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專利名稱：Ic處理機(jī)的控制方法及使用該方法的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)應(yīng)IC及承口的種類正確地控制試驗(yàn)臂的動(dòng)作的方法及使用這種方法的控制系統(tǒng)，這種試驗(yàn)臂是在半導(dǎo)體試驗(yàn)機(jī)上使用的IC處理機(jī)中把IC元件(以下稱為IC)擠壓在承口上的裝置。
目前，IC處理機(jī)與半導(dǎo)體試驗(yàn)機(jī)組合使用。該IC處理機(jī)是這樣的一種裝置，即，在由IC裝載機(jī)輸送的IC放置在測(cè)定部的承口上的狀態(tài)下用試驗(yàn)臂的推進(jìn)桿擠壓，在IC的導(dǎo)電部，例如導(dǎo)線腳與承口的導(dǎo)電體接觸后，由半導(dǎo)體試驗(yàn)機(jī)判斷IC特性是否優(yōu)良之后，由卸載機(jī)從IC處理機(jī)上拿下并容納。
最近，因?yàn)樽鳛闄z查對(duì)象的IC的種類繁多，與之對(duì)應(yīng)地要形成多種承口，而使承口多樣化，必須對(duì)應(yīng)于不同種類的IC，改變?cè)囼?yàn)臂的動(dòng)作特性。因?yàn)樵诎雽?dǎo)體試驗(yàn)機(jī)中必須在短時(shí)間內(nèi)處理大量的IC，所以也希望IC處理機(jī)能夠高速處理每個(gè)IC，但越是高速化，由推進(jìn)桿擠壓時(shí)對(duì)IC產(chǎn)生的沖擊越大，IC的導(dǎo)線腳和承口導(dǎo)電體的壽命會(huì)下降。
作為該解決方法，特開平9-89983號(hào)公報(bào)揭示了一種處理機(jī)，該處理機(jī)的構(gòu)成是將各種IC的正確接觸壓力預(yù)先輸入FD(floppy disc)，若操作員指定IC種類，CPU根據(jù)來自FD的數(shù)據(jù)，向控制閥輸送信號(hào)，調(diào)整驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)臂的油壓缸壓力。
另外，特開平10-227834號(hào)公報(bào)揭示了由脈沖電機(jī)驅(qū)動(dòng)處理機(jī)時(shí)，對(duì)應(yīng)IC的種類可微調(diào)正確擠壓力，速度，IC壓進(jìn)變位(或稱位移)的機(jī)構(gòu)。
但是，對(duì)于上述現(xiàn)有的方法，任何一種都必須預(yù)先將每種IC的IC處理機(jī)用的數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)內(nèi)，而且這些數(shù)據(jù)也是依賴于由IC代表的每根導(dǎo)線腳的腳壓，腳數(shù)和承口導(dǎo)電體的允許變位量為基礎(chǔ)的經(jīng)驗(yàn)值。
然而，對(duì)于實(shí)際的IC處理機(jī)，因?yàn)樵贗C放置于承口上的狀態(tài)下，試驗(yàn)臂向承口擠壓，所以不能保證由規(guī)定的數(shù)據(jù)所確定的值必然合適。例如，如果為了高速處理IC，而提高試驗(yàn)臂的壓下速度，則試驗(yàn)臂接觸IC組件時(shí)的沖擊超過預(yù)想值，而且當(dāng)該沖擊力超過IC導(dǎo)線和承口導(dǎo)電體的彈性限度時(shí)，有可能損壞IC組件。
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠?qū)?yīng)于IC及承口的種類，合適地控制試驗(yàn)臂的擠壓力，動(dòng)作速度及變位的IC處理機(jī)的控制方法及控制系統(tǒng)。
為了完成上述目的，本發(fā)明在IC處理機(jī)的承口上擠壓IC的導(dǎo)電部的試驗(yàn)臂的控制方法中，首先，由上述試驗(yàn)臂對(duì)承口上的IC反復(fù)多次擠壓，用各傳感器檢測(cè)出其載荷，加速度或速度，以及試驗(yàn)臂的前端接觸IC之后到停止的壓進(jìn)變位量，接著，從各檢測(cè)數(shù)據(jù)求得IC和承口的合成彈性常數(shù)，以試驗(yàn)臂對(duì)IC的沖擊力低于允許值方式?jīng)Q定試驗(yàn)臂的動(dòng)作。
本發(fā)明的控制系統(tǒng)由載荷傳感器，該載荷傳感器檢測(cè)出試驗(yàn)臂對(duì)IC的擠壓力；加速度傳感器，該加速度傳感器檢測(cè)上述試驗(yàn)臂的動(dòng)作速度或加速度；變位傳感器，該變位傳感器檢測(cè)上述試驗(yàn)臂接觸IC后至停止前的壓進(jìn)變位量和控制裝置構(gòu)成；該控制裝置依據(jù)各傳感器的數(shù)據(jù)，求出IC及承口的合成彈性常數(shù)，并依據(jù)各數(shù)據(jù)識(shí)別作用于IC上的沖擊力是否在允許值以下，且試驗(yàn)機(jī)的綜合動(dòng)作速度是否是成最快的擠壓力，速度及變位。
下面對(duì)附圖進(jìn)行簡(jiǎn)單說明。


圖1本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的試驗(yàn)臂控制系統(tǒng)的簡(jiǎn)要框圖。
圖2是說明圖1實(shí)施例的計(jì)算機(jī)動(dòng)作的流程圖。
圖3示出IC被設(shè)在試驗(yàn)臂前端上的推進(jìn)桿擠壓在承口上的狀態(tài)的斷面圖。
圖4示出一例試驗(yàn)對(duì)象的立體圖。
圖5是示出與圖4所示的IC配合使用的一例承口的立體圖。
圖6是示出由推進(jìn)桿經(jīng)IC組件把承口的保護(hù)板下壓，圖5示出的承口的導(dǎo)電腳突出狀態(tài)的立體圖。
圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的IC處理機(jī)中的試驗(yàn)臂控制系統(tǒng)整體構(gòu)成的方框圖。
圖1上半部分是由脈沖電機(jī)3，驅(qū)動(dòng)電路17，試驗(yàn)臂1，推進(jìn)桿8，IC5，導(dǎo)電體4及承口2構(gòu)成的IC檢查部的主要部分。在試驗(yàn)臂1的前端上設(shè)置了使用應(yīng)變儀式載荷傳感器9和應(yīng)變儀式加速度傳感器10。支承承口2的基盤F4上設(shè)置變位傳感器11，該變位傳感器11使用過電流式非接觸變位計(jì)。輕質(zhì)，高剛性的鋁制懸臂7作為變位傳感器11用的靶6安裝在推進(jìn)桿8上方。
下半部分是收集處理各傳感器9-11檢測(cè)出的電氣信號(hào)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)由放大器12，A／D變換器13，計(jì)算機(jī)14及D／A變換器16構(gòu)成。檢測(cè)出的信號(hào)經(jīng)數(shù)字化后進(jìn)行運(yùn)算處理，在脈沖電機(jī)3的動(dòng)作需要進(jìn)行調(diào)整時(shí)，將控制信號(hào)輸入驅(qū)動(dòng)電路17。下面，更詳細(xì)地進(jìn)行說明。
在圖1中，在框架F1上固定了試驗(yàn)臂本體1，該本體1具備脈沖電機(jī)3。推進(jìn)桿8安裝在該試驗(yàn)臂本體1的下端，并可作上下移動(dòng)。在該推進(jìn)桿8的前端上，形成有吸著孔20，孔20用于以負(fù)壓吸著IC5。吸著孔20通過形成在推進(jìn)桿8及試驗(yàn)臂本體1內(nèi)部的空氣孔與壓縮機(jī)21聯(lián)通。
因支承板F2連接脈沖電機(jī)3，推進(jìn)桿8經(jīng)載荷傳感器9及框架F3固定在支承板F2上，因此，這些推進(jìn)桿8，支承板F2、F3通過脈沖電機(jī)3一體地上下移動(dòng)。
推進(jìn)桿8的下方，設(shè)置了承口2，該承口2安裝在框架F4上，在該承口2的IC容納部上設(shè)計(jì)導(dǎo)電體4，該導(dǎo)電體配置成與IC5的導(dǎo)線等的導(dǎo)電體接觸。
在上述框架F2上固定了傳感器臂7，該傳感器臂7由輕質(zhì)，高剛性鋁等材料形成，在其下端上安裝變位傳感器用的靶6。該靶6被安裝在傳感器臂7上面對(duì)變位傳感器11的位置上，該變位傳感器11安裝在裝載上述承口2的框架F4上。
上述一對(duì)框架F2、F3中，于下方框架F3上設(shè)置加速度傳感器10。
上述試驗(yàn)臂1的構(gòu)成是在其下端上具有推進(jìn)桿8，推進(jìn)桿8以其前端上吸著IC5的狀態(tài)在脈沖電機(jī)3作用下上下移動(dòng)，另外，試驗(yàn)臂1通過控制脈沖電機(jī)3的轉(zhuǎn)數(shù)和轉(zhuǎn)動(dòng)速度，就可調(diào)整對(duì)IC及承口2的擠壓力，動(dòng)作速度以及IC壓進(jìn)變位量，如后述那樣，在與承口2剛要接觸前減速，緩解IC和承口2之間的沖擊。
上述載荷傳感器9是用于檢測(cè)出對(duì)著IC5及承口2的試驗(yàn)臂1，即推進(jìn)桿8的擠壓力，在本實(shí)施例中，在框架F2、F3之間安裝有應(yīng)變儀式載荷變換器，即負(fù)載感應(yīng)器。加速度傳感器10主要檢測(cè)試驗(yàn)臂1下降時(shí)的加速度或速度變化，使用應(yīng)變儀式或壓電式傳感器。也可以使用速度傳感器，并由如計(jì)算機(jī)對(duì)其輸出進(jìn)行微分來代替加速度傳感器。變位傳感器11是檢測(cè)被推進(jìn)桿8吸著的IC5與承口2的導(dǎo)電體4接觸的狀態(tài)下與推進(jìn)桿分離，放置于承口2上后，從推進(jìn)桿8再次下降即將接觸IC前的位置到接觸后被壓進(jìn)到停止的變位量D，在本實(shí)施例中使用過電流式非接觸變位計(jì)。
下面，參照?qǐng)D1更詳細(xì)地說明用于控制這種構(gòu)成的試驗(yàn)臂1的動(dòng)作的控制系統(tǒng)構(gòu)成。
上述脈沖電機(jī)3及壓縮機(jī)20連接驅(qū)動(dòng)電路7，各自的轉(zhuǎn)動(dòng)速度和轉(zhuǎn)數(shù)等受到控制。
另一方面，載荷傳感器9，加速度傳感器10及變位傳感器11各自的輸出端子連接放大器12，被輸入的模擬感應(yīng)信號(hào)被放大后，由A／D變換器13變換成數(shù)字信號(hào)。該數(shù)字信號(hào)被供給到計(jì)算機(jī)14的CPU18。該計(jì)算機(jī)14控制包含與該CPU18連接的運(yùn)算電路15及存儲(chǔ)器M的系統(tǒng)整體的動(dòng)作。存儲(chǔ)器M包含存儲(chǔ)CPU18的操作程序的ROM及臨時(shí)存儲(chǔ)運(yùn)算電路15運(yùn)算所用的數(shù)據(jù)的RAM等。
運(yùn)算電路15的輸出數(shù)據(jù)經(jīng)D／A變換器16變換成模擬信號(hào)，作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給驅(qū)動(dòng)電路17，該驅(qū)動(dòng)電路17驅(qū)動(dòng)脈沖電機(jī)3及壓縮機(jī)21。
上述系統(tǒng)構(gòu)成是放大器12將來自各傳感器9-11的模擬微弱電信號(hào)放大并輸出，A／D變換器13將放大后的模擬信號(hào)數(shù)字化并輸送到計(jì)算機(jī)14。計(jì)算機(jī)14的CPU18根據(jù)設(shè)定程序由運(yùn)算電路15運(yùn)算處理檢測(cè)數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)器M內(nèi)的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，發(fā)出試驗(yàn)臂1對(duì)應(yīng)于IC和承口2的種類最合適的動(dòng)作的指令，操作員能夠?qū)χ饌€(gè)畫面進(jìn)行監(jiān)視。
下面，參照?qǐng)D3至圖6，說明IC5在押到承口2的導(dǎo)電體4上受推進(jìn)桿8擠壓的狀態(tài)以及IC5及承口2的構(gòu)成。
在圖3中，承口2的基座2a裝載在框架F4上。如圖5，圖6所示，多個(gè)導(dǎo)電腳2b直立在基座2a上，導(dǎo)電腳2b的前端被插入保護(hù)板2c上形成的多個(gè)通孔2d中。
保護(hù)板2c受到插在其四個(gè)角上的通孔內(nèi)的4根保護(hù)柱2e及繞在該保護(hù)柱2e周圍的螺施彈簧2f保持，可在基座2a上作上下移動(dòng)。該螺旋彈簧2f應(yīng)該這樣來設(shè)定，通常時(shí)如圖5所示，在導(dǎo)電腳2b不從保護(hù)板2c的表面突出的狀態(tài)下，具有托住保護(hù)板2c的彈力。
推進(jìn)桿8的前端吸著來自圖中未示出的IC裝載機(jī)的IC5，然后放置到承口2上，在下一步，由推進(jìn)桿8緊壓承口2上的IC5時(shí)，保護(hù)板2c頂著螺旋彈簧2f的彈力下降，如圖6所示，導(dǎo)電腳2b就會(huì)從保護(hù)板2c的表面突出。圖3示出推進(jìn)桿8的前端吸著的IC5與保護(hù)板2c正好接觸的狀態(tài)。
在承口2裝載于框架F4上的狀態(tài)下，該承口2由蓋23、24固定并受到保護(hù)。
IC5成為例如如圖4所示那樣各自的多個(gè)導(dǎo)線腳5b從平板狀的IC組件5a的4個(gè)側(cè)面突出的形狀。
作為確立IC導(dǎo)電體和承口側(cè)的導(dǎo)電體的電接觸的方法，除圖4所示的方法之外，可以采用IC的導(dǎo)線腳和承口的彈性導(dǎo)電體相互以彈性力接觸的彈導(dǎo)電體方式，或者，由形成在IC的一個(gè)表面上的多個(gè)工作球(handball)構(gòu)成的導(dǎo)電體和埋入橡膠承口內(nèi)的導(dǎo)電粒子構(gòu)成的導(dǎo)電體相互接觸的導(dǎo)電橡膠方式等各種方法。
在本實(shí)施例中，雖然說明了IC5被試驗(yàn)臂1側(cè)的推進(jìn)桿8吸著的方式，但也可以采用從IC裝載機(jī)直接將IC5放置到承口2上，再用推進(jìn)桿擠壓IC的方式。
這里，說明如上構(gòu)成的IC處理機(jī)的動(dòng)作。
首先，由CPU18利用來自各傳感器9-11的數(shù)據(jù)，按如下方式?jīng)Q定試驗(yàn)臂1的合適擠壓力，沖擊力，動(dòng)作速度和壓進(jìn)變形量。
擠壓力如果設(shè)定IC導(dǎo)線5b的彈性常數(shù)為K1，代表承口2的螺旋彈簧2f的彈性常數(shù)為K2，則IC5和承口2兩者之和的合成常數(shù)K由下列公式K=K(K1+K2)／K1·K2求得。K的值是由擠壓載荷P和變位量δ的比得到，即K=P／δ其中，P是在推進(jìn)桿8接觸IC5的狀態(tài)下由載荷傳感器9測(cè)定的擠壓載荷，δ是在推進(jìn)桿8接觸IC5之后，IC5在承口2內(nèi)下降規(guī)定距離時(shí)的由變位傳感器11測(cè)出的IC5的壓進(jìn)變位量。此時(shí)，推進(jìn)桿8的壓進(jìn)變位量δ是從IC5接觸保護(hù)板2c時(shí)的推進(jìn)桿8的加速度變化從零變化到負(fù)的規(guī)定值時(shí)刻的推進(jìn)桿8的位置到推進(jìn)桿8下降由IC5預(yù)先決定的規(guī)定距離的位置的距離，或者，到擠壓載荷P超過規(guī)定值時(shí)，推進(jìn)桿8由計(jì)算機(jī)14控制而停止前的距離，是IC5的導(dǎo)線腳5b受承口2的導(dǎo)電腳2d擠壓時(shí)的收縮量δ1和支承承口2的主要構(gòu)成導(dǎo)電體4的保護(hù)板2c的螺旋彈簧2f的變位量δ2的和(δ=δ1+δ2)。δ1，δ2的大小由各自的彈性常數(shù)決定。
沖擊力在IC5與作為導(dǎo)電體4的保護(hù)板2c接觸時(shí)產(chǎn)生的沖擊根據(jù)即將接觸前和剛接觸后的時(shí)間Δt時(shí)的推進(jìn)桿8下降速度的變化量(ΔV=V1-V0)求得。這里，沖擊力F由F=m．(ΔV／Δt)公式求出。然而，從上式可知，接觸前的推進(jìn)桿8的下降速度V0相對(duì)于試驗(yàn)臂1的動(dòng)作速度被充分地減速，而且，如果在被推進(jìn)桿8的前端吸著的IC5與承口2的保護(hù)板2c接觸的前后，保持一定速度，接觸時(shí)的沖擊力成為極小或0。這里，ΔV／Δt是加速度，可用加速度傳感器10檢測(cè)出。
另一方面，因IC5和承口的保護(hù)板2c接觸而產(chǎn)生的反作用力等于由推進(jìn)桿8施加到IC5上的擠壓力P。該擠壓力P可由設(shè)置在推進(jìn)桿8上方的載荷傳感器9(負(fù)載感應(yīng)器)檢測(cè)出。如果把試驗(yàn)臂1前端的推進(jìn)桿8的質(zhì)量定為m，則沖擊力F是m和加速度的積，并可從上式求得。實(shí)際上，該質(zhì)量m不僅包含推進(jìn)桿8，還包括與該推進(jìn)桿8結(jié)合的，由脈沖電機(jī)3驅(qū)動(dòng)的全部部件，例如，框架F2、F3，傳感器9、10，及傳感器臂7等的全部質(zhì)量。
動(dòng)作速度任意時(shí)刻t時(shí)的試驗(yàn)臂1的推進(jìn)桿8的動(dòng)作速度V(t)利用傳感器11檢測(cè)出的變位數(shù)據(jù)D(t)或由傳感器10檢測(cè)出的加速度數(shù)據(jù)A(t)，如下求得。
V(t)={D(t)-D(t-Δt}／ΔtV(t)=V(t-Δt)+A(t)／t壓進(jìn)變位量壓進(jìn)變位量δ(t)能夠根據(jù)由變位傳感器11測(cè)得的數(shù)據(jù)D(t)按下式求得。
δ(t)=D(t)-D(t-Δt)另一方面，預(yù)定下一次的數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)14的存儲(chǔ)器M內(nèi)。
(1)試驗(yàn)臂1(推進(jìn)桿8)的動(dòng)作速度V。該速度根據(jù)脈沖電機(jī)3的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)數(shù)及轉(zhuǎn)動(dòng)速度來求得。
(2)試驗(yàn)臂1的制動(dòng)位置HB和停止位置HS(參照?qǐng)D1)。
(3)制動(dòng)后的推進(jìn)桿8的下降速度V0。該下降速度也根據(jù)脈沖電機(jī)3的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)數(shù)及轉(zhuǎn)動(dòng)速度求出。
(4)允許壓進(jìn)變位量δa(IC5被推進(jìn)桿8壓到承口2的保護(hù)板2C上之后，到推進(jìn)桿8停止前的變位量)。
(5)允許擠壓力Pa(由推進(jìn)桿8的壓進(jìn)變位量δ和合成彈性常數(shù)K決定)。
下面，根據(jù)圖2的流程說明CPU18對(duì)數(shù)據(jù)處理的過程及運(yùn)算過程。
首先，試驗(yàn)臂1的推進(jìn)桿8將IC5擠壓到承口2的導(dǎo)電體4即保護(hù)板2c上，擠壓多次，測(cè)量載荷P和變位D，根據(jù)前式計(jì)算出IC5和承口2的合成彈性常數(shù)K(步驟S0)。此時(shí)的擠壓力設(shè)定在由IC5和承口2所代表的范圍內(nèi)，通過多次擠壓，將其結(jié)果平均，就可減少誤差，得到正確的數(shù)據(jù)。
在接著的步驟S1，將試驗(yàn)臂1的動(dòng)作速度V，試驗(yàn)臂1的制動(dòng)位置HB及停止位置HS，制動(dòng)后的下降速度V0，允許壓進(jìn)變位量δa，以及允許擠壓力Pa與在步驟S0中求得的合成彈性常數(shù)K一起，作為初始條件存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器M內(nèi)。
這里，按需要，在步驟S21中，對(duì)由驅(qū)動(dòng)電路17驅(qū)動(dòng)的脈沖電機(jī)3進(jìn)行調(diào)整。
按這樣作好了起動(dòng)的準(zhǔn)備工作后，在步驟S22中，由操作員按壓起動(dòng)開關(guān)，開始控制動(dòng)作，脈沖電機(jī)3高速轉(zhuǎn)動(dòng)，試驗(yàn)臂1的推進(jìn)桿8從其初期位置開始急速下降。CPU18以從驅(qū)動(dòng)電路17輸出的脈沖數(shù)來監(jiān)視該脈沖電機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù)，當(dāng)該脈沖數(shù)達(dá)到與試驗(yàn)臂1的制動(dòng)數(shù)量相當(dāng)時(shí)，將指令輸送給驅(qū)動(dòng)電路17，對(duì)脈沖電機(jī)3采取制動(dòng)措施。
在該階段，最初于步驟S23，CPU18獲取來自各傳感器9-11的輸入數(shù)據(jù)。其結(jié)果，在步驟S3，S4，S5中，將各時(shí)刻t的載荷數(shù)據(jù)P(t)，加速度數(shù)據(jù)A(t)，變位數(shù)據(jù)D(t)被存儲(chǔ)在儲(chǔ)存器M內(nèi)。
然后，利用于步驟S4中獲取的加速度數(shù)據(jù)A(t)，在步驟S7中求出推進(jìn)桿8的下降速度V1(t)，同時(shí)，利用于步驟S5中獲取的變位數(shù)據(jù)D(t)，于步驟S8中求出推進(jìn)桿8的下降速度V2。
于步驟S9中確認(rèn)這些速度V1(t)、V2(t)是否相等，如果在允許誤差范圍內(nèi)，然后，將其中的一個(gè)速度數(shù)據(jù)，例如V2(t)在下一步驟S10中與設(shè)定的制動(dòng)后的下降速度V0比較。如果兩者的差在正常范圍內(nèi)，則進(jìn)行下一步動(dòng)作。
當(dāng)測(cè)出的速度比初期設(shè)定值V0大時(shí)，于步驟S11中設(shè)定制動(dòng)位置HB的變更，從步驟S24跳到步驟S2把制動(dòng)位置HB變更到例如更接近于承口2的位置。
在該制動(dòng)位置HB變更后，于步驟S4，S5，S6，S7，S8，S9，S10再次獲取數(shù)據(jù)，對(duì)速度進(jìn)行比較。
另一方面，與之平行地，于步驟S25中由載荷傳感器9直接求出IC5和承口2的接觸壓力(沖擊力)，并作為P1(t)，同時(shí)，于步驟S6中，根據(jù)推進(jìn)桿8的質(zhì)量m和加速度A(t)算出一個(gè)值作為P2(t)，于步驟S12中對(duì)兩者比較。即使兩者一致，也多少有些不同，并于步驟S13中比較該載荷，例如P1和存儲(chǔ)器M內(nèi)的允許擠壓力Pa。
其結(jié)果，如果P(t)≤Pa，即沖擊力在允許值內(nèi)，則進(jìn)入下一步動(dòng)作，如果P(t)大于Pa，則于步驟S14減少脈沖電機(jī)3的轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)數(shù)或轉(zhuǎn)速，再返回步驟S24。
另外，于步驟S5得到的變位數(shù)據(jù)D(t)在步驟S15中，作為IC5相對(duì)于承口2的壓進(jìn)變位數(shù)據(jù)D(t)與存儲(chǔ)器M內(nèi)的允許值δa比較，數(shù)據(jù)D(t)超過δa值時(shí)，在步驟S16中，設(shè)定試驗(yàn)臂1的推進(jìn)桿8的停止位置的變更，從步驟S24返回到步驟S2，進(jìn)行該停止位置HS的變更。該數(shù)據(jù)HS的變更也可以改變?cè)囼?yàn)臂1的推進(jìn)桿8的沖程，即脈沖電機(jī)3從開始到停止的總轉(zhuǎn)數(shù)的設(shè)定。
因?yàn)椴僮鲉T能夠通過例如與CPU18連接的監(jiān)視器30確認(rèn)步驟S10中的推進(jìn)桿8的動(dòng)作速度是否良好和步驟S13、S15中的動(dòng)作狀態(tài)，所以如果最初的設(shè)定值合適，就繼續(xù)保持這樣使用，如果不合適，則加以修正。在滿足步驟S13、S15的條件范圍內(nèi)，通過增大試驗(yàn)臂1的動(dòng)作速度V，就能夠加大試驗(yàn)臂1對(duì)IC5的處理能力，因?yàn)楸辉囼?yàn)臂1前端的推進(jìn)桿8吸著的IC5與承口2接觸后，即將進(jìn)一步下降之前減速到V0，則即使動(dòng)作速度V稍有增加，也能夠有效地抑制沖擊。
如上所述，通過把本發(fā)明的控制方法及計(jì)測(cè)控制系統(tǒng)組裝到IC處理機(jī)上，相對(duì)于不同種類的IC和承口，在短時(shí)間內(nèi)，可使試驗(yàn)臂1合適地動(dòng)作。
根據(jù)本發(fā)明的IC的控制方法及利用方法的控制系統(tǒng)是為了在IC元件試驗(yàn)時(shí)，使設(shè)計(jì)在IC元件表面上的導(dǎo)電體和半導(dǎo)體檢查裝置的作為檢查探針的導(dǎo)電體良好接觸使用，本發(fā)明能夠迅速、正確地進(jìn)行這種操作，因此，能夠迅速正確地對(duì)大量IC元件在出廠時(shí)進(jìn)行檢查。
權(quán)利要求
1．一種試驗(yàn)臂的控制方法，是擠壓被輸送到IC處理機(jī)的承口內(nèi)的IC，其特征在于由上述試驗(yàn)臂對(duì)承口上的IC反復(fù)擠壓多次，用各傳感器檢測(cè)其載荷，加速度或速度，及IC的壓進(jìn)變位量；根據(jù)各檢測(cè)出的數(shù)據(jù)，預(yù)先求出IC及承口的合成彈性常數(shù)；并且利用所求出的合成彈性常數(shù)，控制試驗(yàn)臂的動(dòng)作，使得試驗(yàn)臂對(duì)IC的沖擊力為允許值以下。2．一種IC處理機(jī)的控制方法，其特征在于該方法具有將放置在承口上的IC被試驗(yàn)臂的推進(jìn)桿擠壓時(shí)的擠壓力與預(yù)先設(shè)定的允許擠壓力比較的步驟和根據(jù)該比較結(jié)果，控制試驗(yàn)臂的動(dòng)作，以便確保低于上述允許擠壓力。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的IC處理機(jī)的控制方法，其特征在于具有根據(jù)承口和IC的合成彈性常數(shù)預(yù)先求出上述預(yù)先設(shè)定的允許擠壓力的步驟。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的IC處理機(jī)的控制方法，其特征在于包含在上述推進(jìn)桿接觸上述承口上的IC前后控制上述推進(jìn)桿使其動(dòng)作速度保持一定的步驟。
5．根據(jù)權(quán)利要求3所述的IC處理機(jī)的控制方法，其特征在于根據(jù)上述承口和IC的合成彈性常數(shù)求出允許擠壓力的步驟包含對(duì)利用上述推進(jìn)桿反復(fù)擠壓上述承口上的IC多次后得到的合成彈性常數(shù)求出平均值的步驟。
6．一種試驗(yàn)臂的測(cè)試控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有檢測(cè)試驗(yàn)臂對(duì)IC的擠壓力的載荷傳感器；檢測(cè)上述試驗(yàn)臂的動(dòng)作速度或加速度的加速度傳感器；檢測(cè)上述試驗(yàn)臂與IC接觸后至停止前的壓進(jìn)變位量的變位傳感器；和根據(jù)來自各傳感器的數(shù)據(jù)，求出IC及承口的合成彈性常數(shù)的同時(shí)，根據(jù)各數(shù)據(jù)，控制試驗(yàn)臂的驅(qū)動(dòng)，以使作用于IC上的沖擊力在允許值以下，且試驗(yàn)臂的動(dòng)作為最快速的擠壓力，速度及變位。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試控制系統(tǒng)，其特征在于上述控制裝置具有存儲(chǔ)器，該存儲(chǔ)器預(yù)先存儲(chǔ)作為初期條件的試驗(yàn)臂的動(dòng)作速度，試驗(yàn)臂的制動(dòng)位置及停止位置，制動(dòng)后的試驗(yàn)臂的動(dòng)作速度，允許壓進(jìn)變位量和允許擠壓力。
8．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試控制系統(tǒng)，其特征在于由上述控制裝置根據(jù)IC的壓進(jìn)變位量和上述合成彈性常數(shù)求得上述允許值。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)試控制系統(tǒng)，其特征在于包含使上述試驗(yàn)臂以高速移動(dòng)到上述制動(dòng)位置，并從上述制動(dòng)位置以規(guī)定的低速移動(dòng)上述試驗(yàn)臂。
10．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試控制系統(tǒng)，其特征在于還具有顯示由上述控制裝置的控制內(nèi)容的監(jiān)視器。
11．根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試控制系統(tǒng)，其特征在于具有把上述設(shè)定的初期條件與來自上述各傳感器的測(cè)定數(shù)據(jù)比較的裝置和根據(jù)比較結(jié)果，在上述測(cè)定值與初期條件不同時(shí)修正上述初期條件的裝置。
全文摘要
本發(fā)明根據(jù)IC和承口的種類合適地控制試驗(yàn)臂的擠壓力,運(yùn)行速度和變位量。為了達(dá)到該目的,該方法包括檢測(cè)載荷,加速度或速度,和IC的壓進(jìn)變位量,以便于將由試驗(yàn)臂(1)的推進(jìn)桿(8)施加到承口(2)內(nèi)的IC上的擠壓力與由承口(2)和IC(5)的合成彈性常數(shù)確定的允許擠壓力比較的步驟和根據(jù)該比較結(jié)果控制試驗(yàn)臂的移動(dòng),以便于使擠壓力低于允許擠壓力的步驟。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1292092SQ99803484
公開日2001年4月18日 申請(qǐng)日期1999年12月28日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月31日
發(fā)明者大野友則, 栗原貢 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大東