載荷傳感器的制造方法
【專利摘要】載荷傳感器具備振動器、設置于振動器的驅動電極、向驅動電極供給使振動器振動的驅動電壓的驅動電路、輸出與振動器的振動相應的電流的檢測電極、及將從檢測電極輸出的電流變換為電壓的IV變換器。驅動電路具有輸出驅動電壓的運算放大器、及與該運算放大器連接的電阻，具有小的內部電阻。IV變換器具有輸入電流且被虛擬接地的反相輸入端子，并構成負反饋電路。在該載荷傳感器中，即便周圍的溫度變動，輸出信號的精度也是穩定的。
【專利說明】載荷傳感器
【技術領域】
[0001] 本發明涉及對被施加的載荷進行檢測的載荷傳感器（load sensor)。
【背景技術】
[0002] 圖13是測量周圍氣壓的現有的傳感器501的立體圖。傳感器501具備水晶所構 成的振動器1、收納振動器1的容器2、設置于容器2的內側的電極圖案3、與振動器1電連 接且向外部輸出振蕩輸出信號的導線5。電極圖案3通過導電膏4而與振動器1電連接。
[0003] 圖14是傳感器501的電路框圖，表不從振動器1取出振蕩輸出信號的電路。傳感 器501具備振蕩電路6、與振蕩電路6連接的門電路（gate) 12、及與門電路12連接的計數 器13。圖13所示的導線5與振蕩電路6電連接，由此振動器1與振蕩電路6電連接。
[0004] 圖15是振蕩電路6的電路圖。振動器1經由一對電容器7而與地面（ground) 8電 連接，由此被接地。電阻9及考畢茲振蕩逆變器（Colpitts oscillation inverter) 10與 振動器1并聯地連接，均經由一對電容器7而與地面8連接，由此被接地。波形整形用逆變 器11對從考畢茲振蕩逆變器10輸出的輸出信號進行波形整形而輸出。
[0005] 接著對現有的傳感器501的動作進行說明。圖16表示振動器1的振動頻率。圖 16中，縱軸表示振動器1周圍的氣壓、縱軸表示振動頻率的變動。若氣壓變化，則如圖16所 示,振動器1的振動頻率發生變化。如此一來，振蕩電路6以該振動頻率發生振蕩，從波形 整形用逆變器11向圖14所示的門電路12輸出振蕩信號。門電路12從關閉的狀態起打開 給定時間而使振蕩信號通過。由計數器13對已通過的振蕩信號的波峰的數量進行計數，探 測振動器1的振動頻率，由此測量傳感器501周圍的氣壓。
[0006] 另外，類似于傳感器501的現有的傳感器例如在專利文獻1中有所記載。
[0007] 現有的傳感器501中，若當周圍的溫度變化時振動器1的電容變動，則來自傳感器 501的輸出信號的精度劣化。
[0008] 在先技術文獻
[0009] 專利文獻
[0010] 專利文獻1 JP特開昭57-136130號公報
【發明內容】
[0011] 載荷傳感器具備振動器、設置于振動器的驅動電極、向驅動電極供給使振動器振 動的驅動電壓的驅動電路、輸出與振動器的振動相應的電流的檢測電極、及將從檢測電極 輸出的電流變換為電壓的IV變換器。驅動電路具有輸出驅動電壓的運算放大器、及與該運 算放大器連接的電阻，具有小的內部電阻。IV變換器具有輸入電流且被虛擬接地的反相輸 入端子，并構成負反饋電路。
[0012] 在該載荷傳感器中，即便周圍的溫度變動，輸出信號的精度也是穩定的。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013] 圖1是實施方式中的載荷傳感器的側剖視圖。
[0014] 圖2A是實施方式中的載荷傳感器中的變形檢測部件的俯視圖。
[0015] 圖2B是圖2A所示的變形檢測部件的線2B-2B上的剖視圖。
[0016] 圖3是實施方式中的載荷傳感器中的處理電路的一部分的電路圖。
[0017] 圖4是表示實施方式中的載荷傳感器的處理電路中的運算放大器的內部電阻與 相位的變動量的關系的圖。
[0018] 圖5是表示實施方式中的載荷傳感器的信號的波形的圖。
[0019] 圖6是表示將實施方式中的載荷傳感器安裝于自行車的狀態的示意圖。
[0020] 圖7是圖6所示的載荷傳感器的放大圖。
[0021] 圖8是表示實施方式中的載荷傳感器中的振動器的頻率的圖。
[0022] 圖9是實施方式中的載荷傳感器中的處理電路的電路圖。
[0023] 圖10是表示比較例的傳感器的振動頻率的變動的圖。
[0024] 圖11是表不實施方式中的輸出信號的振動頻率伴隨于載荷傳感器的振動器的電 容變動的變動的圖。
[0025] 圖12是實施方式中的載荷傳感器中的其他處理電路的電路圖。
[0026] 圖13是現有的傳感器的立體圖。
[0027] 圖14是現有的傳感器的電路框圖。
[0028] 圖15是現有的傳感器的振蕩電路的電路圖。
[0029] 圖16是表示現有的傳感器的振動器的振動頻率的圖。
【具體實施方式】
[0030] 圖1是實施方式中的載荷傳感器1001的側剖視圖。滾動軸承21能旋轉地支撐以 旋轉軸21a為中心進行旋轉的軸，具有以旋轉軸21a為中心的圓筒形狀。在具有圓筒形狀 的應力傳遞部件22的內側安裝滾動軸承21。遍及滾動軸承21的整周，在以旋轉軸21a為 中心的徑向方向配設應力傳遞部件22。應力傳遞部件22的內側設置3個支撐部22a。3個 支撐部22a在應力傳遞部件22的內側支撐滾動軸承21。再有，在應力傳遞部件22的外周 側設置有階差形狀的2個抵接部23。在應力傳遞部件22的外側面設置有直線狀的變形部 24。變形檢測部件（distortion detector) 25被粘貼于應力傳遞部件22中的變形部24。
[0031] 圖2A是變形檢測部件25的俯視圖。變形檢測部件25沿與圖1所示的旋轉軸21a 成直角的長邊方向D25延伸。變形檢測部件25由兩端固支梁（fixed-fixed beam)所構成的 振動器26、27與處理電路28構成。處理電路28由集成電路（1C)構成。振動器26具有沿 著長邊方向D25延伸的兩端固支梁的形狀。振動器27具有沿著與長邊方向D25成直角的 方向D26延伸的兩端固支梁形狀。處理電路28使振動器26、27雙方進行振動驅動并對輸 出信號進行處理。在振動器26、27雙方設置有驅動電極29及檢測電極30。振動器26的驅 動電極29、檢測電極30、振動器27中的驅動電極29、檢測電極30和處理電路28通過由Au 構成的布線圖案而被電連接。
[0032] 圖2B是圖2A所示的變形檢測部件25的線2B-2B上的剖視圖。驅動電極29由設 置于振動器26(27)上的導電材料所構成的下部電極層129、設置于下部電極層129上的壓 電材料所構成的壓電層229、和設置于壓電層229上的導電材料所構成的上部電極層329而 構成。同樣，檢測電極30由設置于振動器26(27)上的導電材料所構成的下部電極層130、 設置在下部電極層130上的壓電材料所構成的壓電層230、及設置于壓電層230上的導電材 料所構成的上部電極層330而構成。實施方式中，下部電極層130由Pt組成，壓電層230 由PZT組成，上部電極層330由Au構成。驅動電極29及檢測電極30具有形成于下部電極 層130與上部電極層330之間的靜電電容。
[0033] 圖3是載荷傳感器1001的處理電路28的一部分的電路圖。處理電路28具有IV 變換器31、放大器33、36、驅動源切換器34、振蕩電路35、比較儀37和驅動電路38。IV變 換器31將從檢測電極30輸出的電荷所構成的電流變換為電壓。IV變換器31具有運算放 大器，該運算放大器具有反相輸入端子32、同相輸入端子32a和輸出端子32c。IV變換器 31的同相輸入端子32a與基準電位連接而被接地，由此反相輸入端子32被虛擬接地。放大 器33將從IV變換器31輸出的輸出信號放大。振蕩電路35輸出頻率為200kHz的信號，在 實施方式中由CR振蕩電路構成。來自放大器33的輸出信號被輸入驅動源切換器34。驅動 源切換器34在來自放大器33的輸出信號的頻率不足200kHz的情況下從振蕩電路35將輸 出信號輸入放大器36中。另一方面，在來自放大器33的輸出信號的頻率為200kHz以上的 情況下將來自放大器33的輸出信號輸入放大器36。由此，在到振動器26、27以它們的固有 頻率進行振動為止的期間內可以根據比較儀37的輸出使后級的電路執行動作，可以縮短 載荷傳感器1001的啟動時間。放大器36將所輸入的信號放大后作為輸出信號輸出。來自 放大器36的輸出信號被輸出至比較儀37。比較儀37將來自放大器36的輸出信號和預先 確定的閾值進行比較，將來自放大器36的輸出信號成形為矩形波形后進行輸出。來自放大 器36的輸出信號被輸入至驅動電路38。驅動電路38將使振動器26、27振動的驅動電壓向 驅動電極29供給。驅動電路38基于從檢測電極30輸出的輸出信號來生成驅動電壓。驅 動電路38由運算放大器39與電阻40構成。運算放大器39的內部電阻R1根據驅動信號 (驅動電壓）的角頻率ω (rad/sec)、所容許的相位差Φ (度）和振動器26或振動器27的 驅動電極29的電容C(F)而滿足式1。
[0034] R1 彡-(1/ ω C) X tan ( Φ X ( π /180))...(式 1)
[0035] 圖4表示載荷傳感器1001的運算放大器39的內部電阻R1和相位的變動量的關 系。實施方式的載荷傳感器1001中，在將振動器26、振動器27的驅動電極29的電容為 400pF且驅動頻率為200kHz時所檢測的頻率的容許相位差Φ設為1. 35度時的、運算放大 器39的內部電阻R1，如圖4所示設定為小至47 Ω以下的值。
[0036] 以下說明所容許的相位差Φ的計算方法。設振動器26(27)的諧振頻率fr為 200kHz、諧振銳度Q為600、施加滿量程變形時的頻率變動量df為1000Hz。再有，設使用用 途所要求的給定容許誤差率Er為0. 5 %。
[0037] 基于上述條件，在振動器26 (27)的振動的振幅的諧振特性中根據下式來求取半 幅值（half bandwidth) hf。
[0038] Q = fr/hf
[0039] hf = fr/Q = 200X10V600 = 333 (Hz)
[0040] 由于在半幅值hf中，相位從45度到-45度為止變化90度，故根據下式來求取諧 振頻率fr附近的相位斜率dp。
[0041] dp = hf/90 = 333/90 = 3. 7 (Hz/ 度）
[0042] 圖2A所示的實施方式中的變形檢測部件25中，施加外力時作為振動器26的諧振 頻率的固有頻率fa的變動是支配性的，作為振動器27的諧振頻率的固有頻率fb幾乎沒有 變動。因而，以后僅以固有頻率fa的變動量進行說明。
[0043] 根據下式求取基于容許誤差率Er計算的容許頻率誤差Ef。
[0044] Er = Ef/df
[0045] 0. 5(% ) = Ef/1000
[0046] Ef = 1000X0. 5%= 5 (Hz)
[0047] 所容許的相位差Φ是根據下式來求取的。
[0048] Φ = Ef/dp
[0049] = 5 (Hz) /3. 7 (Hz/ 度）h 1. 35 (度）
[0050] 來自驅動電路38的輸出信號被輸入至設置于振動器26、27的驅動電極29,使振動 器26、27進行振動驅動。支撐部件42設置于應力傳遞部件22的外周側、并且具有向內側 突出的凸部44。凸部44和應力傳遞部件22中的抵接部23抵接。
[0051] 關于實施方式中的載荷傳感器1001，接著對其制造方法進行說明。
[0052] 首先，通過對由Si構成的半導體基板進行蝕刻來形成振動器26、27。
[0053] 接著，在半導體基板的上表面蒸鍍由Au構成的布線圖案后，在振動器26、27的設 置驅動電極29及檢測電極30的地方蒸鍍Pt來形成下部電極層129、130。
[0054] 接著，在下部電極層129U30的上表面蒸鍍PZT來形成壓電層229、230。然后，在 壓電層229、230的上表面蒸鍍Au來形成上部電極層329、330,在振動器26、27的上表面形 成驅動電極29及檢測電極30。
[0055] 接著，載置處理電路28,并將處理電路28與振動器26、27雙方的驅動電極29及檢 測電極30電連接，形成變形檢測部件25。
[0056] 接著，將變形檢測部件25粘貼至應力傳遞部件22中的變形部24后，使滾動軸承 21嵌合于應力傳遞部件22的內側，以使應力傳遞部件22中的支撐部22a和滾動軸承21的 外周側抵接、。
[0057] 最后，按照應力傳遞部件22中的抵接部23和支撐部件42中的凸部44相互抵接 的方式，將應力傳遞部件22收納于支撐部件42的內側。
[0058] 關于實施方式中的載荷傳感器1001，接著對其動作進行說明。圖5表示載荷傳感 器1001各部的信號的波形。圖6是表示將載荷傳感器1001安裝到帶電動馬達的自行車 1002的狀態的示意圖。圖7是圖6所示的載荷傳感器1001的放大圖。自行車1002中，并 列地設置有基于人力的驅動系統和基于電動馬達的驅動系統。電動馬達的驅動力與基于人 力的驅動力的變化對應地被控制。
[0059] 振蕩電路35將頻率200kHz的正弦波形的信號S35向驅動源切換器34輸出。通 過驅動源切換器34的切換，信號S35作為輸出信號S34而被從驅動源切換器34輸出。而 且，該輸出信號被由比較儀構成的放大器36放大，并且與預先確定的閾值進行比較后被變 換為矩形波的輸出信號S36。而且，來自放大器36的輸出信號S36被運算放大器39限制振 幅，作為矩形波的驅動信號（驅動電壓）S39被輸入至振動器26、振動器27中的驅動電極 29。如此一來，振動器26以固有頻率fa進行弦振動而振動器27以固有頻率fb進行弦振 動。該狀態下，若通過處理電路28對來自振動器26中的檢測電極30的輸出信號S30進行 處理，則頻率fa被檢測，同樣地從第2振動器27中的檢測電極30檢測頻率fb。
[0060] 如圖6所示，若人踩踏自行車的踏板，則在通過該踩踏而在鏈條46上產生了張力 的狀態下，如圖7所示旋轉軸45旋轉。通過該旋轉，從旋轉軸45向滾動軸承21作用滾動軸 承21朝向后輪側移動的力。該力經由支撐部22a而從滾動軸承21向應力傳遞部件22作 用，施力使應力傳遞部件22朝向后輪側。而且，反力從支撐部件42的凸部44向應力傳遞 部件22的抵接部23作用，該反力被傳遞至應力傳遞部件22中的變形部24,長邊方向D25 的壓縮載荷作用于變形部24。
[0061] 圖8表示振動器26、27的固有頻率fa、fb。如圖8所示，若向變形檢測部件25施加 長邊方向D25的壓縮載荷，則變形檢測部件25產生方向D26的拉伸載荷（tensile load)。 艮P，若長邊方向D25的壓縮載荷作用于變形檢測部件25,則振動器26的固有頻率fa減少 而振動器27的固有頻率fb增加。來自振動器26、27雙方的檢測電極30的輸出信號被輸 入至處理電路28中的IV變換器31的反相輸入端子32。由于IV變換器31中的反相輸入 端子32被虛擬接地，故反相輸入端子32的電位V32如圖5所示是恒定的。而且，如圖5所 示，IV變換器31將從振動器26、27雙方的檢測電極30輸出的電荷產生的電流變換為電壓， 并輸出與振動器26、27的頻率相應的輸出信號S31。放大器33使來自IV變換器31的輸出 信號S31反相的同時進行放大，如圖5所不將輸出信號S33輸出。在來自放大器33的輸出 信號S33的頻率為200kHz以上的情況下，來自放大器33的輸出信號S33被放大器36進一 步放大后，由比較儀37變換為圖5所示的矩形波后作為輸出信號S37輸出。即，能將由矩 形波構成的輸出信號S37作為頻率的變化量而得到，可以檢測踏力。
[0062] 雖然圖3所示的處理電路28與振動器26、27中的一個驅動電極29及檢測電極30 連接，但在載荷傳感器tool中與振動器26、27雙方的驅動電極29及檢測電極30連接。以 下詳述處理電路28。
[0063] 圖9是載荷傳感器tOOl中的處理電路28的電路圖。圖9中，對與圖3所示的處 理電路28相同的部分賦予相同的參照號碼。處理電路28中，運算放大器39與IV變換器 31分別和振動器26的驅動電極29與檢測電極30連接。圖9所示的處理電路28還具備 與圖3所示的驅動電路38、IV變換器31、驅動源切換器34、振蕩電路35、放大器33、36及 比較儀37分別同樣地執行動作的驅動電路138、IV變換器131、驅動源切換器134、振蕩電 路135、放大器133U36及比較儀137。驅動電路138具有與驅動電路38的運算放大器39 及電阻40同樣地執行動作的運算放大器139及電阻140。運算放大器139具有與運算放 大器39的內部電阻R1同樣的內部電阻R101。驅動電路138與IV變換器131分別和振動 器27的驅動電極29與檢測電極30連接。圖9所示的處理電路28還具備頻率計數器51、 151、乘法器52、152、153和減法器53。
[0064] 對具有圖9所示的處理電路28的載荷傳感器1001的動作進行說明。振動器26、 27為了防止這些振動的干擾而具有相互不同的固有頻率。如圖8所示，若向振動器26、27 施加變形，則它們的固有頻率fa、fb發生變化，通過對該頻率fa、fb的變化進行測量來檢測 變形。
[0065] 圖2B所示的檢測電極30的壓電層230將振動器26、27的機械振動變換成電荷后 作為電流輸出。處理電路28探測該電流，主要具有進行將基于該電荷的電流變換為電壓的 IV變換的功能、用于滿足振動器26、27的振蕩條件的放大的功能、和為了在容許振幅內驅 動振動器26、27而對驅動電壓進行限制的功能。
[0066] 因為構成壓電層229、230的壓電材料也是電介質，所以在驅動電極29的下部電極 層129與上部電極層329之間生成電容、在檢測電極30的下部電極層130與上部電極層 330之間生成電容。由于這些電容使得驅動頻率產生以下所說明的誤差。電介質具有其介 電常數根據溫度而變化的溫度特性，因此電容根據溫度而變化，驅動頻率也伴隨于電容的 變化而變化，成為誤差。
[0067] 載荷傳感器1001中，設置于振動器26 (27)的檢測電極30的上部電極層330和IV 變換器31 (131)的反相輸入端子32 (132)連接，下部電極層130和基準電位Vref連接。作 為運算放大器的IV變換器31 (131)的同相輸入端子32a(132a)和基準電位Vref連接，因 而IV變換器31(131)的反相輸入端子32(132)被虛擬接地至基準電位Vref。由此，可以將 振動器26、27的檢測電極30的下部電極層130與上部電極層330之間的電位差設為零，抑 制電流向壓電層230所形成的電容的流入，可以抑制基于因變形而產生的電荷的電流從檢 測電極30流出時的電容所引起的驅動頻率的變動。
[0068] 再有，構成驅動電路38、138的運算放大器39、139的內部電阻Rl、R101即輸出阻 抗、和設置于振動器26、27的驅動電極29的電容構成低通濾波器。通過降低運算放大器39、 139的內部電阻Rl、R101即輸出阻抗，從而可以使得由驅動電極29的電容與驅動電路38、 138的輸出阻抗生成的低通濾波器的相位在振動器26、27的固有頻率附近不變動。由此，可 抑制施加了驅動電壓時的電容引起的驅動頻率的變動。
[0069] 處理電路28中，從比較儀37、137輸出具有與振動器26、27的振動相同的頻率的 矩形波。頻率計數器51、151測量從比較儀37、137輸出的矩形波的頻率即振動器26、27的 振動的頻率fa、fb，來作為數字數據輸出。被施加給振動器26、27的變形與頻率fa、fb的 平方成比例。振動器26、27的固有頻率不同，因此振動器26、27的靈敏度即變形的每單位 大小的固有頻率fa、fb的平方值相互不同。利用振動器26、27的靈敏度之比K，乘法器52、 152、153與減法器53計算下式2所示的差分Id。
[0070] Id = fa2_KX fb2...(式 2)
[0071] 式2所示的差分Id相對于振動器26、27產生相同量的變形的熱膨脹等的要因而 言理想來說不發生變動。針對應檢測的外力引起的變形，振動器26、27被設置在振動器26、 27的頻率變動量的極性相反的地方。因而，不會產生上述的抵消效果，可以檢測變形。
[0072] 在作為圖13?圖15所示的比較例的現有的傳感器501中，通過考畢茲振蕩所構 成的電壓探測方式來構成振蕩電路6,因此若傳感器501周圍的溫度變化，則振動器1的電 容發生變動。圖10表示比較例的傳感器501的相對于振動器1的電容變動的振動頻率變 動。如圖10所示，若振動器1的電容變動，則振動頻率變動，因此來自傳感器501的輸出信 號的精度劣化。
[0073] 圖11表示實施方式中的載荷傳感器1001的振動器26、27的電容變動所伴隨的 輸出信號的振動頻率變動。實施方式的載荷傳感器1001中，將驅動電路38的內部電阻R1 減小，因此即便驅動電極29的電容因周圍的溫度的變化而變動，也可以減小基于內部電阻 R1(R101)與驅動電極29的電容的驅動電壓和來自IV變換器31 (131)的電流的相位差。 進而，因為IV變換器31(131)的反相輸入端子32(132)被虛擬接地，所以來自IV變換器 31 (131)的電流不會對流經設置于振動器26、27的檢測電極30的電容分量的電流造成影 響。由此，如圖11所示，振動器26、27的驅動電極29或檢測電極30的電容不會對振動器 26、27的固有頻率造成影響。因而，即便周圍的溫度發生變動而使振動器26、27的驅動電極 29或檢測電極30的電容變化，輸出信號的頻率也不會變動，精度穩定。
[0074] 圖12是載荷傳感器1001中的其他處理電路28a的電路圖。圖12中對與圖9所 示的處理電路28相同的部分賦予相同的參照號碼。處理電路28a還具有對放大器33、133 輸出的信號的相位進行調整的相位調整器80、180。驅動電極29、129與檢測電極30、130如 前所述具有電容。通過這些電容，基于從檢測電極30、130輸出的信號而生成的驅動信號相 對于振動器26、27的機械振動分別產生相位差。在圖3或圖9所示的處理電路28中，由于 這些相位差使振動器26、27有效地振動有時變得困難。
[0075] 圖12的處理電路28a中，相位調整器80、180使放大器33、133輸出的輸出信號移 相，對這些信號的相位進行調整后輸出。驅動電路38、138基于相位調整器80、180輸出的 輸出信號來生成驅動信號，分別供給至振動器26、27的驅動電極29。由此，可以使振動器 26、27高效地振動。
[0076] -工業可用性-
[0077] 本發明的載荷傳感器具有可提供即使周圍的溫度變動、輸出信號的精度也不會劣 化的特性提高了的載荷傳感器的效果，尤其是在帶電動馬達的自行車所使用的載荷傳感器 中是有用的。
[0078] -符號說明-
[0079] 26 振動器
[0080] 27 振動器
[0081] 29 驅動電極
[0082] 30 檢測電極
[0083] 31 IV 變換器
[0084] 32 反相輸入端子
[0085] 38 驅動電路
[0086] 39 運算放大器
[0087] 40 電阻
[0088] R1 內部電阻
【權利要求】
1. 一種載荷傳感器，具備： 振動器； 被設置于所述振動器的驅動電極； 向所述驅動電極供給使所述振動器振動的驅動電壓的驅動電路； 輸出與所述振動器的振動相應的電流的檢測電極；以及 將從所述檢測電極輸出的所述電流變換為電壓并將輸出信號輸出的IV變換器， 所述驅動電路具有輸出所述驅動電壓的運算放大器， 所述驅動電路基于所述輸出信號來生成所述驅動電壓， 所述運算放大器的內部電阻R1 ( Ω )、所述驅動電壓的角頻率ω (rad/sec)、所容許的 相位差Φ (度）和所述驅動電極的電容C (F)滿足下式： R1 彡-(1/ ω C) X tan ( Φ X ( π /180))。
2. 根據權利要求1所述的載荷傳感器，其中， 所述IV變換器具有輸入所述電流且被虛擬接地的反相輸入端子來構成負反饋電路。
3. 根據權利要求1或2所述的載荷傳感器，其中， 還具備對所述輸出信號的相位進行調整后將信號輸出的相位調整器， 所述驅動電路基于從所述相位調整器輸出的所述信號來生成所述驅動電壓。
【文檔編號】G01L5/00GK104160255SQ201380012747
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年3月6日 優先權日:2012年3月7日
【發明者】藤田孔明 申請人:松下電器產業株式會社
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