專利名稱：一種異物檢測裝置的制作方法
技術領域：
本發明屬于液晶平板顯示的制造技術的領域，尤其涉及一種異物檢測裝置，其可用于檢測玻璃基板上的異物。
背景技術：
液晶電視、液晶電腦等平板顯示器越來越受到大眾的歡迎。在平板顯示器的制造產業中，異物(例如塵埃等微粒)是影響生產之重要問題。例如，在薄膜晶體管的制程(TFTprocess)中，接近式曝光機因光罩(Mask)面積大，距離玻璃基板的表面距離非常近(例如200微米左右)，因此如果粘附在玻璃基板的表面上的異物碰到光罩，則可能致使光罩產生損傷甚至報廢。
發明內容
本發明的目的在于，提供一種異物檢測裝置，其能夠檢測出玻璃基板上異物，可靠地防止光罩被刮傷。本發明通過如下技術方案實現:一種異物檢測裝置，其中，所述異物檢測裝置包括臺架、保護柱、光發射器及光接收器，所述保護柱設置在所述臺架上，且所述保護柱與所述玻璃基板之間形成有具有預先設定的高度的縫隙，所述光發射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對兩側，且所述光發射器用于朝所述縫隙內照射光，所述光接收器用于接收經過所述縫隙的光。作為上述技術方案的進一步改進，所述預先設定的高度為100微米至800微米。作為上述技術方案的進一步改進，所述光發射器為激光發射器。作為上述技術方案的進一步改進，所述光接收器為CXD圖像傳感器。作為上述技術方案的進一步改進，所述異物檢測裝置還包括驅動部及控制器，所述驅動部用于驅動所述保護柱、所述光發射器及所述光接收器同步運動，所述控制器用于控制所述驅動部、所述光發射器及所述光接收器。作為上述技術方案的進一步改進，所述異物檢測裝置還包括警報器，所述警報器與所述控制器連接以在所述光接收器檢測出異常時通過所述控制器控制所述警報器發出警報。作為上述技術方案的進一步改進，所述保護柱通過多個螺栓連接在所述臺架上，所述保護柱上設有多個沉頭通孔，所述多個螺栓的頭部位于所述多個沉頭通孔內，且所述多個螺栓的螺紋部穿出所述多個沉頭通孔連接在所述臺架上。作為上述技術方案的進一步改進，所述多個螺栓上均套設有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩側分別抵壓在所述臺架的底面和所述保護柱的頂面上。作為上述技術方案的進一步改進，所述異物檢測裝置還包括多個振動檢測元件，所述多個振動檢測 元件用于檢測保護柱的振動。作為上述技術方案的進一步改進，所述多個振動檢測元件均為電子數顯千分計，所述電子數顯千分計用于測量所述保護柱的頂面在高度方向上的移動，并將該移動數據輸出給所述控制器。本發明的有益效果是:根據本發明的異物檢測裝置，所述異物檢測裝置包括臺架、保護柱、光發射器及光接收器，所述保護柱與所述玻璃基板之間形成有具有預先設定的高度的縫隙，所述光發射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對兩側，所述光接收器檢測由所述光發射器發出且經過所述縫隙的光，當玻璃基板上有異物時，則會引起光強度的變化，從而檢測出異物的存在。本發明的異物檢測裝置尤其可用于在薄膜晶體管的制程中檢測玻璃基板上的異物，有效防止光罩因微粒等異物產生損傷甚至報廢。
圖1是根據本發明的異物檢測裝置的正面示意圖。圖2是圖1的異物檢測裝置的側面示意圖。圖3是圖1的異物檢測裝置的示意性電氣控制框圖。
具體實施例方式以下結合附圖對本發明的具體實施方式
進行進一步的說明。本發明的異物檢測裝置可用于在薄膜晶體管的制程(TFT process)中檢測玻璃基板100上的異物，防止光罩等被玻璃基板上的異物(例如微粒、粉塵、顆粒等)刮傷。如圖1和圖2所示,所述異物檢測裝置包括臺架(gantry) 202、保護柱(protectbar) 204、光發射器300及光接收器400。所述保護柱204設置在所述臺架202上。且所述保護柱204與所述玻璃基板100之間形成有具有預先設定的高度H的縫隙220。所述預先設定的高度H為100微米至800微米。預先設定的高度H與微粒的高度相當。在本發明的一個具體應用例中，預先設定·的高度H為約200微米。 如圖1所示，所述光發射器300和所述光接收器400分別位于所述玻璃基板100的相對兩側。所述光發射器300和所述光接收器400相對配置。且所述光發射器300用于朝所述縫隙220內照射光。相應地，所述光接收器400用于接收經過所述縫隙220的光。由此，根據照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判斷出異物的存在及大小。本例中，所述光發射器300為激光發射器300。而且，所述光接收器400為CCD圖像傳感器。本例中，如圖3所示，所述異物檢測裝置還包括驅動部212及控制器10。所述驅動部212用于驅動所述保護柱204、所述光發射器300及所述光接收器400同步運動。在進行異物檢測時，所述保護柱204、所述光發射器300及所述光接收器400進行掃描方式的檢測運動，玻璃基板100可保持靜止。掃描方向可以為玻璃基板100的長度方向X或寬度方向Y。所述控制器10用于控制所述驅動部212、所述光發射器300及所述光接收器400。此外，所述異物檢測裝置還包括警報器500。所述警報器500與所述控制器10連接，以便在所述光接收器400檢測出異常時通過所述控制器10控制所述警報器500發出聲音警報、顏色警報等警報信號，通知操作人員進行相應處理。當掃描的光束經過異物時，異物會對縫隙220內的光進行遮蔽，光接收器400的接收的光的強度信號降低。而且，可利用光接收器400 (CCD圖像傳感器)的光的強度信號降低的程度來計算出異物的具體高度。而且，并可通過設定光接收器400的有效檢出寬度，檢出不同寬度的異物。具體而言，光接收器400 (CCD圖像傳感器)可在高度方向Z上將接收的光分為若干個區域。每個高度方向Z上的區域的光強均記錄為掃描信號。當沒有異物存在時，掃描過程中光接收器400基本上完整地接收到光發射器300發出的經過縫隙220的光，且掃描信號基本上始終保持穩定。而當掃描過程中縫隙220內出現異物時，光接收器400會接收到瞬時的區域性的亮度降低。此時，可通過控制器10控制所述警報器500發出警報，通知操作人員進行相應處理。如圖1和圖2所示，所述保護柱204通過多個螺栓206懸置在所述臺架202上。其中，所述保護柱204上設有多個沉頭通孔212。所述多個螺栓206的頭部位于所述多個沉頭通孔212內。而且，所述多個螺栓206的螺紋部穿出所述多個沉頭通孔212連接在所述臺架202上。圖中，螺栓206的數量和沉頭通孔212的數量均為4個。然而，本發明不限于此，螺栓206的數量和沉頭通孔212的數量可以為更多或更少。此外，所述多個螺栓206上均套設有壓縮彈簧210。所述壓縮彈簧210的兩側分別抵壓在所述臺架202的底面和所述保護柱204的頂面上。本發明的異物檢測裝置中，所述異物檢測裝置還包括多個振動檢測元件208，所述多個振動檢測元件208用于檢測保護柱204的振動。所述多個振動檢測元件208固定在所述臺架102上。本例中，所述多個振動檢測元件208均為電子數顯千分計。所述電子數顯千分計用于測量所述保護柱204的頂面在高度方向Z上的移動。并將該移動數據經電纜輸出給所述控制器10。控制器10可以通過振動檢測軟件，計算出保護柱204在規定時間內的高度變化量或變化率，進而判斷保護柱204是否被異物阻擋，進而判斷出高于或等于預先設定的高度H的異物的存在。本發明 的異物檢測裝置，利用保護柱204與玻璃基板100之間形成與目標異物高度相當的縫隙220 (預先設定的高度H可根據需要設定調整)。由此，可利用穿過縫隙220的激光束，形成高度與預先設定的高度H相等的數百微米的光束。當玻璃基板100上有異物時，則會引起光接收器400的光接收強度的變化，從而檢測出異物的存在。另外，光接收器400可具有寬度與異物相當的有效接收寬度，由此在該寬度范圍內檢測光強的變化。根據本發明的異物檢測裝置，當透明度較高且堅硬異物未被檢出(漏檢)時，該較高的異物不會進入縫隙220。且該較高的異物與保護柱204碰撞產生振動。此時，通過多個振動檢測元件208檢測保護柱204的振動，檢測出該類異物的存在，達到雙重保險的作用，進一步可靠地防止異物的漏檢。根據本發明的異物檢測裝置，利用縫隙220可以達到更精確的控制設定異物高度檢出。此外，振動的監控能通過物理偵測對具有規定高度的異物進行直接偵測，補償光學檢出的盲點或漏檢，且可有效防止光罩被大顆粒堅硬異物刮傷石英層而徹底無法修復的風險。以上具體實施方式
對本發明進行了詳細的說明，但這些并非構成對本發明的限制。本發明的保護范圍并不以上述實施方式為限，但凡本領域普通技術人員根據本發明所揭示內容所作的等效修飾或變化，皆應納入權利要求書中記載的保護范圍內。
權利要求
1.一種異物檢測裝置，其特征在于，所述異物檢測裝置包括臺架、保護柱、光發射器及光接收器，所述保護柱設置在所述臺架上，且所述保護柱與所述玻璃基板之間形成有具有預先設定的高度的縫隙，所述光發射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對兩偵牝且所述光發射器用于朝所述縫隙內照射光，所述光接收器用于接收經過所述縫隙的光。
2.根據權利要求1所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述預先設定的高度為100微米至800微米。
3.根據權利要求1所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述光發射器為激光發射器。
4.根據權利要求1所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述光接收器為CCD圖像傳感器。
5.根據權利要求1至4任一項所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物檢測裝置還包括驅動部及控制器，所述驅動部用于驅動所述保護柱、所述光發射器及所述光接收器同步運動，所述控制器用于控制所述驅動部、所述光發射器及所述光接收器。
6.根據權利要求5所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物檢測裝置還包括警報器，所述警報器與所述控制器連接以在所述光接收器檢測出異常時通過所述控制器控制所述警報器發出警報。
7.根據權利要求6所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述保護柱通過多個螺栓連接在所述臺架上，所述保護柱上設有多個沉頭通孔，所述多個螺栓的頭部位于所述多個沉頭通孔內，且所述多個螺栓的螺紋部穿出所述多個沉頭通孔連接在所述臺架上。
8.根據權利要求7所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述多個螺栓上均套設有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩側分別抵壓在所述臺架的底面和所述保護柱的頂面上。
9.根據權利要求8所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述異物檢測裝置還包括多個振動檢測元件，所述多個振動檢測元件用于檢測保護柱的振動。
10.根據權利要求9所述的異物檢測裝置，其特征在于，所述多個振動檢測元件均為電子數顯千分計，所述電子數顯千分計用于測量所述保護柱的頂面在高度方向上的移動，并將該移動的數據輸出給所述控制器。
全文摘要
本發明公開了一種異物檢測裝置，所述異物檢測裝置包括臺架、保護柱、光發射器及光接收器，所述保護柱設置在所述臺架上，且所述保護柱與所述玻璃基板之間形成有具有預先設定的高度的縫隙，所述光發射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對兩側，且所述光發射器用于朝所述縫隙內照射光，所述光接收器用于接收經過所述縫隙的光，當玻璃基板上有異物時，則會引起光的強度的變化，從而檢測出異物的存在。本發明的異物檢測裝置尤其可用于在薄膜晶體管的制程中檢測玻璃基板上的異物，有效防止光罩因微粒等異物產生損傷甚至報廢。
文檔編號G01N21/958GK103245678SQ20131015068
公開日2013年8月14日 申請日期2013年4月26日 優先權日2013年4月26日
發明者陳暉 申請人:深圳市華星光電技術有限公司
專業數控銑床產品供應商
20年生產經驗，實力工廠，精工品質，質量有保障
