專利名稱：用于測量磁通量的傳感器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于測量磁通量或磁矩的傳感器。它在磁性材料的測試方面有許多應用，涉及磁通計或磁矩計，還涉及測量金屬樣品中的感應電流。
背景技術：
永久磁性材料常用在將電能轉變為機械能的設備中。在這些設備中，通過永久磁體的磁場和流過線圈的電流所產生的磁場的相互作用，便產生了機械力。這種設備的典型示例是永久磁體馬達，在這種馬達中，流過繞組的電流產生磁場，該磁場與永久磁體所產生的磁場相互作用從而驅動馬達。另一個示例是揚聲器，在揚聲器中，繞組可以相對于永久磁體自由移動。放大后的音頻信號穿過繞組，并且所得到的磁場使該繞組和揚聲紙盆產生音頻信號。因此，永久磁體常與一個相對抗的外部場一起使用。
為了設備的穩定性，期望知道該設備內所用的永久磁性材料可以耐受外部磁場同時其自身的磁性狀態不下降。隨著對抗磁場強度不斷增大，磁化方向變得不再穩定且磁化將最終反向。在技術文獻中，用每單位體積的磁矩(磁化強度M)作為磁場H的函數而得到一組曲線來描述耐受外場的能力。這些曲線被稱為磁滯曲線，因為它們描述了材料的磁性狀態的記憶以及其對變化的復原能力。
對于典型的應用而言，與對抗磁場相結合的磁化行為才是重要的。在磁化強度-外場的圖中，該重要區域位于第二象限。用于描述使材料開始反向磁化所必需的磁場的參數是矯頑場HcJ。圖1示出了典型的永久磁性材料磁滯曲線的第二象限。
像NdFeB和SmCo這樣的強永久磁性材料的出現給設備方面帶來了一場革命，因為可以用明顯更少的材料產生磁場，由此節省了重量和體積。通過使用這種材料，現在有可能生產出其矯頑場大于2MA/m的永久磁性材料。
為了產生磁滯圖，有必要通過在較寬的強度范圍中產生磁場(即矯頑場)來測試磁性材料。在矯頑場大于2MA/m的情況下，能測量完整磁滯曲線的磁場的產生過程需要特殊的技術。常規實驗用電磁體使用桌面上大小的鐵軛和極靴，能夠實現1.6MA/m的場。產生該數字以上的場可能需要超過10kW的電功率。超導磁體可以實現10MA/m左右的場，但它們需要特殊的低溫。因此，在購買和運營費用方面，它們相對昂貴。像電容器組這樣的脈沖電源所產生的磁場取消了對大裝配電源的需求，因為電力是從能量存儲電源中獲得的。結果便是，脈沖在時間方面受可用存儲能量的限制。目前，研究設施處的脈沖場裝置達到了50MA/m或更高。基于小型電容性放電的實驗裝備達到了25MA/m的場。考慮到這一點，期望通過使用電容性能量存儲放電來產生用于測量高矯頑材料的完整磁滯所必需的磁場。
用于測量樣品材料的磁矩的一種已知方式是用拾取線圈來測量從樣品中發出的磁通量。拾取線圈中所感應出的電壓(例如，按時間積分)正比于磁矩。最常見的拾取線圈系統之一是Helmholtz線圈對。Helmholtz線圈對幾何形狀是特殊的幾何形狀，其對樣品位置相當不靈敏，即距離中心位置的位移僅在第四階才看得到。通常，該位移可能大到線圈半徑的一半，才能使響應變化1％。通過使用更多的線圈，更高階的補償是可能的。Helmholtz線圈對樣品位置不靈敏的特點可用于測量大樣品尺寸和粗樣品定位。
Helmholtz線圈是一對共軸的完全相同的圓形線圈。線圈之間的距離等于線圈的半徑。具有較小距離的線圈組具有與單個線圈相似的靈敏度，其最大值處于中心處且在軸上離開得越遠靈敏度就越小。作為軸向距離的函數的響應顯示出負的二階依賴性。對于具有較大距離的線圈組而言，響應與兩個獨立的線圈的響應相似，從而顯示出最大值位于各線圈的中心附近，而最小值則位于中間。因為當從中間移開且在各線圈中心的方向上時靈敏度不斷增大，所以該靈敏度顯示出正的二階依賴性。圖2示意性地示出了Helmholtz線圈的幾何形狀，按半平面截取線圈的一個截面。旋轉軸位于左邊；線圈被顯示成兩個正方形。響應的強度被顯示成從95％到105％范圍中的灰度級，其級差為0.5％。
用于測量磁矩的備選方法是當被置于磁場梯度中時測量樣品上的力。另一種方法是測量固定位置處由樣品所產生的磁通量密度(B場)。該方法與幾何形狀有關。
利用Helmholtz線圈對測量磁矩的方法只能用于當有一個穩定的背景場時。因其幾何形狀，與用于線圈中心處的磁性樣品的通量相比，Helmholtz線圈對是一個用于背景場的通量的更佳的傳感器。因此，背景場的變化在Helmholtz線圈對中或在任何線圈中產生了寄生信號。然而，如上所述，產生完整磁滯曲線所需的高矯頑場需要背景場并不恒定的技術。
對于不斷變化的背景場中的磁矩的測量而言，補償技術需要用于任何基于感應測量的方法。補償將基于兩個具有不同響應的線圈組的使用一個線圈組更多用于測量樣品的響應，而另一個線圈組則更多用于測量背景場的響應。樣品的合適信號需要通過從前者中減去后者而重新構造。然而，如果第一組具有Helmholtz幾何形狀，則第二組的信號將對樣品的位置很敏感。兩個信號的差將顯示增大的位置靈敏度。
迄今，尚未開發出任何傳感器能顯示出合適的背景補償和Helmholtz線圈對的位置不敏感性。
本發明尋求改進特別是在不斷變化的背景場中測量樣品磁通量或磁矩的精確度。
發明內容
本發明的目的是，提供特別是在不斷變化的背景場中改進樣品磁通量或磁矩的測量的方法和裝置。
本發明的第一方面提供了一種用于測量樣品材料的磁矩的傳感器，它包括兩個或更多個用于產生拾取信號的拾取線圈。來自這兩個線圈的信號的組合產生了相對于背景場的較低或基本上為零的靈敏度。通過安排這兩個線圈并通過將來自這兩個線圈的信號組合起來，從而補償了背景場。例如，所得的對背景場效應的靈敏度小于可獲得的拾取線圈之一的單獨測量信號的10％或者小于或等于其千分之一。此外，相對于待測樣品與線圈內中心位置的偏移，上述線圈排列具有較低的或基本上為零的靈敏度。對于離測試區的半徑/尺寸的1/2中心的典型偏移，這通常是主拾取線圈的半徑，所得的靈敏度可以小于單個信號的20％并且小于2％并且達1％。也實現了相對于樣品所產生的場的相當大的靈敏度。與測得的樣品有關的信號最好大于從拾取線圈之一中獲得的單個信號的5％且達50％或更大，即，如果本發明的補償機理不在那里的話。
本發明還提供了用于測量樣品材料的磁矩或它產生的磁通量的傳感器，該傳感器包括第一拾取線圈，用于產生拾取信號；第二拾取線圈，用于產生另一個拾取信號；其中第一和第二拾取線圈排列成使得它們對于背景場具有基本上相同的靈敏度、對于樣品離線圈內中心位置的偏移具有基本上相同的靈敏度、并且對于樣品所產生的場具有不同的靈敏度。
此類傳感器具有與Helmholtz線圈對相同的優點，并且對于定位的靈敏度與Helmholtz線圈對相似，同時還具有背景信號得到補償這一附加的優點。這些屬性使該傳感器很適合于測量磁性材料在不斷變化的背景場中的磁性響應，例如，用于使用脈沖磁場的完整磁滯測量設備。例如，背景場可以是0.25特斯拉或更大、1特斯拉或更大、5特斯拉或更大的脈沖場。這種大幅值脈沖場具有這樣的優點，即可以獲得較大的場從而繞著磁滯回線驅動非常硬的材料。它們具有這樣的缺點，即脈沖場可以感應出較大的EMF，這需要得到補償。本發明還可以應用于磁通計或磁矩計，并且可以用于測量金屬樣品中的感應電流，此時有必要測量不想要的背景場的存在性。
本發明的第二方面提供了用于測試磁性材料樣品的測試裝置，該測試裝置包括發生器，用于在測試區內產生不斷變化的磁場；以及上述類型的傳感器，至少具有位于測試區內的第一和第二拾取線圈。
本發明還提供了用于測試磁性材料樣品的測試裝置，該測試裝置包括具有未知磁背景場的測試區以及位于該區內且像上文定義的那種傳感器。
本發明還提供了磁開環測試排列方式，即用于測量磁性材料樣品的測試裝置，該測試裝置包括位于測試區內的上文所描述的傳感器，測試區周圍的區域沒有顯著地附屬的磁性材料，以便引導該樣品所產生的磁通量。因此，這種排列方式可以是在一種開放的磁環中，拾取線圈和樣品之間有顯著的空氣間隙。
可以在不將磁極靴用于測試區的情況下作出線圈排列。線圈以這樣一種方式排列，使得組合信號顯著依賴于樣品的磁矩并且顯著不依賴于樣品的幾何形狀。
本發明還提供了用于測試磁性材料樣品的測試裝置，該測試裝置包括發生器，用于在測試區中產生基本上大于0.25特斯拉的磁場；以及位于該測試區內且像上文所定義的那種傳感器。
上述任何測試裝置都可以包括數據分析功能，可操作該功能以獲得樣品材料的磁滯曲線。
現在，將參照附圖描述本發明。
參照附圖，僅作為示例，將描述本發明的各種實施方式，其中圖1示出了永久磁性材料的磁滯曲線的示例；圖2示出了Helmholtz線圈的靈敏度；圖3示出了根據本發明一實施方式用于在磁場存在的情況下測量樣品磁矩的整個測試裝置；圖4詳細示出了圖3的傳感器中所使用的拾取線圈；圖5示出了用作磁通計的備選實施方式；圖6示出了附加拾取線圈組的使用。
具體實施例方式
本發明將在結合特定實施方式并參照附圖的情況下進行描述，但本發明并不限于此，而是僅由權利要求書來限定。所描述的圖僅是示意性的和非限制性的。在這些圖中，為了解釋說明，一些元件的尺寸可能會被夸大并且未按比例畫出。說明書和權利要求書中所用的術語“包括”并不排除其它元件或步驟。
本發明將主要參照硬磁性材料的測試來進行描述，即對磁滯回線而言具有顯著大的面積的材料。此外，這些磁性材料將具有顯著大的剩磁和矯頑力。用于這些材料的飽和場通常將超過0.25特斯拉，例如0.5特斯拉或更大，例如1特斯拉或更大，例如5特斯拉或更大。
圖3和4示出了一種測試裝置的實施方式，該裝置用于測量在背景磁場中永久磁性材料的樣品的磁矩。圖3示出了整個裝置，圖4示出了測試區和傳感器線圈的詳細圖。用于測量樣品材料的磁通量的傳感器包括兩個或更多個用于產生拾取信號的拾取線圈3a和3b。排列拾取線圈3a、3b，使得信號的線性組合相對于背景場的靈敏度可忽略并且相對于離線圈內中心位置的偏移的靈敏度也可忽略。這些線圈相對于樣品所產生的場的靈敏度相當大。該傳感器可以用于測量在不斷變化的背景場中磁性材料的磁響應，例如，用于使用脈沖磁場的完整磁滯測量裝備。本發明也可以應用于磁矩計，此時有必要測量不想要的背景場的存在性。
大線圈4(比如螺線管)連接到能量存儲電源10，該電源能夠在線圈4中產生脈沖磁場。例如，該場可以是1特斯拉幅值或5特斯拉或更大的脈沖場。該磁場將被稱為背景場或矯頑場。在使用過程中，線圈4內的區域暴露于脈沖磁場。位于線圈4內的是一個空心的圓柱形支持物2。支持物2具有足夠容納測試樣品1的直徑。通常，這將是一段永久磁性材料。兩個線圈3a、3b被安裝在支持物2上。磁排列方式是一個開放的磁環，在樣品和線圈之間有足夠的空氣空間。可以在不將磁極片用于測試區的情況下作出上述排列。
第一線圈3a包括第一繞組3a(1)和第二繞組3a(2)，兩者沿支持物2的軸5間隔開。這兩個繞組彼此串聯。第二線圈3b也包括第一繞組3b(1)和第二繞組3b(2)，兩者沿支持物2的軸5間隔開。這兩個繞組也彼此串聯。繞組3b安裝在繞組3a兩側，使得與繞組3a相比繞組3b離測試樣品1更遠。圖4所示線圈具有圓形橫截面，盡管這不是必要的，并且該橫截面可以采用其它形狀(比如正方形)。
線圈3a、3b的這種排列方式具有如下效果-在測試順序期間，對于線圈4所產生的背景場，線圈具有相等的靈敏度；-對于用于表示樣品1所產生的通量的信號，線圈具有不同的靈敏度；-對于樣品1離線圈陣列的中心位置的小偏移，線圈具有相等的靈敏度。
通過使各線圈3a、3b的匝數與線圈面積的乘積都相等，便可以在均勻的背景場中滿足對背景場的靈敏度相等這一要求。應該注意到，借助于線圈的屬性(比如尺寸或相對于樣品的位置或背景場)，或通過在線圈后放置一個放大器(比如圖4中的元件6)，便可以使線圈的靈敏度相等或不同。例如，放大器6可以提升來自線圈3a的信號的振幅，使得在放大之后，特定的信號成分(比如背景場)看起來與來自線圈3b的信號中的相同成分具有相同的振幅。
各拾取線圈3a、3b產生一種信號，該信號是從通過該線圈的磁通量中產生的感應電壓。感應電壓將包括因背景場所導致的成分以及因樣品1所產生的場而導致的成分。因為線圈3a和3b具有相對于背景場的相等的靈敏度，所以在來自線圈3a、3b的信號中因背景場而導致的成分應該相等。與線圈3a相比線圈3b離樣品1更遠，這確保在信號3a、3b中因樣品1所產生的磁通量所導致的成分將是不同的。來自繞組3a、3b的信號將彼此相減。可以從信號3a中減去信號3b。因背景場所導致的相等(或接近相等)的成分將彼此抵消。在支持物2中樣品1的位置離中心位置的偏移將在來自線圈3a、3b的信號中產生基本上相等的成分，結果，信號3a、3b的相減過程將抵消樣品偏離中心位置的效果。相減過程的整體效果是，所得的信號不受背景場和樣品離中心位置的小偏移的影響。
可以用若干種方式來確定線圈3a和3b的位置。最簡單的過程是用數值方式來確定線圈在軸上不同位置處所產生的磁通量。為了實現背景場的補償，線圈匝數的比例反比于線圈中的通量，繞組方向則相反。對于可能的線圈組，通過適于計算磁場的有限差分或有限元方法，可用數值方式來計算對樣品位置的靈敏度。這種通用方法都是已知的，例如參照″Analysis and Computation ofElectric and Magnetic Fields″，K.J.Binns和P.J.Lawrenson，Pergamon出版社，1973；″Numerical Analysis″，R.L.Burden和J.D.Faires，第七版，WadsworthBrooks/Cole 2001；″The finite element Method″O.C.Zienkiewicz和R.L.Taylor，第五版，Butterworth-Heinemann，2000。通過迭代地改變拾取線圈的幾何位置以便實現期望的樣品位置補償，便確定了線圈的最終位置。通常，寫入軟件搜索例程，以迭代地改變線圈的位置并且計算與靈敏度有關的參數的值。根據所獲得的值，可以選擇某些排列方式，以提供第一最佳化位置，之后是進一步的細顆粒的位置優化以獲得更佳的結果。合適的初始線圈位置可以是內線圈排列在Hehnholtz線圈距離處，而外線圈排列在Helmholtz線圈距離的兩倍處。從這種初始狀態起，迭代地改變位置。這些迭代的目的在于，排列這些線圈使得通過這兩個線圈的排列方式并通過來自這兩個線圈的信號的組合使背景場得到補償。例如，可以用上述方法來排列這些線圈，使得所得的針對背景場的效果的靈敏度小于可獲得的拾取線圈之一的單獨測量信號的10％或者小于或等于其千分之一。此外，可以定位線圈排列方式，使得對于待測樣品離線圈內中心位置的偏移的靈敏度很低或基本上為零。對于離測試區的半徑/尺寸的1/2的中心的典型偏移(通常這是主拾取線圈的半徑)而言，所得的靈敏度可以小于20％且小于2％且低至拾取線圈之一的單獨的信號的1％。也實現了相對于樣品所產生的場的相當大的靈敏度，即獲得了良好的信噪比。與測量樣品有關的信號可以被安排成使得它最好比來自拾取線圈之一的單獨的信號的5％-50％要大，即如果本發明的補償機制不存在的話。此外，所有上述信號都是在獨立于樣品幾何形狀的情況下測得的。因為測量安排是在開放的磁環中，所以樣品的精確形狀或尺寸不是關鍵的。
可以增大線圈的量，以在更大的范圍中獲得對樣品位置的補償。
來自線圈3a、3b的信號的相減過程可以按若干種方式實現。在最簡單的形式中，繞組可以按這樣一種方式相連，使得一個信號的檢測與另一個信號的檢測相反。在圖4中按常規方式使用點記號來示出信號的檢測。這將直接使信號彼此相減。或者，可以通過電學方式減去這些信號，在模擬域中實現相減過程。在另一個備選方案中，通過模塊14中的模數轉換器對各個信號進行單獨采樣，以提供信號的數字表示。然后，可以通過在數字上減去它們，在數字域中操縱這些數字信號。無論這些信號怎樣組合，這些信號都將在數據獲取模塊14中被采樣，然后在數據處理功能16中被處理，從而產生圖1所示類型的磁滯曲線。被處理的數據可以被輸出到存儲裝置或其它裝置。控制功能16也協調能量存儲源10的控制，以在合適的時間產生脈沖信號。可以通過標準個人計算機用合適的軟件和接口來執行模塊12、14和16的處理，以對來自線圈3a、3b的單獨的信號或信號3a、3b的組合進行采樣。
盡管圖3中未示出，但是在支持物2內可以附加地提供樣品支架，該支架與支持物2的中心軸共軸地對齊并且最好也在線圈陣列3a、3b內的中心處。樣品支架將具有足夠大的尺寸，以容納預期范圍中各種尺寸的測試樣品。如上所述，傳感器可以應對測試樣品離線圈3a、3b內真正中心位置的小偏移，所以樣品并非一定要位于樣品支架內的中心處。
因此，上述傳感器具有與Hehnholtz線圈對相同的關于定位靈敏度的優點，同時還具有背景信號得到補償這樣的附加優點。這些屬性使該傳感器很好地適用于測量磁性材料在背景場中的磁響應，例如，用于使用脈沖磁場的完整磁滯測量裝備。
盡管該傳感器特別適用于測量磁性材料在背景場中的磁響應，但是它也可以用作磁通計。參照圖5，該裝置使用了與圖3所示相同的支持物2、線圈3A、3B的排列方式以及許多相同的下游數據處理功能。然而，背景場25不是由人工產生的場4來提供的，而是由其中對想要的通量(例如測試樣品1的通量)進行測量的背景環境來提供的。通常，該傳感器也可以用于測量金屬樣品1中的感應電流。
參照圖6，可以添加附加的線圈以提供進一步的優點。對樣品、背景場、2階樣品位置、4階樣品位置、背景場的軸向不均勻性、背景場的徑向不均勻性、或背景場中心的2階和4階位置，各個附加的線圈組具有不同的響應。對于各個附加的線圈組，可以補償一個附加參數。
根據本發明，使來自拾取線圈的信號組合起來-通常這將是信號的線性組合。作為示例，來自線圈i(它可能包括若干個分開的串聯的線圈)的信號是Si。
Si=aiM+ΣjbijDj]]>其中M是磁化強度，ai是響應率，Dj是待補償的效果，bij是對這些效果的各自響應率。通過使用附加線圈，在各個系數為ci的情況下添加了信號，并且待補償的效果Dj被抵消了Scompensated=ΣiciSi=ΣiciaiM+ΣjΣicibijDj]]>jΣicibij=0]]>任何上述測試裝置都可以包括數據分析功能，可以操作該功能獲得樣品材料的磁滯曲線。本發明并不限于本文所描述的各種實施方式，在不背離本發明的范圍的情況下可以修改或改變這些實施方式。
權利要求
1.一種用于測量樣品材料的磁矩的傳感器，包括兩個或更多個用于產生拾取信號的拾取線圈；以及用于將所述拾取信號組合起來的裝置，由此產生相對于背景場顯著為零的靈敏度、相對于樣品材料離線圈內中心位置的偏移顯著為零的靈敏度、以及相對于樣品材料所產生的場的顯著的靈敏度。
2.如權利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述拾取線圈和樣品材料按磁開環排列方式來排列。
3.如權利要求1或2所述的傳感器，其特征在于，所得的組合信號相對于背景場的靈敏度小于來自拾取線圈之一的信號的10％或千分之一。
4.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，對于離傳感器測試區半徑一半的中心的典型位置偏移，所得的組合信號相對于樣品材料位置的靈敏度小于來自拾取線圈之一的信號的20％、2％或1％。
5.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，所述組合信號相對于樣品所產生的場的靈敏度優于來自拾取線圈之一的信號的5％一直到50％。
6.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，對于各個拾取線圈而言，線圈面積與線圈匝數的乘積基本上相等。
7.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，所述拾取線圈沿軸向彼此間隔開。
8.如權利要求7所述的傳感器，其特征在于，所述拾取線圈包括沿軸向彼此間隔開的多組繞組，一個拾取線圈的繞組位于其它拾取線圈的繞組的外面。
9.如權利要求7或8所述的傳感器，其特征在于，所有的線圈都沿著軸彼此共軸地安裝。
10.如權利要求7到9中任一項所述的傳感器，其特征在于，所有的線圈都具有相同的面積。
11.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，所述線圈以這樣一種方式排列，使得組合信號顯著依賴于樣品的磁矩且顯著不依賴于樣品的幾何形狀。
12.如上述任一權利要求所述的傳感器，其特征在于，所述組合裝置可操作用于將所述拾取信號之一從其它拾取信號中減去。
13.如權利要求12所述的傳感器，其特征在于，所述組合裝置包括連接第一和第二拾取線圈，使得一個拾取信號的檢測與其它拾取信號的檢測相反。
14.如權利要求12所述的傳感器，其特征在于，所述組合裝置包括用于在模擬域中作用于拾取信號上的電路。
15.如權利要求12所述的傳感器，還包括模數轉換器，所述模數轉換器可操作用于對拾取信號進行采樣從而產生一對數字數據信號，并且所述組合裝置可操作用于作用于所述數字數據信號。
16.如上述任一權利要求所述的傳感器，還包括附加的拾取線圈組。
17.如上述任一權利要求所述的傳感器，還包括用于在一段時間內對拾取信號的組合進行積分的積分器。
18.一種用于測試磁性材料樣品的測試裝置，所述測試裝置包括用于在測試區內產生變化的磁場的發生器；如權利要求1到17中任一項所述的傳感器，其拾取線圈定位于所述測試區內。
19.如權利要求18所述的測試裝置，其特征在于，所述發生器產生脈沖磁場。
20.如權利要求19所述的測試裝置，還包括數據分析功能，該功能可操作用于獲得樣品的磁滯曲線。
21.一種用于設計上述任一項權利要求所述的傳感器的方法，其中，利用磁感應拾取信號的數值模擬來確定拾取線圈的幾何排列方式以消除背景場的效應和樣品位置的依賴性，并且根據所確定的幾何排列方式來制造線圈。
全文摘要
一種用于測量樣品材料的磁通量的傳感器包括第一拾取線圈3a，用于產生拾取信號；以及第二拾取線圈3b，用于產生另一個拾取信號。第一和第二拾取線圈3a、3b被排列成使得它們具有基本上相等的、相對于背景場的靈敏度以及基本上相等的、相對于離線圈內中心位置的偏移的靈敏度。這些線圈具有不同的、相對于樣品所產生的場的靈敏度。該傳感器可以用于測量磁性材料在不斷變化的背景場中的磁響應，例如，用于使用脈沖磁場的完整磁滯測量裝備。本發明也可以應用于磁矩計，并且用于測量金屬樣品中的感應電流，此時有必要在存在不想要的背景場的情況下作出測量。
文檔編號G01R33/12GK101091120SQ200580042400
公開日2007年12月19日 申請日期2005年11月9日 優先權日2004年11月9日
發明者L·范伯克斯托 申請人:麥提斯儀器及設備股份有限公司
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