一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內側端固定在真空發生腔室側壁上，外側端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內側端，所述鎖緊螺母的內螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內側設有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設有用于夾緊熱偶的通孔。本發明的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結構簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內，且整套裝置易于安裝和維護。
【專利說明】一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體器件及加工制造領域，更具體地說，涉及一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置。
【背景技術】
[0002]半導體熱處理設備是集成電路制造的重要工藝設備，要求具有優異的控溫精度及良好的可靠性、穩定性的自動控制設備，半導體處理腔室用于在硅片等工件進行熱處理，包含退火、薄膜生成等。
[0003]工藝過程中，各個步驟中溫度的控制對硅片熱處理工藝效果有著重要影響。在特定的溫度下，工藝氣體反應生成合適的薄膜。如果反應過程中熱處理腔室溫度變化劇烈，將造成硅片表面的沉積層不均勻等問題，使硅片的利用率降低。因此，工藝過程中必需保證熱反應腔室內穩定的溫度，并達到工藝要求的溫度。類似的，其他工藝中，反應腔室內溫度不一致或者不穩定也將導致工藝效果不良。溫度精確控制影響的工藝包括但并不限于氧化、氮化、摻雜劑擴散、高溫退火、濺射沉積和等離子體處理等。
[0004]熱偶作為溫度測量裝置通常被安裝在一個熱偶外罩中，優選為石英外罩，一端伸入反應腔室內，另一端在反應腔室外通過支架固定或者簡單固定。由于是一端固定容易發生長度方向上的移動，使熱偶測量位置偏離指定位置，離指定位置越遠，測量溫度越不準確，同時由于一般石英外罩都采用圓形，容易繞一端產生旋轉，使溫度測量產生誤差，影響工藝效果。
[0005]本領域所公知的，當熱偶被安裝到熱反應腔室中時，沒有定位機構來約束熱偶檢測位置，從而進行準確定位和固定。因此，需要有結構簡單，使熱偶在反應腔室內準確定位，并牢固固定的熱偶固定裝置。
【發明內容】
[0006]本發明的目的在于提供一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內。
[0007]本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內側端固定在真空發生腔室側壁上，外側端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內側端，所述鎖緊螺母的內螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內側設有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設有用于夾緊熱偶的通孔。
[0008]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封卡套的內側端設有定位凸臺，所述定位凸臺與所述固定接頭的外側端扣合。
[0009]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側端的內圈設有錐形結構，所述錐形結構與所述定位凸臺之間設有密封圈。[0010]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封圈為柔性件。
[0011]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊裝置為設于所述夾緊片內側的具有預設間距的楔形凸臺，所述預設間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應。
[0012]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的內側端與所述真空發生腔室側壁焊接固定。
[0013]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的端部外側壁設有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內側設有與定位凹槽配合的開口。
[0014]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽。
[0015]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊片為柔性件。
[0016]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
[0017]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
[0018]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩為石英外罩。
[0019]一種溫度測量裝置，包括反應腔室、真空發生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，所述熱偶外罩的固定端通過上述所述的熱偶固定裝置固定。
[0020]本發明的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結構簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內，且整套裝置易于安裝和維護。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本發明熱偶固定裝置的結構示意圖；
[0023]圖2為本發明固定接頭的結構示意圖；
[0024]圖3為本發明密封卡套的結構示意圖；
[0025]圖4為本發明夾緊片的主視圖；
[0026]圖5為本發明夾緊片的結構示意圖；
[0027]圖6為本發明鎖緊螺母的結構示意圖；
[0028]圖7為本發明熱偶外罩的結構示意圖；
[0029]圖8為本發明熱偶外罩固定端的結構示意圖；
[0030]圖9為本發明熱偶固定裝置與熱偶外罩裝配示意圖；
[0031]圖10為本發明溫度測量裝置的結構示意圖。
[0032]圖中標號說明如下:
[0033]1、固定接頭，11、錐形結構，12、固定接頭凹槽，2、密封卡套，21、定位凸臺，3、夾緊片，31、楔形凸臺，32、夾緊片開口，4、鎖緊螺母,5、密封圈,6、熱偶外罩,61、熱偶定位凹槽，62、熱偶外罩固定端，7、反應腔室，8、真空發生腔室。【具體實施方式】
[0034]下面結合圖1至圖10對本發明中的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置作進一步的說明:
[0035]如圖1至圖6所示，一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭1、密封卡套2、夾緊片3及鎖緊螺母4 ;所述固定接頭I的內側端固定在真空發生腔室8側壁上，夕卜側端抵靠所述密封卡套2的一端，所述夾緊片3的兩側分別抵靠所述密封卡套2的另一端和所述鎖緊螺母4的內側端，所述鎖緊螺母4的內螺紋與所述固定接頭I的外螺紋嚙合；所述夾緊片3的內側設有用于夾緊所述熱偶外罩6的夾緊裝置，且所述夾緊片3設有用于夾緊熱偶的通孔。
[0036]為了進一步提高本發明，其中，所述密封卡套2的內側端設有定位凸臺21，所述定位凸臺21與所述固定接頭I的外側端扣合；定位凸臺21與固定接頭I的外側端相互配合，用于密封卡套定位，受力均勻，利于減小定位誤差，內部為多邊形空腔可使熱偶外罩通過。
[0037]如圖4和圖5所示，夾緊裝置為設于所述夾緊片3內側的具有預設間距的楔形凸臺31，所述預設間距與所述熱偶外罩6的外徑尺寸相適應。夾緊片3內側的楔形凸臺31插入密封卡套2之中，用來夾緊熱偶外罩6，同時內部與熱偶固定端62的多邊形形狀相對應，起到定位和固定作用，并且多變形一側開口，便于安裝，其中所述夾緊片為柔性件。
[0038]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭I的外側端的內圈設有錐形結構11，內圈有錐形結構11比平面結構更利于用于密封圈的密封。所述錐形結構11與所述密封卡套2的定位凸臺21之間設有密封圈5，所述密封圈5為柔性件，具備一定變形量；所述固定接頭I的內側端與所述真空發生腔室8側壁焊接固定；此外，所述固定接頭I的外側沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽12。
[0039]如圖7至圖9所示，熱偶外罩固定端62的端部外側壁設有用于前后定位熱偶的定位凹槽61,所述夾緊片3的通孔內側設有與定位凹槽61配合的開口。所述熱偶外罩固定端62的外形輪廓是多邊形，優選為四邊形，用來固定在熱偶固定組件上；所述熱偶外罩6優選為石英外罩。如圖7所示，熱偶外罩固定端62的中間段直徑變粗，大于熱偶插頭外形尺寸，不僅有利于熱偶插頭穿過熱偶固定組件，還有利于熱偶外罩的固定。
[0040]如圖10所示，本發明還提供一種溫度測量裝置，包括反應腔室7、真空發生腔室8，連接有熱偶的熱偶外罩6，所述熱偶外罩固定端62通過上述所述的熱偶固定裝置固定。本發明提供的熱偶外罩6安裝在反應腔室7的內部，反應腔室7安裝在真空發生腔室8的上面，在真空發生腔室8外為上述所述的熱偶固定裝置。
[0041]本發明的一種熱偶固定裝置及溫度測量裝置結構簡單、緊湊，可靠性高，利于保護熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準確的定位并固定在熱處理腔室內，且整套裝置易于安裝和維護，其機構簡單，方便安裝，高可靠性和占據空間小。
[0042]以上所述的僅為本發明的優選實施例，所述實施例并非用以限制本發明的專利保護范圍，因此凡是運用本發明的說明書及附圖內容所作的等同結構變化，同理均應包含在本發明的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種熱偶固定裝置，其特征在于，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內側端固定在真空發生腔室側壁上，外側端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內側端，所述鎖緊螺母的內螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內側設有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設有用于夾緊熱偶的通孔。
2.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封卡套的內側端設有定位凸臺，所述定位凸臺與所述固定接頭的外側端扣合。
3.根據權利要求2所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側端的內圈設有錐形結構，所述錐形結構與所述定位凸臺之間設有密封圈。
4.根據權利要求3所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封圈為柔性件。
5.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊裝置為設于所述夾緊片內側的具有預設間距的楔形凸臺，所述預設間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應。
6.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的內側端與所述真空發生腔室側壁焊接固定。
7.根據權利要求1-6任一項所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的端部外側壁設有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內側設有與定位凹槽配合的開口。
8.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側沿圓周方向上均勻分布有兩個凹槽。
9.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊片為柔性件。
10.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
11.根據權利要求10所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
12.根據權利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩為石英外罩。
13.一種溫度測量裝置，包括反應腔室、真空發生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端通過權利要求1-12任一項所述的熱偶固定裝置固定。
【文檔編號】G01K1/14GK103698029SQ201310631252
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年11月29日 優先權日:2013年11月29日
【發明者】楊帥, 董金衛, 盧言曉 申請人:北京七星華創電子股份有限公司
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