊 42線材接觸部
50接觸線材 60線材固定環(huán)70彈性彈簧具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。圖1是本發(fā)明高電流探針的第一實(shí)施例縱剖面圖,圖2是本發(fā)明高電流探針的第二實(shí)施例縱剖面圖,圖3是本發(fā)明高電流探針的第三實(shí)施例縱剖面圖,圖4是圖3的分解縱剖面圖,圖5是本發(fā)明高電流探針的第四實(shí)施例縱剖面圖。
本發(fā)明高電流探針包含檢測試驗(yàn)時(shí)受到被檢測件從下面施加的壓力而彈性地出入針管10內(nèi)外的柱塞20、固定安裝在上述針管10下側(cè),其下端部與電路板進(jìn)行電氣連接的接觸材料30、接觸線材50以及線材固定環(huán)60。
首先說明圖1和圖2所例示的第一和第二實(shí)施例。在上述第一和第二實(shí)施例中,上述柱塞(Plunger)20的上側(cè)在上下開放的上述圓柱形針管10內(nèi)側(cè)被朝上突出安裝,從上述針管10突出并與被檢測件進(jìn)行接觸和加壓作業(yè)的上端部為了提高與被檢測件之間的接觸可靠性而形成了多個(gè)探針突塊21,位于上述針管10內(nèi)側(cè)的針管插入部22為了避免脫離上述針管10外部而具有與上述針管10形狀相對應(yīng)的外柱形狀,上述針管插入部22的下側(cè)則為了使固定在上述針管10下側(cè)的上述接觸材料30上側(cè)可以插入而在下端部上側(cè)形成與上述接觸材料30上側(cè)的位置和形狀相對應(yīng)的插槽40。
上述接觸線材50被插入并安裝在上述插槽40內(nèi),當(dāng)上述柱塞20受到壓力而往下移動(dòng)時(shí),與插入上述插槽40內(nèi)側(cè)的上述接觸材料30直接接觸并形成主要的電流路徑。
上述接觸線材50的形狀是其中央部位被折曲成突出于上述插槽40內(nèi)側(cè)的形狀,但是其形狀不僅如此而已。根據(jù)材料、探針尺寸、以及上述接觸材料30的上側(cè)形狀而使沿著上述接觸線材50的上端部更加朝向上述插槽40內(nèi)側(cè)折曲,可以該方式形成各種實(shí)施例。
即使上述接觸線材50具有上述第一和第二實(shí)施例中的形狀,只要讓上述接觸線材50的上端和上述插槽40的上端維持一定的間隔距離,就會(huì)在與上述接觸材料30接觸時(shí)讓接觸部位受壓而成為扁平形狀,進(jìn)而增加與上述接觸材料30之間的接觸面積,減少與上述接觸材料30之間的摩擦。把上述接觸線材50的上端固定在上述插槽40的上端時(shí),與上述接觸材料30之間的接觸部位因受壓而出現(xiàn)彈性變形,進(jìn)而增加與上述接觸材料30之間的接觸面積并使接觸更加穩(wěn)定。
上述接觸線材50中突出于上述插槽40下側(cè)的一端部被朝外折曲,以環(huán)形方式套在上述柱塞20下端部外圓周上的線材固定環(huán)60可以把位于上述柱塞20外側(cè)的上述接觸線材50的折曲端部緊密固定在上述柱塞20的外圓周上。
在上述第一實(shí)施例中,上述針管10的上端部具有朝內(nèi)彎曲的形狀,上述柱塞(Plunger)20為了對應(yīng)上述針管10的上端部形狀而把位于上述針管10內(nèi)側(cè)的針管插入部22的外圓周面形狀加工成圓筒形狀,使突出于上述針管10上側(cè)的突出部位的外經(jīng)對應(yīng)上述針管10上端開放孔的大小。
在上述第二實(shí)施例中,上述針管10上側(cè)的阻擋突塊11朝內(nèi)突出,上述柱塞20的外經(jīng)以相當(dāng)于上下移動(dòng)距離的長度縮小,使得上述柱塞20被上述針管的阻擋突塊11限制其上下移動(dòng)距離。
在上述第一和第二實(shí)施例中,在上述針管10的下側(cè)部分,當(dāng)上述線材固定環(huán)60容納上述接觸線材50的外側(cè)端部容納并套入上述針管10時(shí),為了與上述柱塞(Plunger)的針管插入部22上側(cè)形成連續(xù)的光滑外經(jīng),上述柱塞20的下端部外圓周被縮小,上述線材固定環(huán)60的外經(jīng)則與上述針管插入部22的上側(cè)外經(jīng)相同,上述接觸線材50的下端縮小以形成加壓并固定在上述柱塞20下端的阻擋檻,進(jìn)一步改善上述接觸線材50和柱塞20的組裝性、緊密性及堅(jiān)固性。
上述接觸材料30與上述柱塞20之間具有彈性彈簧70并被固定安裝在上述針管10的下側(cè),當(dāng)插入上述柱塞20的插槽40時(shí),朝上突出的線材接觸部42可以與上述接觸線材50之間的接觸順利完美。
下面說明圖3、圖4及圖5所示的第三和第四實(shí)施例。
在上述第三和第四實(shí)施例中,本發(fā)明高電流探針包括了在上述針管10的內(nèi)外側(cè)彈性地上下移動(dòng)并突出地安裝在上述針管10上端部外側(cè)的柱塞20、沒有安裝上述柱塞20的上述針管10的下端部具有可以遮蔽上述針管10的開口并與上述針管10結(jié)合的接觸材料30、以環(huán)形方式套在上述接觸材料30上端部的接觸線材50、以及可以把上述接觸線材50牢牢地固定在上述接觸材料30的線材固定環(huán)60。
上述接觸材料30包括了具有上述插槽40的內(nèi)管部、與上述針管10結(jié)合的針管結(jié)合部32。上述內(nèi)管部與上述針管10的內(nèi)圓周面隔著一定距離并插入上述針管10內(nèi)部,上述針管結(jié)合部32上具有與上述針管10的內(nèi)圓周面堅(jiān)固套接的外圓周面,與上述內(nèi)管部的下端連續(xù)成形。
上述接觸線材50包括了內(nèi)管插入部和內(nèi)管阻擋部,上述內(nèi)管插入部沿著上下直線形狀插入上述接觸材料的插槽40內(nèi)側(cè),插入長度為上述插槽40的上下長度或者在折曲情況下的實(shí)際長度;上述內(nèi)管阻擋部在上述內(nèi)管插入部的上端往上述插槽40外側(cè)方向朝下折曲,形成了套在上述插槽40上端的環(huán)形,并且位于上述插槽40的上端部和外側(cè)。
上述線材固定環(huán)60可以把位于圓筒形上述插槽40上端周圍的多個(gè)上述接觸線材50牢牢地固定在上述接觸材料30的內(nèi)管部。上述線材固定環(huán)60被套在上述接觸材料30的內(nèi)管部上端的外側(cè),使上述接觸線材50的內(nèi)管阻擋部緊密固定在上述接觸材料30的外圓周面上端部。
在上述第三實(shí)施例中,為了使上述接觸線材50和線材固定環(huán)60堅(jiān)固地結(jié)合,上述接觸材料30的內(nèi)管部將根據(jù)上述接觸線材50的內(nèi)管阻擋部和線材固定環(huán)60的厚度及內(nèi)徑而采取外圓周部越往下走,外經(jīng)就越變大的多階阻擋檻。
上述插槽40的下端具有朝上突出的半球狀制約突塊41,上述制約突塊41將強(qiáng)制上述接觸線材50的下端部臨近上述插槽40下端的內(nèi)圓周面,在上述接觸線材50的上端受到底側(cè)壓力或彎曲壓力時(shí),上述接觸線材50中沒有受到拘束的中央部位將自然朝上述插槽40的中心軸彎曲。
上述接觸線材50朝向上述插槽40內(nèi)部彎曲后,將與插入上述插槽40內(nèi)側(cè)的上述柱塞(Plunger)的線材接觸部42緊密接觸,進(jìn)而形成了把來自上述柱塞20上端的電流接通到位于探針下端的上述接觸材料30的電路。
在上述第三實(shí)施例中,上述接觸材料的針管結(jié)合部32的下端部一直沿展到相當(dāng)于上述針管10外圓周的外經(jīng),當(dāng)上述接觸材料30與上述針管10的下側(cè)結(jié)合時(shí),經(jīng)過沿展的上述針管結(jié)合部32下端部將受到上述針管10下端的制約,進(jìn)而遮蔽上述針管10的下端部。
為了使經(jīng)過折曲的上述接觸線材50的上端部能與上述插槽40的上端緊密加壓結(jié)合,上述線材固定環(huán)60的上端部內(nèi)徑會(huì)收縮,同時(shí)提供了可以使彈性彈簧70穩(wěn)固地安裝到上側(cè)的下端寬緣。
上述針管10包含了上側(cè)滾動(dòng)(Rolling)部和下側(cè)滾動(dòng)(Rolling)部,上述上側(cè)滾動(dòng)部具有朝內(nèi)突出的阻擋突塊11并制約上述柱塞20,上述下側(cè)滾動(dòng)部則為了使上述接觸材料30固定在上述針管10的內(nèi)圓周上而朝內(nèi)實(shí)壓并折曲。
在上述針管10內(nèi)側(cè)依序從上側(cè)安裝下列部件被上側(cè)滾動(dòng)(Rolling)部限制了其向上運(yùn)動(dòng)距離的上述柱塞(Plunger)20、讓上述柱塞20具有彈性力的螺旋彈簧、為上述螺旋彈簧提供的下端支持面,又可以把上述接觸線材50固定在上述接觸材料30的線材固定環(huán)60、在上述線材固定環(huán)60的內(nèi)側(cè)和下側(cè)被上述下側(cè)滾動(dòng)(Rolling)部固定在上述針管10的接觸材料30。
上述柱塞20的上端部分,與被檢測件的接觸端子接觸的多個(gè)探針突塊21位于上述探針突塊21,下端部分則連續(xù)形成了插入上述插槽40時(shí)可以和上述接觸線材50進(jìn)行電氣接觸并接通的線材接觸部42。
在圖5所示的第四實(shí)施例中,與上述第一、第二及第三實(shí)施例不同的是,使上述針管10的下端部朝內(nèi)折曲成形,使上述接觸材料的針管結(jié)合部32下端位于上述針管10的下端部內(nèi)側(cè)。可以根據(jù)上述針管10的經(jīng)過內(nèi)徑縮小步驟的開口形狀而進(jìn)一步制約上述接觸材料30的下端。
在初期制作時(shí),如果使上述接觸線材50的內(nèi)管插入部成為折曲形狀,即可在沒有形成上述制約突塊41的情形下形成圍繞上述插槽40中心軸的形狀。即使上述接觸線材50沒有被折曲成銳角而形成與上述插槽40的上側(cè)形狀相對應(yīng)的形狀時(shí),只要上述內(nèi)管插入部的長度比上述插槽40的長度長,就能形成明確的確折曲形狀,上述插槽40外圓周部的形狀也可以根據(jù)上述接觸線材50和線材固定環(huán)60的形狀而多樣化地加以變化,因此本發(fā)明的內(nèi)容不應(yīng)局限在上述的第一、第二、第三及第四實(shí)施例,還應(yīng)包括那些在本發(fā)明的技術(shù)思想范疇內(nèi)進(jìn)行各種變形和修改的各種實(shí)施例。
在本發(fā)明高電流探針中,來自被檢測件的電流從上述柱塞(Plunger)的探針突塊21流到上述針管插入部22,并通過上述接觸線材50傳到連在電路板上的上述接觸材料30。上述接觸線材50的數(shù)量越多,上述線材接觸部42和接觸材料30之間的接觸面積就越廣,可以進(jìn)一步提高接觸穩(wěn)定性。不僅是彈性彈簧70,在相當(dāng)于上述接觸線材50和接觸材料30之間接觸面積的明確電流路徑形成穩(wěn)定的電流并提高檢測可靠性。
隨著相當(dāng)于上述接觸線材50和接觸材料30之間接觸面積的電流路徑的形成,可以大幅降低電流密度和接觸抵抗,并因而防止因劣化而起的破損。
可以從上述針管10輕易地分解或組裝上述接觸材料30、接觸線材50及線材固定環(huán)60等的部件,因此可以輕易地更換因疲勞破壞較為集中而容易劣化的零件,而沒有破損的零件或部件則可以重新組裝后使用,減少了無謂的浪費(fèi)。
權(quán)利要求
1.一種高電流探針,其特征是包含了上下開放的圓柱形針管;以彈性地出入上述針管上側(cè)的方式安裝并與被檢測件的接觸端子接觸的柱塞(Plunger);安裝并固定在上述針管下側(cè)并與電路板的接觸端子進(jìn)行電氣連接的接觸材料;以及為了使上述柱塞和上述接觸材料之間進(jìn)行電氣連接而安裝到上述柱塞和接觸材料的嵌合部、并在上述嵌合部往外突出的一端包含朝外折曲的多個(gè)接觸線材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高電流探針,其特征是上述柱塞(Plunger)的下側(cè)具有可以使上述接觸材料的上側(cè)插入的插槽;上述接觸材料與上述柱塞之間具有彈性彈簧并被安裝在上述針管的下側(cè),其上側(cè)具有可以插入上述插槽的線材接觸部;上述接觸線材的一側(cè)端插入上述柱塞的插槽,另一側(cè)端突出于上述柱塞的下端并彎曲到上述柱塞的外面,通過嵌合在上述柱塞外圓周面的線材固定環(huán)使其緊密固定在上述柱塞外圓周面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高電流探針,其特征是上述柱塞(Plunger)的下側(cè)具有線材接觸部;上述接觸材料與上述柱塞之間具有彈性彈簧并被安裝在上述針管的下側(cè),其上側(cè)具有可以插入上述柱塞的線材接觸部的插槽;上述接觸線材的一側(cè)端插入上述接觸材料的插槽,另一側(cè)端突出于上述接觸材料的上端并彎曲到上述接觸材料的外面,通過嵌合在上述接觸材料的外圓周面的線材固定環(huán)使其緊密固定在上述接觸材料的外圓周面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3所述之任一高電流探針,其特征是上述針管具有朝內(nèi)突出的阻擋突塊;上述柱塞中位于上述針管內(nèi)側(cè)的一部分外經(jīng)會(huì)收縮,使得上述柱塞在上述針管內(nèi)側(cè)被上述阻擋突塊限制其上下移動(dòng)的距離,在上述外經(jīng)被收縮的空間部位容納了上述阻擋突塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到3所述之任一高電流探針,其特征是上述接觸線材朝上述插槽內(nèi)側(cè)彎曲并安裝。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高電流探針,其特征是上述柱塞(Plunger)的下端部外經(jīng)被收縮;上述線材固定環(huán)在上述柱塞的外圓周面形成連續(xù)的外經(jīng)后套在上述柱塞(20)的下端部外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高電流探針,其特征是上述接觸材料的上端部外經(jīng)被收縮;上述線材固定環(huán)在上述接觸材料的外圓周面形成連續(xù)的外經(jīng)后套在上述接觸材料的上端部外側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的高電流探針,其特征是上述插槽在內(nèi)側(cè)斷面上突出形成半球狀的制約突塊,在上述插槽的內(nèi)圓周面和上述制約突塊的外圓周之間制約上述接觸線材的端部。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的高電流探針,其特征是上述線材固定環(huán)中,位于上述接觸線材的折曲部的端部內(nèi)徑被收縮。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的高電流探針,其特征是上述接觸線材的一端被拘束在上述插槽的內(nèi)側(cè)斷面上,另一端被上述線材固定環(huán)加壓固定,使中央部位朝上述插槽的中心軸彎曲。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高電流探針,尤其是一種包含了上下開放的圓柱形針管;以彈性地出入上述針管上側(cè)的方式安裝并與被檢測件的接觸端子接觸的柱塞(Plunger);安裝并固定在上述針管下側(cè)并與電路板的接觸端子進(jìn)行電氣連接的接觸材料;以及為了使上述柱塞(Plunger)和上述接觸材料之間進(jìn)行電氣連接而安裝到上述柱塞和接觸材料的嵌合部、并在上述嵌合部往外突出的一端包含朝外折曲的多個(gè)接觸線材的高電流探針。該高電流探針具有接觸穩(wěn)定性,不通過螺旋彈簧的較為明確的電流路徑,具有相互緊密的組裝結(jié)構(gòu),電流穩(wěn)定,提高檢測可靠性,大幅減少電流密度和接觸抵抗,防止因劣化而來的破損,提高探針壽命,組裝和分解容易,可以輕易更換消耗品。
文檔編號(hào)G01R31/02GK1702463SQ20051007090
公開日2005年11月30日 申請日期2005年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月17日
發(fā)明者李彩允 申請人:李諾工業(yè)有限公司