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高精度的間隔測量裝置制造方法
【專利摘要】一種高精度的間隔測量裝置，其特點在于：由基座、固定支架、調(diào)節(jié)桿、測量桿、2個定位螺母和2個鎖緊螺母組成，本發(fā)明具有結構簡單，操作方便，對環(huán)境的要求不高，可以實現(xiàn)高精度的測量。
【專利說明】高精度的間隔測量裝置

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及間隔測量，特別是一種高精度的間隔測量裝置，適用于精密裝配中的 兩個零部件之間的間隔測量，尤其是光刻機等光學精密儀器與設備的裝配集成。 技術背景
[0002] 精密儀器的裝配集成中，往往需要精確定位各個單元以及部件之間的距離。在線 測量時經(jīng)常會受到環(huán)境、成本等因素的約束，使得現(xiàn)有的一些常規(guī)測量工具不方便使用。如 測量位置距離零件邊緣較遠，無法使用卡尺測量；而激光跟蹤儀、三坐標測量臂等測量工具 價格昂貴。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于克服在先技術的不足，提供一種高精度的間隔測量裝置。該裝 置結構簡單，操作方便，對環(huán)境的要求不高，可以實現(xiàn)高精度的測量。
[0004] 本發(fā)明的技術解決方案如下：
[0005] -種高精度的間隔測量裝置，其特點在于：由基座、固定支架、調(diào)節(jié)桿、測量桿、2 個定位螺母和2個鎖緊螺母組成，所述的基座通過基準面設有一個與底面平行的方形通孔 和一個與底面垂直的圓形通孔，兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的 方桿，其余為螺桿，所述的測量桿下端帶有45°斜面，上端為球面；
[0006] 所述的固定支架為」形，固定在所述的基座的基準面上，所述的固定支架的圓孔 與所述的基座的方形通孔同軸，所述的調(diào)節(jié)桿的方桿裝入基座的方形通孔中，所述的螺桿 穿過固定支架上的圓孔，所述的兩個定位螺母和一個鎖緊螺母套設在固定支架與基座之間 的調(diào)節(jié)桿的螺桿上，在所述的固定支架的圓孔的另一面的螺桿上套設另一鎖緊螺母，所述 的測量桿下端插入所述的圓形通孔中，所述的測量桿下端的45°斜面與所述的調(diào)節(jié)桿的 45°斜面相接觸。
[0007] 所述的測量桿由長度可調(diào)的兩段套桿連接構成。
[0008] 所述的2個定位螺母和2個鎖緊螺母具有外圓柱面滾花。
[0009] 本發(fā)明一種高精度的間隔測量裝置的工作過程如下：
[0010] 首先，所述的高精度的間隔測量裝置安裝好后，推動調(diào)節(jié)桿的螺桿端部，使其沿著 基座方形通孔運動，斜面的作用帶動測量桿向上頂住被測工件。鎖住2個鎖緊螺母固定調(diào) 節(jié)桿的位置，然后鎖緊2個定位螺母，使其與基座貼合。松開2個鎖緊螺母，拉出調(diào)節(jié)桿，使 測量桿高度下降，方便取出高精度的間隔測量裝置。
[0011] 其次，將所述的高精度的間隔測量裝置放于測量平臺上，將調(diào)節(jié)桿重新推入基座， 使得2個定位螺母與基座再次貼合，然后鎖緊2個鎖緊螺母。此時，本發(fā)明高精度的間隔測 量裝置的位置恢復到在線測量時的位置，使用高度尺測量基座底面與測量桿球面端部之間 的間隔，得到間距值。
[0012] 與在先技術相比，本發(fā)明的有益效果是：
[0013] 本發(fā)明采用的是在線定位，線下測量的方法，可降低對環(huán)境的要求。本發(fā)明結構簡 單，體積小，操作方便。
[0014] 本發(fā)明高精度的間隔測量裝置在線定位后，通過降低測量桿高度的方式取出，可 以最大限度的保護被測工件。
[0015] 本發(fā)明采用機械靠面重復定位，精度高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為本發(fā)明高精度的間隔測量裝置的軸測圖；
[0017] 圖2為本發(fā)明高精度的間隔測量裝置一個實施例的工作狀態(tài)下的剖視圖；
[0018] 圖3為本發(fā)明高精度的間隔測量裝置中調(diào)節(jié)桿的軸測圖。
[0019] 圖中：1_基座；11-底面；12-方形通孔；13-圓形通孔；14-基準面；2-固定支架； 21-圓孔；3-調(diào)節(jié)桿；31-方桿；32-螺桿；4-測量桿；41-墊環(huán)；42-加長桿；5-定位螺母； 6-定位螺母；7-鎖緊螺母；8-鎖緊螺母;A-被測工件；B-被測工件。

【具體實施方式】
[0020] 下面結合附圖和實施例，對本發(fā)明作詳細闡述：
[0021] 請參見圖1?圖3。本發(fā)明高精度的間隔測量裝置，由基座1、固定支架2、調(diào)節(jié)桿 3、測量桿4、2個定位螺母5、6和2個鎖緊螺母7、8組成，
[0022] 所述的基座1通過基準面14設有一個與底面平行的方形通孔12和一個與長方體 的底面垂直的圓形通孔13,兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的方桿 31，其余為螺桿32,所述的測量桿4下端帶有45°斜面，上端為球面；
[0023] 所述的固定支架2為」形，固定在所述的基座1的基準面14上，所述的固定支架 2的圓孔21與所述的基座1的方形通孔12同軸，所述的調(diào)節(jié)桿3的方桿裝入基座的方形 通孔12中，所述的螺桿32穿過固定支架上的圓孔21，在所述的測量桿上安裝在所述基座 上的圓形通孔中，所述的兩個定位螺母（5、6)和一個鎖緊螺母7套設在固定支架與基座之 間的調(diào)節(jié)桿3的螺桿32上，在所述的圓形通孔21的另一面的螺桿32上套設另一鎖緊螺母 8,所述的測量桿4下端插入所述的圓形通孔13中，所述的測量桿4下端的45°斜面與所述 的調(diào)節(jié)桿的45°斜面相接觸。
[0024] 所述的測量桿4由長度可調(diào)的兩段套桿連接構成。
[0025] 所述的2個定位螺母5、6和2個鎖緊螺母7、8具有外圓柱面滾花。
[0026] 基座1是測量的基礎，設有一個與底面11平行的方形通孔12、一個與底面11垂直 的圓形通孔13,方形通孔12與圓形通孔13相互垂直。調(diào)節(jié)桿3-端為帶有45°斜面的方 桿31，另一端為螺桿32,螺桿32的螺紋為右旋螺紋。測量桿4下端帶有45°斜面，上端為 球面。所述的測量桿4可通過加裝墊環(huán)41與加長桿42來滿足被測工件不同間隔的測量需 求。
[0027] 請參見圖2,圖2為本發(fā)明高精度的間隔測量裝置在工作狀態(tài)下的剖視圖。固定支 架2固定在基座1上，調(diào)節(jié)桿3的方桿31裝入方形通孔12中，螺桿32穿過固定支架2上 的圓孔21，所述的圓形通孔13中安裝測量桿4。該測量桿4與圓形通孔13采用過渡配合， 用于提高測量精度。測量桿4下端45°斜面與調(diào)節(jié)桿3的45°斜面33接觸。定位螺母5、 定位螺母6、鎖緊螺母7安裝在固定支架2與基座1之間，鎖緊螺母8安裝在固定支架2的 另一側。定位螺母5、定位螺母6、鎖緊螺母7、鎖緊螺母8的外圓柱面滾花，方便鎖緊。
[0028] 本發(fā)明高精度的間隔測量裝置的工作過程如下：
[0029] 首先，將本發(fā)明高精度的間隔測量裝置放置于被測工件A的上表面，推動調(diào)節(jié)桿3 的螺桿32,使其沿著基座方形通孔12運動，斜面的作用帶動測量桿4向上頂住被測工件B 的下表面。依次轉動鎖緊螺母7、鎖緊螺母8以固定調(diào)節(jié)桿3的位置。依次鎖緊定位螺母 5、定位螺母6,使其與基座11中的基準面14貼合。松開鎖緊螺母7、鎖緊螺母8,拉出調(diào)節(jié) 桿3,使測量桿4間隔下降，取出本發(fā)明高精度的間隔測量裝置。
[0030] 其次，將本發(fā)明高精度的間隔測量裝置放于測量平臺上，將調(diào)節(jié)桿3重新推入基 座1，使得定位螺母5、定位螺母6與基準面14再次貼合，鎖緊鎖緊螺母7、鎖緊螺母8。此 時，本發(fā)明高精度的間隔測量裝置的位置恢復到在線測量時的位置。使用高度尺測量基座 底面11與測量桿4球面端部之間的間隔，得到間距值。
【權利要求】
1. 一種高精度的間隔測量裝置，其特征在于：由基座（1)、固定支架（2)、調(diào)節(jié)桿（3)、測 量桿⑷、2個定位螺母（5、6)和2個鎖緊螺母（7、8)組成， 所述的基座（1)通過基準面（14)設有一個與基座底面平行的方形通孔（12)和一個與 基座底面垂直的圓形通孔（13)，兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的 方桿，其余為螺桿（32)，所述的測量桿（4)下端帶有45°斜面，上端為球面； 所述的固定支架（2)為」形，固定在所述的基座（1)的基準面（14)上，所述的固定支 架⑵的圓孔（21)與所述的基座⑴的方形通孔（12)同軸，所述的調(diào)節(jié)桿⑶的方桿裝 入基座的方形通孔（12)中，所述的螺桿（32)穿過固定支架上的圓孔（21)，所述的兩個定位 螺母（5、6)和一個鎖緊螺母（7)套設在固定支架與基座之間的調(diào)節(jié)桿（3)的螺桿（32)上， 在所述的固定支架的圓孔（21)的另一面的螺桿（32)上套設另一鎖緊螺母（8)，所述的測量 桿（4)下端插入所述的圓形通孔（13)中，所述的測量桿（4)下端的45°斜面與所述的調(diào)節(jié) 桿的45°斜面相接觸。
2. 根據(jù)權利要求1所述的高精度的間隔測量裝置，其特征在于所述的測量桿⑷由長 度可調(diào)的兩段套桿連接構成。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的高精度的間隔測量裝置，其特征在于所述的2個定位螺 母（5、6)和2個鎖緊螺母（7、8)具有外圓柱面滾花。
【文檔編號】G01B5/14GK104111018SQ201410370880
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年7月31日 優(yōu)先權日:2014年7月31日
【發(fā)明者】錢珍梅 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所