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一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔，涉及氣敏、濕敏傳感器測試【技術領域】，目的在于提供一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔，用于通過有毒、腐蝕性氣體對敏感元件性能測試。包括測試腔主體和溫控模塊，測試腔主體包括腔體、與腔體適配的腔蓋，腔體側(cè)壁連接有引出線、用于輸送測試氣體的進氣管和出氣管，引出線與設置于腔體內(nèi)的動觸片連接，測試時動觸片的凸點與放入腔體內(nèi)的待測敏感元件的電極接觸。本發(fā)明采用點接觸式，內(nèi)部設有動觸片組，可同時測量多個待測敏感元件，設置溫控模塊使得測試腔內(nèi)溫度連續(xù)可調(diào)，可在多種溫度環(huán)境下進行；且動觸片可以隨意調(diào)節(jié)動觸片的方向，使其適合不同電極尺寸元件的測試。
【專利說明】一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及氣敏、濕敏傳感器測試【技術領域】，具體涉及一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔。

【背景技術】
[0002]一個人每天呼吸約15立方米空氣，每立方米空氣約重1.3公斤，相當于一個人每天需要吸入20公斤重的空氣，這個數(shù)量是一個人每天喝水量的十多倍。近年來，隨著生產(chǎn)和生活方式的現(xiàn)代化發(fā)展，更多的工作和文娛、體育活動都可在室內(nèi)進行，人們平均每天有80%甚至更多的時間在室內(nèi)度過，因此室內(nèi)空氣質(zhì)量與人的生命健康有著密切的關系。
[0003]根據(jù)國家標準，評估室內(nèi)空氣質(zhì)量的主要參數(shù)有二氧化硫(S02)、二氧化氮(N02)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(C02)、氨氣(NH3)、笨(C6H6)等空氣污染物的含量；同時，室內(nèi)空氣的相對濕度(Relative Humidity)也作為評估的重要參數(shù)。在室內(nèi)空氣質(zhì)量檢測中，氣體傳感器與濕度傳感器作為快速有效的分析手段，具有可實時測量、體積小、響應快、價格低及耗能少等特點；同時運用以氣體和濕度傳感器為核心器件的遙感監(jiān)控系統(tǒng)，可對室內(nèi)環(huán)境的空氣質(zhì)量進行實時、遠程監(jiān)測。鑒于此，亟待研究和發(fā)展高靈敏度、高選擇、高穩(wěn)定、快響應的氣體和濕度傳感器。
[0004]在氣體和濕度傳感器的研發(fā)過程中，快速、準確、簡單、方便、安全有效地對研制的原型元件進行敏感性能測試至關重要。一般情況下，氣敏、濕敏原型元件的性能測試不是在真實的大氣環(huán)境下進行的，而是在性能測試腔中完成的，因此，設計并制備性能優(yōu)良的測試腔可在很大程度上推動元件研制的順利進行。從目前的報道來看，大多數(shù)氣敏或濕敏測試腔存在功能單一的問題，如:不能同時對多個元件進行測試，不能提供多種溫度測試環(huán)境，只能針對固定電極尺寸的元件進行測試，在測試前需要對原型元件進行復雜的引線封裝等。如申請?zhí)枮?01120561722.6的實用新型專利公開了一種氣敏特性動態(tài)測試系統(tǒng)測試室，包括上蓋、主腔體、下蓋、支架，測試室主體，所述支架上設有下蓋，所述上蓋與下蓋之間設有測試室主體,所述測試室主體的上頂面和下底面分別設有密封槽,所述測試室主體的兩側(cè)壁分別設有進氣口和出氣口，所述進氣口和出氣口分別與主腔體相通。但該測試腔不能提供多種測試溫度環(huán)境，且不具備電學連接裝置，待測敏感元件需要先引線再測試。申請?zhí)枮?01210566058.3的發(fā)明專利公開了一種半導體微納單晶氣敏傳感器測試系統(tǒng)，將制備好的SnO2單晶納米帶場效應晶體管固定在芯片底座上，單晶納米帶場效應晶體管的各個電極與芯片底座上的電極相連；在IC電路板上焊接測試芯片轉(zhuǎn)換座和排針，使測試芯片轉(zhuǎn)換座的各個針孔和排針一一對應并且導通；IC電路板固定在固定支架上；外接信號輸出端口和排針相連，外接信號輸出端口和固定支架固定在盲板上，將以上完成連接的組件密封固定在測試腔體中；將測試腔體分別與進氣系統(tǒng)氣體流量監(jiān)控及組分調(diào)控單元尾氣回收系統(tǒng)以及通過外接信號輸出端口與半導體電學測試系統(tǒng)相連接。該系統(tǒng)只針對Sn02單晶納米帶場效應管的測試，該氣敏元件在測試之前需要將電極連接在芯片底座上，然后將芯片底座安裝在具有芯片轉(zhuǎn)換座的IC電路板上，最后將IC電路板固定在測試腔內(nèi)并完成IC電路板與測試腔內(nèi)引線的連接后才能測試，操作較為復雜。鑒于此，本申請在傳統(tǒng)測試腔的基礎上進行了改進，提出了一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏/濕敏測試腔。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對上述現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明的目的為提供一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，該測試腔可在較大溫度范圍內(nèi)同時對多個成品或未封裝氣敏濕敏原型元件進行性能測試，適用于多種電極尺寸，并且可用于多種有毒、腐蝕性氣體的測試。本發(fā)明可解決現(xiàn)有氣敏濕敏測試腔存在的不能同時對多個待測敏感元件進行測試、不能提供多種溫度環(huán)境、只針對固定電極尺寸元件應用、元件測試前需要復雜的引線封裝等問題。
[0006]本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，采用以下技術方案:
[0007]一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔，其特征在于:包括測試腔主體和溫控模塊，測試腔主體包括腔體、與腔體適配的腔蓋，腔體側(cè)壁連接有引出線、用于輸送測試氣體的進氣管和出氣管，引出線與設置于腔體內(nèi)的動觸片連接，測試時動觸片的凸點與放入腔體內(nèi)的待測敏感元件的電極接觸。
[0008]進一步地，所述溫控模塊包括核心控制單元、溫度檢測單元、加熱單元、保護電路、鍵盤輸入電路和液晶顯示驅(qū)動電路，核心控制單元的輸入/輸出雙向端口分別與溫度控制單元、鍵盤輸入電路、液晶顯示驅(qū)動電路、加熱單元和保護電路電連接，溫度檢測單元檢測腔體內(nèi)的實時溫度，鍵盤輸入電路設置設定溫度，將設定溫度和實時溫度傳輸至核心控制單元,核心控制單元輸出控制信號至加熱單元由加熱單元對腔體加熱,通過液晶顯示驅(qū)動電路顯示設定溫度和實時溫度；核心控制單元將設定溫度寫入保護電路內(nèi)，斷電后再次通電時核心控制單元讀取保護電路內(nèi)的設定溫度。
[0009]進一步地，溫度檢測單元與加熱單元形成負反饋閉環(huán)控制。
[0010]進一步地，加熱單元包括加熱元件和溫度控制電路，核心控制單元與溫度控制電路電連接，溫度控制電路與加熱元件電連接，加熱元件安裝于腔體內(nèi)，核心控制單元輸出的控制信號通過溫度控制電路輸送至加熱元件并使加熱元件工作。
[0011]進一步地，溫度檢測單元包括溫度傳感器、信號處理電路，溫度傳感器安裝于腔體內(nèi)，溫度傳感器與信號處理電路電連接，信號處理電路與核心控制單元電連接，溫度傳感器檢測腔體內(nèi)的溫度，并將溫度信息通過信號處理電路輸送至核心控制單元。
[0012]進一步地，腔體(I)內(nèi)的溫度為15°C?300°C。
[0013]進一步地，測試氣體為水蒸氣(H2O)、氨氣(NH3)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、氫氣(H2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、硫化氫(H2S)、二氧化硫(SO2)、甲烷(CH4)'甲基膦酸二甲酯(DMMP)或氧氣(O2)。
[0014]進一步地，腔蓋上與腔體接觸的表面設有密封墊片，腔體與腔蓋連接時通過密封墊片密封。
[0015]進一步地，腔體和腔蓋的材料相同，且均為聚四氟乙烯或聚酰亞胺，密封墊片為硅膠墊片、聚四氟包襯橡膠墊片、芳綸墊片或碳纖維墊片。
[0016]進一步地，腔體和腔蓋的材料相同，且均為不銹鋼或銅，密封墊片為硅膠墊片、聚四氟包襯橡膠墊片、芳綸墊片、碳纖維墊片、銅墊片、不銹鋼墊片或石墨墊片。
[0017]進一步地，腔體內(nèi)部沿腔體長度方向設置8?12個動觸片。
[0018]進一步地，動觸片的長度為4mm?12mm，動觸片的固定孔的中心與凸點的中心之間的距離為2mm?1mm,凸點的直徑為0.5mm?3mm,相鄰兩動觸片之間的距離為3mm?15mm,每個動觸片可以動觸片的固定孔的圓心為圓心旋轉(zhuǎn)0°?180°。
[0019]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0020]一、測試腔采用點接觸式，內(nèi)部設有動觸片組，可以同時測量多個待測敏感元件，且不需要對原型元件進行封裝。動觸片不但可以壓緊元件電極，保證電學接觸的穩(wěn)定性，而且可以隨意調(diào)節(jié)動觸片的方向，使其適合不同電極尺寸元件的測試。
[0021]二、該測試腔具有溫控模塊，使得測試腔內(nèi)溫度連續(xù)可調(diào)，使測試可在多種溫度環(huán)境下進行。
[0022]三、測試腔主體采用耐腐蝕、耐高溫的材料制作，且密封性良好，可應用于多種有毒、腐蝕性氣體的測試，同時滿足高溫下測試的需求。
[0023]四、測試腔內(nèi)部容積小，在配氣過程中有利于腔體內(nèi)氣體分子的快速擴散，提高了測試精確度。
[0024]五、采用溫度控制控制算法控制測試腔內(nèi)溫度，能使溫度達到設定值后，在較精確的范圍內(nèi)保持恒定。
[0025]六、該測試腔具有液晶顯示元件，可同時顯示設定溫度值和實時溫度值，使測試人員直觀有效地了解測試腔內(nèi)部溫度情況。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏/濕敏測試腔的立體示意圖；
[0027]圖2為溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏/濕敏測試腔的俯視示意圖；
[0028]圖3為動觸片結(jié)構示意圖；
[0029]圖4為動觸片與待測敏感元件的連接示意圖；
[0030]圖5為溫度控制模塊的設計框圖；
[0031]其中，附圖標記為:1一腔體、2—腔蓋、3—進氣管、4一出氣管、5—密封墊片、6—螺絲孔、7—鍵盤、8—液晶顯不屏、9 一電源插孔、10 一待測敏感兀件、11 一動觸片、12—引出線、111一固定孔、112—凸點。

【具體實施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明做進一步說明:
[0033]實施例一
[0034]一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，用于氣敏元件或濕敏元件的性能測試。
[0035]該測試腔包括測試腔主體、溫控模塊。測試腔主體包括腔體和腔蓋，腔體和腔蓋共同形成密封的測試腔主體，腔體和腔蓋均由高分子聚合物材料中的聚四氟乙烯材料制成，腔體內(nèi)部空腔的長度為40mm?120mm、寬度為1mm?30mm、深度為3mm?1mm,本實施例中腔體內(nèi)部空腔的深度為3mm，寬度在10mm，長度為40mm，測試時腔體內(nèi)沿腔體長度方向設置4?6個氣敏元件或濕敏元件。腔體和腔蓋上對應開設有螺紋孔，腔體和腔蓋通過螺絲擰緊。腔蓋上與腔體接觸的接觸面設有密封墊片，通過密封墊片可使腔體和腔蓋在螺絲擰緊時確保腔體的密封性，從而保證了測試的準確性和安全性；當腔體和腔蓋的材料為高分子聚合物材料時，密封墊片為耐腐蝕柔性墊片，本實施例中密封墊片的材料為聚四氟包襯橡膠墊片。腔體側(cè)壁設有引出線、進氣管和出氣管，所述進氣管和出氣管均為硅膠管，所述進氣管和出氣管均用于輸送測試氣體。測試氣體為水蒸氣(H2O)、氨氣(Mg、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、氫氣(H2)、二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)、硫化氫(H2S)、二氧化硫(SO2)、甲烷(CH4)、甲基膦酸二甲酯(DMMP)或氧氣(O2)。腔體內(nèi)部空腔內(nèi)設有動觸片，所述動觸片為小型動觸片，其結(jié)構示意圖如圖3所示，動觸片總長度為4mm，動觸片的可旋轉(zhuǎn)部分的長度為2mm，該可旋轉(zhuǎn)部分是指動觸片上固定孔的中心與凸點的中心之間的距離；凸點直徑為0.5mm ;相鄰兩動觸片之間的距離為3mm，且動觸片可以固定孔為圓心在0°~180°的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從而滿足多種電極尺寸的元件測試需求，該動觸片一端通過動觸片的固定孔安裝于腔體底部。該待測敏感元件有兩個電極，兩個電極之間的距離為2_，電極連接點寬度大于0.5_，測試時，待測敏感元件放置于腔體底部(當然，待測敏感元件也可放置于腔體的側(cè)壁，但需在腔體側(cè)壁上相應設置待測敏感元件的固定件，和固定在側(cè)壁上的動觸片組)，動觸片的凸點與待測敏感元件的電極接觸。本實施例中所述待測敏感元件為氣敏元件，測試時腔體內(nèi)沿腔體長度方向放置5個氣敏元件、10個銅金屬動觸片，每一個銅金屬動觸片對應氣敏元件中的一個電極，5個氣敏元件的10個電極與10個銅金屬動觸片--
對應接觸。
[0036]腔體側(cè)面嵌有溫控模塊，所述溫控模塊包括核心控制單元、溫度檢測單元、加熱單元、保護電路、鍵盤輸入電路、液晶顯示驅(qū)動電路和供電電路。核心控制單元由單片機系統(tǒng)組成，其具體的溫度控制算法采用現(xiàn)有的PID算法(PID控制即比例積分微分控制，其在過程控制中，按偏差的比例(P)、積分⑴和微分⑶進行控制，是應用最常見、最悠久的一種基本控制算法；PID調(diào)節(jié)器是一種線性調(diào)節(jié)器，PID控制器由比例單元P、積分單元I和微分單元D組成，常規(guī)連續(xù)PID控制器的表達形式為:
u(t) = Kpe(t) +τ)?τ + Kd —^―其中，Kp、K1、Kd是pid控制器可調(diào)的





，
三個參數(shù))，并對單片機的內(nèi)存進行擴充，以適用與PID算法的存儲和運算。溫度檢測單元包括溫度傳感器、信號處理電路和A/D轉(zhuǎn)換器，該溫度傳感器為熱電偶溫度傳感器，將溫度信號轉(zhuǎn)變成電壓信號，其測量范圍為15°C -300°C;信號處理電路對電壓信號進行放大、補償和線性化處理;A/D轉(zhuǎn)換器將電壓信號轉(zhuǎn)變成單片機可識別的數(shù)字信號。加熱單元包括采用體積小、耐腐蝕、最高加熱溫度可達250°C及以上的加熱元件和與加熱元件相應的溫度控制電路，該加熱元件為CH-J103012型高溫陶瓷加熱片。保護電路對設定溫度值進行掉電保護，其中保存的數(shù)據(jù)可被控制單元讀取和重新寫入，且保護電路具有鎖存設定信息的功能，防止掉電后信息丟失。鍵盤輸入電路通過對鍵盤的操作可以手動將設定加熱溫度寫入控制單元，根據(jù)需求的不同可選用獨立式鍵盤或矩陣式鍵盤，本實施例中鍵盤輸入電路設計、采用矩陣鍵盤，具有四個按鍵，分別為電源開關、溫度增加、溫度減小和設定完成。液晶顯示驅(qū)動電路，具有2寸液晶屏，可接收并顯示單片機系統(tǒng)傳送的設定溫度和實時溫度，核心控制單元可向液晶顯示元件寫入設定溫度和實時溫度。其中液晶顯示驅(qū)動電路的液晶顯示屏和鍵盤輸入電路的鍵盤均設置于腔體前側(cè)，電源接口設置于腔體右側(cè)，引出線設置于腔體后側(cè)。
[0037]溫度檢測單元的溫度傳感器與信號處理電路電連接，溫度傳感器檢測腔體內(nèi)的溫度，將溫度信號轉(zhuǎn)變成電壓信號并輸送至信號處理電路，信號處理電路對電壓信號進行放大、補償和線性化；信號處理電路與A/D轉(zhuǎn)換器電連接，經(jīng)放大、補償或線性化處理后的電壓信號輸送至A/D轉(zhuǎn)換器，A/D轉(zhuǎn)換器將電壓信號轉(zhuǎn)變成單片機可識別的數(shù)字信號；A/D轉(zhuǎn)換器與核心控制單元電連接，經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換后的數(shù)字信號輸送至核心控制單元，核心控制單元相應的做出響應；核心控制單元的輸入/輸出雙向端口分別與加熱單元的溫度控制電路、保護電路、鍵盤輸入電路和液晶顯示驅(qū)動電路電連接，溫度控制電路與加熱元件電連接，溫度檢測單元與加熱單元形成負反饋閉環(huán)控制，溫度檢測單元檢測腔體內(nèi)的實時溫度，鍵盤輸入電路設置設定溫度，將設定溫度和實時溫度傳輸至核心控制單元，核心控制單元輸出控制信號至加熱單元由加熱單元對腔體加熱，通過液晶顯示驅(qū)動電路顯示設定溫度和實時溫度；核心控制單元將設定溫度寫入保護電路內(nèi)，斷電后再次通電時核心控制單元讀取保護電路內(nèi)的設定溫度，核心控制單元做出的響應輸送至溫度控制電路，溫度控制電路調(diào)整加熱元件的工作狀態(tài)，從而可使腔體內(nèi)的溫度在15°C~300°C內(nèi)可調(diào)，由于腔體放置于環(huán)境中后，腔體內(nèi)的初始溫度與環(huán)境溫度相同，均為室溫，其初始溫度為15°C~30。。。
[0038]該氣敏濕敏測試腔既可適用于動態(tài)氣敏測試，又可適用于靜態(tài)氣敏測試。
[0039]測試時，打開腔蓋，將待測敏感元件放置于腔體底部，其中待測敏感元件沿腔體長度方向設置5個，10個動觸片的凸點壓在待測敏感元件上并與待測敏感元件上的電極一一對應接觸，關閉腔蓋使測試腔密封，通過進氣管向腔體內(nèi)通入測試氣體，測敏感元件產(chǎn)生相應的較為穩(wěn)定的電阻、電容或電流變化等電信號，待測敏感元件產(chǎn)生的電信號通過引出線輸送至外部儀器，通過外部儀器可直觀測試出待測敏感元件的各項性能。
[0040]實施例二
[0041]在實施例一的基礎上，核心控制單元由單片機系統(tǒng)組成，其具體的溫度控制算法改用現(xiàn)有的Dahlin算法(Dahlin算法整個控制器的設計是基于離散化的方法，是在Z域里面設計一個合適的數(shù)字控制器。這一算法的最大特點是將系統(tǒng)的期望閉環(huán)響應設計為理想的一階慣性環(huán)節(jié)加純滯后環(huán)節(jié)，再通過期望的閉環(huán)響應傳遞函數(shù)和控制系統(tǒng)的數(shù)學模型反過來求得閉環(huán)響應的調(diào)節(jié)器。Dahlin算法的控制系統(tǒng)結(jié)構如下所示:

【權利要求】
1.一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔，其特征在于:包括測試腔主體和溫控模塊，測試腔主體包括腔體(I )、與腔體(1)適配的腔蓋(2)，腔體(1)側(cè)壁連接有引出線(12)、用于輸送測試氣體的進氣管(3)和出氣管(4)，引出線(12)與設置于腔體(1)內(nèi)的動觸片(11)連接，測試時動觸片(11)的凸點(112)與放入腔體(1)內(nèi)的待測敏感元件(10)的電極接觸。
2.如權利要求1所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:所述溫控模塊包括核心控制單元、溫度檢測單元、加熱單元、保護電路、鍵盤輸入電路和液晶顯示驅(qū)動電路，核心控制單元的輸入/輸出雙向端口分別與溫度控制單元、鍵盤輸入電路、液晶顯示驅(qū)動電路、加熱單元和保護電路電連接，溫度檢測單元檢測腔體(1)內(nèi)的實時溫度，鍵盤輸入電路設置設定溫度，將設定溫度和實時溫度傳輸至核心控制單元，核心控制單元輸出控制信號至加熱單元由加熱單元對腔體(1)加熱，通過液晶顯示驅(qū)動電路顯示設定溫度和實時溫度；核心控制單元將設定溫度寫入保護電路內(nèi)，斷電后再次通電時核心控制單元讀取保護電路內(nèi)的設定溫度。
3.如權利要求2所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:溫度檢測單元與加熱單元形成負反饋閉環(huán)控制。
4.如權利要求2所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:加熱單元包括加熱元件和溫度控制電路，核心控制單元與溫度控制電路電連接，溫度控制電路與加熱元件電連接，加熱元件安裝于腔體(1)內(nèi)，核心控制單元輸出的控制信號通過溫度控制電路輸送至加熱元件并使加熱元件工作。
5.如權利要求2所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏、濕敏測試腔，其特征在于:溫度檢測單元包括溫度傳感器、信號處理電路，溫度傳感器安裝于腔體(1)內(nèi)，溫度傳感器與信號處理電路電連接， 信號處理電路與核心控制單元電連接，溫度傳感器檢測腔體(1)內(nèi)的溫度，并將溫度信息通過信號處理電路輸送至核心控制單元。
6.如權利要求5所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:腔體(1)內(nèi)的溫度為15°C ~300°C。
7.如權利要求1所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:測試氣體為水蒸氣(H20)、氨氣(NH3)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、氫氣(H2)、二氧化碳(CO2),一氧化碳(CO)、硫化氫(H2S)、二氧化硫(SO2)、甲烷(CH4)、甲基膦酸二甲酯(DMMP)或氧氣(02)。
8.如權利要求1所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:腔蓋(2 )上與腔體(1)接觸的表面設有密封墊片(5 )，腔體(1)與腔蓋(2 )連接時通過密封墊片(5)密封。
9.如權利要求8所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:腔體(1)和腔蓋(2)的材料相同，且均為聚四氟乙烯或聚酰亞胺，密封墊片(5)為硅膠墊片、聚四氟包襯橡膠墊片、芳綸墊片或碳纖維墊片。
10.如權利要求8所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:腔體(1)和腔蓋(2)的材料相同，且均為不銹鋼或銅，密封墊片(5)為硅膠墊片、聚四氟包襯橡膠墊片、芳綸墊片、碳纖維墊片、銅墊片、不銹鋼墊片或石墨墊片。
11.如權利要求1所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:腔體(1)內(nèi)部沿腔體(1)長度方向設置8~12個動觸片。
12.如權利要求11所述的一種溫度連續(xù)可調(diào)型點接觸式氣敏濕敏測試腔，其特征在于:動觸片(11)的長度為4mnTl2mm，動觸片(11)的固定孔(111)的中心與凸點(112)的中心之間 的距離為2mnTl0mm，凸點(112)的直徑為0.5mnT3mm，相鄰兩動觸片(11)之間的距離為3mnTl5mm,每個動觸片(11)可以動觸片(11)的固定孔(111)的圓心為圓心旋轉(zhuǎn)O。~180。。
【文檔編號】G01N33/00GK104076122SQ201410224721
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權日:2014年5月26日
【發(fā)明者】太惠玲, 劉春華, 蔣亞東, 徐曉穎, 謝光忠, 杜曉松 申請人:電子科技大學