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一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。本實用新型的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護。
【專利說明】一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體器件及加工制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，要求具有優(yōu)異的控溫精度及良好的可靠性、穩(wěn)定性的自動控制設(shè)備，半導體處理腔室用于在硅片等工件進行熱處理，包含退火、薄膜生成等。
[0003]工藝過程中，各個步驟中溫度的控制對硅片熱處理工藝效果有著重要影響。在特定的溫度下，工藝氣體反應(yīng)生成合適的薄膜。如果反應(yīng)過程中熱處理腔室溫度變化劇烈，將造成硅片表面的沉積層不均勻等問題，使硅片的利用率降低。因此，工藝過程中必需保證熱反應(yīng)腔室內(nèi)穩(wěn)定的溫度，并達到工藝要求的溫度。類似的，其他工藝中，反應(yīng)腔室內(nèi)溫度不一致或者不穩(wěn)定也將導致工藝效果不良。溫度精確控制影響的工藝包括但并不限于氧化、氮化、摻雜劑擴散、高溫退火、濺射沉積和等離子體處理等。
[0004]熱偶作為溫度測量裝置通常被安裝在一個熱偶外罩中，優(yōu)選為石英外罩，一端伸入反應(yīng)腔室內(nèi)，另一端在反應(yīng)腔室外通過支架固定或者簡單固定。由于是一端固定容易發(fā)生長度方向上的移動，使熱偶測量位置偏離指定位置，離指定位置越遠，測量溫度越不準確，同時由于一般石英外罩都采用圓形，容易繞一端產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，使溫度測量產(chǎn)生誤差，影響工藝效果。
[0005]本領(lǐng)域所公知的，當熱偶被安裝到熱反應(yīng)腔室中時，沒有定位機構(gòu)來約束熱偶檢測位置，從而進行準確定位和固定。因此，需要有結(jié)構(gòu)簡單，使熱偶在反應(yīng)腔室內(nèi)準確定位，并牢固固定的熱偶固定裝置。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型的目的在于提供一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)。
[0007]本實用新型為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
[0008]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封卡套的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺，所述定位凸臺與所述固定接頭的外側(cè)端扣合。
[0009]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)與所述定位凸臺之間設(shè)有密封圈。[0010]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封圈為柔性件。
[0011]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片內(nèi)側(cè)的具有預設(shè)間距的楔形凸臺，所述預設(shè)間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應(yīng)。
[0012]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室側(cè)壁焊接固定。
[0013]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽配合的開口。
[0014]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽。
[0015]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊片為柔性件。
[0016]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
[0017]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
[0018]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩為石英外罩。
[0019]一種溫度測量裝置，包括反應(yīng)腔室、真空發(fā)生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，所述熱偶外罩的固定端通過上述所述的熱偶固定裝置固定。
[0020]本實用新型的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本實用新型熱偶固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實用新型固定接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本實用新型密封卡套的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本實用新型夾緊片的主視圖；
[0026]圖5為本實用新型夾緊片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6為本實用新型鎖緊螺母的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖7為本實用新型熱偶外罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖8為本實用新型熱偶外罩固定端的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖9為本實用新型熱偶固定裝置與熱偶外罩裝配示意圖；
[0031]圖10為本實用新型溫度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]圖中標號說明如下:
[0033]1、固定接頭，11、錐形結(jié)構(gòu)，12、固定接頭凹槽，2、密封卡套，21、定位凸臺，3、夾緊片，31、楔形凸臺，32、夾緊片開口，4、鎖緊螺母,5、密封圈,6、熱偶外罩,61、熱偶定位凹槽，62、熱偶外罩固定端，7、反應(yīng)腔室，8、真空發(fā)生腔室。【具體實施方式】
[0034]下面結(jié)合圖1至圖10對本實用新型中的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置作進一步的說明:
[0035]如圖1至圖6所示，一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭1、密封卡套2、夾緊片3及鎖緊螺母4 ;所述固定接頭I的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室8側(cè)壁上，夕卜側(cè)端抵靠所述密封卡套2的一端，所述夾緊片3的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套2的另一端和所述鎖緊螺母4的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母4的內(nèi)螺紋與所述固定接頭I的外螺紋嚙合；所述夾緊片3的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩6的夾緊裝置，且所述夾緊片3設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
[0036]為了進一步提高本實用新型，其中，所述密封卡套2的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺21，所述定位凸臺21與所述固定接頭I的外側(cè)端扣合；定位凸臺21與固定接頭I的外側(cè)端相互配合，用于密封卡套定位，受力均勻，利于減小定位誤差，內(nèi)部為多邊形空腔可使熱偶外罩通過。
[0037]如圖4和圖5所示，夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片3內(nèi)側(cè)的具有預設(shè)間距的楔形凸臺31，所述預設(shè)間距與所述熱偶外罩6的外徑尺寸相適應(yīng)。夾緊片3內(nèi)側(cè)的楔形凸臺31插入密封卡套2之中，用來夾緊熱偶外罩6，同時內(nèi)部與熱偶固定端62的多邊形形狀相對應(yīng)，起到定位和固定作用，并且多變形一側(cè)開口，便于安裝，其中所述夾緊片為柔性件。
[0038]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭I的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)11，內(nèi)圈有錐形結(jié)構(gòu)11比平面結(jié)構(gòu)更利于用于密封圈的密封。所述錐形結(jié)構(gòu)11與所述密封卡套2的定位凸臺21之間設(shè)有密封圈5，所述密封圈5為柔性件，具備一定變形量；所述固定接頭I的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室8側(cè)壁焊接固定；此外，所述固定接頭I的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽12。
[0039]如圖7至圖9所示，熱偶外罩固定端62的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽61,所述夾緊片3的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽61配合的開口。所述熱偶外罩固定端62的外形輪廓是多邊形，優(yōu)選為四邊形，用來固定在熱偶固定組件上；所述熱偶外罩6優(yōu)選為石英外罩。如圖7所示，熱偶外罩固定端62的中間段直徑變粗，大于熱偶插頭外形尺寸，不僅有利于熱偶插頭穿過熱偶固定組件，還有利于熱偶外罩的固定。
[0040]如圖10所示，本實用新型還提供一種溫度測量裝置，包括反應(yīng)腔室7、真空發(fā)生腔室8，連接有熱偶的熱偶外罩6，所述熱偶外罩固定端62通過上述所述的熱偶固定裝置固定。本實用新型提供的熱偶外罩6安裝在反應(yīng)腔室7的內(nèi)部，反應(yīng)腔室7安裝在真空發(fā)生腔室8的上面，在真空發(fā)生腔室8外為上述所述的熱偶固定裝置。
[0041]本實用新型的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護，其機構(gòu)簡單，方便安裝，高可靠性和占據(jù)空間小。
[0042]以上所述的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本實用新型的專利保護范圍，因此凡是運用本實用新型的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種熱偶固定裝置，其特征在于，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封卡套的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺，所述定位凸臺與所述固定接頭的外側(cè)端扣合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)與所述定位凸臺之間設(shè)有密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封圈為柔性件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片內(nèi)側(cè)的具有預設(shè)間距的楔形凸臺，所述預設(shè)間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室側(cè)壁焊接固定。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽配合的開口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊片為柔性件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩為石英外罩。
13.一種溫度測量裝置，包括反應(yīng)腔室、真空發(fā)生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端通過權(quán)利要求1-12任一項所述的熱偶固定裝置固定。
【文檔編號】G01K7/02GK203595556SQ201320777691
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】楊帥, 董金衛(wèi), 盧言曉 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司