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基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器的制造方法

時(shí)間:2023-06-15    作者: 管理員

基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器的制造方法
【專利摘要】基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器屬于精密儀器制造及測(cè)量技術(shù);該傳感器包括激光器、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、光纖耦合透鏡、導(dǎo)管、顯微物鏡b、CCD相機(jī)b、顯微物鏡a、CCD相機(jī)a、計(jì)算機(jī)和由入射光纖、耦合器、出射光纖a、出射光纖b組成的探針,耦合器作為探針的觸點(diǎn),光束經(jīng)入射光纖導(dǎo)入耦合器后分別由出射光纖a和出射光纖b導(dǎo)出,導(dǎo)出光束分別經(jīng)顯微物鏡a、顯微物鏡b進(jìn)入CCD相機(jī)a、CCD相機(jī)b,通過圖像處理技術(shù)即可得到兩束出射光束分別在CCD上形成的光斑能量中心位置,由CCD相機(jī)上光斑能量中心位置與傳感器觸測(cè)點(diǎn)在空間位置的一一對(duì)應(yīng)關(guān)系即可得出傳感器在空間的瞄準(zhǔn)情況;本傳感器可測(cè)深徑比大,具有三維探測(cè)能力。
【專利說明】基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于精密儀器制造及測(cè)量技術(shù),特別涉及一種基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著航空航天工業(yè)、汽車工業(yè)、電子工業(yè)以及尖端工業(yè)等的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小構(gòu)件的需求急劇增長(zhǎng)。由于受到空間尺度和待測(cè)微小構(gòu)件遮蔽效應(yīng)的限制以及測(cè)量接觸力的影響,微小構(gòu)件尺寸的精密測(cè)量變得難以實(shí)現(xiàn),尤其是微小內(nèi)腔構(gòu)件的測(cè)量深度難以提高,這些已然成為制約行業(yè)發(fā)展的“瓶頸”。為了實(shí)現(xiàn)更小的尺寸測(cè)量、增加測(cè)量深度,最廣泛使用的辦法就是使用細(xì)長(zhǎng)的探針深入微小構(gòu)件的內(nèi)腔進(jìn)行探測(cè),通過瞄準(zhǔn)發(fā)訊的方式測(cè)量不同深度上的微小內(nèi)尺寸。因此,目前微小構(gòu)件尺寸的精密測(cè)量主要以坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)合具有纖細(xì)探針的瞄準(zhǔn)發(fā)訊式探測(cè)系統(tǒng)為主,由于,坐標(biāo)測(cè)量機(jī)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)比較成熟,可以提供精密的三維空間運(yùn)動(dòng),因此瞄準(zhǔn)觸發(fā)式探針的探測(cè)方式成為微小構(gòu)件尺寸探測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。
[0003]目前,微小構(gòu)件尺寸測(cè)量的主要手段包括以下幾種方法:
[0004]1.德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院的H.Schwenke教授等人提出了一種微光珠散射成像法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)探針測(cè)頭位置信息的二維檢測(cè)。該方法利用單光纖作為探針測(cè)桿,把微光珠粘接或者焊接到測(cè)桿末端,使光線耦合進(jìn)入光纖內(nèi)部傳播到微光珠上形成散射,用一個(gè)面陣CCD接收散射光形成敏感信號(hào),實(shí)現(xiàn)了微力接觸式測(cè)量。后來H.Schwenke教授等人拓展了這種方法,在測(cè)桿上粘接了一個(gè)微光珠,同時(shí)增加了一路對(duì)該微光珠的成像光路,這使得該探測(cè)系統(tǒng)具有了三維探測(cè)能力,測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)球時(shí)得到的標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.2 μ m。據(jù)相關(guān)報(bào)道,此方法可實(shí)現(xiàn)測(cè)量Φ 151 μ m的孔徑,測(cè)量深度為1mm。這種方法在測(cè)量深孔過程中,由于微光珠散射角度較大,隨著測(cè)量深度的增加,微光珠散射成像光斑的質(zhì)量由于散射光線受到孔壁遮擋而逐漸降低,導(dǎo)致成像模糊,降低了測(cè)量精度,因此無法實(shí)現(xiàn)大深徑比的高精度測(cè)量。
[0005]2.中國(guó)哈爾濱工業(yè)大學(xué)譚久彬教授和崔繼文博士等人提出一種基于雙光纖耦合的探針結(jié)構(gòu),把兩根光纖通過末端熔接球連接,熔接球作為測(cè)頭,一根較長(zhǎng)光纖引入光線,另外一根較短導(dǎo)出光線,克服了微光珠散射法測(cè)量深度的局限,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直徑不小于
0.01mm、深徑比不大于50: I的微深孔測(cè)量時(shí)的精確瞄準(zhǔn)。這種方法目前僅能實(shí)現(xiàn)二維位置信息的檢測(cè),不具備三維探測(cè)能力。
[0006]3.美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院使用了單光纖測(cè)桿結(jié)合微光珠測(cè)頭的探針,通過光學(xué)設(shè)計(jì)在二維方向上將光纖測(cè)桿成像放大35倍左右,用2個(gè)面陣CCD分辨接收二維方向上光纖測(cè)桿所成的像,然后對(duì)接收到的圖像進(jìn)行輪廓檢測(cè),從而監(jiān)測(cè)光纖測(cè)桿的在測(cè)量過程中的微小移動(dòng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)觸發(fā)式測(cè)量,該探測(cè)系統(tǒng)的理論分辨力可以達(dá)到4nm,探測(cè)系統(tǒng)的探針測(cè)頭直徑為Φ75μπι,實(shí)驗(yàn)中測(cè)量了 Φ129μπι的孔徑,其擴(kuò)展不確定度估算值達(dá)到了70nm(k=2),測(cè)量力為μ N量級(jí)。這種方法探測(cè)分辨力高,測(cè)量精度高,使用的測(cè)頭易于小型化,可以測(cè)量較大深徑比的微孔。該方法的局限是成像單元對(duì)光纖測(cè)桿的微位移放大倍數(shù)較低(僅有35倍),必須通過圖像算法進(jìn)一步提高分辨力,探測(cè)光纖測(cè)桿的二維微位移必須使用兩套成像系統(tǒng),導(dǎo)致系統(tǒng)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算量比較大,這些因素導(dǎo)致探測(cè)系統(tǒng)的分辨力難以進(jìn)一步提高,探測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性較差,系統(tǒng)構(gòu)成比較復(fù)雜;且該方法目前僅具有二維探測(cè)能力。
[0007]4.中國(guó)哈爾濱工業(yè)大學(xué)譚久彬教授和王飛等人提出了一種基于單光纖探針測(cè)桿的一維微焦準(zhǔn)直的測(cè)量方法,該方法利用單光纖探針測(cè)桿的超大曲率與微柱面透鏡的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)組建了點(diǎn)光源一維微焦準(zhǔn)直成像光路,通過測(cè)量成像亮條紋的能量中心的位置與條紋寬度,從而獲得光纖探針測(cè)桿的二維位移量信息,若對(duì)該裝置如下配置:光纖探針測(cè)桿半徑為10 μ m,其折射率η=1.7,像距r=300mm,光電接收器像元尺寸為7 μ m,利用圖像算法能夠分辨0.1個(gè)像元的變化,其理論分辨力可達(dá)0.03nm。該方法所成像亮條紋的條紋寬度不易測(cè)量,同時(shí)在二維位移測(cè)量時(shí),存在成像信息中的耦合問題,即成像亮條紋的能量中心的位置與條紋寬度的耦合問題。隨后,崔繼文等人又提出一種基于正交二維微焦準(zhǔn)直的微孔測(cè)量方法,該方法解決了二維信息耦合的問題,但是該方法只能實(shí)現(xiàn)二維微尺度測(cè)量,不具備三維測(cè)量能力。
[0008]5.瑞士聯(lián)合計(jì)量辦公室研發(fā)了一個(gè)新型的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)致力于小結(jié)構(gòu)件納米精度的可追跡的測(cè)量。該測(cè)量機(jī)采用了基于并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)原理的彎曲鉸鏈結(jié)構(gòu)的新型接觸式探針,該設(shè)計(jì)可以減小移動(dòng)質(zhì)量并且確保全方向的低硬度,是一個(gè)具有三維空間結(jié)構(gòu)探測(cè)能力的探針。這一傳感結(jié)構(gòu)的測(cè)量力低于0.5mN,同時(shí)支持可更換的探針,探針測(cè)頭的直徑最小到ΦΙΟΟμπι。探測(cè)系統(tǒng)結(jié)合了一個(gè)由Philips CFT開發(fā)的高位置精度的平臺(tái),平臺(tái)的位置精度為20nm。該測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性的標(biāo)準(zhǔn)偏差達(dá)到5nm,測(cè)量結(jié)果的不確定度為50nm。該種方法結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜,同時(shí)要求測(cè)桿具有較高的剛度和硬度,否則難以實(shí)現(xiàn)有效的位移傳感,這使得測(cè)桿結(jié)構(gòu)難以進(jìn)一步小型化,測(cè)量深徑比同時(shí)受到制約,探測(cè)系統(tǒng)的分辨力難以進(jìn)一步提聞。
[0009]綜上所述,目前微小尺寸和坐標(biāo)探測(cè)方法中,由于光纖制作的探針具有探針尺寸小、測(cè)量接觸力小、測(cè)量深徑比大、測(cè)量精度高的特點(diǎn)而獲得了廣泛關(guān)注,利用其特有的光學(xué)特性和機(jī)械特性通過多種方式實(shí)現(xiàn)了一定深度上的微小尺寸的精密測(cè)量?,F(xiàn)存測(cè)量手段主要存在的問題有:
[0010]1.探測(cè)系統(tǒng)的測(cè)量深度受限。德國(guó)PTB的微光珠散射成像法受遮蔽效應(yīng)的影響,難以實(shí)現(xiàn)測(cè)量深度的提升,同時(shí)降低了系統(tǒng)探測(cè)精度。
[0011]2.探測(cè)系統(tǒng)的位移分辨力難以進(jìn)一步提高?,F(xiàn)存的探測(cè)系統(tǒng)的初級(jí)放大率較低,導(dǎo)致了其整體放大率較低,難以實(shí)現(xiàn)其位移分辨力的進(jìn)一步提高。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院采用的探測(cè)方法的光學(xué)測(cè)桿的光學(xué)光路放大倍率僅有35倍,較低的初級(jí)放大倍率導(dǎo)致了其位移分辨力難以進(jìn)一步提高。
[0012]3.探測(cè)系統(tǒng)實(shí)時(shí)性差,難以實(shí)現(xiàn)精密的在線測(cè)量。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院采用的探測(cè)方法必須使用兩路面陣CCD接收信號(hào)圖像,必須使用較復(fù)雜的圖像算法才能實(shí)現(xiàn)對(duì)光纖測(cè)桿位移的高分辨力監(jiān)測(cè),這導(dǎo)致測(cè)量系統(tǒng)需要處理的數(shù)據(jù)量大大增加,降低了探測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)性能,難以實(shí)現(xiàn)微小內(nèi)腔尺寸和二維坐標(biāo)測(cè)量過程中瞄準(zhǔn)發(fā)訊與啟、止測(cè)量的同步性。
[0013]4.三維位移方向探測(cè)能力不足。哈爾濱工業(yè)大學(xué)提出的基于雙光纖耦合的探針結(jié)構(gòu)和基于正交二維微焦準(zhǔn)直的微孔測(cè)量方法都不具有三維探測(cè)能力,只能實(shí)現(xiàn)微尺度的二維測(cè)量,無法滿足當(dāng)前微尺度三維測(cè)量的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明的目的是克服微小構(gòu)件尺寸測(cè)量方法現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足之處,提供一種適用于大深徑比微小構(gòu)件尺寸測(cè)量的基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器,通過耦合器及顯微物鏡將傳感器探針在微孔內(nèi)的微小觸測(cè)位移量轉(zhuǎn)變?yōu)镃CD圖像捕捉系統(tǒng)的橫向位移量,由圖像質(zhì)心定位算法實(shí)現(xiàn)對(duì)孔壁測(cè)量時(shí)的高精度三維瞄準(zhǔn)。
[0015]本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器包括激光器、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、光纖耦合透鏡、導(dǎo)管、探針、顯微物鏡a、CCD相機(jī)a和計(jì)算機(jī),數(shù)據(jù)線將CCD相機(jī)a與計(jì)算機(jī)連通,探針置于待測(cè)微孔內(nèi),所述探針包括入射光纖、耦合器和出射光纖a,耦合器作為探針的觸點(diǎn)分別與入射光纖和出射光纖a連接,激光器發(fā)出的光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡和光纖I禹合透鏡后進(jìn)入入射光纖,光束經(jīng)入射光纖導(dǎo)入I禹合器后由出射光纖a導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡a進(jìn)入CCD相機(jī)a,所述探針還包括出射光纖b,所述出射光纖b與耦合器連接,且出射光纖b的末端呈80-100°彎曲狀,光束經(jīng)入射光纖導(dǎo)入耦合器后由出射光纖b導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡b進(jìn)入CXD相機(jī)b,數(shù)據(jù)線將CXD相機(jī)b與計(jì)算機(jī)連通。
[0016]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:
[0017]1.傳感器中的出射光纖a與出射光纖b對(duì)于沿軸方向作用力和垂軸方向作用力均會(huì)產(chǎn)生響應(yīng),且作用力之間相互解耦,因而可以實(shí)現(xiàn)三維空間位置信號(hào)探測(cè),即本傳感器具有相互解耦的三維探測(cè)能力。
[0018]2.本傳感器可以通過改變顯微物鏡a、顯微物鏡b的放大率來改變傳感器的測(cè)量分辨力,節(jié)約成本以滿足不同場(chǎng)合的要求。
[0019]3.光學(xué)探測(cè)信號(hào)僅在光纖內(nèi)部傳輸,不受微尺度構(gòu)件遮蔽效應(yīng)的影響,測(cè)量最大深徑比可達(dá)40: 1,滿足大深徑比微結(jié)構(gòu)測(cè)量要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖中:1、激光器,2、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡,3、光纖稱合透鏡,4、導(dǎo)管,5、待測(cè)微孔,6、入射光纖,7、耦合器,8、出射光纖a,9、出射光纖b,10、探針,11、顯微物鏡b,12、CCD相機(jī)b,13、顯微物鏡a,14、CXD相機(jī)a,15、計(jì)算機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0023]一種基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器包括激光器1、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡2、光纖耦合透鏡3、導(dǎo)管4、探針10、顯微物鏡al3、(XD相機(jī)al4和計(jì)算機(jī)15,數(shù)據(jù)線將CXD相機(jī)al4與計(jì)算機(jī)15連通,探針10置于待測(cè)微孔5內(nèi),所述探針10包括入射光纖6、耦合器7和出射光纖a8,耦合器7作為探針10的觸點(diǎn)分別與入射光纖6和出射光纖a8連接,激光器I發(fā)出的光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡2和光纖耦合透鏡3后進(jìn)入入射光纖6,光束經(jīng)入射光纖6導(dǎo)入耦合器7后由出射光纖a8導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡al3進(jìn)入CXD相機(jī)al4,所述探針10還包括出射光纖b9,所述出射光纖b9與耦合器7連接,且出射光纖b9的末端呈80-100°彎曲狀,光束經(jīng)入射光纖6導(dǎo)入I禹合器7后由出射光纖b9導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡bll進(jìn)入CXD相機(jī)bl2,數(shù)據(jù)線將CXD相機(jī)bl2與計(jì)算機(jī)15連通。
[0024]所述出射光纖b9的末端彎曲角度優(yōu)選為90°。
[0025]利用導(dǎo)管4將入射光纖6彎曲以便提供圖像捕獲空間,也可以不使用導(dǎo)管4,而直接用熱定型法將入射光纖6彎曲,以便提供圖像捕獲空間。利用熱定型法將出射光纖b9的末端彎曲80-100°,以便感知沿軸方向的作用力,與出射光纖a8配合從而實(shí)現(xiàn)三維探測(cè)能力,其中當(dāng)出射光纖b9的末端彎曲角度為90°時(shí),其在沿軸方向具有最高的靈敏度。
[0026]本發(fā)明的工作過程如下:
[0027]提前半小時(shí)打開激光器1,使激光器I發(fā)出的光束穩(wěn)定。調(diào)整光纖稱合透鏡3與入射光纖6之間的相對(duì)位置與姿態(tài),保證最大光能量進(jìn)入入射光纖6。調(diào)整出射光纖a8與顯微物鏡al3、出射光纖b9與顯微物鏡bll之間的相對(duì)位置與姿態(tài),保證出射光纖a8的出射端面相對(duì)顯微物鏡al3、出射光纖b9的出射端面相對(duì)顯微物鏡bll是近軸區(qū)內(nèi)物體,以提高成像質(zhì)量。將探針10伸入待測(cè)微孔5內(nèi)部,并使之與待測(cè)微孔5產(chǎn)生相對(duì)位移,當(dāng)耦合器7與待測(cè)微孔5孔壁接觸時(shí),通過顯微物鏡al3、顯微物鏡bll將探針10在待測(cè)微孔5內(nèi)的微小觸測(cè)位移量轉(zhuǎn)變?yōu)镃CD相機(jī)al4、CCD相機(jī)bl2圖像捕捉系統(tǒng)的橫向位移量,即通過CCD相機(jī)al4對(duì)探針10在X向與Y向的觸測(cè)位移量進(jìn)行探測(cè),通過CCD相機(jī)bl2對(duì)探針10在Z向的觸測(cè)位移量進(jìn)行探測(cè),最終由圖像質(zhì)心定位算法實(shí)現(xiàn)對(duì)孔壁測(cè)量時(shí)的高精度三維瞄準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器,所述傳感器包括激光器(I)、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(2)、光纖耦合透鏡(3)、導(dǎo)管(4)、探針(10)、顯微物鏡a(13)、CCD相機(jī)a(14)和計(jì)算機(jī)(15),數(shù)據(jù)線將CCD相機(jī)a (14)與計(jì)算機(jī)(15)連通,探針(10)置于待測(cè)微孔(5)內(nèi),所述探針(10)包括入射光纖(6)、耦合器(7)和出射光纖a(8),耦合器(7)作為探針(10)的觸點(diǎn)分別與入射光纖(6)和出射光纖a(8)連接,激光器(I)發(fā)出的光束經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(2)和光纖耦合透鏡(3)后進(jìn)入入射光纖(6),光束經(jīng)入射光纖(6)導(dǎo)入耦合器(7)后由出射光纖a(8)導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡a(13)進(jìn)入CCD相機(jī)a(14),其特征在于:所述探針(10)還包括出射光纖b (9),所述出射光纖b (9)與耦合器(7)連接,且出射光纖b (9)的末端呈80-100°彎曲狀,光束經(jīng)入射光纖(6)導(dǎo)入耦合器(7)后由出射光纖b(9)導(dǎo)出,導(dǎo)出光束經(jīng)顯微物鏡b (II)進(jìn)入C⑶相機(jī)b (12),數(shù)據(jù)線將C⑶相機(jī)b (12)與計(jì)算機(jī)(15)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于三光纖共球耦合的微測(cè)量力瞄準(zhǔn)傳感器,其特征在于:所述出射光纖b (9)的 末端彎曲角度優(yōu)選為90°。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK103900470SQ201410118924
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年3月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月20日
【發(fā)明者】崔繼文, 李俊英, 譚久彬 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)

  • 專利名稱:帶鏈條狀自動(dòng)送樣裝置的定硫儀的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型主要涉及到可燃物質(zhì)中含硫量的測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域,特指一種帶鏈條狀自動(dòng)送樣裝置的定硫儀。背景技術(shù):傳統(tǒng)的測(cè)定煤樣的含硫量的分析儀器,采用了大量的人工操作步驟,測(cè)試前均需人工對(duì)煤樣進(jìn)
  • 專利名稱:一種恒溫式可燃?xì)怏w濃度檢測(cè)裝置的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及對(duì)可燃?xì)怏w濃度進(jìn)行測(cè)量的一種安全設(shè)備,更具體地講,涉及一種恒溫式可燃?xì)怏w濃度檢測(cè)裝置。背景技術(shù):目前對(duì)可燃?xì)怏w濃度的檢測(cè)常用的方法是利用催化燃燒式氣敏元件進(jìn)行檢測(cè)。催
  • 一種計(jì)量液體流量系統(tǒng)的制作方法【專利摘要】本發(fā)明公開了一種計(jì)量液體流量系統(tǒng),包括一取液器本體,其內(nèi)設(shè)有:檢測(cè)單元,接收一外界觸發(fā)信號(hào)并產(chǎn)生一控制信號(hào);控制單元,接收上述控制信號(hào),并根據(jù)控制信號(hào)指令執(zhí)行控制命令,控制液體排出;其特征在于,還包
  • 專利名稱:?jiǎn)瓮ǖ擂D(zhuǎn)動(dòng)誤差處理測(cè)試儀的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種機(jī)器在工作狀態(tài)下和零件在相反作用時(shí)機(jī)械零件有效實(shí)體尺寸 誤差實(shí)時(shí)測(cè)量的單通道轉(zhuǎn)動(dòng)誤差處理測(cè)試儀,用于旋轉(zhuǎn)類零件或元件或傳動(dòng)鏈誤差的測(cè)量。背景技術(shù):目前,在機(jī)械零件實(shí)體尺寸誤
  • 專利名稱:反射式光電探測(cè)器的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種同軸反射式光電探測(cè)器?,F(xiàn)有的反射式光電探測(cè)器,按其光路構(gòu)成可分為非同軸式和同軸式二種,非同軸式光電探測(cè)器的光路結(jié)構(gòu),如圖1所示,圖1為非同軸光電探測(cè)器的光路結(jié)構(gòu)示意圖,圖中1A、1
  • 藥品自動(dòng)化管理系統(tǒng)的藥盒尺寸測(cè)量裝置制造方法【專利摘要】藥品自動(dòng)化管理系統(tǒng)的藥盒尺寸測(cè)量裝置,屬于醫(yī)藥自動(dòng)化領(lǐng)域,本實(shí)用新型為解決人工測(cè)量藥盒長(zhǎng)度尺寸誤差大的問題。本實(shí)用新型方案:底板、起始位左側(cè)板和右側(cè)板圍成框架,藥盒測(cè)長(zhǎng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在起始位
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