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用于測(cè)試器件的方法和測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】用于測(cè)試器件的方法和測(cè)量裝置。本發(fā)明描述了一種用于測(cè)試多個(gè)電子器件的方法，其具有：將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第一組；將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第二組；針對(duì)每個(gè)第一組，測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)；針對(duì)每個(gè)第二組，測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)；以及基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
【專利說(shuō)明】用于測(cè)試器件的方法和測(cè)量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明一般地涉及用于測(cè)試器件的方法和測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]因?yàn)橹圃斓碾娮悠骷赡苁怯绣e(cuò)的或者至少可能在其特性方面變化，因此電子器件在其制造之后通常要被測(cè)試。因?yàn)闇y(cè)量的每次執(zhí)行和分析都引起成本，因此例如要求較少數(shù)量的測(cè)量和分析過(guò)程的高效測(cè)試方法是值得期待的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]按照一種實(shí)施方式提供了一種用于測(cè)試多個(gè)電子器件的方法，該方法具有:將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第一組；將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第二組；針對(duì)每個(gè)第一組，測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)；針對(duì)每個(gè)第二組，測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)；以及基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
[0004]按照另一實(shí)施方式，提供按照上述測(cè)試方法的測(cè)量裝置。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0005]圖并不再現(xiàn)實(shí)際大小比例，而是應(yīng)當(dāng)用于說(shuō)明不同實(shí)施例的原理。下面，參照后面的圖來(lái)描述不同的實(shí)施例。
[0006]圖1示出了按照實(shí)施例的測(cè)試裝置。
[0007]圖2示出了按照實(shí)施例的流程圖。
[0008]圖3示出了按照實(shí)施例的測(cè)量裝置。
[0009]圖4示出了阻抗圖。
[0010]圖5示出了作為單測(cè)量模型的電路和作為并行測(cè)量模型的電路。
[0011]圖6示出了電容圖。
[0012]圖7示出了作為單測(cè)量模型的電路和作為并行測(cè)量模型的電路。
[0013]圖8示出了電容圖和柱狀圖。
[0014]圖9示出了 DUT矩陣。
[0015]圖10示出了電容圖。
[0016]圖11示出了電容圖。
[0017]圖12示出了帶有在例子中假定的MEMS傳感器的引入電壓(Pul 1-1n-Spannungen)的DUT矩陣。
[0018]圖13圖示了有缺陷的DUT的位置的重構(gòu)。
[0019]圖14示出了柱狀圖。
[0020]圖15示出了 DUT矩陣?！揪唧w實(shí)施方式】
[0021]下面詳細(xì)的描述涉及附圖，其示出了細(xì)節(jié)和實(shí)施例。這些實(shí)施例被詳細(xì)描述，使得專業(yè)人員能夠?qū)嵤┍景l(fā)明。其他的實(shí)施方式也是可能的并且這些實(shí)施例可以在結(jié)構(gòu)、邏輯和電氣方面被改變，而不偏離本發(fā)明。不同的實(shí)施例不必是相互排斥的，而是不同的實(shí)施方式可以相互組合，使得形成新的實(shí)施方式。
[0022]圖1示出按照實(shí)施例的測(cè)試裝置100。
[0023]該測(cè)試裝置(或測(cè)量裝置)100具有測(cè)量設(shè)備101，其用于測(cè)試多個(gè)待測(cè)試的元件(下面也稱為DUT，英文“Device under Test (測(cè)試中的器件)”)102。DUT102在該例子中布置在矩陣幾何結(jié)構(gòu)103 (下面也稱為矩陣)中(或者以其他的模式布置)。DUT在下面例如是單個(gè)(電氣或電子)器件或部件。測(cè)量設(shè)備101與測(cè)量適配器104、例如針卡耦合，借助針卡DUT102可以被接觸并且測(cè)量。
[0024]DUT102可以單個(gè)地或者以共同并行方式被檢測(cè)(也就是被接觸并且測(cè)量)，其方式是DUT102在接觸時(shí)作為獨(dú)立部件被處理。在測(cè)量時(shí)，利用測(cè)量設(shè)備101檢測(cè)并且測(cè)量每個(gè)DUT (例如每個(gè)待測(cè)量的部件)。在同時(shí)接觸多個(gè)DUT102時(shí)，存在兩種可能性。在一種做法的情況下，將每個(gè)DUT102引導(dǎo)到獨(dú)立的測(cè)量設(shè)備101上并且利用大量并行的測(cè)量設(shè)備101可以同時(shí)測(cè)量相應(yīng)數(shù)量的DUT102。所需的測(cè)量設(shè)備101的數(shù)量在此相應(yīng)于并行接觸的DUT102的數(shù)量并且可以由此變得非常高成本。在另一做法的情況下，將并行接觸的DUT102經(jīng)由多路復(fù)用器引導(dǎo)到單個(gè)測(cè)量設(shè)備101上，這導(dǎo)致測(cè)量同時(shí)性的損失。
[0025]按照一種實(shí)施方式，提供了一種測(cè)試方法，其能夠?qū)崿F(xiàn)在提高每時(shí)間單元待測(cè)試器件(DUT)的數(shù)量的同時(shí)避免在復(fù)制測(cè)試設(shè)備或測(cè)量站和其測(cè)量設(shè)備時(shí)的高投資。
[0026]圖2示出了按照實(shí)施方式的流程圖200。
[0027]流程圖200說(shuō)明了用于(在預(yù)先給定的例如電特性方面)測(cè)試多個(gè)電子器件的方法。
[0028]在201中將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第一組。
[0029]在202中將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第二組。
[0030]在203中，針對(duì)每個(gè)第一組，測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)。
[0031]在204中，針對(duì)每個(gè)第二組，測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)(例如同一電參數(shù)或不同的電參數(shù))。
[0032]在205中，基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
[0033]換句話說(shuō)，針對(duì)多個(gè)器件(也即DUT)執(zhí)行多個(gè)并行測(cè)試，其中并行測(cè)試針對(duì)器件的不同組劃分來(lái)執(zhí)行，使得通過(guò)結(jié)果組合可以作出關(guān)于單個(gè)器件的陳述。例如執(zhí)行矩陣測(cè)試、也即(至少虛擬地)布置成矩陣的器件的測(cè)試，其方式是，執(zhí)行處于同一行中的器件的并行測(cè)量和處于同一列中的器件的并行測(cè)量并且通過(guò)測(cè)量結(jié)果的組合來(lái)識(shí)別帶有確定特性的單個(gè)器件(例如有缺陷的器件)。
[0034]分成第一組和分成第二組可以隱含地在測(cè)量時(shí)通過(guò)相應(yīng)地互連器件或者相應(yīng)地控制測(cè)量設(shè)備或測(cè)量裝置來(lái)進(jìn)行。
[0035]例如，同時(shí)測(cè)量多個(gè)經(jīng)處理的器件(DUT)以便識(shí)別由于潛在制造缺陷導(dǎo)致的不完善的功能。在此，針對(duì)電子技術(shù)特征參量的定義的疊加布置DUT，目的是同時(shí)在測(cè)量技術(shù)上檢測(cè)這些DUT的相應(yīng)測(cè)試參數(shù)。此外，接著例如進(jìn)行在規(guī)范之外的測(cè)量值與因此不完善的DUT的所需關(guān)聯(lián)的測(cè)試參數(shù)的相關(guān)。特別是針對(duì)必須100%被測(cè)試并且其處理從技術(shù)上來(lái)看具有高穩(wěn)定性并且因此具有較少功能性過(guò)程錯(cuò)誤可能性的產(chǎn)品來(lái)說(shuō)，該做法能夠?qū)崿F(xiàn)高的成本節(jié)省。
[0036]例如確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性包括:針對(duì)每個(gè)第一組，基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果確定第一組是否包含具有預(yù)先給定的特性的器件，并且，如果第一組包含帶有預(yù)先給定特性的器件，則基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)識(shí)別帶有預(yù)先給定特性的第一組的器件。
[0037]基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)識(shí)別帶有預(yù)先給定特性的第一組的器件例如具有:針對(duì)每個(gè)第二組，基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果確定第二組是否包含具有預(yù)先給定的特性的器件，以及將第一組的該器件識(shí)別為被包含在第二組中的器件，其中對(duì)于所述第二組已經(jīng)確定了其包含帶有預(yù)先給定特性的器件。
[0038]這些器件例如完全被分成第一組和完全分成第二組，也即每個(gè)器件被分配給第一
組之一和第二組之一。
[0039]按照一種實(shí)施方式，每個(gè)第一組與每個(gè)第二組不同。
[0040]例如，每個(gè)第一組與每個(gè)第二組共同地具有最多一個(gè)器件，例如正好一個(gè)器件。
[0041]這些器件例如相應(yīng)于矩陣地布置(例如在晶片上)并且第一組相應(yīng)于矩陣的行，并且第二組相應(yīng)于矩陣的列。但是這不需要是完整的矩形矩陣。這些器件也可以按照其他方式布置成行和列，例如使得得到圓形(例如在圓形晶片的情況下)。
[0042]所述互連例如是并聯(lián)或串聯(lián)。
[0043]按照一種實(shí)施方式，該方法具有:針對(duì)每個(gè)第一組，根據(jù)電參量測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)的變化曲線；針對(duì)每個(gè)第二組，根據(jù)電參量測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)的變化曲線；以及基于針對(duì)第一組的電參數(shù)變化曲線的測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)的變化曲線的測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
[0044]按照一種實(shí)施方式，確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性包括:確定測(cè)試參數(shù)值和將該測(cè)試參數(shù)值關(guān)聯(lián)至器件。
[0045]當(dāng)關(guān)聯(lián)至器件的測(cè)試參數(shù)值處于預(yù)先給定的范圍中時(shí)，該器件例如具有預(yù)先給定的特性。
[0046]針對(duì)第一組測(cè)量的電參數(shù)和針對(duì)第二組測(cè)量的電參數(shù)例如是相同的電參數(shù)。
[0047]針對(duì)第一組測(cè)量的電參數(shù)或者針對(duì)第二組測(cè)量的電參數(shù)或者兩者例如是所述互連的電阻、所述互連的電容、所述互連的電感、所述互連的電抗、所述互連的相移或所述互連的頻移。
[0048]測(cè)試參數(shù)值例如是引入電壓、門限電壓或諧振頻率的值。
[0049]預(yù)先給定的特性例如是:器件滿足預(yù)先給定的功能規(guī)范(例如其是功能正常的)。
[0050]該方法例如還可以具有:將多個(gè)電子器件分成多個(gè)另外的組，針對(duì)每個(gè)另外的組測(cè)量另外的組的器件的互連的電參數(shù)，以及基于針對(duì)第一組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果、基于針對(duì)第二組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果以及基于針對(duì)另外的組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。[0051]例如，當(dāng)確認(rèn)了基于針對(duì)第一組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果、基于針對(duì)第二組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果不能單義地確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性時(shí)，執(zhí)行至另外的組的劃分并且測(cè)量另外的組的互連的電參數(shù)(以及相應(yīng)地基于此的確定)。如果為了單義確定所需，還可以執(zhí)行進(jìn)一步的劃分和相應(yīng)的測(cè)量。
[0052]在圖2中所示的方法例如由測(cè)試裝置執(zhí)行，如其在圖3中所示。
[0053]圖3示出了按照實(shí)施例的測(cè)量裝置300。
[0054]測(cè)量裝置300具有多個(gè)待測(cè)量的電子器件301。
[0055]測(cè)量裝置300還具有測(cè)量設(shè)備302，其被設(shè)立用于:針對(duì)按照將多個(gè)電子器件至多個(gè)第一組的劃分的每個(gè)第一組測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)，以及針對(duì)按照將多個(gè)電子器件至多個(gè)第二組的劃分的每個(gè)第二組測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)。
[0056]此外，測(cè)量裝置300具有處理設(shè)備303，其被設(shè)立用于:基于針對(duì)第一組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果以及基于針對(duì)第二組的電參數(shù)的測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
[0057]測(cè)量裝置300的組件、例如測(cè)量設(shè)備302和處理設(shè)備303可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)電路來(lái)實(shí)施。
[0058]在一種實(shí)施方式中，“電路”理解為如下單元:其實(shí)現(xiàn)邏輯并且可以是軟件、硬件、固件或其組合。因此，“電路”在一種實(shí)施方式中可以是硬接線的邏輯電路或可編程邏輯電路，例如可編程的處理器、例如微處理器?！半娐贰币部梢岳斫鉃閷?shí)施軟件一例如任何類型的計(jì)算機(jī)程序、例如以編程代碼形式的計(jì)算機(jī)程序一的處理器。在一種實(shí)施方式中，“電路”可以理解為在后面描述的功能的任何類型的實(shí)現(xiàn)。
[0059]結(jié)合圖2中所示方法所述的實(shí)施方式類似地適于測(cè)量裝置300并且反過(guò)來(lái)也適用。
[0060]下面，以電容MEMS傳感器(MEMS傳感器)作為DUT102為例闡述在圖2中所示的方法。
[0061 ] 對(duì)于微電子-機(jī)械器件如MEMS傳感器作為DUT102的純電子技術(shù)檢驗(yàn)，由于DUT102的機(jī)械組件而允許采用比將其用于純電子技術(shù)器件更為苛刻的技術(shù)。作為主要參數(shù)，DUT102對(duì)待感測(cè)的物理外部參量的敏感度是重要的，因?yàn)槠渲苯优c器件稍后的功能相關(guān)。為了這種檢驗(yàn)，DUT102利用物理參量理想地在不同工作點(diǎn)被激勵(lì)，該DUT102通常讀出電輸出信號(hào)并且由此確定結(jié)果得到的敏感度。為了在批量生產(chǎn)中的測(cè)試，雖然可以考慮這種方法，但是這種方法非常費(fèi)事并且花費(fèi)時(shí)間，使得存在對(duì)于基于純電的變型方案的期望。視傳感器類型而定地，在電容MEMS中可以滿足該期望，因?yàn)橛捎趶膫鞲衅鞯臋C(jī)械范疇至電技術(shù)范疇的電容耦合而通常存在利用雙向效應(yīng)的可能性。存在借助施加的靜電場(chǎng)來(lái)理想地值得一提地將機(jī)械元件偏轉(zhuǎn)并且由此又改變傳感器本身的電容的可能性。結(jié)果是傳感器典型的特性曲線，也即取決于所施加電壓的部件電容，該部件電容提供了關(guān)于范疇耦合的元件的靈敏度的直接推斷。
[0062]為了防止在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的過(guò)程波動(dòng)對(duì)在希望工作點(diǎn)中的部件的可能的影響，部件設(shè)計(jì)可以被設(shè)計(jì)為使得要探測(cè)的MEMS傳感器參數(shù)不被或者僅僅最小地被改變?，F(xiàn)在為了實(shí)現(xiàn)測(cè)試參數(shù)對(duì)可能的過(guò)程波動(dòng)或甚至部件缺陷的提高的靈敏度，在該情況下該部件可以以大信號(hào)被測(cè)試并且結(jié)果得到的非線性效應(yīng)可以以對(duì)過(guò)程品質(zhì)和因此對(duì)部件品質(zhì)高的敏感度被檢測(cè)。在待測(cè)試電壓(引入電壓)的情況下，所述效應(yīng)相應(yīng)于電容跳變(引入效應(yīng))。詳細(xì)的敏感度分析取決于相應(yīng)技術(shù)所使用的過(guò)程步驟和由此結(jié)果得到的可能的波動(dòng)，并且因此例如特定地研究特定部件的相應(yīng)結(jié)果得到的錯(cuò)誤圖。
[0063]在下面的例子中，以電容MEMS傳感器作為DUT為例，僅僅假定了犧牲層的高度以及由此結(jié)果得到的電容耦合電極的距離作為過(guò)程波動(dòng)以及由此作為變化的引入電壓的原因。其他可能的變化的部件參數(shù)一例如機(jī)械元件的變化的固有張力或其幾何尺寸的可能的漂移——假定為固定的。針對(duì)具體應(yīng)用，可以研究其對(duì)測(cè)量參數(shù)的影響。為了確定該過(guò)程波動(dòng)例如關(guān)于MEMS元件的機(jī)械諧振頻率而附加地需要的測(cè)試參數(shù)于是可以必要時(shí)同樣類似于在后面描述的方法地被執(zhí)行。
[0064]在后面首先引入用于檢測(cè)MEMS傳感器的電容傳感器特征曲線和大信號(hào)非穩(wěn)定性的測(cè)量方法。具體地，闡述測(cè)量設(shè)備參數(shù)和例如所應(yīng)用的補(bǔ)償方法，其例如由于待測(cè)復(fù)阻抗較少而被使用。
[0065]補(bǔ)償能夠?qū)崿F(xiàn)利用不同測(cè)量適配器104產(chǎn)生的測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)一并且能夠?qū)崿F(xiàn)并行測(cè)量而無(wú)需高成本的硬件結(jié)構(gòu)。
[0066]為了如下面闡述地對(duì)多個(gè)部件102的阻抗測(cè)量進(jìn)行并行化，可以使用針對(duì)單個(gè)部件102的每種測(cè)量方法，只要能夠在并行運(yùn)行時(shí)充分地實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)范圍和針對(duì)提高的測(cè)量值的測(cè)量分辨率。
[0067]部件的復(fù)阻抗按照下式由復(fù)數(shù)部分X和實(shí)數(shù)部分R之和得到:
【權(quán)利要求】
1.一種用于測(cè)試多個(gè)電子器件的方法，具有: 將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第一組； 將多個(gè)電子器件分成多個(gè)第二組； 針對(duì)每個(gè)第一組，測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)； 針對(duì)每個(gè)第二組，測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)；以及 基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中確定所述多個(gè)電子器件中哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性包括: 針對(duì)每個(gè)第一組，基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果確定第一組是否包含具有預(yù)先給定的特性的器件，并且，如果第一組包含帶有預(yù)先給定特性的器件，則基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)識(shí)別帶有預(yù)先給定特性的第一組的器件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)識(shí)別帶有預(yù)先給定特性的第一組的器件具有: 針對(duì)每個(gè)第二組，基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果確定第二組是否包含具有預(yù)先給定的特性的器件，以及 將第一組的該器件識(shí)別為被包含在第二組中的器件，對(duì)于該第二組已經(jīng)確定了其包含帶有預(yù)先給定特性的器件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的方法，其中這些器件完全被分到第一組中和完全被分到第二組中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的方法，其中每個(gè)第一組與每個(gè)第二組不同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的方法，其中每個(gè)第一組與每個(gè)第二組共同地具有最多一個(gè)器件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的方法，其中每個(gè)第一組與每個(gè)第二組具有恰好一個(gè)器件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的方法，其中這些器件相應(yīng)于矩陣地布置，并且第一組相應(yīng)于矩陣的行并且第二組相應(yīng)于矩陣的列。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的方法，其中所述互連是并聯(lián)或串聯(lián)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9之一所述的方法，具有: 針對(duì)每個(gè)第一組，根據(jù)電參量測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)的變化曲線； 針對(duì)每個(gè)第二組，根據(jù)電參量測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)的變化曲線；以及基于針對(duì)第一組的電參數(shù)的變化曲線的測(cè)量結(jié)果并且基于針對(duì)第二組的電參數(shù)的變化曲線的測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10之一所述的方法，其中確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性包括: 確定測(cè)試參數(shù)值； 和將所述測(cè)試參數(shù)值關(guān)聯(lián)至器件。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中當(dāng)關(guān)聯(lián)至器件的測(cè)試參數(shù)值處于預(yù)先給定的范圍內(nèi)時(shí)，該器件具有預(yù)先給定的特性。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12之一所述的方法，其中針對(duì)第一組測(cè)量的電參數(shù)和針對(duì)第二組測(cè)量的電參數(shù)是相同的電參數(shù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13之一所述的方法，其中針對(duì)第一組測(cè)量的電參數(shù)或者針對(duì)第二組測(cè)量的電參數(shù)或者兩者是互連的電阻、互連的電容、互連的電感、互連的電抗、互連的相移或互連的頻移、互連的輸出電壓、互連的輸出電流、互連的功率。
15.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中測(cè)試參數(shù)值是引入電壓、門限電壓或諧振頻率的值。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15之一所述的方法，其中所述預(yù)先給定的特性是:器件滿足預(yù)先給定的功能規(guī)范。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至16之一所述的方法，還具有: 將多個(gè)電子器件分成多個(gè)另外的組； 針對(duì)每個(gè)另外的組測(cè)量另外的組的器件的互連的電參數(shù)； 以及 基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果、基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果以及基于針對(duì)另外的組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
18.測(cè)量裝置，具有 多個(gè)待測(cè)量的電子器件， 測(cè)量設(shè)備，其被設(shè)立用于:針對(duì)按照將多個(gè)電子器件至多個(gè)第一組的劃分的每個(gè)第一組測(cè)量第一組的器件的互連的電參數(shù)；以及針對(duì)按照將多個(gè)電子器件至多個(gè)第二組的劃分的每個(gè)第二組測(cè)量第二組的器件的互連的電參數(shù)， 處理設(shè)備，其被設(shè)立用于:基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果以及基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的測(cè)量裝置，其中所述測(cè)量設(shè)備還被設(shè)立用于:針對(duì)按照將多個(gè)電子器件至多個(gè)另外的組的劃分的每個(gè)另外的組測(cè)量另外的組的器件的互連的電參數(shù)；以及 其中所述處理設(shè)備被設(shè)立用于:基于針對(duì)第一組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果、基于針對(duì)第二組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果以及基于針對(duì)另外的組的電參數(shù)測(cè)量結(jié)果來(lái)確定多個(gè)電子器件中的哪些電子器件具有預(yù)先給定的特性。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK104035015SQ201410078355
【公開(kāi)日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月5日
【發(fā)明者】F.芬克, A.克爾平, H.庫(kù)恩, F.厄斯特勒 申請(qǐng)人:英飛凌科技股份有限公司