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一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置制造方法
【專利摘要】一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，它包括一氫氣管路、一氬氣管路、一空氣管路、一具有定量管的六通閥、一混合型填充色譜柱和一氫火焰離子化檢測器；氫氣管路的輸出端和氬氣管路的輸出端與具有定量管的六通閥相連接，具有定量管的六通閥依次與混合型填充色譜柱和氫火焰離子化檢測器相連接，空氣管路的輸出端與氫火焰離子化檢測器相連接，混合型填充色譜柱中設置有吸附填充物；與現有技術相比，在沒有切割流程的條件下，通過混合型填充色譜柱中的吸附填充物將進入的大量二氧化碳吸收，消除了大量二氧化碳主峰信號對微量一氧化碳和甲烷的影響，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析測定，大大降低了成本，且簡化了操作。
【專利說明】一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種氣體的分析裝置，特別涉及一種在大量二氧化碳中分析微量一氧化碳和甲烷的分析裝置。
【背景技術】
[0002]在現有技術中，二氧化碳由于其性質穩定，作為清洗劑大量應用于半導體行業，隨著需求的增加，越來越多的企業單位都在進行液體二氧化碳生產工藝的改進和二氧化碳純化技術的研發，逐步進入高純度二氧化碳的生產和檢測領域，這就要求我們在生產高純二氧化碳能力的同時，具備簡單、快速和有效高純度二氧化碳的分析檢測裝置。
[0003]大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷通常采用帶切割流程的DID氣相色譜儀檢測，該儀器價格昂貴，一臺儀器目前價格在30-40萬，這對中小型企業負擔較重，所以普及程度較低，并且儀器氣路復雜，維護成本高，同時對操作人員的技術要求也較高。
[0004]因此，特別需要一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，以解決上述現有存在的問題。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，針對現有技術的不足，在沒有切割流程的條件下，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析測定，大大降低了成本，且簡化了操作。
[0006]本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現:
[0007]—種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，它包括一氫氣管路、一IS氣管路、一空氣管路、一具有定量管的六通閥、一混合型填充色譜柱和一氫火焰離子化檢測器；所述氫氣管路的輸出端和所述氬氣管路的輸出端與所述具有定量管的六通閥相連接，所述具有定量管的六通閥依次與所述混合型填充色譜柱和氫火焰離子化檢測器相連接，所述空氣管路的輸出端與所述氫火焰離子化檢測器相連接，所述混合型填充色譜柱中設置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
[0008]在本實用新型的一個實施例中，所述氫氣管路包括一氫氣鋼瓶和一氫氣表，所述氫氣鋼瓶通過氫氣表與所述具有定量管的六通閥相連接。
[0009]在本實用新型的一個實施例中，所述IS氣管路包括一IS氣鋼瓶和一IS氣表，所述氬氣鋼瓶通過氬氣表與所述具有定量管的六通閥相連接。
[0010]在本實用新型的一個實施例中，所述空氣管路包括一空氣鋼瓶和一氧氣表，所述空氣鋼瓶通過氧氣表與所述氫火焰離子化檢測器相連接。
[0011]在本實用新型的一個實施例中，所述混合型填充色譜柱和氫火焰離子化檢測器之間設置有一甲烷化轉化器。
[0012]在本實用新型的一個實施例中，所述空氣管路中設置有一干燥凈化管。
[0013]在本實用新型的一個實施例中，所述氫氣管路、氬氣管路和空氣管路中均設置有穩壓閥和流量計。
[0014]本實用新型的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，與現有技術相比，在沒有切割流程的條件下，通過混合型填充色譜柱中的吸附填充物將進入的大量二氧化碳吸收，消除了大量二氧化碳主峰信號對微量一氧化碳和甲烷的影響，有效防止大量二氧化碳進入造成熄火不能分析檢測的問題，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析測定，大大降低了成本，且簡化了操作，實現本實用新型的目的。
[0015]本實用新型的特點可參閱本案圖式及以下較好實施方式的詳細說明而獲得清楚地了解。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
實施例
[0018]如圖1所示，本實用新型的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，它包括一氫氣管路100、一氬氣管路200、一空氣管路300、一具有定量管的六通閥400、一混合型填充色譜柱500和一氫火焰離子化檢測器600 ;所述氫氣管路100的輸出端和所述氬氣管路200的輸出端與所述具有定量管的六通閥400相連接，所述具有定量管的六通閥400依次與所述混合型填充色譜柱500和氫火焰離子化檢測器600相連接，所述空氣管路300的輸出端與所述氫火焰離子化檢測器600相連接，所述混合型填充色譜柱500中設置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
[0019]在本實施例中，所述氫氣管路100包括一氫氣鋼瓶110和一氫氣表120,所述氫氣鋼瓶110通過氫氣表120與所述具有定量管的六通閥400相連接。
[0020]在本實施例中，所述IS氣管路200包括一IS氣鋼瓶210和一Is氣表220,所述IS氣鋼瓶210通過氬氣表220與所述具有定量管的六通閥400相連接。
[0021]在本實施例中，所述空氣管路300包括一空氣鋼瓶310和一氧氣表320，所述空氣鋼瓶310通過氧氣表320與所述氫火焰離子化檢測器600相連接。
[0022]在本實施例中，所述混合型填充色譜柱500和氫火焰離子化檢測器600之間設置有一甲烷化轉化器700。
[0023]在本實施例中，所述空氣管路300中設置有一干燥凈化管330。
[0024]在本實施例中，所述氫氣管路100、氬氣管路200和空氣管路300中均設置有穩壓閥800和流量計900。
[0025]所述混合型填充色譜柱500中的吸附填充物為分子篩類的吸附劑，所述混合型填充色譜柱500為不銹鋼柱，所述混合型填充色譜柱500的外徑為3mm，長為1-1.5m。
[0026]所述混合型填充色譜柱500可保證將進入的大量二氧化碳吸收，并保持6-8小時不脫附，這樣消除了大量二氧化碳主峰信號對微量甲烷、一氧化碳的影響，同時能有效防止大量二氧化碳進入檢測器造成檢測器熄火不能分析檢測。
[0027]該技術首先大幅度降低了大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析檢測成本，只有DID氣相色譜儀價格的十分之一左右，同時維護成本也較低，對操作人員的要求也比較低，可廣泛應用普及，同時檢測速度快，維護成本低。
[0028]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內，本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，它包括一氫氣管路、一IS氣管路、一空氣管路、一具有定量管的六通閥、一混合型填充色譜柱和一氫火焰離子化檢測器；所述氫氣管路的輸出端和所述氬氣管路的輸出端與所述具有定量管的六通閥相連接，所述具有定量管的六通閥依次與所述混合型填充色譜柱和氫火焰離子化檢測器相連接，所述空氣管路的輸出端與所述氫火焰離子化檢測器相連接，所述混合型填充色譜柱中設置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
2.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述氫氣管路包括一氫氣鋼瓶和一氫氣表，所述氫氣鋼瓶通過氫氣表與所述具有定量管的六通閥相連接。
3.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述氬氣管路包括一IS氣鋼瓶和一IS氣表，所述IS氣鋼瓶通過IS氣表與所述具有定量管的六通閥相連接。
4.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述空氣管路包括一空氣鋼瓶和一氧氣表，所述空氣鋼瓶通過氧氣表與所述氫火焰離子化檢測器相連接。
5.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述混合型填充色譜柱和氫火焰離子化檢測器之間設置有一甲烷化轉化器。
6.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述空氣管路中設置有一干燥凈化管。
7.如權利要求1所述的大量二氧化碳中微量氣體的分析裝置，其特征在于，所述氫氣管路、氬氣管路和空氣管路中均設置有穩壓閥和流量計。
【文檔編號】G01N30/68GK203422360SQ201320436290
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年7月22日 優先權日:2013年7月22日
【發明者】劉煒煒, 張揚 申請人:上海浦江特種氣體有限公司