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二維加速度微傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種二維加速度微傳感器，它包括支撐壁和十字活動極板，所述的十字活動極板的四端上均固定有彈性梁，所述的支撐壁的對應(yīng)兩邊上均固定有兩個(gè)電容極板，所述的電容極板位于兩個(gè)垂直面上，四個(gè)電容極板分別位于十字活動極板與支撐壁所圍成的區(qū)域內(nèi)，所述的支撐壁上與彈性梁接觸處均設(shè)置有加速孔。其優(yōu)點(diǎn)是：可檢測兩個(gè)垂直方向的加速度。
【專利說明】二維加速度微傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微電子領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種二維加速度微傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度計(jì)是測量載體慣性加速度的儀器，其運(yùn)用在很多方面。譬如航天航空領(lǐng)域。慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)都是以加速度計(jì)敏感測量載體運(yùn)動加速度為基礎(chǔ)，因此加速度計(jì)的性能直接影響到整個(gè)系統(tǒng)的測量精度穩(wěn)定性以及最終的導(dǎo)航精度。現(xiàn)有的加速度傳感器其只能檢測一個(gè)方向的加速度，不能對多個(gè)方向的加速度進(jìn)行檢測。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型提供一種二維加速度微傳感器，其可檢測兩個(gè)垂直方向的加速度。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]二維加速度微傳感器，它包括支撐壁和十字活動極板，所述的十字活動極板的四端上均固定有彈性梁，所述的支撐壁的對應(yīng)兩邊上均固定有兩個(gè)電容極板，所述的電容極板位于兩個(gè)垂直面上，四個(gè)電容極板分別位于十字活動極板與支撐壁所圍成的區(qū)域內(nèi)，所述的支撐壁上與彈性梁接觸處均設(shè)置有加速孔。
[0006]更進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
[0007]作為優(yōu)選，所述的加速孔的面積小于支撐壁與彈性梁的接觸面積。
[0008]進(jìn)一步的，所述的加速孔的面積小于支撐壁與彈性梁的接觸面積的二分之一。
[0009]作為優(yōu)選，所述的十字活動極板和電容極板均連接在信號處理電路上。
[0010]作為優(yōu)選，所述的兩個(gè)垂直面之間的距離小于6毫米。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型可檢測垂直兩個(gè)方向上的加速度，適用面更廣，使用也更方便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中的標(biāo)號為:1、支撐壁；2、彈性梁；3、十字活動極板；4、電容極板；5、加速孔。【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。本實(shí)用新型的實(shí)施方式包括但不限于下列實(shí)施例。
[0016][實(shí)施例]
[0017]如圖1所示的二維加速度微傳感器，它包括支撐壁I和十字活動極板3，所述的十字活動極板3的四端上均固定有彈性梁2，所述的支撐壁I的對應(yīng)兩邊上均固定有兩個(gè)電容極板4，所述的電容極板4位于兩個(gè)垂直面上，四個(gè)電容極板4分別位于十字活動極板3與支撐壁I所圍成的區(qū)域內(nèi)，所述的支撐壁I上與彈性梁2接觸處均設(shè)置有加速孔5。
[0018]為了使整個(gè)加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定，所述的加速孔5的面積小于支撐壁I與彈性梁2的接觸面積。
[0019]所述的加速孔5的面積小于支撐壁I與彈性梁2的接觸面積的二分之一。一個(gè)方向的加速度通過加速孔作用于彈性梁2上，為了使與該彈性梁對面的彈性梁的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定，不會從加速孔5內(nèi)滲出，加速孔的面積不應(yīng)過大。
[0020]所述的十字活動極板3和電容極板4均連接在信號處理電路上。
[0021]為了進(jìn)一步的提高測量精度，所述的兩個(gè)垂直面之間的距離小于6毫米。
[0022]本實(shí)施例的工作過程如下:
[0023]十字活動極板3包括橫向活動極板和縱向活動極板。當(dāng)一個(gè)豎直方向的加速度，即沿縱向活動板的方向，通過加速孔作用于彈性梁時(shí)，彈性梁伸縮，十字活動極板3會沿豎直方向移動，即縱向活動板會向上或向下移動，則縱向活動板與位于橫向活動板兩側(cè)的電容極板會產(chǎn)生一個(gè)差動變化的電容值，通過信號處理電路對變化的值進(jìn)行處理，即可測得該加速度。當(dāng)一個(gè)水平方向的加速度，即沿橫向活動板的方向，通過加速孔作用于彈性梁時(shí)，彈性梁伸縮，十字活動極板3會沿水平方向移動，即縱向活動板會向左或向右移動，則縱向活動板與位于橫向活動板兩側(cè)的電容極板會產(chǎn)生一個(gè)差動變化的電容值，通過信號處理電路對變化的值進(jìn)行處理，即可測得該加速度。
[0024]本實(shí)用新型可檢測垂直兩個(gè)方向上的加速度，即可檢測橫向和縱向的及速度，其適用面更廣，使用也更方便。
[0025]如上所述即為本實(shí)用新型的實(shí)施例。本實(shí)用新型不局限于上述實(shí)施方式，任何人應(yīng)該得知在本實(shí)用新型的啟示下做出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本實(shí)用新型具有相同或相近的技術(shù)方案，均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.二維加速度微傳感器，其特征在于:它包括支撐壁(I)和十字活動極板(3)，所述的十字活動極板(3)的四端上均固定有彈性梁(2)，所述的支撐壁(I)的對應(yīng)兩邊上均固定有兩個(gè)電容極板(4)，所述的電容極板(4)位于兩個(gè)垂直面上，四個(gè)電容極板(4)分別位于十字活動極板(3)與支撐壁(I)所圍成的區(qū)域內(nèi)，所述的支撐壁(I)上與彈性梁(2)接觸處均設(shè)置有加速孔(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維加速度微傳感器，其特征在于:所述的加速孔(5)的面積小于支撐壁(I)與彈性梁(2)的接觸面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的二維加速度微傳感器，其特征在于:所述的加速孔(5)的面積小于支撐壁(I)與彈性梁(2)的接觸面積的二分之一。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維加速度微傳感器，其特征在于:所述的十字活動極板(3)和電容極板(4)均連接在信號處理電路上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二維加速度微傳感器，其特征在于:所述的兩個(gè)垂直面之間的距離小于6毫米。
【文檔編號】G01P15/18GK203519644SQ201320655006
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】黃友華 申請人:成都市宏山科技有限公司