專利名稱:自動顯示的激光刀口儀的制作方法
技術領域:
本實用新型是自動顯示的激光刀口儀。適用于光學元件和光學系統的像差(如球差、彗差和像散等)檢測、圖形和數據記錄、處理、打印和存盤。特別適用于大型空間望遠鏡、天文望遠鏡高精度的拋光面型的檢測。
已有的技術,如天津光學精密儀器廠生產的WS-4型刀口儀,含有白熾燈光源,刀頭主體和縱向、橫向和高度調節測微鼓輪。刀頭主體上含有光欄片、刀片等元件。這種刀口儀也能測量光學元件和光學系統的像差,也能高精度地檢測大型球面鏡的波面誤差。主要缺點是1.用人眼觀察反射陰影圖,受主觀因素影響很大;2.用白熾燈光源照明,檢測含有透鏡的光學系統必須用濾光片濾光得到單色光,再進行檢測,否則有色差影響檢測;3.沒有客觀記錄的測量數據和圖形,不適合現代科學管理的要求;4.用白熾燈作光源發熱嚴重,不能持續使用時間太長,且燈泡易損壞,影響測試。
本實用新型的目的為了克服上述已有技術的缺點,采用單色的長壽命的光源,消除色差和測量者主觀因素的影響,能自動顯示和記錄測量的客觀結果,可實現定量的測量,使用方便。
為便于描述本新型的結構,先進行附圖的圖面說明。
圖1為本新型的自動顯示激光刀口儀的結構示意圖。
本實用新型的激光刀口儀是由反射鏡1、刀頭主體2、聚光鏡3、作為單色光源的激光器4、刀口儀調整支架5、激光器電源6、探測器7和自動顯示記錄系統8所構成。如圖1所示。
上述所說的作為單色光的光源激光器4,最好采用發射可見光束的激光器,如可見光半導體激光器,光束可見、調整方便、體積又小。又如He-Ne激光器也可以。所說的探測器7最好采用列陣式探測器,如硅相機列陣探測器。所說的自動顯示和記錄系統8是微機和打印機、或者是計算機和打印機,或者是示波器和照相機。
本實用新型的優點是(1)直接用單色光激光器作光源,與已有技術相比,既消去了用濾光片的麻煩,又消除了色差的影響,而且體積小,消除了白熾燈發熱嚴重、壽命短的缺點。
(2)由探測器接收到陰影圖,通過自動顯示和記錄系統,可以記錄和顯示測量的客觀結果,消除了用測量者觀察結果的主觀因素的影響。
(3)使用本新型的激光刀口儀,可以實現定量的測量,同時操作方便、可靠,獲得數據精度高,可以永久保留。
實施例1.
激光刀口儀的整體結構如圖1所示。激光器4采用AlGaInP/GaInPDH型可見光半導體激光器,激光波長為670nm,輸出連續波功率大于3mv。探測器7選用硅相機列陣,美國Spiricon公司生產的CID2250型,面積為7.5mm×7.68mm,垂直方向有500個單元,水平方向有512個單元,總共有256000個探測單元,每個單元的尺寸為15μm×15μm,靈敏度18~20mW/cm2。自動顯示和記錄系統8采用AST386/33型微機和普通打印機。
實施例2.
激光刀口儀的具體結構如圖1所示。單色光源的激光器4選用He-Ne激光器,激光波長為632nm,輸出功率大于1mW,其他元器件如實拖例1.。
使用本實用新型的實拖例1或2其測量結果的精度可達λ/20~λ/100。
權利要求1.一種自動顯示的激光刀口儀,其特征在于激光刀口儀是由反射鏡(1)、刀頭主體(2)、聚光鏡(3)、作為單色光源的激光器(4)、刀口儀調整支架(5)、激光器電源(6)、探測器(7)和自動顯示記錄系統(8)所構成。
2.根據權利要求1所述的一種自動顯示的激光刀口儀,其特征在于作為單色光源的激光器(4)是發射可見光束的激光器,是可見光半導體激光器,或者是He-Ne激光器。
3.根據權利要求1所述的一種自動顯示的激光刀口儀,其特征在于探測器(7)最好是列陣式探測器,如硅相機列陣探測器。
4.根據權利要求1所述的一種自動顯示和激光刀口儀,其特征在于自動顯示記錄系統(8)是微機和打印機,或者是計算機和打印機,或者是示波器和照相機。
專利摘要本實用新型是一種自動顯示的激光刀口儀,適用于光學元件和光學系統的像差(包括球差、彗差和像散等)檢測,特別適用大型空間望遠鏡和天文望遠鏡高精度的拋光面型的檢測;它由反射鏡、刀頭主體、聚光鏡、激光器和激光器電源、刀口儀調整支架、探測器和自動顯示記錄系統所構成。它克服了色差和測量者主觀因素的影響,可以實現定量的測量,使用方便、可靠,可獲得高精度的測量結果。
文檔編號G01M11/02GK2147525SQ9322515
公開日1993年11月24日 申請日期1993年2月11日 優先權日1993年2月11日
發明者傅恩生, 伊景榮 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所