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一種基于mems的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)以及測(cè)量方法

時(shí)間:2023-06-14    作者: 管理員

一種基于mems的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)以及測(cè)量方法
【專利摘要】一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)以及測(cè)量方法,涉及一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量方法。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的三維姿態(tài)慣性測(cè)量設(shè)備采用傳感器成本高、精度低的問(wèn)題。三軸陀螺儀計(jì)傳感器用于將測(cè)量的角速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,三軸加速度計(jì)傳感器用于將測(cè)量的加速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器用于將測(cè)量的磁強(qiáng)數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,溫度傳感器用于測(cè)量將獲得的三軸陀螺儀計(jì)傳感器溫漂數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,ARM處理器用來(lái)對(duì)接收到的數(shù)據(jù)分別進(jìn)行前置低通數(shù)字濾波、前端數(shù)據(jù)處理和拓展卡爾曼濾波處理,獲得歐拉角三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)或者四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)。它可用于導(dǎo)航控制領(lǐng)域。
【專利說(shuō)明】一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)以及測(cè)量方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種空間三維姿態(tài)測(cè)量方法,特別是涉及一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量方法。
【背景技術(shù)】
[0002]無(wú)人機(jī)、機(jī)器人、機(jī)械云臺(tái)、車輛船舶、虛擬現(xiàn)實(shí)、人體運(yùn)動(dòng)分析等在近年都取得了迅猛的發(fā)展。而在這些應(yīng)用中,三維姿態(tài)與方位的自主測(cè)量顯得極為重要。現(xiàn)有的三維姿態(tài)與方位傳感器中,MEMS傳感器成本低廉,但是測(cè)量數(shù)據(jù)由于存在較大的零偏、溫漂等誤差較大不能滿足以上應(yīng)用對(duì)于精度的要求;而一些MU模塊,在精度上能滿足要求,但是成本高昂,限制了在實(shí)際中的應(yīng)用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有的三維姿態(tài)慣性測(cè)量設(shè)備采用傳感器成本高、精度低的問(wèn)題?,F(xiàn)提供一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)以及該測(cè)量方法。
[0004]一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),它包括微機(jī)電式慣性測(cè)量器件,它還包括ARM處理器和溫度傳感器,
[0005]所述的微機(jī)電式慣性測(cè)量器件包括三軸陀螺儀計(jì)傳感器、三軸加速度計(jì)傳感器和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器,
[0006]三軸陀螺儀計(jì)傳感器,用于測(cè)量獲得角速度,并將測(cè)量獲得的角速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,
[0007]三軸加速度計(jì)傳感器,用于測(cè)量獲得加速度,并將測(cè)量獲得的加速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,
[0008]三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器,用于測(cè)量獲得磁強(qiáng),并將測(cè)量獲得的磁強(qiáng)數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,
[0009]溫度傳感器,用于測(cè)量獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器的溫漂,并將測(cè)量獲得的溫漂數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器,
[0010]ARM處理器,用來(lái)對(duì)接收到的角速度數(shù)據(jù)、加速度數(shù)據(jù)、磁強(qiáng)數(shù)據(jù)和溫度傳感器數(shù)據(jù)分別進(jìn)行前置低通數(shù)字濾波、前端數(shù)據(jù)處理和拓展卡爾曼濾波處理,還用于對(duì)濾除外界高頻干擾的所有數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)融合,獲得歐拉角三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)或者四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)。
[0011]該系統(tǒng)采用一個(gè)ARM處理器采集三軸陀螺儀計(jì)傳感器、三軸加速度計(jì)傳感器和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器的測(cè)量數(shù)據(jù)及采集溫度傳感器獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器的溫漂,再通過(guò)對(duì)測(cè)量的數(shù)據(jù)進(jìn)行前置低通數(shù)字濾波與前端數(shù)據(jù)處理和進(jìn)行拓展卡爾曼濾波,濾除外界高頻干擾并進(jìn)行數(shù)據(jù)融合,對(duì)外實(shí)時(shí)輸出四元數(shù)或歐拉角三維姿態(tài)方位數(shù)據(jù),該設(shè)備采用一個(gè)ARM處理器,集合一個(gè)三軸陀螺儀計(jì)傳感器、一個(gè)三軸加速度計(jì)傳感器和一個(gè)三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器并裝載一個(gè)溫度傳感器,其測(cè)量精度同比現(xiàn)有的采用方位傳感器要提高2倍以上,并且該系統(tǒng)采用三軸陀螺儀計(jì)傳感器、三軸加速度計(jì)傳感器和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器同比現(xiàn)有的采用方位傳感器的成本低。它可用于導(dǎo)航控制領(lǐng)域。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)的原理示框圖;
[0013]圖2為【具體實(shí)施方式】五所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]【具體實(shí)施方式】一:參照?qǐng)D1具體說(shuō)明本實(shí)施方式,本實(shí)施方式所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),它包括微機(jī)電式慣性測(cè)量器件,它還包括ARM處理器4和溫度傳感器5,
[0015]所述的微機(jī)電式慣性測(cè)量器件包括三軸陀螺儀計(jì)傳感器1、三軸加速度計(jì)傳感器
2和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3,
[0016]三軸陀螺儀計(jì)傳感器1,用于測(cè)量獲得角速度,并將測(cè)量獲得的角速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器4,
[0017]三軸加速度計(jì)傳感器2,用于測(cè)量獲得加速度,并將測(cè)量獲得的加速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器4,
[0018]三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3,用于測(cè)量獲得磁強(qiáng),并將測(cè)量獲得的磁強(qiáng)數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器4,
[0019]溫度傳感器5,用于測(cè)量獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器I的溫漂,并將測(cè)量獲得的溫漂數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器4,
[0020]ARM處理器4,用來(lái)對(duì)接收到的角速度數(shù)據(jù)、加速度數(shù)據(jù)、磁強(qiáng)數(shù)據(jù)和溫漂數(shù)據(jù)分別進(jìn)行前置低通數(shù)字濾波、前端數(shù)據(jù)處理和拓展卡爾曼濾波處理,還用于對(duì)濾除外界高頻干擾的所有數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)融合,獲得歐拉角三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)輸出或者四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)輸出。
[0021]【具體實(shí)施方式】二:本實(shí)施方式與【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)的不同點(diǎn)在于,ARM處理器4采用型號(hào)為STM32F405實(shí)現(xiàn)。
[0022]【具體實(shí)施方式】三:本實(shí)施方式與【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)的不同點(diǎn)在于,三軸陀螺儀計(jì)傳感器I采用型號(hào)為MPU6050實(shí)現(xiàn)。
[0023]【具體實(shí)施方式】四:本實(shí)施方式與【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)的不同點(diǎn)在于,三軸加速度計(jì)傳感器2和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3采用型號(hào)為AK8975實(shí)現(xiàn)。
[0024]【具體實(shí)施方式】五:米用【具體實(shí)施方式】一所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,它包括以下步驟:
[0025]步驟一、將三軸陀螺儀計(jì)傳感器1、三軸加速度計(jì)傳感器2和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3水平固定在轉(zhuǎn)臺(tái)上,使三軸陀螺儀計(jì)傳感器I的敏感軸X、三軸加速度計(jì)傳感器2的敏感軸X和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3的敏感軸X相互平行,三軸陀螺儀計(jì)傳感器I的敏感軸y、三軸加速度計(jì)傳感器2的敏感軸y和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3的敏感軸y相互平行,三軸陀螺儀計(jì)傳感器I的敏感軸z、三軸加速度計(jì)傳感器2的敏感軸z和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3的敏感軸z相互平行,分別對(duì)三軸陀螺儀計(jì)傳感器1、三軸加速度計(jì)傳感器2和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3進(jìn)行標(biāo)定,獲取硬件平臺(tái)的校準(zhǔn)參數(shù);
[0026]步驟二、系統(tǒng)進(jìn)行初始化對(duì)準(zhǔn),ARM處理器4周期性讀取三軸陀螺儀計(jì)傳感器I敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)gx, gy, gz、三軸加速度計(jì)傳感器2敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)ax, ay, az和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)mx, my, mz和溫度傳感器的數(shù)據(jù)T ;
[0027]步驟三、利用讀到的三軸加速度計(jì)傳感器2敏感軸的數(shù)據(jù)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器3敏感軸的數(shù)據(jù)以及
[0028]利用俯仰角公式
【權(quán)利要求】
1.一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),它包括微機(jī)電式慣性測(cè)量器件,其特征在于,它還包括ARM處理器(4 )和溫度傳感器(5 ), 所述的微機(jī)電式慣性測(cè)量器件包括三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)、三軸加速度計(jì)傳感器(2)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3), 三軸陀螺儀計(jì)傳感器(1),用于測(cè)量獲得角速度,并將測(cè)量獲得的角速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器(4), 三軸加速度計(jì)傳感器(2),用于測(cè)量獲得加速度,并將測(cè)量獲得的加速度數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器(4), 三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3),用于測(cè)量獲得磁強(qiáng),并將測(cè)量獲得的磁強(qiáng)數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器⑷, 溫度傳感器(5),用于測(cè)量獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的溫漂,并將測(cè)量獲得的溫漂數(shù)據(jù)發(fā)送給ARM處理器(4), ARM處理器(4),用來(lái)對(duì)接收到的角速度數(shù)據(jù)、加速度數(shù)據(jù)、磁強(qiáng)數(shù)據(jù)和溫漂數(shù)據(jù)分別進(jìn)行前置低通數(shù)字濾波、前端數(shù)據(jù)處理和拓展卡爾曼濾波處理,還用于對(duì)濾除外界高頻干擾的所有數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)融合,獲得歐拉角三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)輸出或者四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),其特征在于,ARM處理器采用型號(hào)為STM32F405實(shí)現(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),其特征在于,三軸陀螺儀傳感器采用型號(hào)為MPU6050實(shí)現(xiàn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng),其特征在于,三軸加速度計(jì)傳感器和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器采用型號(hào)為AK8975實(shí)現(xiàn)。
5.采用權(quán)利要求1的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,其特征在于,它包括以下步驟: 步驟一、將三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)、三軸加速度計(jì)傳感器(2)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3 )水平固定在轉(zhuǎn)臺(tái)上,使三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的敏感軸X、三軸加速度計(jì)傳感器(2 )的敏感軸X和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)的敏感軸X相互平行,三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的敏感軸y、三軸加速度計(jì)傳感器(2)的敏感軸y和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)的敏感軸y相互平行,三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的敏感軸z、三軸加速度計(jì)傳感器(2)的敏感軸z和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)的敏感軸z相互平行,分別對(duì)三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)、三軸加速度計(jì)傳感器(2)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)進(jìn)行標(biāo)定,獲取硬件平臺(tái)的校準(zhǔn)參數(shù); 步驟二、系統(tǒng)進(jìn)行初始化對(duì)準(zhǔn),ARM處理器(4)周期性讀取三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)gx, gy, gz、三軸加速度計(jì)傳感器(2)敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)ax, ay, az和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)敏感軸X、y、z軸的數(shù)據(jù)mx, my, mz和溫度傳感器的數(shù)據(jù)T ; 步驟三、利用讀到的三軸加速度計(jì)傳感器(2)敏感軸的數(shù)據(jù)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)敏感軸的數(shù)據(jù)以及 利用俯仰角公式
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,其特征在于,在步驟一中獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I )、三軸加速度計(jì)傳感器(2)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)校準(zhǔn)參數(shù)的過(guò)程為: 獲得三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的校準(zhǔn)參數(shù)的過(guò)程為:將電路板水平放置在轉(zhuǎn)臺(tái)上,首先測(cè)量系統(tǒng)上電后進(jìn)行ARM處理器和周圍電路、總線的初始化后,ARM處理器連續(xù)讀取三軸陀螺儀計(jì)傳感器各敏感軸(X,1,z)的數(shù)據(jù)和溫度傳感器(5)的數(shù)據(jù),得到四個(gè)數(shù)組&[11],gy[n], gz[n]和 T [η], 利用Matlab數(shù)據(jù)擬合工具箱按公式: gda=aaT3+baT2+caT+da, 擬合陀螺儀的零漂和溫漂,得到陀螺儀的零漂dx,dy, dz,一次溫漂常數(shù)cx,cy, cz, 二次溫漂常數(shù)bx, by, bz和三次溫漂常數(shù)ax, ay, az,式中,gda為α軸上的漂移,包括零漂和溫漂,a=x,y,z, 然后依次將三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的敏感軸X,1,Z與轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)軸保持平行,以不同的標(biāo)稱轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái),記錄下各轉(zhuǎn)速下三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)的敏感軸x,y, z的輸出ga,并以ga=kgagBa+gda,a =x, y, z的方式擬合陀螺儀的量程系數(shù)kga,a =x, y, z, 式中,ga為敏感軸上的實(shí)際輸出,gBa為標(biāo)稱轉(zhuǎn)速,gda為陀螺儀漂移; 獲得三軸加速度計(jì)傳感器(2)的校準(zhǔn)參數(shù)的過(guò)程為:從不同角度將電路板靜置,待靜置后用ARM處理器連續(xù)讀取三軸加速度計(jì)各敏感軸(X, y, z)的數(shù)據(jù)ax[n], ay[n], az[n],
利用 Matlab 工具箱,按照(kaxax [n] +ax0)2+ (kayay [n] +ay0)2+ (kazaz [η] +az0)2=G02 的方式擬合出加速度計(jì)的量程系數(shù)kaa和零偏常數(shù)aa(l,a =χ, y, z,其中Gtl為重力加速度記; 獲得三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)的校準(zhǔn)參數(shù)的過(guò)程為:將磁強(qiáng)計(jì)放置在轉(zhuǎn)臺(tái)上,勻速轉(zhuǎn)速一圈,用ARM處理器連續(xù)讀取三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)各敏感軸(X,y, z)的數(shù)據(jù),得到一個(gè)數(shù)組m[n] = {mx[n], my[n], mz[n]},設(shè)取磁場(chǎng)向量模為I,利用Matlab工具箱,按照(m_c)tX (mTXU)T(m-c)=l的方式進(jìn)行最小二乘擬合,其中,m=m[n],三維向量c=(cxCI, cy0, cz0)是磁場(chǎng)強(qiáng)度的橢球球心偏移量,ca0, a =x, y, z為各軸上的偏移量;矩陣U是標(biāo)度因子與非正交度校正矩陣。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,其特征在于,對(duì)步驟四中的三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)初始化數(shù)據(jù)、三軸加速度計(jì)傳感器(2)初始化數(shù)據(jù)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)初始化數(shù)據(jù)進(jìn)行前置低通濾波與前端數(shù)據(jù)處理的過(guò)程為: 對(duì)前置低通濾波進(jìn)行一階低通數(shù)字濾波,得到:
S a _last= λ gga Iast+ (1- λ g) g α,a a last-λ aaa —last+ (1-λ a) a α,ma last-λ mma _last+ (1-λ m)ma, a =X, y, Z,0 ≤λg≤ 1,0≤ λa≤ 1,0≤ λm≤l, 其中,Xg, Xa, λπ分別為三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I)、三軸加速度計(jì)傳感器(2)和三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)的低通濾波常數(shù),ga—last為上一次低通濾波后的三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I) α軸數(shù)據(jù),ga是最新一次測(cè)量得到的三軸陀螺儀計(jì)傳感器(I) a各軸原始數(shù)據(jù),aa last為上一次低通濾波后的三軸加速度計(jì)傳感器(2) α軸數(shù)據(jù),aa是最新一次測(cè)量得到的三軸加速度計(jì)傳感器(2) a各軸原始數(shù)據(jù),ma last為上一次低通濾波后的三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3) α各軸數(shù)據(jù),ma是最新一次測(cè)量得到的三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3) a各軸原始數(shù)據(jù),
根據(jù)公式:
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,其特征在于,對(duì)步驟五中利用步驟三得到的初始化數(shù)據(jù)%,Q1, Q2, Q3和步驟四得到的三軸加速度計(jì)傳感器(2)精確化的數(shù)據(jù)采用拓展卡爾曼濾波器在Λ t時(shí)間間隔內(nèi)進(jìn)行拓展卡爾曼濾波的時(shí)間更新,得到預(yù)測(cè)四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)的過(guò)程為:根據(jù)公式:
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于MEMS的高精度三維姿態(tài)慣性測(cè)量系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)三維姿態(tài)慣性的測(cè)量方法,其特征在于,對(duì)步驟六中的利用步驟四得到的精確化的三軸加速度計(jì)傳感器(2)數(shù)據(jù)和精確化的三軸磁強(qiáng)計(jì)傳感器(3)數(shù)據(jù),在上一時(shí)刻得到的預(yù)測(cè)四元數(shù)三維姿態(tài)慣性數(shù)據(jù)處做線性化展開(kāi),進(jìn)行拓展卡爾曼濾波的測(cè)量更新的過(guò)程為: 將觀測(cè)
【文檔編號(hào)】G01C21/16GK103776451SQ201410076764
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2014年3月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月4日
【發(fā)明者】胡慶雷, 肖冰, 陳卓 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)

  • 專利名稱:利用平面鏡偏轉(zhuǎn)的能動(dòng)目視裝置的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及監(jiān)視用攝像裝置,動(dòng)體跟蹤目視裝置,可移動(dòng)的機(jī)器人目視裝置,立體攝像裝置或利用圖像檢查制品的裝置等攝像操作中對(duì)攝像視場(chǎng)定位攝像的技術(shù),特別是涉及把攝像裝置或目標(biāo)物作為不動(dòng)體、
  • 專利名稱:氣、液兩相介質(zhì)壓力校驗(yàn)裝置的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及一種氣、液兩相介質(zhì)壓力校驗(yàn)裝置。現(xiàn)有的壓力校驗(yàn)裝置均分別單獨(dú)以氣體或液體介質(zhì)作為壓力源,一般都固定在實(shí)驗(yàn)室內(nèi),當(dāng)對(duì)不同介質(zhì)相要求的壓力表計(jì)校驗(yàn)時(shí)需分別用氣體介質(zhì)或液體介質(zhì)
  • 專利名稱:對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)結(jié)構(gòu)及對(duì)準(zhǔn)偏移量的檢測(cè)方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明有關(guān)于一種對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)結(jié)構(gòu)及對(duì)準(zhǔn)偏移量的檢測(cè)方法,且特別有關(guān)于一種基板于COG(Chip-On-Glass)工藝芯片壓合后,可以用來(lái)檢測(cè)芯片壓合偏移量的對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)結(jié)構(gòu)及其檢測(cè)偏移的方法。
  • 專利名稱:用于樣本檢測(cè)和處理的高分辨率動(dòng)態(tài)定位機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理裝置領(lǐng)域,更具體來(lái)說(shuō)涉及一種在Z軸、翻轉(zhuǎn)軸、傾斜軸和偏轉(zhuǎn)(θ)軸上相對(duì)于一晶片處理裝置將一晶片動(dòng)態(tài)對(duì)準(zhǔn)的系統(tǒng)。背景技術(shù): 有多種已有的在一半導(dǎo)體處理機(jī)
  • 專利名稱:位移傳感器的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及位移傳感器。參看圖8和9來(lái)說(shuō)明通常的位移傳感器。注意,通常的傳感器是一種根據(jù)位移體的位移量檢測(cè)壓力的傳感器。傳感器50例如可用作電動(dòng)洗滌機(jī)、洗碗機(jī)等的水位傳感器。如圖8所示,壓力傳感器50具
  • 專利名稱:應(yīng)用線性位移電位尺的錐入度儀的制作方法技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及位移測(cè)量裝置,特別是一種應(yīng)用線性位移電位尺的錐入度儀。背景技術(shù):錐入度儀用于對(duì)軟膏劑類的半固體物質(zhì)的軟硬度和粘稠度進(jìn)行測(cè)定。測(cè)定時(shí),將錐體作自由落體運(yùn)動(dòng),以錐體在一定時(shí)
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