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專利名稱：表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，或者特別涉及一種在兩個方向上測量物體表面粗糙度和/或輪廓形狀的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置。
背景技術(shù)：
在表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，具有探針的拾取器沿著被測量物體(下文中通常稱作“工件”)的表面移動，并且探針的位移量被轉(zhuǎn)換成電信號并由計算機或類似裝置讀取，從而測量出工件的表面粗糙度和/或輪廓形狀。這種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置公開于尚未審查的日本專利申請No.2002-107144中。圖1示出了傳統(tǒng)的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的基本構(gòu)造。
該表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1包括拾取器6，該拾取器用來測量放置于工作臺2上的工件的表面粗糙度，該拾取器6由固定于驅(qū)動單元4上的支架5支撐。拾取器6支撐懸臂7的一端，其另一端具有探針9，該探針沿著與懸臂7長度垂直的方向延伸。
驅(qū)動單元4安裝在直立于工作臺2上的柱體3上，并且響應(yīng)于來自數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(未示出)例如計算機的指令來移動支架5。驅(qū)動單元4僅僅可以沿著懸臂7的長度方向(X方向)移動支架5。
同樣，整個驅(qū)動單元4可以根據(jù)工件的高度沿著柱體3在豎直方向(Z方向)上移動，該豎直方向垂直于工作臺的表面。
一旦探針9由驅(qū)動單元4移動并同時與工件測量表面保持接觸，則探針9會由于工件表面的粗糙度而移動。該位移量被傳送給懸臂7并通過裝入拾取器6中的差動感應(yīng)或差接變壓器轉(zhuǎn)換成電信號。該電信號通過A/D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并被輸入數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中。這樣，表示工件表面粗糙度的測量數(shù)據(jù)就由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)獲得。
在這種傳統(tǒng)的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1中，拾取器6通過驅(qū)動單元4僅僅可以沿著工件的測量表面在X方向上移動。這可歸因于每個與粗糙度測量有關(guān)的標準(例如JAS或ISO)都僅僅限定了直線上測量的粗糙度。
在需要評估XY平面中表面粗糙度和/或輪廓形狀的特別情況中，拾取器6沿著工作臺表面上的水平面中的方向(XY方向)相對于工件移動，其方式是將Y方向驅(qū)動單元安裝在工作臺上，該Y方向驅(qū)動單元用于在與工作臺表面上X方向不同的另一個方向(Y方向)上移動工件，并且工件移動從而使得拾取器6和工件在Y方向上相對于彼此移動以進行測量。
然而，在測量具有階梯部分的工件表面形狀的情況中，或具體而言，在測量圖2所示的引擎曲柄軸100上的曲柄銷101的側(cè)表面的表面粗糙度的情況中，曲柄臂102a、102b和配重103a、103b成為了阻止懸臂7和拾取器6接近的堤壩部分，因此探針9不能方便地與曲柄銷101接觸。
也就是，如圖3所示，在曲柄軸100上的曲柄銷101的側(cè)表面的粗糙度的測量中，探針9需要沿著曲柄軸100的長度在X方向上移動。然而，在就像曲柄軸100的工件包括具有堤壩部分和底部的臺階部分的情況中(在這種情況中，曲柄臂102a、102b和配重103a、103b形成了堤壩部分，而曲柄銷101的側(cè)表面形成了底部)，在探針9與構(gòu)成待檢查表面的曲柄銷101接觸之前，懸臂7和拾取器6受到了曲柄臂10a、102b以及配重103a、103b的妨礙。在這種情況下，通過傳統(tǒng)的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置來測量曲柄銷101側(cè)表面的表面粗糙度是非常困難的。
同樣，在如上所述的使用在Y方向上移動工件的Y方向驅(qū)動單元的情況中，重量超過限制活動負載的工件就不能被測量，因此可以通過這種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置進行測量的物體是有限的。
而且，可移動工作臺的變形和驅(qū)動操作受到重心位置的影響，因而位移量也隨著工件的重心或安裝位置而變化，從而影響測量的精度。
為了保證預(yù)定的活動負載，工件的Y方向驅(qū)動單元需要使用具有相應(yīng)容量余量的機構(gòu)或電源，因而導(dǎo)致表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的體積龐大、價格昂貴。
此外，在Y方向驅(qū)動單元放置在工作臺上的情況中，在Y方向驅(qū)動單元和驅(qū)動單元4之間存在著柱體，這使得準確地垂直于驅(qū)動單元4設(shè)置Y方向驅(qū)動單元變得很困難，因為受到溫度改變和振動的影響。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到上述的這些問題，本發(fā)明的目的在于提供一種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，該裝置可以容易地測量具有堤壩部分和底部的工件臺階部分的表面粗糙度和輪廓形狀。
為了實現(xiàn)這個目的，根據(jù)本發(fā)明，探針在垂直于其長度和懸臂長度的方向上移動，并同時沿著探針移動的方向測量工件測量表面的表面形狀。
具體而言，根據(jù)本發(fā)明的第一個方面，提供了一種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，其中支撐于懸臂上的探針在保持與工件測量表面接觸的同時被移動，并且探針的位移量被檢測從而測量工件測量表面的表面形狀，該表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置包括移動單元，該移動單元在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上使探針和工件相對于彼此地移動。
在所述表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，移動單元可以構(gòu)造成在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上移動探針。而且，在所述表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，移動單元在保持探針與測量表面接觸的同時移動該探針，從而沿著移動單元的移動方向測量工件測量表面的表面形狀。
而且，所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置還可以包括驅(qū)動單元和連接部件，該驅(qū)動單元沿著懸臂長度可移動地支撐探針，該連接部件構(gòu)成置于懸臂和驅(qū)動單元之間的移動單元，以在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上相對于驅(qū)動單元移動支撐探針的懸臂。
根據(jù)本發(fā)明的第二個方面，提供了一種表面粗糙度和/或輪廓形狀的測量方法，其中由懸臂支撐的探針在移動的同時保持與工件測量表面接觸，并且檢測探針的位移量來測量工件測量表面的表面形狀，其方式是使探針在與工件表面保持接觸的同時沿著與探針長度和懸臂長度都垂直的方向移動，從而沿著探針移動的方向測量工件測量表面的表面形狀。
在上述的根據(jù)本發(fā)明的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置和方法中，具有臺階部分的工件底部的表面粗糙度可以按下述方法測量，即保持探針與所述底部接觸并且將懸臂的長度設(shè)置成與堤壩部分平行，并同時在與堤壩部分垂直的方向上移動探針，從而測量工件的表面形狀。


從下面參照附圖的描述中，本發(fā)明可以得到更清楚的理解，在這些附圖中圖1示出了傳統(tǒng)的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的基本構(gòu)造；圖2是解釋測量曲柄軸曲柄銷側(cè)表面表面粗糙度的傳統(tǒng)方法的第一圖；圖3是解釋測量曲柄軸曲柄銷側(cè)表面表面粗糙度的傳統(tǒng)方法的第二圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的基本構(gòu)造；圖5A到5B是圖4所示連接部件的放大透視圖；圖5C示出了連接部件連接驅(qū)動單元和拾取器的方式；圖6A是圖4所示拾取器XZ平面的側(cè)剖視圖；圖6B是沿圖6A中A-A’線的剖視圖；圖6C是解釋圖6A所示固定部分形狀的透視圖；
圖7A和7B是解釋測量具有臺階部分工件表面粗糙度的方法的圖；圖8是解釋根據(jù)本發(fā)明的測量曲柄軸曲柄銷側(cè)表面表面粗糙度方法的第一圖；以及圖9是解釋根據(jù)本發(fā)明的測量曲柄軸曲柄銷側(cè)表面表面粗糙度方法的第二圖。
具體實施例方式
下面將參照附圖詳細描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置的基本構(gòu)造。該表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1的基本構(gòu)造與圖1所示的構(gòu)造相似，這些圖中的相同功能部件分別被標以相同的附圖標記，并且不再重復(fù)解釋。
如圖4所示，在表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1中，拾取器6和懸臂7被安裝成其長度方向沿著X方向，即XY平面中探針9被驅(qū)動單元4在工作臺表面上驅(qū)動的方向。探針9被裝在懸臂7的前端，以使其沿著與懸臂7長度垂直的Z方向延伸。
而且，支撐拾取器6的支架5和驅(qū)動單元4通過連接部件8彼此連接。連接部件8可以在Y方向上移動拾取器6，該Y方向與沿著懸臂7長度的X方向和沿著探針9長度的Z方向都垂直。圖5A示出了該連接部件8的放大圖。
如圖5A所示，連接部件8包括主體81、第一附件82、可移動部分83、電機84以及第二附件85，該第一附件82固定在主體81上并且與驅(qū)動單元側(cè)附件41(圖5C)保持接合從而將主體81固定在驅(qū)動單元4上，該可移動部分83適于相對于主體81在Y方向上移動，該電機84用于驅(qū)動可移動部分83，該第二附件85固定在可移動部分83上并且通過接合來保持該支架5。電機84根據(jù)來自上述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(未示出)的指令來進行驅(qū)動。
可移動部分83安裝在主體81上，以使其可以沿著Y方向在主體81的預(yù)定表面81A上滑動。圖5示出了在主體81的預(yù)定表面81A上被沿著Y方向驅(qū)動的可移動部分83。
圖5C示出了連接部件8安裝于驅(qū)動單元4與保持該拾取器6的支架5之間的方式。如圖5C所示，連接部件8的第一附件82與驅(qū)動單元側(cè)附件41保持接合，該驅(qū)動單元側(cè)附件41由驅(qū)動單元4沿著X方向驅(qū)動。另一方面，用來保持拾取器6的支架5，與固定在可移動部分83上的第二附件85保持接合，該可移動部分83適于相對于主體81在Y方向上移動。
通過這種構(gòu)造，拾取器6、懸臂7和探針9可以由驅(qū)動單元4和連接部件8在X和Y方向上移動。
為了沿著Y方向測量工件測量表面的表面粗糙度和/或輪廓形狀，在Y方向上驅(qū)動拾取器6等部分的電機84優(yōu)選地不是步進電機或類似的逐步旋轉(zhuǎn)或驅(qū)動的電機，而是無級旋轉(zhuǎn)或驅(qū)動的電機(例如DC電機)。
除了最初包括于現(xiàn)有表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1中的驅(qū)動單元側(cè)附件41和支架5以外，該連接部件8還包括適于接合驅(qū)動單元側(cè)附件41和支架5的第一附件82和第二附件85。因此連接部件8可以容易地在后來安裝在沒有Y方向驅(qū)動機構(gòu)的現(xiàn)有表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1上。
同樣，通過將第一附件82安裝于主體81的表面81B(XY表面)上的角度改變90度，該連接部件8可以與驅(qū)動單元側(cè)附件41接合，以使拾取器6由連接部件8在X方向上驅(qū)動。這樣，在與驅(qū)動單元側(cè)附件41由驅(qū)動單元4驅(qū)動的方向相同的方向上，拾取器6可以由連接部件8驅(qū)動，從而有可能拓寬在X方向上驅(qū)動拾取器6的范圍。
而且，通過將第一附件82安裝在主體81的XZ平面(即遠離電機84的安裝表面的表面)上，連接部件8可以與驅(qū)動單元側(cè)附件41接合，以使拾取器6可以由連接部件8在Z方向上驅(qū)動。因此，可以測量正交XZ平面上的工件表面形狀。
如上所述，一方面連接部件8安裝于驅(qū)動單元側(cè)附件41或支架5上的方向可以進行調(diào)節(jié)以使拾取器6可以由連接部件8在與兩個方向中任意一個相同的方向上驅(qū)動，這兩個方向與驅(qū)動單元4驅(qū)動連接部件8的方向正交，并且另一方面該安裝方向還可以調(diào)節(jié)成連接部件8由驅(qū)動單元4驅(qū)動的方向。而且，通過不同地設(shè)置將第一附件82安裝于主體81的安裝表面上的角度和它安裝于驅(qū)動單元側(cè)附件41上的角度(將它們設(shè)置成非彼此平行)，拾取器6由連接部件8驅(qū)動的方向可以從X方向傾斜(以一個傾斜角)。
而且，為了調(diào)節(jié)連接部件8驅(qū)動拾取器6的方向與驅(qū)動單元4驅(qū)動連接部件8的方向之間的相對角度，驅(qū)動單元側(cè)附件41或第一附件82可以裝有角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，例如球形頭。
圖6A是沿圖4所示拾取器6的XZ平面的側(cè)剖視圖，圖6B是沿圖6A中A-A’線的剖視圖。拾取器6的殼體61中裝有固定在殼體61上的固定部分62以及可移動部分63，該可移動部分63沿著作為旋轉(zhuǎn)軸線的Y方向通過樞軸64可樞轉(zhuǎn)地支撐于固定部分62上。圖6C是解釋圖6A所示固定部分62形狀的透視圖。
如圖6C所示，固定部分62形成有臂部分72a、72b，該臂部分用于從可移動部分63的樞軸64的兩端支持該樞軸，并且支撐樞軸64的軸承71a、71b分別安裝在臂部分72a、72b上。
可移動部分63具有將懸臂7固定在可移動部分63上的懸臂安裝銷70。固定于可移動部分63上的懸臂安裝銷70插入到形成于懸臂7的安裝端處的安裝孔中，從而將懸臂7固定在可移動部分63上。
而且，可移動部分63具有推動裝置65，例如彈簧，以沿擺動方向推動與懸臂7一起固定的可移動部分63，從而使設(shè)置在遠離懸臂7的安裝端的端部處的探針9在隨著工作表面移動，同時與其保持接觸。在圖6A的情況中，可移動部分63由壓縮彈簧65推動，該彈簧安裝在固定部分62的彈簧接收凹部66中。
因此，隨著連接部件8和驅(qū)動單元4驅(qū)動拾取器6移動，探針9可以隨著工件表面的粗糙度在其上滑動。由工件表面粗糙度產(chǎn)生的這種探針9的位移通過懸臂7傳送給可移動部分63，從而使可移動部分63通過作為旋轉(zhuǎn)軸的樞軸64而擺動。
通過拾取器6由連接部件8驅(qū)動在Y方向上的移動，在移動的探針9和工件表面之間產(chǎn)生Y方向上的摩擦力。為了確保可移動部分63抵抗搖擺力而進行順暢的擺動運動，樞軸6的前端基本上形成圓錐形并且軸承71a、71b通過它們的球形表面支撐樞軸64基本為圓錐形的端部，該搖擺力可能由摩擦力產(chǎn)生并施加于懸臂7上。
通過在工作表面上滑動的探針9因工作表面粗糙度而產(chǎn)生的移動，其位移量通過設(shè)置在拾取器6上的差動感應(yīng)傳感器轉(zhuǎn)換成電信號。差動感應(yīng)傳感器由固定在可移動部分63上的磁芯67、形成于固定部分62上的插入端口68以及兩個線圈69構(gòu)成，該插入端口68在可移動部分63被支撐于固定部分62上時用來插入磁芯67，該線圈69設(shè)置在磁芯插入端口68位置周圍以包圍磁芯67。在差動感應(yīng)傳感器中，由可移動部分63樞轉(zhuǎn)運動而產(chǎn)生的磁芯67的運動作為兩個線圈69之間的電感差的變化而被檢測到，從而將可移動部分63的位移量轉(zhuǎn)換成電信號。
圖7A解釋了通過圖1所示的傳統(tǒng)表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置來測量階梯狀工件表面粗糙度的方法，而圖7B解釋了通過圖4所示根據(jù)本發(fā)明實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置來測量階梯狀工件表面粗糙度的方法。
如圖7所示，工件110包括構(gòu)成檢查表面的階梯部分，該階梯部分具有底部111和堤壩部分(bank)112a、112b。如圖7A所示，在沿階梯方向滑動探針9時對底部111的表面粗糙度或輪廓形狀進行測量，該階梯方向即為與堤壩部分112a、112b的延伸部分垂直的方向(圖7A中的X方向)。
如上所述，在傳統(tǒng)的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，探針9僅僅可以沿著懸臂7的長度方向移動。因此，在測量的過程中，工件110在工作臺2上的位置設(shè)置成使測量的方向，即階梯方向(與堤壩部分112a、112b的延伸部分垂直的方向)與懸臂7的長度方向重合。
因此，堤壩部分112a、112b妨礙了懸臂7和拾取器6，因而使探針9難以與底部111接觸。
而另一方面，如圖7B所示，在根據(jù)本發(fā)明一個實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，探針9可以在與該探針的長度和懸臂7的長度都垂直的方向(圖7B中的Y方向)上移動。
因此在測量操作中，懸臂7可以設(shè)置成其測量方向上的長度不受階梯(與堤壩部分112a、112b的延伸部分平行的方向，即圖7B中的X方向)的限制，該測量方向與階梯方向即圖7A中的Y方向垂直。
因此，可以這樣進行測量，即懸臂7和拾取器6的長度方向被保持為沿著堤壩部分112a、112b。因此，探針9可以容易地在階梯方向(與堤壩部分垂直的方向，或者圖7B中的Y方向)上移動，并同時與底部111保持接觸而不會受到堤壩部分112a、112b的妨礙。
還可以在工作臺2上設(shè)置工件移動機構(gòu)來沿著與探針9的長度和懸臂7的長度垂直的方向移動工件110，而不是在與探針的長度和懸臂7的長度垂直的方向上移動探針9。于是，通過在與探針9的長度和懸臂7的長度垂直的方向上使探針9和工件110相對于彼此移動，探針9可以在階梯方向(圖7B中的Y方向)上移動并同時與底部111保持接觸，而懸臂7和拾取器6不會受到堤壩部分112a、112b的妨礙。
然而，根據(jù)這個實施例，探針9本身利用連接部件8在與探針9和懸臂7長度都垂直的方向上移動，因此可以得到結(jié)構(gòu)簡單緊湊的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置1。
圖8解釋了使用本發(fā)明一個實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量方法進行測量的情況，其中象圖2一樣的曲柄軸100上的曲柄銷101的側(cè)表面的表面粗糙度和/或輪廓形狀沿著曲柄軸100的長度進行測量。
與上面參照圖2解釋的傳統(tǒng)測量方法不同，在本發(fā)明的測量方法中，探針9可以與曲柄銷101的側(cè)表面接觸，而同時懸臂7和拾取器6的長度與曲柄軸100的長度垂直。因此，就有可能避免懸臂7和拾取器6受到曲柄臂102a、102b和配重103a、103b的妨礙。
具體而言，如圖9所示，在這種情況中，通過沿著曲柄軸100和階梯部分長度的Y方向移動探針9來測量曲柄銷101的側(cè)表面沿Y方向的表面粗糙度，該階梯部分包括構(gòu)成堤壩部分的曲柄臂102a、102b和配重103a、103b以及將被檢查的曲柄銷101的側(cè)表面，該側(cè)表面作為底部位于構(gòu)成測量方向的Y方向上。
然而，在本發(fā)明一個實施例的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置中，探針9可以以這種方式移動，即懸臂7的長度和拾取器6的長度被設(shè)置成與曲柄軸100沿著階梯方向(即與堤壩部分的延伸部分垂直的方向)的長度(Y方向)成直角。因此，探針9可以保持與曲柄銷101的側(cè)表面接觸，而同時懸臂7和拾取器6不會受到曲柄臂102a、102b和配重103a、103b的妨礙。
根據(jù)本發(fā)明，在懸臂的長度方向與堤壩部分延伸部分的方向平行時，可以對具有堤壩部分和底部的工件的階梯底部的表面粗糙度進行測量，并同時保持探針與所述底部接觸。因此，可以避免探針因為懸臂和堤壩部分之間的干擾而不能與底部接觸的情況。
從前面的描述還可以理解的是，在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上移動探針的連接部件的設(shè)置使得在特定方向上移動探針而不移動工件成為可能。因此，測量表面范圍內(nèi)的工件表面形狀可以得到測量，而不會受到工件驅(qū)動單元例如工件移動臺的最大活動負載的限制。而且，由連接部件驅(qū)動的拾取器重量比較輕，因而可以得到一種具有精密機構(gòu)的緊湊、簡單且廉價的裝置。
本發(fā)明作為一種通過沿著被測物體表面移動探針或類似測量單元來測量表面形狀的測量裝置，可以找到較寬范圍的應(yīng)用。
雖然已經(jīng)參照為說明目的而選的特殊實施例來描述本發(fā)明，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員都能明了，在不超出本發(fā)明基本原理和范圍的情況下，可以對本發(fā)明進行許多修改。
權(quán)利要求
1.一種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，該裝置用于通過在使被支撐于懸臂上的探針與工件測量表面保持接觸的同時移動該探針、并且檢測探針的位移量來測量工件測量表面的表面形狀，該裝置還包括移動單元，該移動單元在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上使探針和工件相對于彼此移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，其特征在于，移動單元在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上移動探針。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，還包括驅(qū)動單元，該驅(qū)動單元用于沿著懸臂的長度可移動地支撐探針；以及構(gòu)成置于懸臂和驅(qū)動單元之間的移動單元的連接部件，該連接部件在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上相對于驅(qū)動單元移動用于支撐所述探針的懸臂。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，其特征在于，探針在與測量表面保持接觸的同時由移動單元移動，從而沿著移動單元的移動方向測量測量表面的表面形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，還包括驅(qū)動單元，該驅(qū)動單元用于沿著懸臂的長度可移動地支撐探針；以及構(gòu)成置于懸臂和驅(qū)動單元之間的移動單元的連接部件，該連接部件在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上相對于驅(qū)動單元移動用于支撐所述探針的懸臂。
6.一種表面粗糙度和/或輪廓形狀的測量方法，該方法用于通過在使被支撐于懸臂上的探針與工件測量表面保持接觸的同時移動該探針、并且檢測探針的位移量來測量工件測量表面的表面形狀，其特征在于，在使探針與測量表面保持接觸的同時，在與探針長度和懸臂長度都垂直的方向上移動探針，從而沿著移動探針的方向測量所述測量表面的表面形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面粗糙度和/或輪廓形狀的測量方法，其特征在于，保持探針與包括階梯部分的工件的底部接觸，該階梯部分具有堤壩部分和所述底部，并且沿著與堤壩部分平行的懸臂長度引導(dǎo)探針，同時在與堤壩部分垂直的方向上移動探針，從而測量工件的表面形狀。
全文摘要
公開了一種表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置，該裝置用于通過在使被支撐于懸臂上的探針與工件測量表面保持接觸的同時移動該探針、并且檢測探針的位移量來測量工件測量表面的表面形狀。具有堤壩部分和底部的階梯形工件底部的表面粗糙度和輪廓形狀可以容易地進行測量。該表面粗糙度和/或輪廓形狀測量裝置(1)包括移動單元(8)，該移動單元用來在與探針(9)長度方向(Z)和懸臂(7)長度方向(Y)都垂直的方向(X)上使工件和探針(9)相對于彼此移動。
文檔編號G01B21/20GK1851400SQ20061007775
公開日2006年10月25日 申請日期2006年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者谷內(nèi)信幸, 久保田和浩 申請人:株式會社東京精密