高性能彎曲加速度計的制作方法
【專利摘要】一種加速度計包括：一個彈性基片梁，具有第一端部和第二端部且具有上表面和下表面；支承件，用于支承所述基片梁的第一端部和第二端部；傳感元件，包括結合至所述基片梁的上表面、下表面或上表面和下表面二者的壓電材料；力施加元件，用于在第一端部和第二端部之間的兩個位置施加力。所述基片梁和所述壓電材料以四點彎曲配置而運行。可選地，所述基片梁的第一端部和第二端部通過彎曲所述梁基片而形成，以減小裝置的物理尺寸。
【專利說明】高性能彎曲加速度計
【技術領域】
[0001]文中的發明涉及了高性能彎曲加速度計，更具體而言，本發明涉及了以四點彎曲配置而運行且包括作為傳感元件的壓電材料的加速度計。
【背景技術】
[0002]采用壓電材料作為傳感元件的加速度計已經被廣泛使用。在彎曲類型的加速度計中，壓電片或壓電層結合至在彎曲中變形的彈性梁或平板基片上，因此產生電輸出。
[0003]為了在加速度計中實現高靈敏度，懸臂梁被廣泛用作基片，這是由于在固定端附近的小跨度范圍上可得到大的應變。但是，由于大的應變梯度，使用較大的壓電元件沒有在該設計中提供很大優勢。此外，固定端附近大的、集中的應變可能導致已結合的易碎壓電活性材料破裂。
[0004]除了上述缺陷之外，懸臂梁的諧振頻率相當低。因此，當需要平坦的靈敏度響應時，懸臂彎曲加速度計更適合低工作頻率范圍。
[0005]基于壓電的加速度計的靈敏度根本上依賴于使用的活性材料的壓電屬性，尤其是縱向和橫向壓電電荷(或應變)系數，d33和d31。由于它們的合理的壓電屬性，很多當前的加速度計中已經廣泛使用鋯鈦酸鉛(？匕21'(|.5211(1.4803或“？21'”)陶瓷和它們的衍生物作為傳感元件?，F有技術 PZT 陶瓷具有 d33 ^ 400-600pC/N 和 d31 ^ - (150-300) pC/N。
[0006]弛豫鐵電單晶——諸如鈮鋅酸鉛-鈦酸鉛(Pb (Znl73Nb273) O3-PbTiO3或“PZN-PT”)以及鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛(Pb (Mgl73Nb273) O3-PbTiO3 或 “PMN-PT”)——表現了 優于現有技術的PZT陶瓷的壓電屬性，對于[001]極化單晶，具有d33~2000-3000pC/N和d31 ^ - (1000-1600) pC/N，且對于[011]極化單晶，d31 值高達-(3000-4000) pC/N。
[0007]盡管它們的壓電屬性優越，但是弛豫鐵電單晶沒有被廣泛用作加速度計中的傳感兀件。P.A.Wlodkowski, K.Deng, and M.Kahn, “The developmentof high-sensitivity,low—noise accelerometers utilizing single crystalpiezoelectric materials”，Sensors and Actuators A，90，(2000) 125-131.中討論了一個例外。
[0008]壓電單晶是高各向異性，且目前可得到的PZN-PT和PMN-PT單晶都有高生產成本、差的成分均勻性及屬性變化大的缺點。這些缺陷可能導致目前他們的使用受限。
[0009]發明目的
[0010]本發明的一個目的是提供以四點彎曲配置而運行且具有壓電活性材料的高性能加速度計。
[0011]本發明的另一個目的是提供了一種加速度計，其包括固定在兩個端部的彈性梁基片，并且以四點彎曲配置而運行，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件。
[0012]本發明的另一個目的是提供了一種加速度計，其包括被簡單支承在兩個端部或等效物的彈性梁基片，并且以四點彎曲配置而運行，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件。[0013]本發明的另一個目的是提供了一種加速度計，其包括帶有包括固定端部和簡單支承端部的混合的端部狀況的彈性梁基片，并且以四點彎曲配置而運行，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件。
[0014]從下面的討論中，本發明的這些目的及其他目的將會更明顯。
【發明內容】
[0015]本發明涉及一種具有一個彈性梁基片且以四點彎曲配置而運行的高靈敏度加速度計。根據本發明，固定支承或簡單支承在兩個端部，或者具有中間端部狀況的彈性梁基片優選地在距梁基片的中線等距離處受到兩個點負荷或線負荷，盡管不是必須的，這被稱作四點彎曲。壓電活性材料被結合至梁基片表面，作為傳感元件。優選地，傳感元件包括高性能的弛豫鐵電單晶。在本發明的一個實施方案中，加速度計具有彈性梁基片，所述彈性梁基片固定在兩個端部的，并以四點彎曲配置而運行，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件，具有在第一端部和第二端部之間的兩個位置上施加力的力施加元件。
[0016]在本發明的另一個實施方案中，加速度計具有一個彈性梁基片，所述彈性梁基片被簡單支承在兩端或其等效物，并以四點彎曲配置而運行，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件。
[0017]在本發明的另一個目的中，加速度計具有一個帶有支承端部(例如固定端部、簡單支承端部或二者的組合)的彈性梁基片，并使用四點彎曲配置，而且壓電活性材料結合至梁基片表面上作為傳感元件。
[0018]在本發明的另一個實施方案中，彈性梁基片的端部通過彎曲梁基片而形成為任何合適配置，以減小裝置的物理尺寸。
[0019]在本發明的加速度計的另一實施方案中，梁基片在中間跨度上載有兩個慣性質量塊。優選地，但不是必須的，所述兩個慣性質量塊被定位在距彈性梁基片的兩個端部等距的位置，或距梁基片支承件等距 的位置。
[0020]在本發明的加速度計的另一實施方案中，所述慣性質量塊具有各種設計以易于制造和組裝，包括將它們分成更小的質量塊。
[0021]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，所述梁基片可具有大于跨度的寬度，且呈現平板狀配置。
[0022]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，不同的手段和機械被用于形成彈性梁基片的所述端部狀況。
[0023]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，橫向壓電系數的絕對值超過500pC/N且具有合適的切割和尺寸的壓電單晶被用作傳感元件。
[0024]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，介電常數超過1500 ε ^ ( ε ^是真空電容率)且具有合適的切割和尺寸的單晶被用作傳感元件。
[0025]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，所述傳感器元件包括合適切割和尺寸的最佳極化的PZN-PT和/或PMN-PT固溶體單晶和/或其摻雜衍生物中的至少一個，所述單晶包括:
[0026]Pb (Zn, A1, A2, A3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,...) 2/303-xPbTi03，0.045 大于 x 大于 0.09 以及Pb (Mg, B1, B2, B3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,…)2/303-yPbTi030.26 ^ y ^ 0.33[0027]其中，
[0028]-A1, A2, A3,…包括 Mg2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一個，總量高達Zn2+的摩爾分數的三分之一；
[0029]-B1, B2, B3,…包括 Zn2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一個，總量高達Mg2+的摩爾分數的三分之一；
[0030]-C1, C2, C3,…包括Ta5+，W6+及Mo6+中的至少一個，且總量高達Nb5+的摩爾分數的四分之一。
[0031]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，所述傳感器元件包括下列成分的合適切割和尺寸的最佳極化的二元、三元或更高階元的固溶體單晶中的至少一個，其中所述成分為:Pb (Znl73Nb273)O3^Pb (Mgl73Nb273)O3^Pb (In1/2Nb1/2)03>Pb (Sc1/2Nb1/2)03>Pb (Fe1/2Nb1/2)O3> Pb (Mnl72Nbl72) O3> PbZrO3 和 PbTiO3 和其摻雜衍生物。[0032]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，合適配置和尺寸的極化的PZT陶瓷及它們的衍生物(包括摻雜的衍生物)被用作傳感元件。
[0033]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，各個傳感元件以并聯、串聯、或并聯和串聯的組合電連接，以適合各種應用需要。
[0034]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，常規和/或標準工程材料被用于彈性梁基片、慣性質量塊、端部支承結構、安裝結構、和/或殼體的制造。
[0035]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，為了增強裝置的性能和/或特殊用途，專門的、新采用的、和/或新型工程材料被用于彈性梁基片、慣性質量塊、端部支承結構、安裝結構、和/或殼體的制造。
[0036]在本發明的加速度計的另一個實施方案中，加速度計的性能，包括但不限制于它的靈敏度、諧振頻率、和/或橫向靈敏度，通過任何已知的手段或技術來增強。
[0037]在本發明的另一個實施方案中，一種多軸加速度計包括至少一個如本文所描述的加速度計。
[0038]在本發明的另一個實施方案中，一種線性運動傳感器包括至少一個本文所描述的加速度計。
[0039]在本發明的另一個實施方案中，一種多軸運動傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0040]在本發明的另一個實施方案中，一種角速率傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0041]在本發明的另一個實施方案中，一種多軸角速率傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0042]在本發明的另一個實施方案中，一種轉動運動傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0043]在本發明的另一個實施方案中，一種多軸轉動運動傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0044]在本發明的另一個實施方案中，一種線性及轉動傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0045]在本發明的另一個實施方案中，一種多軸線性及轉動傳感器包括至少一個如本文描述的加速度計。
[0046]為了全面理解本發明，現應參考如附圖所示的本發明的優選實施方案的以下詳細描述。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0047]圖1 (a)和(b)(現有技術)是以四點彎曲配置加載的彈性梁基片的示意圖。在圖1(a)中，示出了彈性梁基片具有兩個端部被固定，而在圖1 (b)中示出了彈性梁基片的兩個端部被簡單支承。
[0048]圖2 (a)和2 (b)分別是根據本發明的四點彎曲加速度計的一個實施方案的橫截面圖和斜視圖，其中彈性梁基片的端部被固定。
[0049]圖3 (a)和3 (b)分別是根據本發明的四點彎曲加速度計的另一個實施方案的橫截面圖和斜視圖，其中彈性梁的端部被簡單支承。
[0050]圖4 Ca)是本發明的四點彎曲加速度計的另一個實施方案的橫截面圖，在該實施方案中，通過緊挨著被夾緊的端部使用短的但是柔性的端部凸緣實現了在固定和簡單支承中間的一種端部狀況。圖4b示出了圖4 Ca)的一個細節。
[0051]圖5 (a)和5 (b)分別是本發明的一個實施方案的橫截面圖和斜視圖，在該實施方案中，一個彈性梁基片被以適當的方式和配置彎曲，以提供柔性的端部狀況，并減小裝置的物理尺寸。
[0052]圖6是示出了根據本發明的在一個梁上彎曲的四點的表面上的應變方向的示意圖，如圖1 (a)中示出的。
[0053]圖7是根據本發明`的四點彎曲加速度計的另一個實施方案的橫截面的示意圖，其中，例如與在圖2 (a)和圖2 (b)中說明的實施方案相比，附加的壓電傳感元件被結合至梁基片上，且描繪了導線連接。
[0054]圖8是本發明的具有多個壓電傳感元件的一個實施方案的示意性橫截面圖，與圖7中示出的實施方案相似，但是其中為了增強裝置的靈敏度，電線串聯電連接。
[0055]圖9 (a)和9 (b)是由本發明的四點彎曲加速度計構成的二維和三維加速度計的圖示，圖9 (a)示出了二維傳感布置，圖9 (b)示出了三維傳感布置。
[0056]圖10是采用了一對根據本發明的四點彎曲加速度計的角速率傳感器的圖示。
[0057]圖11是包括根據本發明的四點彎曲加速度計的二維角速率傳感器的圖示，用于感測關于X軸和Z軸的轉動。
【具體實施方式】
[0058]現參照附圖的圖1至圖11描述本發明的優選實施方案。不同的圖中的相同的元件由相同的附圖標記表示。
[0059]圖1 (a)和I (b)示出了根據現有技術的在四點彎曲狀況下的彈性基片梁；也就是說，該彈性基片梁被固定或簡單支承在兩個端部，或具有在距其中線等距處的兩個點負荷或線負荷的中間狀況。在圖1 (a)中，示出了彈性梁基片(2)的兩個端部(4)固定在固定支承件(6)，而在圖1 (b)中，示出了彈性基片(8)的兩個端部(10)由支承件(12)簡單支承。在每種情況中，在遠離中心線(14)的點處施加力或壓力(P)。[0060]通過例如機械緊固、焊接、或釬焊將彈性梁基片固定在其兩個端部且在期望的跨度上附接兩個慣性質量塊，可實現端部固定的四點彎曲加速度計。圖2 (a)和2 (b)示出了本發明的這方面，其中單件或多件壓電活性材料(18，20)在兩個負荷(30)之間的中間跨度中被結合在彈性梁基片(28)的頂部表面和底部表面(22，24)上。梁基片(28)的各個端部(34)由支承件(36)機械地夾緊。當彈性梁基片(28)運動時，壓電材料(18，20)與彈性梁基片(28)—起變形。通過用環氧樹脂或其他合適的結合劑或方法，用作傳感元件的壓電材料(18，20)被結合在頂部表面和底部表面(22，24)上。
[0061]在圖3 (a)至3 (C)的圖示中闡釋了一種簡單支承的四點彎曲加速度計，所述加速度計具有一個彈性梁基片(40)，刃形支承件(42)，慣性質量塊(44)，以及活性壓電活性材料(46，48)。彈性梁基片(40)的端部(50)各自由刃形支承件(42)夾緊，使得當被支承的端部(50 )被固定就位時，端部(50 )自由轉動。通過環氧樹脂或其他合適的結合劑或方法被結合在彈性梁基片(40 )的頂部表面和底部表面(52，54 )上的壓電活性材料(46，48 )用作傳感元件。
[0062]在圖4 (a)和4 (b)中示出了在圖2 (a)和2 (b)中闡釋的實施方案的一個變型，其中，通過在夾緊的端部(34)附近使用短的但是柔性的端部凸緣(58)，實現了端部固定和簡單支承之間的端部狀況。
[0063]在圖5 (a)和5 (b)中闡釋的本發明的實施方案是彎曲彈性梁基片(60)以實現柔性端部狀況的另一個實施例。單件或多件壓電活性材料(62，64)在兩個負荷(70)之間被結合至彈性梁基片(60 )的頂部表面和底部表面(66，68 )上。梁基片(60 )的各個端部(74 )已經以直角向下彎曲，然后以直角向后彎曲進入支承件(76)，在支承件處所述端部被機械地夾緊。該設計以及類似設計科用于有利地減小形成的裝置的物理尺寸。當彈性梁基片(60)運動時，壓電材料(62，64)與彈性梁基片(60) —起變形。通過環氧樹脂或其他合適的結合劑或方法，作為傳感兀件的壓電材料(62，64)被結合至頂部表面和底部表面(66,68)。
[0064]通過圖1中示出的向下負荷，在之前描述的兩個實例中的梁基片經歷彎曲。如圖6中示出的，在兩個負荷之間的中間跨度中沿著梁的長度的主要表面應變和在兩個外部跨度中的主要表面應變具有相反的符號，其中箭頭指示梁基片表面上的應變方向。正號(+ve)和負號(_ve)分別指示在梁的長度方向上的拉伸的和壓縮的表面應變。當表面應變在中間跨度中維持相對恒定時，對于外部跨度，它們沿著梁的長度方向改變。相反，當使用向上的負荷時，表面應變改變符號，但是它們的大小基本保持不變。
[0065]與懸臂梁相比，四點彎曲梁在兩個負荷之間的中間跨度內表現了相對高的和一致的表面應變以及因此應力也表現了相對高和一致。這使得使用更大面積的壓電活性材料而不損失靈敏度成為可能，因為大的應力梯度，這對于懸臂梁設計是不可能的。該特征——即，使用較大面積的壓電活性材料而不損失靈敏度——轉而可有利地用于提高形成的裝置的靈敏度或提高形成的裝置的電容，如下文將說明的。
[0066]當一個矩形橫向模式壓電傳感元件的電壓輸出與電極面(electrode face)的間隔(所述電極面的間隔也是傳感器的厚度)成正比時，其電容反比于電極面的間隔，但是正比于電極面的面積。對于一個給定的裝置電容，壓電活性材料的更大的面積因此允許使用更厚的活性材料，更厚的活性材料直接轉化為裝置的更高的靈敏度。
[0067]或者，對于給定的傳感器厚度，壓電材料的更大的面積轉化為更高的裝置電容，這意味著裝置的電子噪聲減少，因此提高了信噪比。
[0068]與懸臂梁相比，四點彎曲梁有更高的諧振頻率。對于端部固定的四點彎曲梁尤其如此。因此，對于相似的尺寸，當期望更高的工作頻率范圍時，四點彎曲加速度計是優選的。
[0069]當本發明的加速度計的固定端部或支承端部剛性地聯接至運動和/或振動下的結構時，由于慣性效應，慣性質量塊在對應的加載位置上施加力，導致梁在四點彎曲狀況下變形。結合至梁的頂部表面或底部表面上，或優選地結合至頂部表面以及底部表面上的壓電活性材料也經歷相同的彎曲應變，在此過程中產生電輸出。
[0070]優選地，兩個慣性質量塊被放置在距梁的固定端部或簡單支承點等距的位置，以使得梁平衡彎曲。這有助于降低加速度計的橫向靈敏度(即，在兩個非預期的正交方向上的電荷或電壓輸出)。盡管不是優選的，但在距固定端部或簡單支承的端部非等距的位置放置負荷也是可選的設計。
[0071]慣性質量塊的放置應使得合成負荷盡可能地接近線負荷，且它們的存在不會影響梁的自由振動行為。與以上的指導方針的偏差對于之前描述的加速度計按預期起作用是可能的，但是裝置的靈敏度會受到不同程度的影響。
[0072]慣性質量塊可為了易于制造和組裝而是各種不同的設計，包括將慣性質量塊分成更小的質量塊。
[0073]更優選地，梁應該足夠寬和厚，以減少扭轉和/或其他不期望的變形模式，從而幫助降低裝置的橫向靈敏度，但是梁不應過寬，以導致梁表面處的復雜的應力梯度，且梁不應過厚，以對裝置的靈敏度造成不利影響。
[0074]本發明的加速度計的預期的傳感軸線在垂直于梁的最大面的方向上。優選地，其橫向靈敏度，即在兩個非預期的正交方向上的靈敏度，小于等于(O軸上靈敏度的6%，更優選地，小于等于(O軸上(on-axis)靈敏度的3%。
[0075]圖2 (a)至圖5 (b)中的端部設計是出于示例目的。起同樣預期作用的其他端部設計也在本發明的范圍和方案內。
[0076]采用的壓電活性材料應充分順應以遵循彈性梁基片的變形。壓電活性材料還必須具有合理的或高的橫向壓電電荷和/或電壓系數，這是因為以每一給定加速單元的電荷或電壓輸出表示的加速度計的靈敏度正比于使用的活性材料的橫向壓電系數。
[0077]具有絕對值超過50pC/N的橫向壓電系數的鋯鈦酸鉛(PbZra52Tia48O3或PZT)陶瓷和衍生物(包括摻雜的衍生物)是用作本發明的加速度計的傳感材料的合適材料。
[0078]如下表I示出的，弛豫鐵電單晶PZN-PT或PMN-PT單晶具有優于PZT陶瓷的橫向壓電系數和大的彈性柔度。因此，具有高橫向壓電系數的PZN-PT和PMN-PT單晶的合適的切片或段是作為本實施方案的加速度計的傳感元件的優選材料。
[0079]與PZT陶瓷相比，PZN-PT或PMN-PT單晶具有高得多的介電常數(Κτ)。這就意味著由這種單晶制成的加速度計會有相當高的電容，更低的電噪聲，及因此更高的信噪比(s/N)。
[0080]表I
[0081]不同極化的PZN-PT和PMN-PT單晶以及PZT陶瓷的橫向壓電屬性
[0082]
【權利要求】
1.一種加速度計，包括: 一個彈性基片梁，具有第一端部和第二端部，且具有上表面和下表面； 支承件，以支承所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部； 傳感元件，包括被結合在所述基片梁的上表面、下表面、或上表面和下表面二者的壓電材料； 力施加元件，用于在所述第一端部和所述第二端部之間的兩個位置處施加力， 由此，所述基片梁和所述壓電材料以四點彎曲配置而運行。
2.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部被所述支承件固定。
3.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述基片梁的所述第一端部和所述第二端部被所述支承件簡單支承。
4.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述基片梁的第一端部和第二端部被所述支承件以在端部固定和簡單支承狀況之間的方式支承。
5.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述基片梁在兩個端部被彎曲，以減小裝置的物理尺寸。
6.根據權利要求1所述的加速度計，其中，兩個慣性質量塊橫跨所述梁基片被定位在兩個端部之間，以向所述梁基片提供負荷。
7.根據權利要求5所述的 加速度計，其中，所述慣性質量塊各自被定位在距所述基片梁的任一支承件等距的位置。
8.根據權利要求6所述的加速度計，其中，每個對應的慣性質量塊包括兩個或更多個的較小的質量塊。
9.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述基片梁具有平板狀配置，梁寬度等于或大于其跨度。
10.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述壓電材料包括橫向壓電系數的絕對值超過500pC/N的壓電單晶。
11.根據權利要求9所述的加速度計，其中，所述傳感元件包括介電常數超過1500ε O(ε O是真空電容率)的單晶。
12.根據權利要求10所述的加速度計，其中，所述傳感元件包括最佳極化的PZN-PT或PMN-PT固溶體單晶或其摻雜衍生物中的至少一個，所述單晶包括:
Pb (Zn, A1, A2, A3, — ) 1/3 (Nb, C1, C2, C3, — ) 2/303-xPbTi03, 0.045 ≤ x ≤ 0.09 以及Pb (Mg, B1, B2, B3,…)1/3(Nb, C1, C2, C3,…)2/303-yPbTi030.26 ^ y ^ 0.33 其中，
-A1, A2, A3,…包括 Mg2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一個，且總量高達 Zn2+的摩爾分數的三分之一；
-B1, B2, B3,…包括 Zn2+，Ni2+，Fe2+，Co2+，Yb2+，Sc3+ 及 In3+ 中的至少一個，且總量高達 Mg2+的摩爾分數的三分之一； -C1, C2, C3,…包括Ta5+，W6+及Mo6+中的至少一個，且總量高達Nb5+的摩爾分數的四分之
O
13.根據權利要求10所述的加速度計，其中，所述傳感元件包括下列成分的合適切割和尺寸的最佳極化的二元、三元或更高階元的固溶體單晶中的至少一個，其中所述成分為:Pb (Znl73Nb273) 03>Pb (Mg1/3Nb2/3) O3>Pb (In1/2Nb1/2) 03>Pb (Sc1/2Nb1/2) O3>Pb (Fe1/2Nb1/2) O3>Pb (Mnl72Nbl72) O3> PbZrO3 和 PbTiO30
14.根據權利要求1所述的加速度計，其中，所述傳感元件包括極化PZT陶瓷和其摻雜衍生物中的至少一個。
15.根據權利要求1所述的加速度計，其中，各個傳感元件以并聯、串聯、或并聯和串聯的組合中的至少一種電連接。
16.根據權利要求1所述的加速度計，還包括至少一個安裝結構。
17.根據權利要求1所述的加速度計，還包括一個殼體。
18.一種多軸加速度計，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
19.一種線性運動傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
20.一種多軸運動傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
21.一種角速率傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
22.—種多軸角速率傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
23.—種轉動運動傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
24.一種線性及轉動傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
25.一種多軸線性及轉`動傳感器，包括至少一個根據權利要求1所述的加速度計。
【文檔編號】G01P13/00GK103492885SQ201080071100
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2010年12月8日 優先權日:2010年12月8日
【發明者】金兢, 張偉文, 夏躍學 申請人:晶致材料科技私人有限公司
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