超聲波檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供一種除去殘存在載置被檢測體的試樣臺的下表面的氣泡，能進行效率好的檢查的透過式超聲波檢查裝置。超聲波檢查裝置(100)具有：收放水(5)的水槽(19)；配置在水槽(19)內并載置被檢測體(1)的試樣臺(2)；以及第一超聲波探觸件(3)及第二超聲波探觸件(4)，其在上下方向對置地配置，該第一超聲波探觸件(3)向被檢測體(1)照射超聲波，該第二超聲波探觸件(4)接收透過了被檢測體的超聲波，在試樣臺(2)的下表面(23)側形成親水性覆膜。
【專利說明】超聲波檢查裝置
【技術領域】
[0001] 本發明涉及超聲波檢查裝置，尤其涉及利用超聲波在作為超聲波傳送用介質的水 中以非破壞測定被檢測體內部，顯示有關該被檢測體的探查影像等、或判斷是否存在內部 缺陷的超聲波檢查裝置。
【背景技術】
[0002] 超聲波檢查裝置在反復向被檢測體照射超聲波，接收從被檢測體反射或透過的超 聲波的狀態下進行掃描，將接收的超聲波的強弱圖像化。超聲波檢查裝置利用由于被檢測 體的各部的聲音阻抗而使從被檢測體反射或透過的超聲波的強弱不同的性質，能以非破壞 檢查被檢測體內部的狀態。
[0003] 超聲波具有難以在氣體中傳播的性質，因此，在超聲波檢查裝置中，一般作為超聲 波傳輸用介質使用水，將被檢測體及超聲波探觸件浸在水中進行檢查。
[0004] 作為本【技術領域】的【背景技術】，具有日本特開2002-296247號公報（專利文獻1)。 在該公報中，記載了 "使金屬帶通過在水槽內對置配置的超聲波發送件及超聲波接收件之 間，借助于該金屬帶，在超聲波發送件及超聲波接收件之間進行超聲波束的收發，檢測金屬 帶的內部缺陷…"（參照說明書摘要）。
[0005] 現有技術文獻
[0006] 專利文獻1 :日本特開2002-296247號公報
[0007] 由于超聲波具有難以在氣體中傳播的性質，因此，當氣泡附著在被檢測體上時，存 在無法檢查氣泡附著部的被檢測體內部之類的問題。另外，當在超聲波檢查后在檢查結果 中確認氣泡時，需要在除去氣泡后再次實施檢查，存在效率非常差之類的問題。
[0008] 為了解決該問題，專利文獻1所記載的技術在檢測金屬帶的內部缺陷時，朝向金 屬帶與超聲波發送件之間的間隙、以及金屬帶與超聲波接收件的間隙的各個供給除去氣泡 了的。由此，由于排除了氣泡的影響，因此能正確地進行利用超聲波探傷的內部缺陷的檢 測。
[0009] 但是，在使超聲波透過被檢測體而進行檢查的透過式超聲波檢查裝置中，在將載 置被檢測體的試樣臺配置在水槽內的構造的場合，產生以下問題。S卩，在將被檢測體或試樣 臺浸漬在水中時卷入空氣，氣泡有可能殘留在試樣臺的下表面。在該場合，殘存在試樣臺 的下表面的氣泡即使由于水流而飛散，也有可能馬上再次附著在試樣臺的下表面的其他部 位，并且，在氣泡小的場合，難以隨水流飛走，因此難以除去。因此，存在由于殘存在試樣臺 的下表面的氣泡，無法接收透過被檢測體的超聲波之類的問題。
【發明內容】
[0010] 本發明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供除去殘存在載置被檢測體的試 樣臺的下表面的氣泡，能夠進行效率好的檢查的透過式超聲波檢查裝置。
[0011] 為了解決上述課題，本發明的超聲波檢查裝置具有收放水的水槽、配置在上述水 槽內并載置被檢測體的試樣臺、在上下方向對置地配置且向被檢測體照射超聲波的第一超 聲波探觸件及接收透過了被檢測體的超聲波的第二超聲波探觸件，在上述試樣臺的下表面 側形成親水性覆膜。
[0012] 本發明的效果如下。
[0013] 根據本發明，能夠提供能夠去除殘存在載置被檢測體的試樣臺的下表面的氣泡， 進行效率好的檢查的透過式超聲波檢查裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014] 圖1是局部剖切本發明的第一實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0015] 圖2是圖1所示的試樣臺的局部放大縱剖視圖。
[0016] 圖3是局部剖切本發明的第二實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0017] 圖4是圖3所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0018] 圖5是用于說明噴嘴的移動的外觀立體圖。
[0019] 圖6是示意地表示本發明的第三實施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0020] 圖7是用于說明噴嘴的移動的縱剖視圖。
[0021] 圖8是示意地表示吸引用的噴嘴與噴出用的噴嘴能連動地移動的超聲波檢查裝 置的縱剖視圖。
[0022] 圖9是用于說明吸引用的噴嘴及噴出用的噴嘴的移動的縱剖視圖。
[0023] 圖10是局部剖切本發明的第四實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0024] 圖11是圖10所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0025] 圖12是用于說明噴嘴的移動的外觀立體圖。
[0026] 圖13是示意地表示本發明的第五實施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0027] 圖14是用于說明刷子的移動的外觀立體圖。
[0028] 圖15(a)?（f)是表示刮水器的例子的放大圖。
[0029] 圖16是局部剖切本發明的第六實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0030] 圖17是圖16所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0031] 圖18是局部剖切本發明的第六實施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0032] 圖19是局部剖切本發明的第七實施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0033] 圖20是局部剖切本發明的第七實施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0034] 圖中：1 一被檢測體，2-試樣臺，3-第一超聲波探觸件，4一第二超聲波探觸件， 5-水，6-噴出用的噴嘴（噴出部），10-吸引用的噴嘴（吸引部），13-刷子（刮水器）， 15-搔落部件（刮水器），17-噴出用的噴嘴（第二噴出部），19一水槽，22-親水性覆膜， 23-下表面，29-檢查區域，30、30a?30d-吸引用的噴嘴（吸引部），100-超聲波檢查裝 置。
【具體實施方式】
[0035] 適當參照附圖詳細地說明本發明的實施方式。
[0036] 另外，在以下所示的附圖中，對相同的部件或相當的部件標注相同的參照符號，并 適當省略重復的說明。另外，部件的尺寸及形狀為了方便說明，具有變形或夸張而示意地表 不的場合。
[0037] (第一實施方式）
[0038] 首先，參照圖1及圖2說明本發明的第一實施方式的超聲波檢查裝置100。
[0039] 圖1是局部剖切本發明的第一實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。圖2是圖1所示的試樣臺的局部放大縱剖視圖。
[0040] 如圖1所示，本發明的第一實施方式的超聲波檢查裝置100是利用超聲波在作為 超聲波傳輸用介質的水5中以非破壞測定被檢測體1內部，顯示對該被檢測體1的探查影 像等或判斷是否存在內部缺陷的超聲波檢查裝置。
[0041] 超聲波檢查裝置100具有收放水5的水槽19、配置在水槽19內且載置被檢測體1 的試樣臺2、在上下方向（Z方向）對置地配置的第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件 4。第一超聲波探觸件3向被檢測體1照射超聲波，第二超聲波探觸件4接收透過了被檢測 體1的超聲波。被檢測體1、試樣臺2、第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4在超聲 波檢查時，浸漬在水槽19內的水5中。
[0042] 試樣臺2呈平板形狀，在水槽19內由未圖示的支撐部件支撐，并水平地配置。第一 超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4以將被檢測體1夾入中間的方式在上下分別配置， 利用未圖示的驅動裝置，能成為一體地在水平方向上移動。試樣臺2的形狀未限于矩形板 形狀，例如可以為圓板形狀。另外，水槽19的形狀未限定于矩形箱，例如可以為有底圓筒形 狀。
[0043] 如圖2所示，試樣臺2具備基板21與親水性覆膜22。即，在試樣臺2的下表面23 側形成比基板21親水性高的親水性覆膜22。基板21的厚度設定為能夠確保在載置了被檢 測體1的場合穩定地支撐的剛性的厚度、例如2?10mm左右的厚度。另一方面，親水性覆 膜22只要表面具有親水性即可，因此，其厚度未特別地限定。在此，親水性覆膜22優選表 面的水接觸角為90度以下，更優選60度以下。
[0044] 作為試樣臺2的基板21的材料，在此使用丙烯等樹脂，但未限定于此，例如可以使 用玻璃、金屬等。另外，作為親水性覆膜22,在此使用硅石類的玻璃制膜，但未限定于此，例 如，可以使用硝化纖維素、醋酸纖維素（CA)、聚酰胺（PA)等覆膜。作為親水性覆膜22的形 成方法，具有涂敷表面涂層劑的方法、粘貼膜的方法、利用真空蒸鍍涂敷氧化鈦的方法、利 用氧等離子體使表面氧化的方法等，但無論哪種方法，都能得到同樣的效果。
[0045] 接著，對如上述那樣構成的超聲波檢查裝置100的作用進行說明。
[0046] 首先，成為檢查對象的被檢測體1利用手動或自動載置在配置于水槽19內的水5 中的試樣臺2上。并且，為了被檢測體1內部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探 觸件4相對于試樣臺2水平移動，在被檢測體1上進行掃描。
[0047] 超聲波檢查裝置100利用被檢測體1的各部的聲音阻抗，利用透過被檢測體1后 的超聲波的強弱不同的性質，將接收的超聲波的強弱圖像化。由此，能夠以非破壞檢查被檢 測體1內部的狀態。
[0048] 在本實施方式中，由于在試樣臺2的下表面23側形成親水性覆膜22,因此例如利 用用于被檢測體1內部的檢查的第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的移動動作， 攪拌水槽19內的水5,即使氣泡殘存在試樣臺2的下表面23,也能容易地去除。這是因為， 通過形成親水性覆膜22,試樣臺2的下表面23相對于水5的濕潤性變好，氣泡難以殘存。 由此,能夠避免無法檢查氣泡附著部的被檢測體1內部之類的事態。
[0049] 即，根據本實施方式，能夠提供能去除殘存在載置被檢測體1的試樣臺2的下表面 23的氣泡，進行效率好的檢查的超聲波檢查裝置100。
[0050] 另外，可以在試樣臺2的上表面24側也形成親水性覆膜。根據這種結構，殘存在 試樣臺2的上表面24的氣泡也容易除去。
[0051] (第二實施方式）
[0052] 接著，參照圖3及圖4,以與上述第一實施方式的不同點為中心說明本發明的第二 實施方式的超聲波檢查裝置，適當省略共同的方面的說明。圖3是局部剖切本發明的第二 實施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖4是圖3所示的噴嘴附近的放 大立體圖。
[0053] 如圖3所示，第二實施方式的超聲波檢查裝置具有向試樣臺2的下表面23側噴出 水5的作為噴出部的噴嘴6。另外，第二實施方式的超聲波檢查裝置具備用于使水槽19內 的水5循環的泵8、調整輸送到噴嘴6的水5的壓力的壓力調整器9。水槽19內與泵8通過 配管25連接，泵8與噴嘴6通過配管26連接。壓力調整器9例如設置在配管26的途中。
[0054] 如圖4所示，噴嘴6呈前端側被封閉的圓管形狀，具有圓筒面61。在圓筒面61上 形成在噴嘴6的軸向排列的多個噴出孔7。噴出孔7形成在能夠向試樣臺2的下表面23側 噴出水5的位置，具體地，形成在相對于圓筒面61的頂部62沿圓周方向以角度(噴出 角度Θ J向圖3中的X方向右側、即試樣臺2側傾斜的角度位置。
[0055] 在這種第二實施方式中，通過使泵8進行動作，從設在噴嘴6上的噴出孔7噴出水 5。通過將水5向試樣臺2的下表面23噴出，產生沿試樣臺2的下表面23的水流，能夠更 有效地吹飛殘存在下表面23上的氣泡并除去。并且，在試樣臺2的下表面23側與第一實 施方式相同地形成有親水性覆膜22,因此，吹飛的氣泡難以再次附著在試樣臺2上。并且， 在噴嘴6的動作后，為了被檢測體1內部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件 4相對于試樣臺2水平移動，在被檢測體1上進行掃描。
[0056] 另外，水的噴出角度Θ i、噴出孔7的直徑D、間距P及個數N、試樣臺2的下表面23 與噴嘴6的上下方向（Z方向）的間隔d、噴嘴6的全長L只要設定為實驗上最適值即可，未 特別限定。另外，來自噴嘴6的水5的噴出速度也能利用噴出孔7的直徑D調整，但也能利 用壓力調整器9進行調整。
[0057] 如圖3所示，噴嘴6在此相對于試樣臺2在進深方向（Y方向）平行地配置，但未 限定于此，可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0058] 另外，噴嘴6可以構成為可相對于試樣臺2移動。根據這種結構，能夠在試樣臺2 的下表面23的寬范圍可靠地噴出水5,能更有效地吹飛殘存在下表面23的氣泡并除去。
[0059] 圖5是用于說明噴嘴的移動的外觀立體圖。如圖5所不，在噴嘴6移動時，第一超 聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4例如水平移動到試樣臺2的端部的規定的退避位置。 由此，能夠避免噴嘴6與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的干涉。
[0060] 另外，在圖5中，噴嘴6構成為在進深方向（Y方向）平行地配置，能夠固定上下方 向（Z方向）位置地在橫向（X方向）滑動移動，但并未限定于此。例如，噴嘴6可以構成為 在橫向（X方向）平行地配置，能固定上下方向位置地在進深方向（Y方向）上滑動移動。另 夕卜，可以構成為能使噴嘴6移動到任意的位置。另外，可以在向試樣臺2的上表面24側噴 出水5的位置追加地設置噴嘴6。根據這種結構，也能夠吹飛附著在試樣臺2的上表面24 或被檢測體1上的氣泡并除去。
[0061] (第三實施方式）
[0062] 接著，參照圖6,以與上述的第二實施方式不同點為中心說明本發明的第三實施方 式的超聲波檢查裝置，適當省略共同點的說明。圖6是示意地表示本發明的第三實施方式 的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0063] 如圖6所示，第三實施方式的超聲波檢查裝置在還具有作為吸引位于試樣臺2的 下表面23側的流體的吸引部的噴嘴10這點與圖3所示的第二實施方式的超聲波檢查裝置 不同，其他相同。
[0064] 根據這種第三實施方式，從噴嘴6噴出水5并產生水流11，通過與水5 -起從吸引 用噴嘴10吸引利用水流11吹飛的氣泡，能夠更可靠地從試樣臺2的下表面23除去氣泡。
[0065] 另外，噴嘴6構成為可相對于試樣臺2移動。在該場合，如圖7所示，在噴嘴6移 動時，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動到能避免噴嘴6與第一超聲波 探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉的退避位置。
[0066] 如圖6及圖7所示，吸引用的噴嘴10設置在試樣臺2的端部，在試樣臺2的端部 吸引被水流11吹飛的氣泡。但是，如圖8所示，可以以使噴出用的噴嘴6與吸引用的噴嘴 10對置的方式接近地配置，吸引用的噴嘴10能相對于試樣臺2與噴出用的噴嘴6連動地移 動。根據這種結構，能夠馬上吸引被水流11吹飛的氣泡，能更可靠地將氣泡從試樣臺2的 下表面23除去。
[0067] 在該場合，如圖9所示，在噴嘴6及噴嘴10移動時，第一超聲波探觸件3及第二超 聲波探觸件4水平移動到能避免噴嘴6及噴嘴10與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探 觸件4干涉的退避位置。
[0068](第四實施方式）
[0069] 接著，參照圖10及圖11，以與上述第一實施方式不同點為中心說明本發明的第四 實施方式的超聲波檢查裝置，適當省略共同點的說明。圖10是局部剖切本發明的第四實施 方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖11是圖10所示的噴嘴附近的放大 立體圖。
[0070] 如圖10所示，第四實施方式的超聲波檢查裝置具有作為吸引位于試樣臺2的下表 面側的流體的吸引部的噴嘴30。另外，第四實施方式的超聲波檢查裝置具備用于使水槽19 內的水5循環的泵8、調整來自噴嘴30的水5的壓力的壓力調整器9。水槽19內與泵8通 過配管25連接，泵8與噴嘴30通過配管26連接。壓力調整器9設置在例如配管26的途 中。
[0071] 如圖11所示，噴嘴30呈前端側封閉的圓管形狀，具有圓筒面31。在圓筒面31上 形成長度方向與噴嘴30的軸向平行的大致長方形的吸引孔32。吸引孔32形成在能夠吸引 位于試樣臺2的下表面23側的流體的位置、具體地，形成在相對于圓筒面31的頂部33沿 圓周方向以角度θ 2(吸引角度θ2)向圖10中的X方向右側、即試樣臺2側傾斜的角度位 置。
[0072] 在這種第四實施方式中，通過使泵8進行動作，從設在噴嘴30上的吸引孔32吸引 作為位于試樣臺2的下表面23側的流體的氣泡及水5。通過從吸引孔32吸引氣泡，能更 有效地除去殘留在下表面23上的氣泡。并且，由于在試樣臺2的下表面23側與第一實施 方式相同地形成親水性覆膜22,因此從下表面23離開的氣泡難以再次附著在試樣臺2上。 并且，在噴嘴30的動作后，為了被檢測體1內部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波 探觸件4相對于試樣臺2水平移動，在被檢測體1上進行掃描。
[0073] 另外，吸引角度θ2、吸引孔32的寬度W及長度L1、試樣臺2的下表面23與噴嘴 30的上下方向（Ζ方向）的間隔d、噴嘴30的全長L只要設定為在試驗上最適的值即可，未 特別限定。
[0074] 如圖10所示，噴嘴30在此相對于試樣臺2在進深方向（Y方向）平行地配置，但 并未限定于此，也可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0075] 另外，噴嘴30可以構成為能相對于試樣臺2移動。根據這種結構，能夠在試樣臺 2的下表面23的寬范圍可靠地吸引氣泡，能更有效地除去殘存在下表面23的氣泡。
[0076] 圖12是用于說明噴嘴的移動的外觀立體圖。如圖12所示，在噴嘴30移動時，第 一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動到例如試樣臺2的端部的規定的退避位 置。由此，能夠避免噴嘴30與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉。
[0077] 另外，第四實施方式將噴嘴30用作吸引用的噴嘴這方面與將噴嘴6作為噴出用的 噴嘴使用的第二實施方式不同，其他為相同的結構。在此，代替第四實施方式的圖11的呈 大致長方形的吸引孔32,可以形成第二實施方式的圖4所示的多個孔。另一方面，代替第 二實施方式的圖4的多個噴出孔7,可以形成第四實施方式的圖11所示的呈大致長方形的 孔。
[0078](第五實施方式）
[0079] 接著，參照圖13?圖15,以與上述第一實施方式的不同點為中心說明本發明的第 五實施方式的超聲波檢查裝置，適當省略共同點的說明。圖13是示意地表示本發明的第五 實施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。圖14是用于說明刷子的移動的外觀立體圖。圖 15是表示刮水器的例子的放大圖。
[0080] 如圖13所示，第五實施方式的超聲波檢查裝置具有能與試樣臺2的下表面23接 觸地移動的作為刮水器的刷子13。如圖13及圖15(a)所示，刷子13在呈圓柱形狀的桿部 件20的上部沿軸向排列地堅立設置。作為刷子13的材料，在此使用尼龍等樹脂，但并未限 定于此，例如可以使用動物的毛等。
[0081] 在這種第五實施方式中，通過使刷子13與試樣臺2的下表面23直接接觸，使桿部 件20相對于試樣臺2平行地水平移動，能夠撣除氣泡而除去。并且，由于在試樣臺2的下 表面23側與第一實施方式相同地形成親水性覆膜22,因此，被撣除的氣泡難以再次附著在 試樣臺2上。并且，在帶刷子13的桿部件20的動作后，為了被檢測體1內部的檢查，第一 超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4相對于試樣臺2水平移動，在被檢測體1上進行掃 描。
[0082] 如圖13所示，帶刷子13的桿部件20在進深方向（與圖13的紙面垂直的方向）平 行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地沿橫向（X方向）滑動移動，但并未限定于此。 例如，可以構成為帶刷子13的桿部件20在橫向（X方向）平行地配置，能固定上下方向（Z 方向）位置地沿進深方向滑動移動。
[0083] 如圖14所示，在帶刷子13的桿部件20移動時，第一超聲波探觸件3及第二超聲 波探觸件4水平移動到例如試樣臺2的端部的規定的退避位置。由此，能夠避免帶刷子13 的桿部件20與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉。
[0084] 接著，對刮水器的變形例進行說明。
[0085] 如圖15 (b)所示，作為刮水器，代替刷子13,可以在桿部件20的上部堅立設置例如 橡膠制的搔落部件15。利用這種結構也能得到相同的效果。
[0086] 另外，如圖15(c)所示，可以在吸引用的噴嘴30a的上部堅立設置能與試樣臺2的 下表面23接觸的刷子13。圖15 (c)所示的吸引用的噴嘴30a呈前端側封閉的圓管形狀，具 有圓筒面31。在圓筒面31上沿噴嘴30a的軸向形成吸引孔14。吸引孔14可以是長度方 向與噴嘴30a的軸向平行的大致長方形的一個孔，也可以是在噴嘴30a的軸向上排列的多 個孔。根據這種結構，能夠馬上吸引被刷子13撣除的氣泡，能更可靠地從試樣臺2的下表 面23除去氣泡。
[0087] 另外，如圖15(d)所示，刷子13堅立設置在吸引用的呈圓管形狀的噴嘴30b的上 部，在噴嘴30b的圓筒面31上的圓周方向的刷子13的兩側分別形成吸引孔14a。根據這 種結構，由于在利用刷子13撣除氣泡的一側形成吸引孔14a，因此能更可靠地從吸引孔14a 吸引氣泡。
[0088] 另外，如圖15(e)所示，刷子13堅立設置在吸引用的呈四角管形狀的噴嘴30c的 上表面34上，在噴嘴30c的上表面34上的圓周方向的刷子13的兩側分別形成吸引孔14b。 根據這種結構，由于吸引孔14b與試樣臺2的下表面23接近，因此能更可靠地從吸引孔14b 吸引氣泡。
[0089] 另外，如圖15(f)所示，刷子13堅立設置在形成于吸引用的呈四角管形狀的噴嘴 30d的上表面34的凹部35內，在噴嘴30d的上表面34上的圓周方向的刷子13的兩側分別 形成吸引孔14c。根據這種結構，由于吸引孔14c更接近試樣臺2的下表面23,因此，能更 可靠地從吸引孔14c吸引氣泡。
[0090] (第六實施方式）
[0091] 接著，參照圖16及圖17,以與上述第二實施方式的不同點為中心說明本發明的第 六實施方式的超聲波檢查裝置，適當省略共同點的說明。圖16是局部剖切本發明的第六實 施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖17是圖16所示的噴嘴附近的放 大立體圖。
[0092] 如圖16所示，第六實施方式的超聲波檢查裝置具有進行從試樣臺2的氣泡的去除 的氣泡除去區域28、在超聲波檢查時作為試樣臺2移動的移動目的地的檢查區域29。試樣 臺2例如支撐在導軌（未圖示）上，通過手動或自動，能沿C方向從氣泡除去區域28移動 到檢查區域29。
[0093] 另外，第六實施方式的超聲波檢查裝置具有作為向試樣臺2的下表面23側噴出水 5的噴出部的噴嘴6,在第六實施方式中，噴嘴6配置在氣泡除去區域28的檢查區域29側。
[0094] 如圖17所示，形成在噴嘴6的圓筒面61上的噴出孔7相對于圓筒面61的頂部 62,沿圓周方向以角度θ 3(噴出角度θ3)向圖16中的X方向左側、即固定在氣泡除去區域 28的試樣臺2側傾斜的角度位置。
[0095] 在這種第六實施方式中，通過使泵8進行動作，從設在噴嘴6的噴出孔7噴出水5。 通過將水5向固定在氣泡除去區域28的試樣臺2的下表面23噴出，產生沿試樣臺2的下 表面23的水流，能更有效地吹飛殘存在下表面23的氣泡而除去。此時，由于將噴嘴6配置 在氣泡除去區域28的檢查區域29側，因此，能夠向與檢查區域29相反側吹飛氣泡，不會對 檢查區域29的超聲波檢查帶來不良影響。并且，由于在試樣臺2的下表面23側與第一實 施方式相同地形成親水性覆膜22,因此，吹飛的氣泡難以再次附著在試樣臺2上。
[0096] 并且，在噴嘴6的動作后，載置了被檢測體1的試樣臺2沿C方向移動到檢查區域 29。接著，第一超聲波探觸件3朝向移動到檢查區域29的試樣臺2上的被檢測體1照射超 聲波，為了被檢測體1內部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4相對于試樣 臺2水平移動，在被檢測體1上進行掃描。
[0097] 另外，水的噴出角度Θ 3、噴出孔7的直徑D、間距Ρ及個數Ν、試樣臺2的下表面23 與噴嘴6的上下方向（Ζ方向）的間隔d、噴嘴6的全長L只要設定為試驗上最適的值即可， 未特別地限定。
[0098] 根據該第六實施方式，在檢查區域29的超聲波檢查的實施中，能夠在氣泡除去區 域28實施下一個被檢測體1的氣泡除去作業。另外，載置在被除去了氣泡的試樣臺2上的 被檢測體1不會從作為超聲波傳輸用介質的水5中向外露出地在水5中移動到檢查區域 29,因此，能非常有效地實施超聲波檢查。
[0099] 如圖16所示，噴嘴6在此相對于試樣臺2在進深方向（Y方向）平行地配置，但并 未限定于此，也可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0100] 另外，噴嘴6可以構成為能相對于試樣臺2移動。例如在圖16的場合，噴嘴6在 進深方向（Y方向）平行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地在橫向（X方向）上滑動 移動。并且，噴嘴6在從氣泡除去區域28的檢查區域29側（初期位置）移動到圖16中的 X方向左側并除去了氣泡后，返回初期位置。根據這種結構，能向固定在氣泡除去區域28的 試樣臺2的下表面23的寬范圍，可靠地噴出水5,能更有效地將殘存在下表面23的氣泡向 與檢查區域29相反側吹飛并除去。
[0101]另外，在第六實施方式的氣泡除去區域28中，作為從試樣臺2的下表面23除去氣 泡的結構，可以應用從上述第一實施方式到第五實施方式的任一結構。
[0102] 圖18是局部剖切本發明的第六實施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0103] 在圖18所示的第六實施方式的變形例中，噴嘴6配置在氣泡除去區域28的與檢 查區域29側相反側。并且，形成在噴嘴6的圓筒面61上的噴出孔7與圖16所示的超聲波 檢查裝置相同，形成在相對于圓筒面61的頂部沿圓周方向以角度Θ 3(參照圖17)向圖18 中的X方向左側（在圖18中，與試樣臺2相反側）傾斜的角度位置。
[0104] 在第六實施方式的變形例的場合，噴嘴6在進深方向（Y方向）平行地配置，能夠 固定上下方向（Z方向）位置地在橫向（X方向）滑動移動。并且，噴嘴6在從氣泡除去區 域28的與檢查區域29相反側（初期位置）向圖16中的X方向右側移動，并進行氣泡的除 去后，返回初期位置。即使利用這種第六實施方式的變形例，也能向固定在氣泡除去區域28 的試樣臺2的下表面23的寬范圍可靠地噴出水5,能更有效地將殘存在下表面23的氣泡向 與檢查區域29相反側吹飛并除去。
[0105] (第七實施方式）
[0106] 接著，參照圖19,以與上述第六實施方式的不同點為中心說明本發明的第七實施 方式的超聲波檢查裝置，適當省略共同點的說明。圖19是局部剖切本發明的第七實施方式 的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。
[0107] 如圖19所示，第七實施方式的超聲波檢查裝置還具有作為向載置在試樣臺2上之 前的被檢測體1噴出水的第二噴出部的噴嘴17這一點與圖16所示的第六實施方式的超聲 波檢查裝置不同。噴嘴17與向試樣臺2的下表面23側噴出水5的噴出用的噴嘴6單獨地 設置，但其結構與噴嘴6相同。噴嘴17通過配管27與泵8連接，在配管27的途中設置壓 力調整器9。
[0108] 在第七實施方式中，由于使被檢測體從空氣中浸漬到水5中時卷入而附著在被檢 測體1上的氣泡通過從單獨設置的噴出用的噴嘴17噴出水產生水流而除去后，將被檢測體 1載置在試樣臺2上。
[0109] 根據這種第七實施方式，不僅能夠減少附著在被檢測體1的氣泡，還能減少附著 在試樣臺2上的氣泡。另外，通過事先單獨設置用于除去氣泡的噴嘴17,能夠減輕在上述第 一實施方式至第六實施方式中說明的試樣臺2的氣泡除去作業自身。另外，通過與從第一 實施方式至第六實施方式的各結構組合地使用噴嘴17,能更可靠地除去氣泡。
[0110] 圖20是局部剖切本發明的第七實施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0111] 圖20所示的第七實施方式的變形例相對于圖18所示的第六實施方式的變形例， 增加了向載置在試樣臺2之前的被檢測體1噴出水的作為第二噴出部的噴嘴17。即使在該 第七實施方式的變形例中，由于在使被檢測體1從空氣中浸漬到水5中時卷入而附著在被 檢測體1上的氣泡通過從單獨設置的噴出用噴嘴17噴出水產生水流而除去后，載置在試樣 臺2上。因此，能夠不僅減少附著在被檢測體1上的氣泡，還能減少附著在試樣臺2上的氣 泡。
[0112] 以上，根據實施方式對本發明進行了說明，但本發明并未限定于上述實施方式或 變形例，包括多種變形例。例如，上述實施方式為了使本發明容易明白而詳細地進行了說 明，但不限于必須包括全部的結構。另外，能將一方的實施方式的結構的一部分置換為另一 方的實施方式的結構，并且，也能在一方的實施方式的結構上追加另一方的實施方式的結 構。另外，能對各實施方式的結構的一部分進行其他結構的追加、刪除、置換。
[0113] 例如，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的設置位置可以上下顛倒。另 夕卜，也能以通過使試樣臺2相對于第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動，第 一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4在被檢測體1上進行掃描的方式構成。
【權利要求】
1. 一種超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有： 收放水的水槽； 配置在上述水槽內并載置被檢測體的試樣臺；以及 第一超聲波探觸件及第二超聲波探觸件，其在上下方向對置地配置，該第一超聲波探 觸件向被檢測體照射超聲波，該第二超聲波探觸件接收透過了被檢測體的超聲波， 在上述試樣臺的下表面側形成親水性覆膜。
2. 根據權利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有向上述試樣臺的下表面噴出水的噴出部。
3. 根據權利要求2所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述噴出部構成為能相對于上述試樣臺移動。
4. 根據權利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺的下表面側的流體的吸引部。
5. 根據權利要求2所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺的下表面側的流體的吸引部。
6. 根據權利要求3所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺的下表面側的流體的吸引部。
7. 根據權利要求4所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述吸引部構成為能相對于上述試樣臺移動。
8. 根據權利要求6所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述吸引部構成為能相對于上述試樣臺與上述噴出部連動。
9. 根據權利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有能與上述試樣臺的下表面接觸地移動的刮水器。
10. 根據權利要求7所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 能與上述試樣臺的下表面接觸的刮水器設置在上述吸引部。
11. 根據權利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有在檢查時上述試樣臺移動到的檢查區域， 上述第一超聲波探觸件向移動到上述檢查區域的上述試樣臺上的被檢測體照射超聲 波。
12. 根據權利要求11所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有向載置在上述試樣臺之前的被檢測體噴出水的第二噴出部。
【文檔編號】G01N29/06GK104122334SQ201410171225
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年4月25日 優先權日:2013年4月25日
【發明者】富田隆, 長岡宏和, 北見薰, 高田雅文 申請人:株式會社日立電力解決方案
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