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影像測量設(shè)備及采用該設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法
【專利摘要】一種影像測量設(shè)備及通過該影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，影像測量設(shè)備設(shè)置有底座、縱向安裝座、驅(qū)動裝置、工作臺、中央控制系統(tǒng)以及光學(xué)成像系統(tǒng)；光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置有影像設(shè)備和激光發(fā)射器，影像設(shè)備的影像鏡頭和和激光發(fā)射器的激光頭分別固定裝配于縱向安裝座。采用上述影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，包括如下步驟：（1）分別通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器獲得檢測樣品的影像信息；（2）將影像設(shè)備得到的影像信息與激光發(fā)射器得到的激光信息進(jìn)行共坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的影像信息和激光信息。本發(fā)明通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器，能夠同時獲得樣品的多個參數(shù)，如表面信息及樣品的平面度參數(shù)等，具有使用方便、檢測高效省時的特點(diǎn)。
【專利說明】影像測量設(shè)備及采用該設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測量設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種影像測量設(shè)備及采用該設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，人們對產(chǎn)品的生產(chǎn)要求越來越高，對產(chǎn)品的尺寸、表面平整度等均提出了更高的要求。影像測量設(shè)備由于能夠?qū)悠愤M(jìn)行直接檢測，因此，在工業(yè)生產(chǎn)及檢測中得到了廣泛應(yīng)用。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，影像測量設(shè)備通常設(shè)置有一架體、一工作臺以及設(shè)置于工作臺上方的光學(xué)成像系統(tǒng)，通過移動工作臺將測試樣品移動至光學(xué)成像系統(tǒng)下方進(jìn)行相應(yīng)部位的檢測。現(xiàn)有技術(shù)中，對平面度信息檢測及樣品表面情況檢測，都是需要通過單獨(dú)的設(shè)備進(jìn)行，不能通過一種設(shè)備同時獲得檢測樣品的多個信息。
[0004]因此，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種影像測量設(shè)備及通過該影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法以克服現(xiàn)有技術(shù)不足甚為必要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種影像測量設(shè)備及通過該影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，能夠一次性獲得檢測樣品的多個參數(shù)信息。
[0006]本發(fā)明的上述目的通過如下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)。
提供一種影像測量設(shè)備，設(shè)置有底座、縱向安裝座、驅(qū)動裝置、工作臺、中央控制系統(tǒng)以及光學(xué)成像系統(tǒng)；
所述工作臺裝配于所述底座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)裝配于所述縱向安裝座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置于所述工作臺上方，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述底座和所述縱向安裝座中的至少一個以調(diào)整所述光學(xué)成像系統(tǒng)與所述工作臺表面的檢測樣品之間的相對位置；
所述中央控制系統(tǒng)設(shè)置有影像處理單元和控制單元，所述影像處理單元與所述光學(xué)成像系統(tǒng)連接，所述光學(xué)成像系統(tǒng)對工作臺上的工件進(jìn)行測量成像，并將影像數(shù)據(jù)傳輸至所述影像處理單元，經(jīng)所述影像處理單元處理后獲得工件的檢測參數(shù)，所述控制單元與所述驅(qū)動裝置連接；
所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置有影像設(shè)備和激光發(fā)射器，所述影像設(shè)備的影像鏡頭和和所述激光發(fā)射器的激光頭分別固定裝配于所述縱向安裝座。
[0007]上述影像鏡頭與所述激光頭設(shè)置為同步升降結(jié)構(gòu)。
[0008]上述激光發(fā)射器發(fā)射的激光與所述影像鏡頭的軸線平行。
[0009]上述影像測量設(shè)備還設(shè)置有導(dǎo)航設(shè)備，所述導(dǎo)航設(shè)備的導(dǎo)航鏡頭裝配于所述縱向安裝座，所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線相交，且所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角為銳角。
[0010]上述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角范圍為20°至60°。[0011]上述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角范圍為30°至45°。
[0012]本發(fā)明同時提供采用上述影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，包括如下步驟:
(O分別通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器獲得檢測樣品的影像信息；
(2)將影像設(shè)備得到的影像信息與激光發(fā)射器得到的激光信息進(jìn)行共坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的影像信息和激光信息。
[0013]優(yōu)選的，上述步驟(2)中的共坐標(biāo)處理具體是根據(jù)影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系進(jìn)行影像信息與激光信息共坐標(biāo)處理；
影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系具體通過如下步驟得
到:
a.選擇測試樣品或者標(biāo)準(zhǔn)塊上的一點(diǎn)作為校正測試點(diǎn)，通過激光發(fā)射器發(fā)射激光到校正測試點(diǎn)，記錄在激光坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(JXl、Jy1)；
b.將校正測試點(diǎn)移至影像鏡頭下方進(jìn)行測量，記錄在影像坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(YXpYy1)；
c.根據(jù)坐標(biāo)(JXl、Jy1)與坐標(biāo)為(YXl、Yy1)獲得影像坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)與激光坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)之間的對應(yīng)關(guān)系。
[0014]本發(fā)明的影像測量設(shè)備，設(shè)置有底座、縱向安裝座、驅(qū)動裝置、工作臺、中央控制系統(tǒng)以及光學(xué)成像系統(tǒng)；所述工作臺裝配于所述底座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)裝配于所述縱向安裝座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置于所述工作臺上方，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述底座和所述縱向安裝座中的至少一個以調(diào)整所述光學(xué)成像系統(tǒng)與所述工作臺表面的檢測樣品之間的相對位置；所述中央控制系統(tǒng)設(shè)置有影像處理單元和控制單元，所述影像處理單元與所述光學(xué)成像系統(tǒng)連接，所述光學(xué)成像系統(tǒng)對工作臺上的工件進(jìn)行測量成像，并將影像數(shù)據(jù)傳輸至所述影像處理單元，經(jīng)所述影像處理單元處理后獲得工件的檢測參數(shù)，所述控制單元與所述驅(qū)動裝置連接；所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置有影像設(shè)備和激光發(fā)射器，所述影像設(shè)備的影像鏡頭和和所述激光發(fā)射器的激光頭分別固定裝配于所述縱向安裝座。采用上述影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，包括如下步驟:(1)分別通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器獲得檢測樣品的影像信息；(2)將影像設(shè)備得到的影像信息與激光發(fā)射器得到的激光信息進(jìn)行共坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的影像信息和激光信息。本發(fā)明通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器，能夠同時獲得樣品的多個參數(shù)，如表面信息及樣品的平面度參數(shù)等。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]利用附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明，但附圖中的內(nèi)容不構(gòu)成對本發(fā)明的任何限制。
[0016]圖1是本發(fā)明一種影像測量設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明一種影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是本發(fā)明一種影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)的影像鏡頭及激光頭視域示意圖；
圖4是本發(fā)明一種影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)的另一結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5是圖4的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6是圖4的光學(xué)成像系統(tǒng)的影像鏡頭和導(dǎo)航鏡頭的視域示意圖；
在圖1至圖6中，包括: 縱向安裝座100、
影像設(shè)備200、影像鏡頭210、影像鏡頭的軸線L、影像鏡頭的視域220、
激光發(fā)射器300、激光頭310、激光320、
導(dǎo)航設(shè)備400、導(dǎo)航鏡頭410、
導(dǎo)航鏡頭的軸線M、導(dǎo)航鏡頭的視域420、夾角A、
檢測樣品500、
底座600、驅(qū)動裝置700、工作臺800。
【具體實(shí)施方式】
[0017]結(jié)合以下實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0018]實(shí)施例1。
[0019]一種影像測量設(shè)備，如圖1所示，設(shè)置有底座600、縱向安裝座100、驅(qū)動裝置700、工作臺800、中央控制系統(tǒng)以及光學(xué)成像系統(tǒng)。
[0020]工作臺800裝配于底座600，光學(xué)成像系統(tǒng)裝配于縱向安裝座100，光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置于工作臺800上方，驅(qū)動裝置700驅(qū)動底座600和縱向安裝座100中的至少一個以調(diào)整光學(xué)成像系統(tǒng)與工作臺表面的檢測樣品之間的相對位置。
[0021]通常，驅(qū)動裝置包括橫向驅(qū)動裝置和縱向驅(qū)動裝置，橫向驅(qū)動裝置設(shè)置于底座，通過橫向驅(qū)動裝置調(diào)節(jié)底座上工作臺的位置；縱向驅(qū)動裝置設(shè)置于縱向安裝座，通過縱向驅(qū)動裝置調(diào)節(jié)光學(xué)成像系統(tǒng)距離測試樣品之間的縱向間距。
[0022]中央控制系統(tǒng)設(shè)置有影像處理單元和控制單元，影像處理單元與光學(xué)成像系統(tǒng)連接，光學(xué)成像系統(tǒng)對工作臺800上的檢測樣品進(jìn)行測量成像，并將影像數(shù)據(jù)傳輸至所述影像處理單元，經(jīng)影像處理單元處理后獲得工件的檢測參數(shù)，控制單元與驅(qū)動裝置連接。
[0023]具體的，光學(xué)成像系統(tǒng)，如圖2所示，設(shè)置有影像設(shè)備200和激光發(fā)射器300，影像設(shè)備200的影像鏡頭210和和激光發(fā)射器300的激光頭310分別固定裝配于縱向安裝座100。激光發(fā)射器300發(fā)射的激光320與影像鏡頭210的軸線L平行。
[0024]為了便于調(diào)整光學(xué)成像系統(tǒng)與測試樣品之間的間距，影像鏡頭210與激光頭310可設(shè)置為同步升降結(jié)構(gòu)。這樣，影像鏡頭210與激光頭310距離測試樣品之間的間距可同步調(diào)整。實(shí)現(xiàn)影像鏡頭210與激光頭310同步調(diào)整的方式很多，如通過縱向驅(qū)動裝置，將影像鏡頭210與激光頭310固定于縱向驅(qū)動裝置，通過縱向驅(qū)動裝置同步調(diào)節(jié)影像鏡頭210、激光頭310距離測試樣品之間的間距。
[0025]該影像測量設(shè)備，可以通過激光發(fā)射器發(fā)射激光檢測樣品表面的平面度信息，同時可以通過影像設(shè)備獲得檢測樣品表面信息，如圖案情況、樣品尺寸參數(shù)等。故可以通過一次檢測同時獲得檢測樣品至少兩種檢測參數(shù)。
[0026]由于激光發(fā)射器與影像設(shè)備在檢測過程中，使用的是各自的坐標(biāo)系，因此，需要激光發(fā)射器及影像設(shè)備獲得的影像信息進(jìn)行工坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的檢測樣品參數(shù)。
[0027]采用該影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，包括如下步驟:
(O分別通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器獲得檢測樣品的影像信息；
(2)將影像設(shè)備得到的影像信息與激光發(fā)射器得到的激光信息進(jìn)行共坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的影像信息和激光信息。
[0028]其中，步驟(2)中的共坐標(biāo)處理具體是根據(jù)影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系進(jìn)行影像信息與激光信息共坐標(biāo)處理；
影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系具體通過如下步驟得
到:
a.選擇測試樣品或者標(biāo)準(zhǔn)塊上的一點(diǎn)作為校正測試點(diǎn)，通過激光發(fā)射器發(fā)射激光到校正測試點(diǎn)，記錄在激光坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(JXl、Jy1)；
b.將校正測試點(diǎn)移至影像鏡頭下方進(jìn)行測量，記錄在影像坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(YXpYy1)；
c.根據(jù)坐標(biāo)(JXl、Jy1)與坐標(biāo)為(YXl、Yy1)獲得影像坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)與激光坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)之間的對應(yīng)關(guān)系。
[0029]本發(fā)明的影像測量設(shè)備及影像處理方法，通過一次檢測同時獲得檢測樣品的影像信息及激光影像信息，再通過共坐標(biāo)處理，能夠得到檢測樣品的表面參數(shù)、平面度信息等至少兩種信息，具有檢測方便、省時高效的特點(diǎn)。
[0030]該影像測量設(shè)備在只通過激光頭進(jìn)行樣品檢測時，還可以利用影像設(shè)備引導(dǎo)激光頭進(jìn)行目標(biāo)測試點(diǎn)尋找。
[0031]例如利用激光發(fā)射器300向檢測樣品500表面發(fā)射激光進(jìn)行平面度檢測。由于激光的發(fā)射點(diǎn)非常小，欲將檢測目標(biāo)點(diǎn)移動到激光頭310下方非常困難。
[0032]該影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)增設(shè)了影像鏡頭210，如圖3所示，影像鏡頭210的視域220遠(yuǎn)遠(yuǎn)寬闊于激光頭310的視域，故可以先通過影像鏡頭210查找到檢測目標(biāo)點(diǎn)，再在影像鏡頭210的引導(dǎo)下調(diào)整目標(biāo)檢測點(diǎn)到激光頭310下方。故調(diào)整方便，能夠提高檢測效率和檢測精度。
[0033]采用上述光學(xué)成像系統(tǒng)進(jìn)行檢測目標(biāo)尋找的方法，首先通過影像鏡頭210尋找檢測目標(biāo)，再在影像鏡頭210的引導(dǎo)下將待檢測目標(biāo)調(diào)整至激光頭310下方進(jìn)行檢測。
[0034]上述檢測目標(biāo)尋找的方法，具體包括以下步驟:
(1)影像坐標(biāo)與激光坐標(biāo)共坐標(biāo)校正，
選擇測試樣品或者標(biāo)準(zhǔn)塊上的一點(diǎn)作為校正測試點(diǎn)，通過激光發(fā)射器300發(fā)射激光到校正測試點(diǎn)，記錄在激光坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(Jx1' Jy1)；
將校正測試點(diǎn)移至影像鏡頭210下方進(jìn)行測量，記錄在影像坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(Yx1Jy1)；
根據(jù)坐標(biāo)(Jx1Uy1)與坐標(biāo)為(YxpYy1)獲得影像坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)與激光坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)之間的對應(yīng)關(guān)系；
(2)利用影像鏡頭210預(yù)先尋找測試目標(biāo)S，測試目標(biāo)S在影像坐標(biāo)系內(nèi)的坐標(biāo)為(Yxs, Yys)，根據(jù)激光坐標(biāo)系與影像坐標(biāo)系的關(guān)系獲得測試目標(biāo)S在激光坐標(biāo)系中對應(yīng)的坐標(biāo)為(Jxs、Jys)；
(3)在激光坐標(biāo)系內(nèi)，將坐標(biāo)為(jxs、jys)的測試目標(biāo)移動至激光頭310下進(jìn)行測試目標(biāo)測量。
[0035]綜上所述，該影像測量設(shè)備利用光學(xué)成像系統(tǒng)尋找測試目標(biāo)，能夠利用影像設(shè)備200的寬視域特點(diǎn)，通過影像鏡頭210預(yù)先尋找檢測目標(biāo)，在影像鏡頭210的引導(dǎo)下將檢測目標(biāo)調(diào)整到激光頭310下方進(jìn)行檢測，具有調(diào)整迅速，檢測效率高的特點(diǎn)。
[0036]實(shí)施例2。
[0037]—種影像測量設(shè)備其它結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同，不同之處在于:還具有如下技術(shù)特征，如圖4至圖6所示，該光學(xué)成像系統(tǒng)還設(shè)置有導(dǎo)航設(shè)備400，導(dǎo)航設(shè)備400的導(dǎo)航鏡頭410裝配于縱向安裝座100，導(dǎo)航鏡頭410的軸線M與影像鏡頭210的軸線L相交，且導(dǎo)航鏡頭410的軸線M與影像鏡頭210的軸線L之間的夾角A為銳角。
[0038]導(dǎo)航鏡頭410的軸線M與所述影像鏡頭210的軸線L之間的夾角A范圍為20°至60°，優(yōu)選為30°至45°。[0039]該影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)，由于設(shè)置有導(dǎo)航鏡頭410，且導(dǎo)航鏡頭410與影像鏡頭210呈夾角A設(shè)置。該光學(xué)成像系統(tǒng)的導(dǎo)航鏡頭410和影像鏡頭210的視域220范圍示意如圖6所示，由于導(dǎo)航鏡頭410呈傾斜設(shè)置，因此導(dǎo)航鏡頭410的視域420范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)寬闊于影像鏡頭210的視域220，因此可以在導(dǎo)航鏡頭410的成像參照下，調(diào)整測試樣品的目標(biāo)測試點(diǎn)移動到影像鏡頭210的視域220內(nèi)進(jìn)行檢測。調(diào)整方便，能夠節(jié)省目標(biāo)檢測點(diǎn)移動到影像鏡頭210視域范圍內(nèi)的時間，大大提高檢測效率。通過影像鏡頭210尋找到測試目標(biāo)后，再在影像鏡頭210的引導(dǎo)下，將測試目標(biāo)調(diào)整到激光頭310下方，能夠節(jié)省檢測目標(biāo)尋找時間，具有調(diào)整迅速、檢測結(jié)果精確的特點(diǎn)。
[0040]其中，影像鏡頭210在導(dǎo)航鏡頭410的導(dǎo)航引導(dǎo)下尋找測試目標(biāo)S，具體包括如下步驟:
(1)導(dǎo)航坐標(biāo)與影像坐標(biāo)共坐標(biāo)校正，
選擇標(biāo)準(zhǔn)塊上η個不同位置的點(diǎn)作為測試點(diǎn)PpP2……Ρη，η為自然數(shù)，且η不小于3 ;步驟(1)中η優(yōu)選等于4，測試點(diǎn)Pp P2, P3和P4位于矩形的四個頂點(diǎn)；
將標(biāo)準(zhǔn)塊上的測試點(diǎn)分別移動到影像鏡頭210及導(dǎo)航鏡頭410的視域420范圍內(nèi)，采用影像鏡頭210和導(dǎo)航鏡頭410分別測量每個測試點(diǎn)的坐標(biāo)，通過影像鏡頭210在影像坐標(biāo)系下得到與測試點(diǎn)P” P2……Pn分別一一對應(yīng)的測量坐標(biāo)為(Yx1^ Yy1 )> (Yx2、Yy2)……(Yxn、Yyn)，通過導(dǎo)航鏡頭410在導(dǎo)航坐標(biāo)系下得到與測試點(diǎn)P1' P2……Pn分別一一對應(yīng)
的測量坐標(biāo)為(Dx1'Dy1X (Dx2、Dy2)......(Dx3> Dy3)；
根據(jù)測試點(diǎn)P:、P2……Pn在影像坐標(biāo)系及導(dǎo)航坐標(biāo)系下對應(yīng)得到的測量坐標(biāo)獲得影像坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)與導(dǎo)航坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)之間的對應(yīng)關(guān)系；
(2)導(dǎo)航鏡頭410預(yù)先尋找測試目標(biāo)S，測試目標(biāo)S在導(dǎo)航坐標(biāo)系下的坐標(biāo)為(Dxs、Dys),根據(jù)影像坐標(biāo)系及導(dǎo)航坐標(biāo)系之間的對應(yīng)關(guān)系得到測試目標(biāo)S在影像鏡頭210坐標(biāo)系對應(yīng)的坐標(biāo)(Yxs、Yys)；
(3)在鏡頭坐標(biāo)系內(nèi)，將坐標(biāo)為(Yxs、Yys)的測試目標(biāo)移動至影像鏡頭210視域內(nèi)。
[0041]通過該影像測量設(shè)備的光學(xué)成像系統(tǒng)尋找檢測目標(biāo)，利用了導(dǎo)航鏡頭410、影像鏡頭210的寬視域特點(diǎn)，可通過導(dǎo)航鏡頭410預(yù)先找到檢測目標(biāo)，再將檢測目標(biāo)調(diào)整到影像鏡頭210視域內(nèi)，再在影像鏡頭210引導(dǎo)下將檢測目標(biāo)調(diào)整到激光頭310下方進(jìn)行檢測，具有調(diào)整迅速、檢測效率高的特點(diǎn)，能夠迅速得到檢測樣品500的平面度信息。
[0042]最后應(yīng)當(dāng)說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，盡管參照較佳實(shí)施例對本發(fā)明作了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種影像測量設(shè)備，其特征在于:設(shè)置有底座、縱向安裝座、驅(qū)動裝置、工作臺、中央控制系統(tǒng)以及光學(xué)成像系統(tǒng)； 所述工作臺裝配于所述底座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)裝配于所述縱向安裝座，所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置于所述工作臺上方，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述底座和所述縱向安裝座中的至少一個以調(diào)整所述光學(xué)成像系統(tǒng)與所述工作臺表面的檢測樣品之間的相對位置； 所述中央控制系統(tǒng)設(shè)置有影像處理單元和控制單元，所述影像處理單元與所述光學(xué)成像系統(tǒng)連接，所述光學(xué)成像系統(tǒng)對工作臺上的工件進(jìn)行測量成像，并將影像數(shù)據(jù)傳輸至所述影像處理單元，經(jīng)所述影像處理單元處理后獲得工件的檢測參數(shù)，所述控制單元與所述驅(qū)動裝置連接； 所述光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)置有影像設(shè)備和激光發(fā)射器，所述影像設(shè)備的影像鏡頭和和所述激光發(fā)射器的激光頭分別固定裝配于所述縱向安裝座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的影像測量設(shè)備，其特征在于:所述影像鏡頭與所述激光頭設(shè)置為同步升降結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的影像測量設(shè)備，其特征在于:所述激光發(fā)射器發(fā)射的激光與所述影像鏡頭的軸線平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的影像測量設(shè)備，其特征在于:還設(shè)置有導(dǎo)航設(shè)備，所述導(dǎo)航設(shè)備的導(dǎo)航鏡頭裝配于所述縱向安裝座，所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線相交，且所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角為銳角。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的影像測量設(shè)備，其特征在于:所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角范圍為20°至60°。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的影像測量設(shè)備，其特征在于:所述導(dǎo)航鏡頭的軸線與所述影像鏡頭的軸線之間的夾角范圍為30°至45°。
7.采用權(quán)利要求1至6任意一項(xiàng)所述的影像測量設(shè)備進(jìn)行影像處理的方法，其特征在于:包括如下步驟: (1)分別通過影像設(shè)備和激光發(fā)射器獲得檢測樣品的影像信息； (2)將影像設(shè)備得到的影像信息與激光發(fā)射器得到的激光信息進(jìn)行共坐標(biāo)處理，得到同一坐標(biāo)系下的影像信息和激光信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的影像處理的方法，其特征在于: 所述步驟(2)中的共坐標(biāo)處理具體是根據(jù)影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系進(jìn)行影像信息與激光信息共坐標(biāo)處理； 影像設(shè)備的影像坐標(biāo)系與激光發(fā)射器的激光坐標(biāo)系之間的關(guān)系具體通過如下步驟得到: a.選擇測試樣品或者標(biāo)準(zhǔn)塊上的一點(diǎn)作為校正測試點(diǎn)，通過激光發(fā)射器發(fā)射激光到校正測試點(diǎn)，記錄在激光坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(Jx1、Jy1); b.將校正測試點(diǎn)移至影像鏡頭下方進(jìn)行測量，記錄在影像坐標(biāo)系中所得到的校正測試點(diǎn)對應(yīng)的坐標(biāo)為(YxpYy1)； c.根據(jù)坐標(biāo)(JXl、Jy1)與坐標(biāo)為(YXl、Yy1)獲得影像坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)與激光坐標(biāo)系中任意一點(diǎn)之間的對應(yīng)關(guān)系。
【文檔編號】G01B11/00GK103925874SQ201410133035
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月3日
【發(fā)明者】洪金龍, 仇增華 申請人:東莞市天勤儀器有限公司