專利名稱：波紋管式擴散硅力敏傳感器隔離保護裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種可用于各種量程的擴散硅力敏傳感器的隔離保護裝置。
現有的擴散硅力敏傳感器所用的隔離保護裝置(如圖3)，利用組裝在硅杯座上的隔離體以及充滿隔離體與硅杯座間封閉腔的傳壓介質構成。所用隔離體采用帶有波紋形的膜片式結構，這樣結構的膜片，其中心和邊緣的受力狀態是不一樣的，受力特性基本上呈“弦式”變化，使擴散硅力敏傳感器的線性輸出受到影響。為克服非線性輸出，膜片直徑必須盡量大，厚度盡量薄，同時將膜片加工出特殊形狀的波紋形。由于膜片直徑越大，致使傳感器體積也越大；膜片厚度越薄，越難加工，焊后的應力越不容易消除，使用壽命越短。上述的這些缺點對于微小量程傳感器中的膜片特別明顯，尤其加工具有特殊形狀波紋形的膜片，在選擇材料設計與加工工藝方面要求非常高，容易增加制造成本。因此，研制新的易加工、成本低。使用壽命長的擴散硅力敏傳感器隔離保護裝置，已成為迫切需要解決的問題了。
本實用新型的目的是針對上述結構的不足而提出的一種改進的擴散硅力敏傳感器的隔離保護裝置。它能有效地克服現有膜片式結構的“弦性”變化引起的非線性，明顯地減小整個傳感器的外形尺寸，提高隔離保護裝置的抗腐蝕能力和使用壽命。
本實用新型的目的是這樣實現的該裝置是將現有擴散硅力敏傳感器的隔離保護裝置中的膜片式結構的隔離體，改換成波紋管式結構。在波紋管式結構的隔離體與硅杯座間形成的封閉腔，充滿傳壓介質。這種隔離保護裝置容易加工，制造成本低，使用壽命長，其原因在于波紋管受力特性比較好，基本上呈線性變化，能有效地克服現有膜片的“弦式”變化引起的非線性；波紋管直徑尺寸可不必做得很大，因其直徑較小，故傳感器的整體尺寸也明顯地隨之減小；波紋管管壁比膜片厚得多，其機械強度、耐腐蝕能力都比膜片高；波紋管原料來源豐富，其加工成形不必特殊設計，所以可降低制造成本。
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。
圖1是本實用新型一種具體結構縱向剖視圖。
圖2是本實用新型帶有動芯柱結構的縱向剖視圖。
圖3是現有技術的膜片式結構隔離保護裝置示意圖。
根據圖1～3詳細說明本實用新型的具體結構。該裝置采用彈性好的波紋管5作為隔離體，將波紋管5通過焊接接口3焊牢在組裝有硅杯2的硅杯座1上，在組成一體的波紋管5、焊接接口3與硅杯座1之間形成的封閉腔中，充滿傳壓介質，如硅油等。保護罩6起保護波紋管5的作用，其與硅杯座1裝在一起。當波紋管5受力作用后，通過傳壓介質將力傳遞到硅杯2上，完成對硅杯2的隔離保護作用。為減少填充的傳壓介質，可在波紋管5內設置一芯柱4，該芯柱4與波紋管5都焊牢在焊接接口3上。對需要過載保護的傳感器，還可將芯柱4改成定芯柱7和動芯柱8。定芯柱7與波紋管5都焊牢在焊接接口3上，動芯柱8焊牢在波紋管5上端內表面上，并使動芯柱8與定芯柱7的接觸表面對中，相接觸時吻合一致。當波紋管5受力的作用形變時，動芯柱8隨波紋管5而動，直至接觸到定芯柱7時止。動芯柱8與定芯柱7間的間隙大小應根據實際需要確定。
權利要求1.一種波紋管式擴散硅力敏傳感器隔離保護裝置，包括組裝在硅杯座上的隔離體以及充滿隔離體與硅杯座間封閉腔的傳壓介質，其特征在于隔離體采用波紋管式結構。
專利摘要本實用新型提供一種可用于各種量程的擴散硅力敏傳感器的隔離保護裝置。該裝置是將現有的膜片式結構隔離體改換成波紋管式結構，在波紋管式結構的隔離體與硅杯座間形成的封閉腔，充滿傳壓介質。這種隔離保護裝置容易加工，制造成本低，使用壽命長，能有效地克服現有膜片的“弦式”變化引起的非線性，明顯地減小傳感器的整體尺寸和降低制造成本。
文檔編號G01L19/00GK2035881SQ88216778
公開日1989年4月12日 申請日期1988年8月16日 優先權日1988年8月16日
發明者王德福 申請人:王德福
專業數控銑床產品供應商
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