旋轉陰極磁場均勻性測試設備及測試方法
【專利摘要】本發明涉及磁控濺射陰極磁場均勻性測量設備及其測試方法，特別是測量陰極磁棒在軸向方向上同一區域的磁場強度變化。測量設備包括設有導軌的機臺構架部分，所述機臺構架部分的導軌上滑動連接移動小車，還包括第一手輪移動機構、第二手輪移動機構及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動機構用于控制小車前后運動，所述第二手輪移動機構用于調節測量磁場強度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強度儀器。本發明旋轉陰極磁場均勻性測試設備結構簡單，利用該發明設備進行測試后可滿足磁棒的磁場在同一水平同一高度的位置準確測量磁棒磁場強度變化，操作方便簡單，設備科重復使用。
【專利說明】旋轉陰極磁場均勻性測試設備及測試方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及磁控濺射陰極磁場均勻性測量設備，特別是測量陰極磁棒在軸向方向上同一區域的磁場強度變化。
【背景技術】
[0002]隨著節能玻璃的大規模使用，用于生產低輻射鍍膜玻璃的磁控濺射鍍膜生產線被廣泛安裝并投入生產，許多生產線的濺射陰極磁棒被冷卻水不斷腐蝕以及循環水溫度的變化造成磁場在軸向方向上很不均勻，因而生產的產品性能下降甚至是不合格產品，因此需要定期對用于濺射的陰極磁場做均勻性檢測以備及時將不合格磁棒更換，目前行業主要靠手持高斯儀對陰極磁場做磁場測量，但是所有的磁場在空間不同的位置強度是不一樣的，因而靠人工用手在磁場空間同一水平同一高度測量磁棒均勻性誤差很大，無法做出準確判斷磁棒的均勻性是否合格。
【發明內容】
[0003]本發明的目的克服了以上的不足，提供一種簡單易操作的設備準確測量出磁棒的磁場在軸向分布以及磁場強度的強弱變化。
[0004]旋轉陰極磁場均勻性測試設備，旋轉陰極磁場均勻性測試設備，包括設有導軌的機臺構架部分，所述機臺構架部分的導軌上滑動連接移動小車，還包括第一手輪移動機構、第二手輪移動機構及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動機構用于控制小車前后運動，所述第二手輪移動機構用于調節測量磁場強度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強度儀器。
[0005]所述機臺構架部分包括機臺底座、水平調節器及兩根導軌，所述機臺底座上部設置有四個用于調節所述機臺水平的水平調節器，所述水平調節器的上部固定設置有所述兩根導軌。
[0006]所述移動小車車體上固定連接所述儀器夾，所述儀器夾上固定連接所述測量磁場強度儀器。
[0007]所述的測量磁場強度儀器為高斯儀。
[0008]采用所述旋轉陰極磁場均勻性測試設備進行測試的測試方法:包括以下幾個步驟:
第一步、將旋轉陰極導入陰極翻轉臺，并將四角用壓板鎖緊；
第二步、要轉翻轉臺小車搖輪將陰極翻轉180°至水平并插于鎖桿將位置固定；
第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上；
第四步、調整測試臺四個水平調節器高度，將整個機臺調至水平狀態；
第五步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將儀器架調整至最高位置；
第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死；
第七步、旋轉第一手輪移動機構在前后方向將高斯儀移至磁鋼一與磁鋼二中心位置； 第八步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將高斯儀移至兩個磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打開高斯儀；
第十步、手動推動機架小車從左向右移動，每隔一定距離記錄磁鋼強度并記錄，所記錄數值通過EXCEL繪成曲線并計算磁場強度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性；
進一步的，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強度后移動第一螺桿機構手輪將高斯儀移至磁缸表面1_高度，依次從左向右推動小車每50_測試磁場強度并記錄。
[0009]有益效果:本發明旋轉陰極磁場均勻性測試設備結構簡單，利用該發明設備進行測試后可滿足磁棒的磁場在同一水平同一高度的位置準確測量磁棒磁場強度變化，操作方便簡單，設備科重復使用。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1為本發明設備的主視圖；
圖2為圖1的左視圖；
其中，1、機臺底座；2、導軌；3、水平調節器；4、移動小車；5、第一手輪移動機構；6、第二手輪移動機構；7、儀器夾；8、高斯儀；9、磁缸一 ；10、磁缸二。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖對本發明旋轉陰極磁場均勻性測試設備作進一步詳細描述。
[0012]本發明旋轉陰極磁場均勻性測試設備包括如下部件:
包括兩根導軌的長3900-4500mm、寬820-900mm、高200_300mm的機臺構架；
一可搭載磁場強度檢測儀器并在導軌上滑行的小車；
一用于小車前后運動的螺桿機構以及手輪；
一用于調節測量磁場強度儀器上下高度的螺桿機構以及手輪；
一用于固定測量磁場強度儀器的儀器夾；
四個用于調節機臺構架水平的調節器；
用于方便起吊設備的龍骨耳朵；
利用上述測量陰極磁場均勻性的設備測試均勻性的方法，包括以下步驟:
第一步、將旋轉陰極導入陰極翻轉臺，并將四角用壓板鎖緊；
第二步、要轉翻轉臺小車搖輪將陰極翻轉180°至水平并插于鎖桿將位置固定；
第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上；
第四步、調整測試臺四個水平調節器高度，將整個機臺調至水平狀態；
第五步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將儀器架調整至最高位置；
第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死；
第七步、旋轉第一手輪移動機構在前后方向將高斯儀移至磁鋼一與磁鋼二中心位置；第八步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將高斯儀移至兩個磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打開高斯儀； 第十步、手動推動機架小車從左向右移動，每隔一定距離記錄磁鋼強度并記錄，所記錄數值通過EXCEL繪成曲線并計算磁場強度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性。
[0013]所述第十步中，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強度后移動第一螺桿機構手輪將高斯儀移至磁缸表面1_高度，依次從左向右推動小車每50_測試磁場強度并記錄。
【權利要求】
1.旋轉陰極磁場均勻性測試設備，其特征在于，包括設有導軌的機臺構架部分，所述機臺構架部分的導軌上滑動連接移動小車，還包括第一手輪移動機構、第二手輪移動機構及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動機構用于控制小車前后運動，所述第二手輪移動機構用于調節測量磁場強度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強度儀器。
2.根據權利要求1所述的旋轉陰極磁場均勻性測試設備，其特征在于，所述機臺構架部分包括機臺底座、水平調節器及兩根導軌，所述機臺底座上部設置有四個用于調節所述機臺水平的水平調節器，所述水平調節器的上部固定設置有所述兩根導軌。
3.根據權利要求2所述的旋轉陰極磁場均勻性測試設備，其特征在于，所述移動小車車體上固定連接所述儀器夾，所述儀器夾上固定連接所述測量磁場強度儀器。
4.根據權利要求3所述的旋轉陰極磁場均勻性測試設備，其特征在于，所述的測量磁場強度儀器為高斯儀。
5.采用權利要求1所述旋轉陰極磁場均勻性測試設備進行測試的測試方法:包括以下幾個步驟: 第一步、將旋轉陰極導入陰極翻轉臺，并將四角用壓板鎖緊； 第二步、要轉翻轉臺小車搖輪將陰極翻轉180°至水平并插于鎖桿將位置固定； 第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上； 第四步、調整測試臺四個水平調節器高度，將整個機臺調至水平狀態； 第五步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將儀器架調整至最高位置； 第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死； 第七步、旋轉第一手輪移動機構在前后方向將高斯儀移至磁鋼一與磁鋼二中心位置； 第八步、旋轉第二手輪移動機構在上下方向將高斯儀移至磁缸表面一定高度位置； 第九步、打開高斯儀； 第十步、手動推動機架小車從左向右移動，每隔一定距離記錄磁缸強度并記錄，所記錄數值通過EXCEL繪成曲線并計算磁場強度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性； 根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述第十步中，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強度后移動第一螺桿機構手輪將高斯儀移至磁缸表面Imm高度，依次從左向右推動小車每50mm測試磁場強度并記錄。
【文檔編號】G01R33/10GK103777158SQ201410031748
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月23日 優先權日:2014年1月23日
【發明者】黃林沖, 顧海波, 曹承 申請人:江蘇奧藍工程玻璃有限公司
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