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專利名稱：一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本發(fā)明涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法。
背景技術(shù)：
:在現(xiàn)代微電子工業(yè)中，在芯片的封裝階段有一個非常重要的工藝環(huán)節(jié)-鍵合絲工藝，該工藝的作用是將芯片上的導(dǎo)電觸點與基片相連，鍵合絲的直徑一般為25微米左右(一般人頭發(fā)的直徑為70微米)，在這個工藝環(huán)節(jié)中，鍵合絲的缺線、斷線、彎線、交叉絲等缺陷會造成器件的使用功能障礙，以致器件報廢。傳統(tǒng)的檢測方法是采用人工目測的方式，對鍵合絲的工藝缺陷進行人工檢查，手工標(biāo)注；核心缺陷是:1、人眼的觀測疲勞時間較短，在長時間的觀測工作下，視覺疲勞易對檢測易造成極大影響，從而無法保證無遺漏檢測，且錯檢率高，效率低下。2、人工檢測的方法，無法為每一塊器件上的所有鍵合絲自動留下工藝判別存檔資料，對鍵合工藝過程中所發(fā)生的不良無法溯源，對品質(zhì)管理帶來巨大不便
發(fā)明內(nèi)容
:本發(fā)明的目的是提供一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本發(fā)明是采用以下技術(shù)方案:它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。所述的“四要素法”包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區(qū)域范圍；b、分析鍵合起點是否超出允差范圍；C、分析鍵合終點是否超出允差范圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍；f、對鍵合絲是否合格進行標(biāo)注。本發(fā)明的原理如下:通過一種圖形化軟件工藝編程的方法“四要素法”，直觀、有效的在標(biāo)準(zhǔn)鍵合絲圖片上預(yù)先圈定各工藝要素的位置和允差范圍，再通過一套對鍵合絲連續(xù)性進行判別的圖形處理方法，對生產(chǎn)過程中得到的鍵合絲工藝圖片進行自動像素分析、比對，得到與預(yù)先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格并進行標(biāo)注，為后續(xù)工藝及品質(zhì)管理提供依據(jù)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:1、克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。2、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責(zé)任人的品質(zhì)控制力。


:圖1為本發(fā)明中“四要素法”的圖形化編程效果圖；圖2為本發(fā)明中對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的原理圖。
具體實施方式
:參照圖1和圖2，本具體實施方式
采用以下技術(shù)方案:它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。所述的“四要素法”包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區(qū)域范圍；b、分析鍵合起點是否超出允差范圍；C、分析鍵合終點是否超出允差范圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍；f、對鍵合絲是否合格進行標(biāo)注。本具體實施的原理如下:通過一種圖形化軟件工藝編程的方法“四要素法”，直觀、有效的在標(biāo)準(zhǔn)鍵合絲圖片上預(yù)先圈定各工藝要素的位置和允差范圍，再通過一套對鍵合絲連續(xù)性進行判別的圖形處理方法，對生產(chǎn)過程中得到的鍵合絲工藝圖片進行自動像素分析、比對，得到與預(yù)先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格并進行標(biāo)注，為后續(xù)工藝及品質(zhì)管理提供依據(jù)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本具體實施具有以下有益效果:3、克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。4、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責(zé)任人的品質(zhì)控制力。
權(quán)利要求
1.一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于所述的“四要素法”包括對器件的中心位置(I)、鍵合起始點及允許誤差(2)、鍵合終點及允許誤差(3)和鍵合路徑⑷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于所述的對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法的步驟如下: (a)、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進行像素掃描分析的區(qū)域范圍； (b)、分析鍵合起點是否超出允差范圍； (C)、分析鍵合終點是否超出允差范圍； (d)、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸； (e)、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍； (f)、對鍵合絲是否合格進行標(biāo)注。
全文摘要
一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進行判別的圖形處理方法，所述的“四要素法”包括對器件的中心位置、鍵合起始點及允許誤差、鍵合終點及允許誤差和鍵合路徑。它克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。
文檔編號G01N21/956GK103091339SQ201310063950
公開日2013年5月8日 申請日期2013年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月1日
發(fā)明者謝歷銘 申請人:蘇州愛特盟光電有限公司