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回卷裝置、回卷方法、檢查裝置以及構造物制造方法
【專利摘要】本發明提供一種回卷裝置，該回卷裝置具備：分割部(303)，其將來自光源單元的放射光分割為照射在第一片與第二片的側面部(204e)上的測定光和照射在參照面(311)上的參照光；干涉檢測部(314)，其檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光；位置檢測部(314)，其根據由所述檢測部檢測到的所述干涉光而檢測所述第一片與所述第二片的位置；判定部(100c)，其根據由所述位置檢測部檢測到的所述位置來判定所述回卷體的優劣。
【專利說明】回卷裝置、回卷方法、檢查裝置以及構造物制造方法

【技術領域】
[0001]本發明涉及一種回卷裝置、回卷方法、檢查裝置以及構造物制造方法。

【背景技術】
[0002]在回卷像鋰離子電池的電極或者薄膜電容器那樣的帶狀的片材而形成的回卷體中，基于它們的特性角度出發，片材的卷繞偏移的檢查非常重要。作為檢查卷繞偏移的裝置，在專利文獻I中記載了作為現有技術的圖10所示的裝置。
[0003]在圖10中，檢查對象物2設置在臺I上。檢查對象物2為結束了片材的回卷的回卷體。從X射線照射裝置3向設置在臺I上的檢查對象物2的一個側面照射有X射線。電視攝像機4對檢查對象物2的另一個側面進行拍攝。通過該拍攝而在電視攝像機4獲取檢查對象物2的X射線透過圖像。在現有技術中，根據該X射線透過圖像來檢查檢查對象物2的卷繞偏移。
[0004]【在先技術文獻】
[0005]【專利文獻】
[0006]專利文獻1:日本特開平11-51629號公報


【發明內容】

[0007]【發明要解決的課題】
[0008]然而，由于在現有技術中使用X射線，因此存在如下的課題，S卩，存在工作人員被輻射的風險。
[0009]本發明為解決所述以往的課題而完成，其目的在于，不使用X射線地實施檢查。
[0010]【用于解決課題的方案】
[0011]為了實現所述目的，本發明的一方式所涉及的回卷裝置將貼合的第一片與第二片卷繞在卷芯上從而形成回卷體，所述回卷裝置的特征在于，具備:
[0012]光源單元，其射出放射光；
[0013]分割部，其將所述放射光分割為照射在貼合的所述第一片與所述第二片的側面部上的測定光和照射在參照面上的參照光；
[0014]干涉檢測部，其檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光；
[0015]位置檢測部，其根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置；
[0016]判定部，其根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述回卷體的優劣。
[0017]而且，為了實現所述目的，本發明的其它方式所涉及的檢查裝置對具有被貼合了的第一片與第二片的部件進行檢查，所述檢查裝置的特征在于，具備:
[0018]光源單元，其射出放射光；
[0019]分割部，其將所述放射光分割為照射在所述第一片與所述第二片的側面部上的測定光和照射在參照面上的參照光；
[0020]干涉檢測部，其檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光；
[0021]位置檢測部，其根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置；
[0022]判定部，其根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述部件的優劣。
[0023]而且，為了實現所述目的，本發明的其它方式所涉及的回卷方法將貼合的第一片與第二片卷繞在卷芯上從而形成回卷體，并且實施檢查工序，所述回卷方法的特征在于，所述檢查工序包含:
[0024]將測定光照射在貼合的所述第一片與所述第二片的側面部上并且將參照光照射在參照面上的工序；
[0025]檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光的工序；
[0026]根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置的工序；
[0027]根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述回卷體的優劣的工序。
[0028]而且，為了實現所述目的，本發明的其它方式所涉及的構造物制造方法的特征在于，包含:
[0029]準備通過所述回卷方法形成的所述回卷體的工序；
[0030]使用所述回卷體而制造構造物的工序。
[0031]而且，為了實現所述目的，本發明的其它方式所涉及的構造物制造方法的特征在于，包含:
[0032]使用所述檢查裝置而對所述部件實施檢查的工序；
[0033]利用實施了檢查的所述部件而制造構造物的工序。
[0034]【發明效果】
[0035]根據本發明的方式，能夠不使用X射線地實施檢查。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]由與針對所添加附圖的優選實施方式相關的以下的記述闡明本發明的這些內容和其他目的和特征。在該附圖中，
[0037]圖1A為第一實施方式中的回卷裝置的示意圖，
[0038]圖1B為回卷裝置的檢查對象物的一例的鋰離子電池的立體圖，
[0039]圖2為從箭頭標記B觀察圖1A中的A-A’剖面而得到的圖，且為回卷裝置的卷繞偏移檢查裝置的結構圖，
[0040]圖3為表示第一實施方式所涉及的回卷裝置的回卷方法的流程圖，
[0041]圖4A為用于說明卷繞偏移量Λζ的圖，且為表示卷芯的旋轉角度Θ與回卷體的端面的位置zl、z2的關系的圖，
[0042]圖4B為用于說明卷繞偏移量Λζ的圖，且為表示在θ = 360°時所獲取的SS-OCT信號與位置ζ的關系的圖，
[0043]圖4C為用于說明卷繞偏移量Λζ的圖，且為表示在Θ = 720°時所獲取的SS-OCT信號與位置ζ的關系的圖，
[0044]圖5Α為用于說明照射點的圖，且為表示照射點的長軸的長度為300 μ m的情況下的回卷體的接點上的點位置的圖，
[0045]圖5B為用于說明照射點的圖，且為表示從箭頭標記D觀察圖5A中的C_C’剖面而得到的剖視圖、與表示SS-OCT信號和位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖，
[0046]圖5C為用于說明照射點的圖，且為將圖5A中的照射點附近放大而得到的圖，
[0047]圖6A為用于說明照射點的圖，且為表示照射點的長軸的長度為100 μ m的情況下的回卷體的接點上的點位置的圖，
[0048]圖6B為用于說明照射點的圖，且為表示從箭頭標記F觀察圖6A中的E_E’剖面而得到的圖、與表示SS-OCT信號與位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖，
[0049]圖6C為用于說明照射點的圖，且為將圖6A中的照射點附近放大而得到的圖，
[0050]圖7A為用于說明照射點的圖，且為表示照射點的長軸的長度的情況下的回卷體的接點上的點位置的圖，
[0051]圖7B為用于說明照射點的圖，且為表示從箭頭標記H觀察圖7A中的G_G’剖面而得到的圖、與表示SS-OCT信號與位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖，
[0052]圖7C為用于說明照射點的圖，且為將圖7A中的照射點附近放大而得到的圖，
[0053]圖8A為表示第一片材與第二片材的關系的圖，且為表示第一片材與第二片材保持張力的狀態下的回卷體的圖、與表示SS-OCT信號與位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖，
[0054]圖SB為表示第一片材與第二片材的關系的圖，且為表示第二片材覆蓋在第二片材之上的狀態下的回卷體的圖、與表示SS-OCT信號和位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖，
[0055]圖9為第二實施方式中的回卷裝置的示意圖，
[0056]圖10為專利文獻I中的以往的卷繞偏移檢查技術的簡略結構圖。

【具體實施方式】
[0057]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發明的實施方式。需要說明的是，在添加附圖中，對相同的部件標注相同的參照符號。
[0058](第一實施方式)
[0059]<回卷裝置200的概要>
[0060]圖1A為本發明的第一實施方式中的回卷裝置200的示意圖。
[0061]在圖1A中，回卷裝置200具備SS-OCT裝置201。該回卷裝置200為將貼合的第一片材202與第二片材203卷收在卷芯206上而形成回卷體204的裝置。第一片材202為第一片的一例。第二片材203為第二片的一例。在該第一實施方式中，從SS-OCT裝置201向包含第一片材202、第二片材203在內的回卷體204的一側照射光，從而檢查構成回卷體204的第一片材202或者第二片材203的卷繞偏移。需要說明的是，在將貼合的第一片材202與第二片材203卷收在卷芯206上而形成回卷體204時，為了更可靠地維持卷收有最外側的第一片材202與第二片材203的狀態而不使它們反卷，可以適當使用臨時固定的膠帶等公知的臨時固定構件。
[0062]回卷裝置200具備第一供給卷軸50、第二供給卷軸51、貼合輥205、卷芯206、卷芯旋轉驅動部206M、回卷控制部100。
[0063]卷芯旋轉驅動部206M由馬達等構成，根據來自回卷控制部100的信息而旋轉驅動卷芯206。
[0064]回卷控制部100具備顯示部100a、存儲部100b、判定部100c，回卷控制部100對回卷裝置200的回卷動作進行控制。
[0065]顯示部10a顯示所形成的回卷體204是OK品(合格產品)還是NG品(不合格產品)。
[0066]存儲部10b與標注在回卷體204上的制造編號等對應地存儲是NG品的意旨。
[0067]判定部10c根據由后述的OCT運算處理部314 (參照圖2)檢測出的位置，來判定回卷體204的優劣(0K還是NG)。
[0068]第一片材202與第二片材203分別在卷繞成輥狀的狀態下，通過第一供給卷軸50與第二供給卷軸51而分別設置在回卷裝置200之中。第一片材202從第一供給卷軸50反卷而向貼合輥205供給。第二片材203從第二供給卷軸51反卷而向貼合輥205供給。第一片材202與第二片材203在通過貼合輥205而被貼合后，到達卷芯206，繞卷芯206而形成回卷體204。
[0069]回卷體204例如為構成鋰離子電池的構件。構成鋰離子電池的回卷體204如圖1B所示，包含正極63以及負極64、它們之間的絕緣體即兩張隔離件61、62這總計四張片材。但是，為了便于說明，在以下的說明中將回卷體204所包含的片材的數量設為兩張，將第一片材202設為作為導體的電極的一例的正極63，將第二片材203設為絕緣體的隔離件61。
[0070]貼合棍205由一對棍構成,在一對棍間夾入第一片材202與第二片材203,使第一片材202與第二片材203重合。
[0071]SS-OCT裝置201為使用了波長掃描式光學相干斷層成像術(SS-OCT:Sw印tSource Optical Coherence Tomography)的光干涉信號測定裝置。OCT(Optical CoherenceTomography)為利用光的干涉現象的測定法。在OCT中，將來自光源的放射光分割為參照光與測定光，使參照光入射在參照面上，使測定光入射在測定對象物上。而且，通過使由參照面反射的參照光和由測定對象物反射的測定光干涉來檢測干涉信號。根據檢測到的干涉信號，來檢測測定對象物的位置。
[0072]OCT大體分為需要參照面的掃描的時間區域0CT(TD-0CT:Time Domain OpticalCoherence Tomography)與不需要參照面的掃描的頻率區域OCT (FD-0CT:Fourier DomainOptical Coherence Tomography)這兩種。而且，FD-OCT也分為分光式與波長掃描式這兩種。特別是，波長掃描式的FD-OCT被稱為SS-0CT。在SS-OCT中，使從光源射出的光的頻率隨時間變化地實施干涉光的檢測。
[0073]SS-OCT裝置201的簡略結構如圖2所示。
[0074]SS-OCT裝置201具備光纖干涉計301、測定頭307。光纖干涉計301具備作為光源單元的一例而發揮功能的波長掃描式光源302。測定頭307作為光學構件的一例而發揮功倉泛。
[0075]光纖干涉計301具備使出射的放射光的波長變化的波長掃描式光源302。來自波長掃描式光源302的放射光的光出射口與第一聯接器303的光接收口連接。第一聯接器303作為將光以固定比率分割成兩份的分割部的一例而發揮功能。第一聯接器303的兩個光送出口中的第一光送出口與第一循環器304連接。第一聯接器303的兩個光送出口中的第二光送出口與第二循環器305連接。S卩，來自波長掃描式光源302的放射光由第一聯接器303分割成測定光以及參照光，測定光入射至第二循環器305，參照光入射至第一循環器304。
[0076]第二循環器305與第二聯接器306的光接收口連接，并且與光纖干涉計301外的測定頭307連接。由此，來自第一聯接器303的測定光入射至測定頭307，另一方面來自測定頭307的測定光入射至第二聯接器306。
[0077]測定頭307具備照射準直透鏡308、電流計鏡309、光束徑成形機構310。
[0078]照射準直透鏡308與第二循環器305連接。
[0079]電流計鏡309配設在測定頭307的內部。
[0080]光束徑成形機構310配置在電流計鏡309與回卷體204之間，而成形測定光的點徑。回卷體204為測定對象物的一例。
[0081]從第二循環器305入射至照射準直透鏡308的測定光通過照射準直透鏡308而成形成平行光。之后，成為平行光的測定光經由電流計鏡309而由光束徑成形機構310聚光。之后，從光束徑成形機構310出射的測定光照射在回卷體204的端面(側面部204e)上。在側面部204e反射(或者后方散射)的測定光經由光束徑成形機構310而入射至第二循環器305。進而，入射至第二循環器305的測定光入射至第二聯接器306。
[0082]另一方面，從第一循環器304出射的參照光入射在參照準直透鏡312上。參照準直透鏡312使參照光入射在參照面311上，并且使在參照面311反射的參照光入射至第一循環器304。第一循環器304與第二聯接器306的光接收口連接。
[0083]在第二聯接器306，由來自第二循環器305的測定光和來自第一循環器304的參照光形成干涉光。由此，第二聯接器306作為合波機構的一例而發揮功能。
[0084]在差動放大器313，將由第二聯接器306形成的干涉光的光學拍頻信號差動傳送至OCT運算處理部314。從波長掃描式光源302射出的放射光的頻率根據時間經過而變化。因此，在第二聯接器306進行干涉的參照光與測定光之間，產生與時間延遲量對應的頻率差。該頻率差成為干涉光的光學拍頻信號。
[0085]OCT運算處理部314具備模擬/數字變換電路(模擬/數字變換部)314a、傅里葉變換電路(傅里葉變換部)314b、運算部314c。傅里葉變換電路314b作為干涉光檢測機構(干涉檢測部)而發揮功能，運算部314c作為圖像獲取機構以及位置檢測部而發揮功能。
[0086]需要說明的是，也可以使運算部314c同時作為干涉檢測部與位置檢測部。
[0087]模擬/數字變換電路314a對由第二聯接器306形成的干涉光的光學拍頻信號的時間波形實施模擬/數字變換。
[0088]傅里葉變換電路314b與模擬/數字變換電路314a連接，而檢測基于來自模擬/數字變換電路314a的干涉光的作為信號的光學拍頻信號。傅里葉變換電路314b對檢測到的信號實施傅里葉變換，并實施頻率解析。根據該頻率解析的結果，獲取表示干涉光的強度分布的SS-OCT信號。
[0089]從傅里葉變換電路314b被進行了傅里葉變換的信息被輸入至運算部314c。運算部314c根據從傅里葉變換電路314b輸入的信息(SS-0CT信號)，計算位于受測定光照射的位置上的回卷體204上的第一片材202與第二片材203的反射面的位置zl以及位置z2 (參照圖4A)。需要說明的是，也可以通過運算部314c實施頻率解析。
[0090]運算部314c的輸出部與波長掃描式光源302、測定頭307的電流計鏡309等的驅動部307M電連接，而控制波長掃描式光源302、電流計鏡309的動作。此外，運算部314c的輸出部也與回卷控制部100連接。在回卷控制部100，根據來自運算部314c的信息而實施卷繞偏移的檢查等規定的動作。
[0091]需要說明的是，在第一實施方式中，也可以采用所述TD-0CT。但是，為了提高測定的速度，優選在被稱為A掃描的一維的掃描中例如使用能夠以1kHz以上進行實施的SS-OCT 或 FD-OCT。
[0092]<測定頭的設置位置>
[0093]圖2的204與206為從箭頭標記B方向觀察圖1A中A_A’剖面的回卷體與卷芯。測定頭307像圖2那樣設置在卷芯206的旋轉軸線上。通過以這種方式設置，能夠從測定頭307沿著與回卷體204的旋轉軸方向平行的ζ軸方向，對回卷體204照射測定光。
[0094]此外，使測定頭307中的電流計鏡309的旋轉軸與x軸平行地配置。通過以這種方式構成，能夠使測定光的照射位置沿I軸方向移動。
[0095]〈關于第一實施方式中的回卷方法〉
[0096]圖3為表示圖1A的回卷裝置200的回卷方法的流程圖。此處，利用圖1A、圖2、圖3進行說明。
[0097]在步驟SI，將圖1A的第一片材202與第二片材203設置在能夠通過卷芯206進行回卷的位置。該步驟SI可以由工作人員來實施，也可以通過對第一片材202與第二片材203進行把持的把持機構自動實施。此處，作為將第一片材202與第二片材203設置在卷芯206上的設置方法，例如，使第一片材202以及第二片材203保持在設置于卷芯206上的開閉式的狹縫中。
[0098]接下來，在步驟S2，回卷控制部100控制卷芯旋轉驅動部206M，而使卷芯206繞逆時針方向旋轉。由此，將第一片材202與第二片材203卷收在卷芯206上，從而在卷芯206的周圍形成回卷體204。
[0099]接下來，在步驟S3，對回卷體204實施使用了 SS-0CT裝置201的SS-0CT測定。
[0100]以下說明該SS-OCT測定的詳細內容。
[0101]圖2的SS-OCT裝置201 —邊使從波長掃描式光源302放射的放射光的波長變化一邊實施測定。將使波長變化的范圍設置在例如波長1300nm±50nm的范圍。該波長掃描式光源302的動作由運算部314c控制。
[0102]來自波長掃描式光源302的放射光從回卷體204的旋轉軸方向即ζ軸方向向回卷體204照射。向回卷體204照射的測定光在回卷體204的端面(側面部204e)反射。該反射的測定光中包含由第一片材202反射的光以及由第二片材203反射的光。由回卷體204反射的測定光進入第二聯接器306。在第二聯接器306，由回卷體204反射的測定光與由參照面311反射的參照光干涉而形成干涉光。該干涉光的光學拍頻信號經由差動放大器313而由OCT運算處理部314檢測。OCT運算處理部314對檢測出的光學拍頻信號實施頻率解析，而取得SS-OCT信號，然后，根據該SS-OCT信號分別計算出圖1A的第一片材202的反射面的位置zl以及第二片材203的反射面的位置z2。需要說明的是，位置zl表示第一片材202的長邊的端面(側面部)的在ζ軸方向上的位置，位置z2表示第二片材203的長邊的端面(側面部)的在ζ軸方向上的位置。需要說明的是，第一片材202的長邊是指第一片材202中與第一片材202的移動方向平行的邊。而且，第二片材203的長邊是指第二片材203中與第二片材203的移動方向平行的邊。由OCT運算處理部314計算出的位置zl與位置z2的信息向回卷控制部100輸出。
[0103]接下來，在步驟S4，根據計算出的位置zl以及位置z2，計算第一片材202與第二片材203的卷繞偏移量Λζ。在后文中具體說明卷繞偏移量Λζ。卷繞偏移量Az的計算由回卷控制部100的判定部10c實施。
[0104]接下來，在步驟S5，判定部10c對在步驟S3計算出的卷繞偏移量Λ ζ是否在OK范圍內進行判定。OK范圍是指能夠將產品視為合格產品的范圍，具體而言，是即使落入該范圍內也不會對質量產生影響的卷繞偏移量Az的范圍。將該OK范圍預先存儲在存儲部10b0在后文中詳細說明預先存儲的OK范圍。此處，在卷繞偏移量Λζ在OK范圍外的情況(步驟S5的“否”)下，進入步驟S6。另一方面，在卷繞偏移量Λζ在OK范圍內的情況(步驟S5的“是”)下，進入步驟S7。
[0105]在步驟S6，將來自判定部10c的NG信號向顯示部10a與卷芯旋轉驅動部206Μ傳遞。
[0106]接下來,在步驟S8,在顯示部10a顯示所形成的回卷體204NG的意旨。此外，回卷控制部100的存儲部10b與標注在回卷體204上的制造編號等對應地存儲NG的意旨。通過以這種方式構成，在后續工序中，通過對照存儲部10b中的存儲信息與回卷體204的制造編號等，便能夠廢棄NG品。
[0107]另一方面，在步驟S7,由判定部10c判定是否完成回卷體204。如果判定為完成了回卷體204 (步驟S7的“是”)，則進入步驟S9。回卷控制部100根據來自與卷芯旋轉驅動部206Μ連接的編碼器等的信息而實施是否完成回卷體204的判定。例如，由來自編碼器的信息求出卷芯206的旋轉次數，由判定部10c判定該旋轉次數是否達到存儲于預先存儲部10b中的次數。預先存儲的次數例如設置為10次。如果判定為未完成回卷體204的回卷(步驟S7的“否”)，則不停止回卷而返回步驟S2，再度實施SS-OCT測定。
[0108]在判定為完成了回卷體204的回卷的情況、或者從判定部10c輸出了 NG信號的情況下，在步驟S9，卷芯旋轉驅動部206Μ停止卷芯206的旋轉。然后，在貼合輥205與卷芯206之間由未圖示的電極切斷部切斷第一片材202與第二片材203，從而結束動作。
[0109]需要說明的是，在實施步驟S8的工序時，也可以同時實施步驟S9的工序。
[0110]而且，步驟S3?步驟S5的工序為檢查工序的一例。在本實施方式中，通過在形成回卷體204期間同時實施檢查工序，能夠縮短開始回卷體204的形成到結束檢查所需的時間。
[0111]而且，通過實施準備由第一實施方式中的回卷方法形成的回卷體204的工序、使用所準備的回卷體204制造構造物的工序，能夠實現構造物制造方法的一例。而且，作為構造物制造方法的其它例，也能夠包含使用作為檢查裝置的一例的SS-OCT裝置201而實施作為部件的一例的回卷體204的檢查的工序、以及利用實施了檢查的回卷體204制造構造物的工序。作為部件的其他例，也能夠采用將第一片材202與第二片材203層疊而形成的層疊體。
[0112]作為構造物的示例，除能夠使用作為部件的一例的回卷體204而制造的回卷型的電池、回卷型的電容器等以外，還能夠例舉能夠使用作為部件的其他例的層疊體制造的層疊型的電池、層疊型的電容器等。就作為構造物制造方法的具體例的電池(構造物的一例)的制造方法而言，通過將回卷體204收納在殼體內，在殼體形成負極與正極，由此能夠制造電池。作為更具體的構造物制造方法，存在如下的方法，即，將回卷體204放入實施了鎳鍍敷的鐵制的罐(殼體的一例)中，在使負極與罐底焊接并注入電解液后，使正極與蓋焊接，并由沖壓機封口。
[0113]〈卷繞偏移量Δz>
[0114]圖4A為表示圖1A的卷芯206的旋轉角度Θ、與第一片材202上的沿ζ軸方向的位置zl以及第二片材203上的沿ζ軸方向的位置ζ2之間的關系的圖。圖4Α的橫軸為旋轉角度Θ，表示卷芯206的旋轉角度。在Θ = 0°時，卷芯206位于回卷開始位置，為僅設置有第一片材202與第二片材203而卷芯206未旋轉的狀態。例如如果Θ = 360°，則卷芯206繞逆時針方向旋轉一周，第一片材202與第二片材203分別被卷收與卷芯206的圓周一周量對應的量。
[0115]圖4Α的縱軸表示位置ζ。在該縱軸上，如果位置ζ的值大(向坐標圖的上方移動)則表示位于圖1A中的紙面近前方向，如果位置ζ的值小(向坐標圖的下方移動)則表示位于圖1A中的紙面進深方向。S卩，圖4Α的坐標圖表示位置zl與位置ζ2相比更靠圖1A中的紙面里側。
[0116]在第一實施方式中，卷繞偏移量Λζ是指某個旋轉角度Θ的、位置zl與位置ζ2之差，Δ ζ = zl_z2。
[0117]圖4Β為表示圖4Α中Θ = 360°的情況下得到的SS-OCT信號強度與位置ζ之間的關系的圖。圖4C為表示圖4Α中Θ = 720°的情況下得到的SS-OCT信號強度與位置ζ之間的關系的圖。
[0118]SS-OCT裝置201的運算部314c將所得到的SS-OCT信號的兩個波峰位置作為第一片材202與第二片材203的位置zl以及位置z2而進行測定。其中，也可以不測定波峰位置，而使用例如對SS-OCT信號實施邊緣檢測等其他的信號處理方法。
[0119]需要說明的是，在本實施方式中，由于只要測定卷繞偏移量Λζ即可，因此在由SS-OCT信號得到兩個波峰的情況下無需區別兩者是來自哪個片材的SS-OCT信號。然而，也可以利用第一片材202與第二片材203相對于測定光的反射率不同這一情況而區別兩者。具體而言，利用金屬與樹脂相比測定光的反射率高的特點。或者，由于樹脂與金屬的SS-OCT信號的波峰形狀不同，因此也可以利用形狀的差異來區別兩者。具體而言，金屬的SS-OCT信號的波峰形狀比樹脂的SS-OCT信號的波峰形狀尖銳。換言之，金屬的SS-OCT信號的波峰形狀的半值寬度比樹脂的SS-OCT信號的波峰形狀的半值寬度窄。利用該差異，位置檢測部(作為一例的運算部314c)根據作為頻率解析的結果而得到的SS-OCT信號(干涉光的強度分布)中含有的波峰形狀而檢測金屬(第一片)與由樹脂構成的隔離件(第二片)的各自的位置。
[0120]通過圖1A的回卷控制部100旋轉驅動卷芯旋轉驅動部206M而使卷芯206旋轉，由此一邊改變Θ —邊繼續實施該測定。由此，測定直到回卷結束的在所有旋轉角度Θ的卷繞偏移量A Z0
[0121]〈關于OK范圍〉
[0122]在形成作為回卷體204的鋰離子電池的情況下，需要配置隔離件，以使正極與負極不發生短路。此時，如果卷繞偏移量Λ ζ不達到一定大小以上，則會發生正極與負極短路的情況。因此，作為一定大小的閾值，在本實施方式中使用第一閾值。具體而言，通過由判定部10c比較第一閾值與卷繞偏移量△ ζ來實施優劣判定。例如，將第一閾值設為50 μ m。
[0123]另一方面，卷繞偏移量Λ ζ的值過大也存在發生短路的情況。S卩，需要使卷繞偏移量在一定大小以下。作為該一定大小的閾值而使用第二閾值。例如，將1950 μ m設為第二閾值。
[0124]S卩，將第一閾值以上而且第二閾值以下作為OK范圍，而預先存儲在存儲部10b中。判定部10c根據該OK范圍，來實施優劣判定。
[0125]需要說明的是，作為優劣判定的基準，也可以對位置Zl與位置z2分別設置上限與下限的閾值。然而，在圖2的光纖干涉計301中，作為在從第一聯接器303出射后經由參照面311的反射而入射至第二聯接器306為止的參照光的路長H1、與在第一聯接器303中出射后經由回卷體204的反射而入射至第二聯接器306為止的測定光的路長H2的兩個光路之差而獲得由SS-OCT測定得到的位置zl、位置z2。例如，在因環境溫度的變化造成參照光路長Hl與測定光路長H2變化的情況下，位置zl與位置z2的值也變化，因此存在判定的精度降低的情況。對此，由于即使參照光路長Hl與測定光路長H2變化，作為卷繞偏移量Λ ζ也不發生變化，因此從精度的角度出發，優選在判定中使用卷繞偏移量Λ ζ。
[0126]<關于照射點209的大小>
[0127]對在實施SS-OCT測定時，優選的測定光的點徑狀進行說明。
[0128]通過圖2的SS-OCT裝置201中的光束徑成形機構310，將測定光的照射點的形狀成形成細長的橢圓形。由此，能夠使橢圓的點形狀的長軸的長度與一組片材(第一片材202與第二片材203)的合計厚度相等。而且，使由圖1A的貼合輥205貼合的第一片材202和第二片材203的移動方向與橢圓的點形狀的長軸正交。
[0129]具體而言，在將圖1A所示的測定光的照射點209的長軸(與圖1A的y軸平行的軸)的長度設為a，將第一片材202的厚度設為Tl，將第二片材203的厚度設為T2時，得到下述的式(I)。
[0130]a = T1+T2......(式 I)
[0131]例如，在第一片材202與第二片材203的合計的厚度為100 μ m的情況下，a =
200μ m。
[0132]利用圖5A?圖7C說明使照射點209的長軸的長度a與一組片材(第一片材202與第二片材203)的合計厚度相等的理由。
[0133]圖5A為表示測定光的照射點209的長軸的長度a充分大于一組片材的合計厚度，而例如設置為300 μ m的情況下的狀態的圖。此處，在接點210配置照射點209。
[0134]此處，接點210是指，在從側面(ζ軸方向)觀察片材(第一片材202、第二片材203)被卷收在回卷體204上的狀態的側視圖中，片材的應當被卷收的部分與由已經被卷收了的部分構成的回卷體204最初接觸的位置。換言之，是指在回卷體204的側視圖中從回卷體204的外周面向一對貼合輥205之間的中心引出的切線與回卷體204的周面接觸的接觸點。該切線與由貼合輥205貼合的第一片材202和第二片材203在從ζ軸方向觀察而得到的側視圖中一致。
[0135]圖5Β為示出了從箭頭標記D觀察圖5Α中的C_C’剖面的圖、與表示SS-OCT信號強度和位置ζ的關系的圖之間的對應關系的說明圖。圖5C為將圖5A中的照射點209的附近放大而得到的圖。
[0136]像圖5A?圖5C那樣,在長度a充分大于第一片材202與第二片材203的合計的厚度的情況下，有時除最外周的第二片材203a的位置信息與位于其下層的第一片材202的位置信息以外，還會獲取位于與一周量對應的內周的第二片材203b的位置信息。這是由于檢測出由第二片材203b反射的測定光。在該情況下，在所取得的SS-OCT信號中，混合有第二片材203a與第二片材203b雙方的信號。如果混合有雙方的信號，則不能區別各個信號的出處，從而不能準確地測定卷繞偏移量Λζ。因此，必須根據第一片材202與第二片材203的合計的厚度，將照射點209的長度a限制在一定以下的大小。
[0137]另一方面，圖6A為表不照射點209的長軸的長度a充分小于第一片材202與第二片材203的合計的厚度,而例如設置為100 μ m的情況的圖。圖6B為示出了從箭頭標記F觀察圖6A中的E-E’剖面而得到的圖、與表示SS-OCT信號強度和位置ζ的關系的圖之間的對應關系的說明圖。圖6C為將照射點209的附近放大而得到的圖。
[0138]在該情況下，像圖6B那樣僅能夠得到第一片材202的信息。因此，為了獲取所述的卷繞偏移量Λ ζ = zl-z2,需要實施多次SS-OCT測定或需要多個SS-OCT測定裝置。因此，需要根據第一片材202與第二片材203的合計的厚度，將照射點209的長度a設定成一定以上的大小。
[0139]因此，優選像圖7A那樣，設定照射點209的長軸的長度a。圖7A為使照射點209的長軸a與第一片材202和第二片材203的合計的厚度相等，而例如設置為200 μ m的情況的圖。圖7B為表示從箭頭標記H觀察圖7A中的G-G’剖面而得到的剖視圖、與表示SS-OCT信號強度和位置ζ的關系的圖之間的對應關系的說明圖。圖7C為將照射點209的附近放大而得到的圖。
[0140]像這樣，使照射點209的長軸的長度a與第一片材202和第二片材203的合計厚度相等。這樣，由于能夠僅獲取作為一組片材的第一片材202與第二片材203a的位置信息，并且不測定不需要的第二片材203b的位置信息，因此最優選。
[0141]需要說明的是，作為具體的長軸的長度a的范圍，優選設置為貼合的第一片材202與第二片材203的合計厚度的90%以上并且110%以下。如果在該范圍內，則既能夠消除測定中不需要的第二片材203b的影響，還能夠同時測定第一片材202與第二片材203a的位置信息。在本實施方式中，將照射點209的長軸的長度a例如設置為200μηι±20μηι。
[0142]此處，對設置為±20 μ m(合計厚度的90%以上并且110%以下的范圍)的理由進一步進行說明。
[0143]如果將長軸的長度a設置為200 μ m以上并且220 μ m(合計厚度的110% )以下，則成為如下的狀態。即，照射點209不僅與第二片材203a重復而且還與第二片材203b略微重復，從而也檢測出來自第二片材203b的SS-OCT信號。然而，由于此時照射點209所占據的第二片材203b的面積足夠少，因此幾乎不會檢測到來自第二片材203b的SS-OCT信號。然而，本發明人發現，如果使長軸的長度a大于220 μ m(合計厚度的110% )，則來自第二片材203b的SS-OCT信號的影響變大，從而無法精度良好地測定卷繞偏移量Λζ。
[0144]而且，如果將長軸的長度a設置為180 μ m以上并且小于200 μ m(合計厚度的90%以上并且不足100% )，則照射在第二片材203b上的測定光與照射點209的長軸的長度a為200 μ m時相比略微減弱。然而，另一方面，由此造成的SS-OCT信號強度的降低量微小，在位置zl以及位置z2的測定時不會產生問題。然而，本發明人發現，如果將長軸的長度a設置為不足180 μ m(不足合計厚度的110%)，則無法精度良好地測定位置zl以及位置z2。
[0145]根據以上內容，將照射點209的長軸的長度a的范圍設置為貼合的第一片材202與第二片材203的合計厚度的90%以上并且110%以下。
[0146]需要說明的是，作為成形照射點209的形狀的圖2的光束徑成形機構310能夠使用柱面透鏡、曲而透鏡、或者光闌等。而且，由于圖1A的第一片材202的側面部的位置與第二片材203的側面部的位置在ζ軸方向上各不相同，因此以照射點徑狀在第一片材202的側面部與第二片材203的側面部幾乎不變化的方式，設計圖2的光束徑成形機構310。
[0147]而且，照射點209的短軸的長度b如下文所述。
[0148]如果增大照射點209的短軸的長度b，則會造成圖4A中的卷繞偏移量Λ ζ的Θ方向的分辨率降低，從而導致無法準確地測定卷繞偏移量Az的急劇的變化。如果為了準確地測定卷繞偏移量Λζ，而將所需的Θ方向分辨率設為△ Θ，將回卷體204的直徑設為2R時，為了不使Θ方向的分辨率降低而所需的照射點209的短軸的長度b如以下的(式2)所示。
[0149]b〈RX Δ Θ......(式 2)
[0150]例如在Λ Θ = 1°而R = 9mm時，根據(式2)，照射點209的短軸的長度b為157 μ m以下。
[0151]需要說明的是，在第一片材202與第二片材203的合計厚度薄的情況下照射點209的長軸的長度a變小，而且，在所需的Θ方向的分辨率Λ Θ低的情況下照射點209的短軸的長度b變大。在這種情況下，照射點209的點形狀未必限定于橢圓形狀。然而，在采用構成鋰離子電池的回卷體204的情況下，所含有的片材的合計厚度為約ΙΟΟμπι?500μπι，此外Θ方向分辨率Λ Θ越高越好，因此，優選將照射點209設置為橢圓形狀。在該情況下，例如，將照射點209的短軸的長度b設置為約長軸的長度a的一半以下。
[0152]<照射點209的位置>
[0153]優選照射點209的位置處于圖7A的接點210與任意的點M(貼合輥205與接點210之間的第一片材202與第二片材203的側面部上的任意的位置)之間，更優選設置在與卷收的接點210相同的位置。接點210是指，通過了貼合輥205的第一片材202和第二片材203與正在形成在卷芯206上的回卷體204以切線狀接觸的位置上的任意的點。換言之，為第一片材202與已經被卷收而構成回卷體204的第二片材203接觸的點。
[0154]在通過了接點210以后，由于第一片材202與第二片材203卷繞在卷芯206上，因此卷繞偏移量Λ ζ幾乎無變化。
[0155]假設在M點實施測定的情況下存在如下的問題。即，由于從M點到接點210不受ζ軸方向的限制力，因此有時因第一片材202與第二片材203的厚度等材料特性的片材中的不均勻、或者卷芯206的振動等要因，造成在ζ軸方向上發生變動。即，存在卷繞偏移Λζ發生變化直到接點210為止的可能性，從而可能影響測定結果的準確性。因此，更優選將測定位置設置為卷收的接點210。需要說明的是，作為一例，從M點到接點210為止的尺寸為200mm?300mm，卷芯206的直徑約為1mm?50mm。需要說明的是，測定位置為照射點209的位置。
[0156]但是，由于第一片材202與第二片材203通過貼合輥205而貼合，因此卷繞偏移量Δ ζ在M點與接點210大幅度變化的可能性不高。因此，也可以不將照射點209配置在接點210而配置在M點。需要說明的是，在上文中說明了優選將照射點209配置在接點210的理由。在該情況下，以第一片材202的側面部與第二片材203的側面部位于照射點209內的方式設定照射點209的位置。
[0157]需要說明的是，測定光的照射點209的位置通過作為第一光學構件的一例而發揮功能的圖2的測定頭307來調節。測定光通過作為第一光學構件的測定頭307而照射在側面部204e上的位置且位于接點210與貼合輥205之間的位置。優選向側面部204e上的位置且同時作為接點210位置的位置照射測定光。
[0158]而且，優選根據卷芯206的旋轉角度和第一片材202與第二片材203的合計厚度而使照射點209的位置移動。例如，由于如果將第一片材202與第二片材203的厚度分別設為T1、T2，將卷芯206的旋轉速度設為d Θ /dt，則第一片材202與第二片材203的合計厚度為(T1+T2)，因此優選使照射點209的位置向徑向即圖1A中的y軸方向移動下述(式3)的量。
[0159](T1+T2) X (d Θ/dt)+360。......(式 3)
[0160]例如，在厚度T1、T2均為10ym,旋轉速度d0/dt為3600° /秒的情況下，根據(式3)，以2000 μ m/秒的速度使照射點209的位置向y軸方向移動。
[0161]需要說明的是，照射點209的位置移動通過圖2的運算部314c改變電流計鏡309的角度而實施。需要說明的是，即使不使用電流計鏡309，也可以設置步進電機等機構，通過運算部314c使測定頭307本身移動。
[0162]需要說明的是，一般來講，由于隔離件薄而無剛性，因此有時因時間經過造成的吸濕等而失去張力，從而覆蓋在電極之上。而且，即使在從卷芯206取下完成了的回卷體204的情況下，有時也會因取出時的振動或者物理性的接觸等造成隔離件覆蓋在電極上。如果隔離件覆蓋在電極上，則會變得難以獲取來自隱藏在隔離件的里部的電極的SS-OCT信號。
[0163]圖8A為示出剛剛完成了回卷后的作為隔離件的第二片材203保持張力的狀態的圖、與表示SS-OCT信號強度和位置Z的關系的圖之間的對應關系的說明圖。圖8B為示出第二片材203覆蓋在作為電極的第一片材202之上的狀態的圖、與表示SS-OCT信號強度和位置ζ的關系的圖之間的對應關系的說明圖。從圖SB可以明顯看出，來自第一片材202的SS-OCT信號的強度減弱。該隔離件覆蓋電極的現象有時會在圖7A的接點210以后發生。因此，優選在接點210配置照射點209而實施SS-OCT測定。
[0164]需要說明的是，來自SS-OCT裝置201的放射光使用紅外光。更具體地講，來自SS-OCT裝置201的放射光使用波長0.8 μ m以上并且波長1.4 μ m以下的近紅外光。由于近紅外光透過樹脂，因此即使由樹脂構成的隔離件覆蓋電極，也能夠檢測出電極的位置。但是，由于在近紅外光透過隔離件時發生吸收或者散射而造成檢測出的SS-OCT信號的強度降低，因此更優選如所述那樣，在回卷期間，在接點210測定第一片材202與第二片材203的位置。
[0165]其中，雖然與紅外光相比測定精度降低，然而原理上能夠將0.4?5μπι的波長的光用作放射光。
[0166]需要說明的是，圖1A的第一供給卷軸50、第二供給卷軸51、貼合輥205分別旋轉自如。但是，也可以使它們分別具備馬達等旋轉驅動裝置。該情況的旋轉驅動裝置由回卷控制部100控制。
[0167]根據第一實施方式，由于一邊通過回卷裝置實施回卷一邊實施回卷體204的卷繞偏移的檢查，因此能夠縮短從回卷開始到卷繞偏移的檢查結束為止的生產間隔時間。而且，根據第一實施方式所涉及的回卷裝置，能夠不使用X射線地實施檢查。
[0168]需要說明的是，也可以向第一片材202、第二片材203的兩側，換言之，回卷體204的兩側面部照射測定光，而從兩側測定位置。在該情況下，使用兩個SS-OCT裝置201。
[0169]像這樣，如果向回卷體204的兩端面照射測定光，則能夠獲取第一片材202以及第二片材203的寬度方向的信息。具體而言，通過求得第一片材202以及第二片材203的兩側的位置的差分，來獲取第一片材202以及第二片材203的寬度方向的信息。這對了解第一片材202以及第二片材203為何種結構是很有效的。其中，一般來講，利用隔離件比電極的寬度寬這一特點。
[0170]需要說明的是，生產間隔時間變長，然而也可以在回卷結束后，S卩，在形成了作為構成構造物的部件的一例的回卷體204后，實施卷繞偏移的檢查。在該情況下，SS-OCT裝置
201作為檢測具有貼合的第一片材202與第二片材203的回卷體204 (構成構造物的部件的例)的檢查裝置的例而發揮功能。除回卷體204以外，也能夠檢查層疊電池等層疊型的構造物。檢查裝置構成為，具備:射出放射光的光源單元(作為一例的波長掃描式光源302)；將所述放射光分割為照射在第一片材202與第二片材203的側面部上的測定光和照射在參照面上的參照光的分割部(作為一例的第一聯接器303);檢測由參照面反射的參照光與由側面部反射的測定光進行了干涉而成的干涉光的干涉檢測部(作為一例的傅里葉變換電路314b);根據檢測出的干涉光而分別檢測第一片材202與第二片材203的位置的位置檢測部(作為一例的運算部314c);根據檢測出的第一片材202與第二片材203的位置而判定部件的優劣的判定部(作為一例的判定部100c)。
[0171]而且，也可以使用作為檢查裝置的一例而發揮功能的SS-OCT裝置201來實施第一實施方式的檢查方法。另外，也可以使用作為檢查裝置的一例而發揮功能的SS-OCT裝置201來實現包含檢查方法的構造物制造方法。
[0172](第二實施方式)
[0173]圖9為第二實施方式中的回卷裝置400的示意圖。需要說明的是，對與第一實施方式共通的結構使用相同的符號，并省略說明。
[0174]該第二實施方式的特征在于,在第一實施方式的基礎上，還具備棍導向器401、反饋控制部402。需要說明的足，在回卷控制部100的基礎上追加反饋控制部402而形成回卷控制部403。
[0175]輥導向器401由夾著第一片材202的一對滾子401r、控制一對滾子401r而使第一片材202沿ζ軸方向移動的移動裝置401M構成。通過移動裝置401M的驅動，能夠調節第一片材202的在ζ軸方向上的位置而控制卷繞偏移量Λζ。更具體地講，輥導向器401根據來自反饋控制部402的控制量(反饋量Va)變更一對滾子401r的在軸向上的傾斜角度，由此調節第一片材202的在ζ軸方向上的位置。
[0176]反饋控制部402將基于使用SS-OCT裝置201而獲取的卷繞偏移量Λ ζ的控制量向第一輥導向器401的移動裝置401Μ反饋(輸出反饋信號)。卷繞偏移量Λζ與控制量之間的關系以關系式或者表的形式預先存儲在反饋控制部402的存儲部中。反饋控制部402利用預先存儲的關系式或者表來決定控制量。
[0177]需要說明的是，輥導向器401只要是具有調節第一片材202的在ζ軸方向上的位置的功能的元件即可。
[0178]需要說明的是，也可以還設置調節第二片材203的在ζ軸方向上的位置的第二輥導向器，而同時調節第一片材202與第二片材203雙方的位置。
[0179]需要說明的是，輥導向器401以夾著第一片材202的方式配置，然而并不限定于此，也可以以夾著第二片材203的方式配置。
[0180]在該第二實施方式所涉及的回卷裝置中，也能夠不使用X射線地實施檢查。
[0181]而且，作為變形例，也可以在第一實施方式以及第二實施方式中省略貼合輥205，而從第一供給卷軸50與第二供給卷軸51直接使第一片材202與第二片材203繞卷芯206貼合的同時卷收，從而形成回卷體204。在該情況下，優選通過作為第二光學構件的一例而發揮功能的圖2的測定頭307向側面部204e上的位置且接點210的位置照射測定光。但是，由于設置貼合輥205能夠抑制卷繞偏移的產生，因此優選。
[0182]而且，通過適當組合所述各種實施方式或者變形例中的任意的實施方式或者變形例，能夠起到各自所具有的效果。
[0183]工業實用性
[0184]本發明所涉及的回卷裝置、回卷方法、檢查裝置以及構造物制造方法能夠應用在鋰離子電池或者薄膜電容器等的制造工序中。
[0185]本發明參照添加附圖與優選的實施方式相關聯而充分進行了記載，然而熟知該技術的技術人員知曉各種變形或者修改。這種變形或者修改只要不脫離所添加的權利要求的范圍所概括的本發明的范圍，則應當理解為包含于其中。
【權利要求】
1.一種回卷裝置，其將貼合的第一片與第二片卷繞在卷芯上從而形成回卷體，其中，所述回卷裝置具備: 光源單元，其射出放射光； 分割部，其將所述放射光分割為照射在貼合的所述第一片與所述第二片的側面部上的測定光和照射在參照面上的參照光； 干涉檢測部，其檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光； 位置檢測部，其根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置； 判定部，其根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述回卷體的優劣。
2.如權利要求1所述的回卷裝置，其中， 所述位置檢測部對基于檢測出的所述干涉光的信號進行頻率解析而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置。
3.如權利要求2所述的回卷裝置，其中， 還具備反饋控制部，其根據檢測出的所述第一片與所述第二片的所述位置，輸出用于調節所述第一片的位置、或者所述第二片的位置的反饋信號。
4.如權利要求3所述的回卷裝置，其中， 所述光源單元具有射出波長以恒定的周期變化的放射光的光源。
5.如權利要求4所述的回卷裝置，其中， 所述放射光為紅外光。
6.如權利要求5所述的回卷裝置，其中， 所述第一片為電極，所述第二片為隔離件。
7.如權利要求6所述的回卷裝置，其中， 還具備使所述第一片與所述第二片貼合的貼合輥。
8.如權利要求7所述的回卷裝置，其中， 還具備第一光學構件， 所述第一光學構件使所述測定光照射在所述側面部上的位置、且所述第一片與所述第二片開始卷繞在所述回卷體上的接點與所述貼合輥之間的位置。
9.如權利要求8所述的回卷裝置，其中， 所述第一光學構件以使所述側面部上的所述測定光的點徑達到所述第一片與所述第二片的合計厚度的90 %以上并且110 %以下的方式成形所述測定光。
10.如權利要求9所述的回卷裝置，其中， 所述第一光學構件使照射在所述側面部上的所述測定光的點形狀成形成橢圓形狀，并且使貼合的所述第一片和所述第二片的移動方向與所述橢圓形狀的長軸正交，而且使所述側面部上的所述橢圓形狀的所述長軸的長度達到所述第一片與所述第二片的合計厚度的90%以上并且110%以下。
11.如權利要求10所述的回卷裝置，其中， 所述第一光學構件使所述測定光照射在所述接點上。
12.如權利要求11所述的回卷裝置，其中， 所述位置檢測部根據作為頻率解析的結果而獲取的所述干涉光的強度分布中含有的波峰形狀來檢測所述第一片與所述第二片的各自的位置。
13.如權利要求6所述的回卷裝置，其中， 還具備第二光學構件， 所述第二光學構件使所述測定光照射在所述側面部上的位置、且所述第一片與所述第二片開始卷繞在所述回卷體上的接點的位置。
14.一種檢查裝置，其對具有被貼合了的第一片與第二片的部件進行檢查，其中，所述檢查裝置具備: 光源單元，其射出放射光； 分割部，其將所述放射光分割為照射在所述第一片與所述第二片的側面部上的測定光和照射在參照面上的參照光； 干涉檢測部，其檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光； 位置檢測部，其根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置； 判定部，其根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述部件的優劣。
15.如權利要求14所述的檢查裝置，其中， 所述位置檢測部對基于檢測出的所述干涉光的信號進行頻率解析而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置。
16.如權利要求15所述的檢查裝置，其中， 所述放射光為紅外光。
17.如權利要求16所述的檢查裝置，其中， 所述光源單元具有射出波長以恒定的周期變化的紅外光的光源。
18.如權利要求17所述的檢查裝置，其中， 所述第一片為電極，所述第二片為隔離件。
19.一種回卷方法，其將貼合的第一片與第二片卷繞在卷芯上從而形成回卷體，并且實施檢查工序，其中，所述檢查工序包含: 將測定光照射在貼合的所述第一片與所述第二片的側面部上并且將參照光照射在參照面上的工序； 檢測由所述參照面反射的所述參照光與由所述側面部反射的所述測定光干涉而成的干涉光的工序； 根據檢測到的所述干涉光而分別檢測所述第一片與所述第二片的位置的工序； 根據檢測到的所述第一片與所述第二片的所述位置來判定所述回卷體的優劣的工序。
20.一種構造物制造方法，包含: 準備通過權利要求19所述的回卷方法形成的所述回卷體的工序； 使用所述回卷體而制造構造物的工序。
21.—種構造物制造方法，包含:使用權利要求14所述的檢查裝置而對所述部件實施檢查的工序；利用實施了檢查的所述部件而制造構造物的工序。
【文檔編號】G01B9/02GK104185771SQ201380016049
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2013年1月24日 優先權日:2012年5月11日
【發明者】壁谷泰宏, 古田寬和, 原伸夫, 青木祥平, 濱野誠司 申請人:松下電器產業株式會社