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一種可以加工ф60以內(nèi)絕對等厚平面的加工工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種可以加工Ф60以內(nèi)絕對等厚平面的加工工藝，準備6件60mm×60mm的方形玻璃鏡片光膠成盤，兩面磨砂拋光，用平面干涉儀檢測，加工到條紋在1個圈以內(nèi)；反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上；重新下盤，將1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Ф20的平片，兩合成片分離后，兩件完全達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片；對剩余5件60mm×60mm的方片進行加工得到絕對等厚的平片。本發(fā)明把兩件或多件平面鏡片加工到絕對等厚，保證Mirau白光干涉顯微鏡及測量系統(tǒng)成功。
【專利說明】—種可以加工Φ60以內(nèi)絕對等厚平面的加工工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鏡片加工領(lǐng)域，具體涉及一種可以加工Φ60以內(nèi)絕對等厚平面的加工工藝。

【背景技術(shù)】
[0002]米絡(luò)干涉儀需要兩片絕對等厚的平片作為主鏡頭，但是目前市場上根本就無法加工出兩片絕對等厚的平片，現(xiàn)有的技術(shù)所加工出的平片在平面干涉儀上可以看到條紋，但如果絕對等厚是看不到條紋的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:發(fā)明的目的是提供一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，來滿足高精度精密儀器所需要到達的功能。
[0004]技術(shù)方案:為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案實現(xiàn):一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，包括以下步驟:
1)準備6件60mmX60mm的方形玻璃片光膠成盤,進行兩面磨砂拋光,并用平面干涉儀檢測，盡量加工到條紋在I個圈以內(nèi)；
2)反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上；
3)重新下盤,將I件60mmX60mm的方片等份切割成4件30mmX30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Φ20的平片，兩合成片分離后，兩件完全可以達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片；
4)重復步驟3)的方法對剩余5件60mmX60mm的方片進行加工得到絕對等厚的平片。
[0005]所述步驟I)磨砂拋光后的粗糙度為302砂，中心厚度差為0.01mm。
[0006]所述步驟2)精拋光后的粗糙度為為1.6mm,中心厚度誤差為0.005mm。
[0007]所述步驟3)滾圓后的粗糙度為3.2mm，加工后玻璃鏡片中心厚度差0.03mm。
[0008]所述平片厚度為20_70mm。
[0009]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點如下:本發(fā)明可以把兩件或多件平面鏡片加工到絕對等厚，并保證Mirau白光干涉顯微鏡及測量系統(tǒng)的成功。為了實現(xiàn)兩片光學平鏡完全等厚，來滿足高精度精密儀器所需要到達的功能，該發(fā)明已經(jīng)通過儀器制造商的充分認可，該MIAU白光干涉顯微鏡干涉儀也已申請并通過發(fā)明專利其專利號為ZL2012.2.0363110.0。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1 6件60mmX 60mm的方片光膠成盤圖。

【具體實施方式】
[0011 ] 下述非限制性實施例可以使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員更全面地理解本發(fā)明，但不以任何方式限制本發(fā)明。
[0012]實施例1
一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，包括以下步驟:
I)準備6件60mmX60mm的方形玻璃片光膠成盤,進行兩面磨砂拋光,并用平面干涉儀檢測，盡量加工到條紋在I個圈以內(nèi)；磨砂拋光后的粗糙度為302，中心厚度差為0.01mm。
[0013]2)反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上；精拋光后的粗糙度為為1.6mm,中心厚度誤差為0.005mm。
[0014]3)重新下盤,將I件60mmX 60mm的方片等份切割成4件30mmX 30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Φ20的平片，兩合成片分離后，兩件完全可以達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片；滾圓后的粗糙度為3.2mm，加工后玻璃鏡片中心厚度差0.03mmo
[0015]4)重復步驟3)的方法對剩余5件60mmX60mm的方片進行加工，得到絕對等厚的平片，所述平片厚度為20mm。
[0016]5)檢驗:6件Φ20平片的平行度差為O。
[0017]實施例2
一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，包括以下步驟:
I)準備6件60mmX60mm的方形玻璃片光膠成盤,進行兩面磨砂拋光,并用平面干涉儀檢測，盡量加工到條紋在I個圈以內(nèi)；磨砂拋光后的粗糙度為302，中心厚度差為0.01mm。
[0018]2)反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上；精拋光后的粗糙度為為1.6mm,中心厚度誤差為0.005mm。
[0019]3)重新下盤,將I件60mmX 60mm的方片等份切割成4件30mmX 30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Φ20的平片，兩合成片分離后，兩件完全可以達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片；滾圓后的粗糙度為3.2mm，加工后玻璃鏡片中心厚度差0.03mmo
[0020]4)重復步驟3)的方法對剩余5件60mmX60mm的方片進行加工，得到絕對等厚的平片，所述平片厚度為70mm。
[0021]5)檢驗:6件Φ20平片的平行度差為O。
[0022]實施例3
一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，包括以下步驟:
I)準備6件60mmX60mm的方形玻璃片光膠成盤,進行兩面磨砂拋光,并用平面干涉儀檢測，盡量加工到條紋在I個圈以內(nèi)；磨砂拋光后的粗糙度為302，中心厚度差為0.01mm。
[0023]2)反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上；精拋光后的粗糙度為為1.6mm,中心厚度誤差為0.005mm。
[0024]3)重新下盤,將I件60mmX 60mm的方片等份切割成4件30mmX 30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Φ20的平片，兩合成片分離后，兩件完全可以達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片；滾圓后的粗糙度為3.2mm，加工后玻璃鏡片中心厚度差0.03mmo
[0025]4)重復步驟3)的方法對剩余5件60mmX60mm的方片進行加工，得到絕對等厚的平片，所述平片厚度為45mm。
[0026]5)檢驗:6件Φ20平片的平行度差為O。
【權(quán)利要求】
1.一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，其特征在于，包括以下步驟: 1)準備6件60mmX 60mm的方形玻璃鏡片光膠成盤，進行兩面磨砂，然后粗拋拋光，并用平面干涉儀檢測，盡量加工到條紋在I個圈以內(nèi)； 2)反復調(diào)整排列順序上盤，打亂順序后先拋到最高點，再次光膠上盤，直接精拋光，這樣反復3次以上； 3)重新下盤,將I件60mmX60mm的方片等份切割成4件30mmX30mm的方片，并把相鄰兩件膠合成一件，進行滾圓，加工成Φ20的平片，兩合成片分離后，兩件完全可以達到?jīng)]有條紋，即得到絕對等厚的平片； 4)重復步驟3)的方法對剩余5件60mmX60mm的方片進行加工得到絕對等厚的平片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，其特征在于，所述步驟I)磨砂拋光后的粗糙度為302砂，中心厚度差為0.01mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，其特征在于，所述步驟2)精拋光后的粗糙度為1.6mm,中心厚度誤差為0.005mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，其特征在于，所述步驟3)滾圓后的粗糙度為3.2mm，加工后玻璃鏡片中心厚度差0.03mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加工Φ20絕對等厚平片的加工工藝，其特征在于，所述平片厚度為20-70mm。
【文檔編號】G01B11/06GK104236470SQ201410507794
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年9月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月28日
【發(fā)明者】劉勇, 劉燕妮 申請人:江蘇普世祥光電技術(shù)有限公司