專利名稱:高壓恒溫工作臺的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種高壓恒溫工作臺,它用于半導體器件在多種溫度下的高溫性能測試。
現有的半導體器件的高溫性能測試多采用烘箱加熱方式,測試時,被測器件置于烘箱中央,利用箱內熱空氣加熱器件。由于熱源在箱內底部,加熱時箱內下部溫度高于上部溫度,而在停止加熱后,箱內上部溫度又會高于下部溫度,因而,造成箱內溫度不均勻性;再者,由于箱內空間較大,加熱速度慢,當箱內空氣達到設定的溫度時,而被測器件本身的溫度并沒有達到,因而要增加恒溫時間,這樣造成了測試效率低,能源浪費;另外,由于烘箱不是專用設備,用戶買回后需要進行改造,要制作放置器件的架子,箱的后壁要開一個通線的洞,使用極不方便,同時,大量的熱量從洞口耗散,更造成箱內溫度的不均勻性,耗電量大一般為6-8KW,盡管目前對于平板式大功率器件亦有采用熱板式加熱測試方法,但是其測試數量一般只是一只器件。
本實用新型的目的在于克服上述現有技術中的不足之處而提供一種熱板式高壓恒溫工作臺,它適應于大中小功率的器件,特別是具有多只測試功能和能源節約。
本實用新型的目的可以通過以下措施來實現。
由保溫罩和上下熱板等組成的高壓恒溫工作臺,其上下熱板之間夾持著若干電熱絲。熱板上均布著若干安置被測器件的沉孔。在保溫罩上與熱板沉孔相對的位置上均布著若干觸頭。每個觸頭與步進選擇器的觸頭分別接觸,熱板與測試儀可直接相連。
附圖的圖面說明如下
圖1為本實用新型的外觀結構圖;圖2為本實用新型的右視圖;圖3為本實用新型的俯視圖;圖4為本實用新型的電原理圖。
下面將結合附圖所示實施例對本實用新型作進一步詳述。
其內裝著全部電氣裝置的機架(1)上安置著高壓恒溫工作臺,該工作臺由保溫罩(18)和上下熱板(10)(27)等組成,保溫罩(18)可繞置于道桿(20)上的鉸鏈(35)掀動。上下熱板(10)(27)之間夾持著套有石英管(8)的若干電熱絲(7)。上熱板(10)上均布著若干安置被測器件的沉孔(37)。熱板(10)(27)與測試儀可直接相連。保溫罩(18)上與熱板沉孔(37)相對的位置上均布著若干觸頭(11)。每個觸頭(11)與步進選擇器的觸頭分別端相連。溫度傳感器(26)置入上熱板(10)的體內。測試時,先將被測器件逐一旋入沉孔(37)內,蓋上保溫罩(18),由于每個觸頭(11)上的彈簧(17)作用,使每個觸頭(11)緊壓在被測器件的另一端。熱板(10)(27)加熱時,被測器件被加熱,步進選擇器轉換選擇測試每個器件。
由于本實用新型采用了熱板方式加熱,而且可以多只同時加熱,所以它具有升溫快,恒溫精確,而且溫度均勻的優點,提高了元器件的測試精度和測試效率,節約了能源,用戶使用亦極其方便。如果連續使用,在開始加熱時功率為5.4KW,只用15分鐘左右即可,而后面的加熱功率只有1.35KW。
權利要求1.一種由保溫罩和熱板等組成的高壓恒溫工作臺,其特征在于上下熱板之間夾持著若干電熱絲。
2.根據權利要求1所述的高壓恒溫工作臺,其特征在于上熱板上均布著若干安置被測器件的沉孔。
3.根據權利要求2所述的高壓恒溫工作臺,其特征在于在保溫罩上與熱板沉孔相對的位置上均布著若干觸頭。
4.根據權利要求3所述的高壓恒溫工作臺,其特征在于每個觸頭與步進選擇器的觸頭分別接觸,熱板與測試儀相連。
專利摘要本實用新型公開了一種高壓恒溫工作臺,它用于各種功率的半導體器件在多種溫度下的高溫性能測試。它由保溫罩和熱板等組成。由于本實用新型采用熱板加熱方法,即被測器件直接安置在熱板上,所以,它具有溫度均勻,升溫快,恒溫精確的優點,同時本實用新型可多只同時加熱,分別測試,所以其測試效率高,測試精度高,節約能源,用戶使用極其方便。
文檔編號G01R31/26GK2055601SQ8920582
公開日1990年4月4日 申請日期1989年7月15日 優先權日1989年7月15日
發明者劉瑞增 申請人:劉瑞增