專利名稱：一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法
技術領域：
本發明涉及一種超純水制造領域，尤其涉及超純水制造領域中一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法。
背景技術：
在半導體工廠中的超純水制造系統中，對水中的微量離子的要求非常高，要求微量離子的含量小于10ppt。微量離子的去除主要是通過拋光樹脂來去除。在用微量離子進行拋光樹脂去除時，拋光樹脂塔一般有好幾個，離子的殘留量是通過電阻率儀器測定的數據來反映出來。
但是當拋光樹脂塔運轉一段時間后，由于樹脂更換、樹脂容量的設計、原水水質的變化以及測試儀表準確度問題等原因，處理水的電導率可能會有異常的緩慢下降，在緩慢下降初期，拋光樹脂中的陰離子樹脂或者陽離子樹脂會被擊穿。一般來說，陽離子的擊穿比陰離子的擊穿對制品的影響更大，而它的下降原因一般通過對處理水的取樣分析來判斷，目前國內基本上沒有這樣的分析能力。委托國外分析需要2至3周時間，而且由于受樹脂塔的數量較多的影響、取樣的污染影響、分析項目的針對性不強的影響等因素，往往分析結果不能有效快速的為系統分析和改善提供依據。
已有技術不能滿足對樹脂擊穿類型分析的要求，在時間需要很長的周期，增加生產的時間成本，而分析結果的針對性不強上也成為系統分析的一個障礙。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法，可以快速有效的判斷樹脂的擊穿類型，節約工藝時間，提高分析的針對性。
為解決上述技術問題，本發明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉換閥門，兩端分別通過水管與轉換閥門及電導率儀進水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽離子樹脂的樹脂筒柱，電導率儀的進水端通過水管與轉換閥門相連接。
本發明一種利用一種判斷樹脂擊穿類型的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門，并將取樣水引至電導率儀的進水端；第二步，測量該取樣水的電阻率；第三步，切換轉化閥門，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導率儀進水端；第四步，測量經過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測量結果，判斷樹脂的擊穿類型。
與已有技術相比，通過本發明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置利用本發明方法，分別測試取樣水和經過樹脂筒柱的水電阻率，根據上述二者的電阻率是否有明顯變化判斷樹脂擊穿類型，本發明可以在現場對樹脂擊穿類型進行快速準確的分析，減少分析所需的時間，提高分析的針對性。同時，本發明的裝置既可以對單臺樹脂塔的處理水進行分析，也可以對總處理水進行分析，這種在線檢測避免了取樣過程中的污染。
下面結合附圖和實施例對本發明作進一步描述圖1為超純水系統處理過程示意簡圖；圖2為本發明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置結構示意圖；圖3為本發明一種判斷樹脂擊穿類型的方法流程示意圖；圖4為利用本發明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置判斷樹脂擊穿類型的整體系統結構示意圖。
具體實施例方式
超純水系統處理如圖1所示，在超純水制造系統中，拋光樹脂塔運轉一段時間后，它的處理水的電阻率有時會異常的緩慢下降，在緩慢下降初期，必定是拋光樹脂中的陰離子樹脂或者陽離子樹脂擊穿，一般來說，陽離子的擊穿比陰離子的擊穿對制品的影響更大，此時需要通過對處理水的取樣分析來判斷樹脂的擊穿類型。
如圖2所示，一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉換閥門，兩端分別通過水管與轉換閥門及電導率儀進水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽離子樹脂的樹脂筒柱，電導率儀的進水端通過水管與轉換閥門相連接。
如圖4所示，在利用本發明的裝置判斷樹脂塔樹脂擊穿類型時，在樹脂塔的處理水管路上，用軟管將處理水連接到本發明的裝置。如圖3所示，首先，將轉換閥門切換到電導率儀方向，打開取樣閥門，取樣水從樹脂塔經過取樣閥門、轉換閥門直接流經電導率儀，電導率儀直接測定取樣水的電導率，穩定數據穩定后，記錄該值；然后將轉換閥門切換到樹脂柱筒處理水方向，取樣水從樹脂塔經過取樣閥門、轉換閥門、樹脂筒柱再流到電導率儀，電導率儀測定經過樹脂柱筒處理后的取樣水的電導率，數據穩定后，記錄該經過處理的取樣水的電導率值。測定結束，根據兩個測定值的變化，判斷樹脂的擊穿是陰離子擊穿還是陽離子擊穿。
其中，當樹脂筒柱所裝有的樹脂為陰離子樹脂，當取樣水和經過處理的取樣水的電阻率測定值差值超過0.05MΩ.cm，樹脂為陰離子擊穿。如果電阻率值無明顯變化，則為陽離子擊穿。而當樹脂筒柱所裝有的樹脂為陽離子樹脂，當取樣水和經過處理的取樣水的電阻率測定值差值超過0.05MΩ.cm，樹脂為陽離子擊穿。如果電阻率值無明顯變化，則為陰離子擊穿。
權利要求
1.一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，其特征在于，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉換閥門，兩端分別通過水管與轉換閥門及電導率儀進水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽離子樹脂的樹脂筒柱，電導率儀的進水端通過水管與轉換閥門相連接。
2.一種利用權利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門，并將取樣水引至電導率儀的進水端；第二步，測量該取樣水的電阻率；第三步，切換轉化閥門，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導率儀進水端；第四步，測量經過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測量結果，判斷樹脂的擊穿類型。
3.如權利要求2所述的一種利用權利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，第三步中樹脂筒柱所裝有的樹脂為陰離子樹脂，當第四步和第二步中所測的兩個電阻率測定值差值超過0.05MΩ.cm，則判斷樹脂為陰離子擊穿。
4.如權利要求2所述的一種利用權利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，第三步中樹脂筒柱所裝有的樹脂為陽離子樹脂，當第四步和第二步中所測的兩個電阻率測定值差值超過0.05MΩ.cm，則判斷樹脂為陽離子擊穿。
全文摘要
本發明公開了一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法。本發明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、取樣閥門、轉換閥門，兩端分別通過水管與轉換閥門及電導率儀進水端相連接的樹脂筒柱。本發明一種判斷樹脂擊穿類型的方法，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門，將取樣水引至電導率儀的進水端；第二步，測量取樣水的電阻率；第三步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經過取樣閥門和轉換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導率儀進水端；第四步，測量經過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測量結果，判斷樹脂的擊穿類型。本發明適用于超純水制造領域。
文檔編號G01N27/06GK1963479SQ20051011023
公開日2007年5月16日 申請日期2005年11月10日 優先權日2005年11月10日
發明者唐世權 申請人:上海華虹Nec電子有限公司
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
